JP2011237785A - 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム - Google Patents

Abstract

【課題】基板の反転および配置変更を可能にして、タクトタイムを短くすること。
【解決手段】本発明の貼合装置は、基板５を短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールと基板５を反転させて第２基板搬送機構に配置する反転機構と基板５を長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と第２基板搬送機構での基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールとを含み、第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かっており、反転機構の基板反転部は第１基板搬送機構における基板５を（１）曲線を描くように、（２）反転させながら、（３）第１基板搬送機構の搬送方向に沿った長辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように第２基板搬送機構に配置する。
【選択図】図５

Description

本発明は、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムに関するものである。

従来、液晶表示装置が広く製造されている。液晶表示装置に用いられる基板（液晶パネル）には、光の透過または遮断を制御するために、偏光フィルムが貼合されることが通常である。偏光フィルムはその吸収軸が直交するように貼合されている。

基板に偏光フィルムを貼合する方法としては、偏光フィルムを基板に応じたサイズにカットした後に貼合する所謂 chip to panel方式が挙げられる。しかしながら、この方式では、基板に対して、一枚ずつ偏光フィルムを貼合するため、生産効率が低いという欠点がある。一方、他の方式として、偏光フィルムをコンベアーロールに供給し、連続的に基板に貼合する所謂 roll to panel方式が挙げられる。当該方法によれば、高い生産効率にて貼合が可能となる。

roll to panel 方式の例として、特許文献１に光学表示装置の製造システムが開示されている。上記製造システムは、基板の上面に光学フィルム（偏光フィルム）を貼合した後に、基板を旋回させ、下面から偏光フィルムを貼合するものである。

特許第４３０７５１０号公報（２００９年８月５日発行）

しかしながら、上記従来の装置では、以下の問題がある。

まず、基板に対して偏光フィルムを貼合する場合、埃などの異物が貼合面へ混入することを回避するため、クリーンルームにて作業がなされるのが通常である。そして、クリーンルームでは、空気の整流がなされている。基板に対してダウンフローにて整流がなされた状態にて偏光フィルムの貼合がなされることが、異物による歩留低下を抑制するために必要だからである。

この点に関して、特許文献１の製造システムは、基板に対して、上面および下面から偏光フィルムを貼合する構成となっている。しかし、偏光フィルムの上面から貼合を行う場合、気流（ダウンフロー）が偏光フィルムによって妨げられ、基板への整流環境が悪化してしまうというデメリット挙げられる。偏光フィルムの上面から貼合を行う場合の例として、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図１０における、領域Ａは、偏光フィルムを巻出す巻出部等が設置される領域であり、領域Ｂは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Ｃは、偏光フィルムから除去された剥離フィルムを巻き取る巻取部等が設置される領域である。

また、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air ）フィルター４０からはクリーンエアーが供給される。なお、図１０（ａ）では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング４１が設置されているためグレーチング４１を介して気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図１０（ｂ）では、グレーチング４１が設置されていないため、気流は図１０（ｂ）最下部の床に接触した後、床に沿って移動することとなる。

図１０（ａ）・（ｂ）には、領域Ａ〜Ｃが２Ｆ（２階）部分に配置されており、ＨＥＰＡフィルター４０からのクリーンエアーが偏光フィルムによって妨げられる。したがって、２Ｆ部分を通過する基板に対して垂直方向に向う気流が生じ難い。これに対して、水平方向の気流ベクトルは大きな（ベクトルの密度が濃い）状態となっている。すなわち、整流環境が悪化した状態であるといえる。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、整流環境を妨げることのない偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムを提供することにある。

請求項１に記載の本発明（第１発明）の偏光フィルムの貼合装置は、上記課題を解決するために、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第２基板搬送機構に配置する反転機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルム貼合装置であって、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されており、上記反転機構は上記基板を吸着する吸着部と、上記吸着部に連結されており、基板を反転させる基板反転部とを備えており、上記基板反転部は、第１基板搬送機構における基板を、（１）曲線を描くように、（２）反転させながら、（３）第１基板搬送機構の搬送方向に沿った長辺または短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように、第２基板搬送機構に配置することを備える
ものである。

上記の第１発明によれば、第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合し、反転機構によって、第１基板搬送機構における基板を、反転させ、第１基板搬送機構の搬送方向に沿った長辺または短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿う状態にて、第２基板搬送機構に配置することができ、その後、第２貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合することができる。すなわち、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は１つの動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とが同一方向に向かって配置されている。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。

請求項２に記載の本発明（第２発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、
上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持装置と、
上記基板支持部に連結して該基板支持部に支持された基板を反転させて配置する基板反転部を備えた反転機構と、
上記反転機構によって反転させるとともに短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて配置された上記基板を搬送する第２基板搬送機構と、
上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルム貼合装置であって、
上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されており、
上記反転機構は、上記基板の表面が裏面になるように基板反転部を反転させる反転軸および上記第１基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向から上記第２基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向に配置変更部によって変更される配置変更軸回りに一定角度範囲で回転させることにより、上記第１基板搬送機構において搬送された上記基板を円弧軌跡を描いて反転させるとともに、上記第２基板搬送機構における基板の搬送方向に沿うように配置を変更して、上記第２基板搬送機構に対して配置されるように構成されている
ものである。

請求項３に記載の本発明（第３発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第２発明において、
前記反転機構は、前記基板反転部が前記配置変更部に回転可能に配設された前記反転軸を備える反転軸部に連結して、回転駆動源によってそれぞれ回転駆動されるように構成されている
ものである。

請求項４に記載の本発明（第４発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第２発明において、
前記反転機構は、前記配置変更部が前記反転軸を備える反転軸部に連結した前記基板反転部に相対回転可能に配設され、回転駆動源によってそれぞれ回転駆動されるように構成されている
ものである。

請求項５に記載の本発明（第５発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第２発明ないし第４発明のいずれかにおいて、
上記基板支持装置の上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の両面を挟着して支持する複数の支持部材によって構成されている
ものである。

請求項６に記載の本発明（第６発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第２発明ないし第４発明のいずれかにおいて、
上記基板支持装置の上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の表面を吸着する吸着部を備えた吸着部材によって構成されている
ものである。

請求項７に記載の本発明（第７発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第３発明または第４発明において、
上記基板支持装置が、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板を、挟着することによって支持するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板を、挟着による支持を解除して、上記第２基板搬送機構の端部に載置するように構成されている
ものである。

請求項８に記載の本発明（第８発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第３発明または第４発明において、
上記第１基板搬送機構の端部が、幅方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第２基板搬送機構の端部が、搬送方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に反転した上記第１および第２の支持部材を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されている
ものである。

請求項９に記載の本発明（第９発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第８発明において、
上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた第１および第２の櫛状部材が、一部を支点として一定角度範囲において揺動するように構成されている
ものである。

請求項１０に記載の本発明（第１０発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第９発明において、
上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、揺動駆動機構によって揺動駆動されるように構成されている
ものである。

請求項１１に記載の本発明（第１１発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１０発明において、
上記揺動駆動機構は、上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動する第１の揺動駆動機構と、第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動される第２の揺動駆動機構とから成る
ものである。

請求項１２に記載の本発明（第１２発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第８発明において、
上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、一方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成されている
ものである。

請求項１３に記載の本発明（第１３発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１２発明において、
上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、直線的駆動機構によって駆動され、往復動するように構成されている
ものである。

また、請求項１４に記載の本発明（第１４発明）の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構が一直線上に配置されており、第１基板搬送機構における第２基板搬送機構側の端部において、第１基板搬送機構の搬送方向に対して水平な両方向に沿って、基板載置部および上記反転機構が２対ずつ備えられ、上記端部には、上記端部から上記基板載置部へ基板を搬送する搬送手段が備えられており、上記反転機構は上記基板載置部のそれぞれに搬送された基板を反転させて第２基板搬送機構に配置することが好ましい。

上記構成によれば、反転機構が２つ備えられているため、基板を単位時間当り２倍処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。さらに、第１基板搬送機構および第２基板搬送機構が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供できる。

また、請求項１５に記載の本発明（第１５発明）の偏光フィルムの貼合装置では、偏光フィルムを搬送する第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構が備えられており、上記第１フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第２フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は上記第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構の上部に備えられており、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第１貼合部が上記第１フィルム搬送機構と第１基板搬送機構との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第２貼合部が上記第２フィルム搬送機構と第２基板搬送機構との間にそれぞれ備えられていることが好ましい。

これにより、巻出部および巻取部が複数備えられているため、一方の巻出部における偏光フィルムの原反の残量が少なくなった場合、その原反に他方の巻出部に備えられた原反を連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することができ、生産効率を高めることができる。

また、請求項１６に記載の本発明（第１６発明）の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、上記第１基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することが好ましい。

これにより、基板の搬送方向に対して基板の長辺が直交する状態にて、洗浄部による基板の洗浄を行うことができる。すなわち、搬送方向に沿った基板の距離を小さくすることができるため、洗浄に必要なタクトタイムをより短縮することができる。その結果、さらに生産効率に優れた偏光フィルムの貼合装置を提供することができる。

また、請求項１７に記載の本発明（第１７発明）の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構には、第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することが好ましい。

上記欠点検出部、貼合回避部および回収部によれば、欠点を有する偏光フィルムと基板との貼合を回避できるため、歩留まりを高めることができる。

請求項１８に記載の本発明（第１８発明）の液晶表示装置の製造システムは、上記偏光フィルムの貼合装置と、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えるものである。

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に生じた貼りずれを検査することが可能である。

また、請求項１９に記載の本発明（第１９発明）の液晶表示装置の製造システムでは、上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。

これにより、偏光フィルムが貼合された基板に貼りずれが生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。

また、請求項２０に記載の本発明（第２０発明）の液晶表示装置の製造システムでは、偏光フィルムの貼合装置と、上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることが好ましい。

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に混入した異物を検査することが可能である。

また、請求項２１に記載の本発明（第２１発明）の液晶表示装置の製造システムでは、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に異物が混入している場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。

また、請求項２２に記載の本発明（第２２発明）の液晶表示装置の製造システムでは、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に貼りずれまたは異物の混入が生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。

本第１発明の偏光フィルムの貼合装置は、以上のように、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されており、上記反転機構は上記基板を吸着する吸着部と、上記吸着部に連結されており、基板を反転させる基板反転部とを備えており、上記基板反転部は、第１基板搬送機構における基板を、（１）曲線を描くように、（２）反転させながら、（３）第１基板搬送機構の搬送方向に沿った長辺または短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように、第２基板搬送機構に配置するものである。

それゆえ、上記反転機構によって１の動作にて基板を、反転および搬送方向に対する長辺および短辺が変更された状態とすることができる。これにより、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な１つの動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とが同一方向に向かって配置されている。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本第１発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れるという効果をも奏する。

上記構成より成る第２発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記反転機構が、上記基板の表面が裏面になるように基板反転部を反転させる反転軸および上記第１基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向から上記第２基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向に配置変更部によって変更される配置変更軸回りに一定角度範囲で回転させることにより、上記第１基板搬送機構において搬送された上記基板を円弧軌跡を描いて反転させるとともに、上記第２基板搬送機構における基板の搬送方向に沿うように配置を変更して、上記第２基板搬送機構に対して配置されるものであるので、前記基板反転部の一連の円弧軌跡を描く反転動作によって、上記基板の反転と上記第２基板搬送機構における配置に沿うように上記基板の配置を変更するため、タクトタイムを短くして、タクトタイムの短い貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第３発明の偏光フィルムの貼合装置は、第２発明において、上記反転機構は、上記回転駆動源によって回転駆動される上記配置変更部に回転可能に配設された上記反転軸を備える反転軸部に連結している上記基板反転部が、上記回転駆動源によって回転駆動されるので、上記回転駆動源によって回転駆動される上記基板反転部の一連の円弧軌跡を描く反転動作によって、上記基板の反転と上記第２基板搬送機構における配置に沿うように上記基板の配置を変更するため、タクトタイムを短くして、タクトタイムの短い貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第４発明の偏光フィルムの貼合装置は、第２発明において、上記反転機構は、上記反転軸を備える反転軸部に連結した上記回転駆動源によって回転駆動される上記基板反転部に相対回転可能に配設された上記配置変更部が回転駆動源によって回転駆動されるので、上記回転駆動源によって回転駆動される上記基板反転部の一連の円弧軌跡を描く反転動作によって、上記基板の反転と上記第２基板搬送機構における配置に沿うように上記基板の配置を変更するため、タクトタイムを短くして、タクトタイムの短い貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第５発明の偏光フィルムの貼合装置は、第２発明ないし第４発明のいずれかにおいて、上記基板支持装置の上記基板支持部を構成する上記複数の支持部材によって、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の両面を挟着して支持するものであるので、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を確実に支持するとともに、支持した上記基板の反転および配置変更を確実にするという効果を奏する。

上記構成より成る第６発明の偏光フィルムの貼合装置は、第２発明ないし第４発明のいずれかにおいて、上記基板支持装置の上記基板支持部を構成する上記吸着部を備えた上記吸着部材によって、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の表面を吸着するものであるので、上記基板支持部の構成をシンプルにして、軽量化および高速回転を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第７発明の偏光フィルムの貼合装置は、第３発明または第４発明において、上記基板支持装置が、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板を、挟着することによって支持するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板を、挟着による支持を解除して、上記第２基板搬送機構の端部に載置するものであるので、シンプルな構成によって、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が、上記第１基板搬送機構の端部に進入した上記第１の支持部材および第２の支持部材との間に挟着されることによって、確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記基板反転部による上記基板の反転を可能にするとともに、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第８発明の偏光フィルムの貼合装置は、第３発明または第４発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入することにより、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第９発明の偏光フィルムの貼合装置は、第８発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一端を支点として一定角度範囲において揺動することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第１０発明の偏光フィルムの貼合装置は、第９発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上記揺動駆動機構によって揺動駆動されることにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第１１発明の偏光フィルムの貼合装置は、第１０発明において、上記揺動駆動機構を構成する上記第１の揺動駆動機構が、上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動するとともに、上記揺動駆動機構を構成する第２の揺動駆動機構が、第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第１２発明の偏光フィルムの貼合装置は、第８発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一方向において相対的に接近することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一方向において相対的に離隔することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

上記構成より成る第１３発明の偏光フィルムの貼合装置は、第１２発明において、上記直線的駆動機構によって、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が直線駆動され、往復動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

本発明に係る製造システムの一実施例を示す断面図である。 図１の製造システムにおけるニップロールの周辺部分を示す断面図である。 本実施例と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。 本実施例における反転機構によって基板を反転させる過程を示す斜視図である。 その他の本実施例における基板支持装置および反転機構を示す平面図である。 その他の本実施例における支持された基板を反転機構によって反転させた状態を示す平面図である。 その他の本実施例における反転機構を示す部分拡大斜視図である。 さらにその他の本実施例における基板支持装置および反転機構を示す平面図である。 その他の本実施例における第１基板搬送機構の下流端部において、基板支持装置および反転機構の動作態様を説明するための説明図である。 その他の本実施例における第２基板搬送機構の上流端部において、基板支持装置の動作態様を説明するための説明図である。 その他の本実施例における１個の回転駆動源によって第１および第２の基板支持部材を選択的に駆動する態様と、２個のソレノイドによって第１および第２の基板支持部材の一端を移動させる態様を説明するための部分拡大説明図である。 その他の本実施例における２個の直線駆動源としてのソレノイドによって第１および第２の基板支持部材を往復動させて基板を支持する態様と、基板に接触する面に複数の吸着部が形成された１個の支持部材によって、基板を吸着する態様と、両端に吸着部と被吸着部を形成した２個の支持部材によって基板を吸着支持する態様を説明するための部分拡大説明図である。 本実施例において、基板が反転する際の軌道を示す斜視図である。 図４に示される反転機構によって基板を反転させる過程を示す平面図である。 図８に示される反転機構を示す平面図、正面図、斜視図および、反転過程における基板反転部の角度および位置の変化を説明するための説明図である。 図８に示される反転機構の反転過程における中間回転部材の角度の変化と中間回転部材の外周壁に配設された基板反転部の円周方向における位置の変化を説明するための説明図である。 本実施例に係る貼合装置の変形例を示す平面図である。 本実施例に係る液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図である。 本実施例に係る液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。 上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。

〔実施例１〕
本発明の一実施例について図１〜図９に基づいて説明すれば以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではない。まず、本実施例に係る製造システム（液晶表示装置の製造システム）の構成について以下に説明する。製造システムは、本発明に係る貼合装置を含んでいる。

図１は、製造システムを示す断面図である。同図に示すように、製造システム１００は２段構造となっており、１Ｆ（１階）部分はフィルム搬送機構５０であり、２Ｆ（２階）部分は基板搬送機構を含む貼合装置６０となっている。

＜フィルム搬送機構＞
まず、フィルム搬送機構５０について説明する。フィルム搬送機構５０は、偏光フィルム（偏光板）を巻出してニップロール６・６ａおよび１６・１６ａまで搬送し、不要となった剥離フィルムを巻き取る役割を果たす。一方、貼合装置６０はフィルム搬送機構５０によって巻出された偏光フィルムを基板（液晶パネル）５に対して貼合する役割を果たすものである。

フィルム搬送機構５０は、第１フィルム搬送機構５１および第２フィルム搬送機構５２を備えている。第１フィルム搬送機構５１は、基板５の下面に最初に偏光フィルムを貼合するニップロール６・６ａに偏光フィルムを搬送するものである。一方、第２フィルム搬送機構５２は、反転された基板５の下面に偏光フィルムを搬送するものである。

第１フィルム搬送機構５１は、第１巻出部１、第２巻出部１ａ、第１巻取部２、第２巻取部２ａ、ハーフカッター３、ナイフエッジ４、および欠点フィルム巻取ローラー７・７ａを備えている。第１巻出部１には偏光フィルムの原反が設置されており、偏光フィルムが巻出される。上記偏光フィルムとしては公知の偏光フィルムを用いればよい。具体的には、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素等によって染色がなされており、１軸方向に延伸されたフィルム等を用いることができる。上記偏光フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、５μｍ以上、４００μｍ以下の偏光フィルムを好ましく用いることができる。

上記偏光フィルムの原反では、流れ方向（ＭＤ方向）に吸収軸の方向が位置している。上記偏光フィルムは剥離フィルムによって粘着剤層が保護されている。上記剥離フィルム（保護フィルムまたはセパレーターともいう）としては、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタラートフィルムなどを用いることができる。上記剥離フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、５μｍ以上、１００μｍ以下の剥離フィルムを好ましく用いることができる。

製造システム１００には、巻出部が２つ、巻出部に対応する巻取部が２つ備えられているため、第１巻出部１の原反の残量が少なくなった場合、第２巻出部１ａに備えられた原反を第１巻出部１の原反に連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することが可能である。本構成により、生産効率を高めることができる。なお、上記巻出部および巻取部はそれぞれ複数備えられていればよく、３つ以上備えられていてももちろんよい。

ハーフカッター（切断部）３は、剥離フィルムに保護された偏光フィルム（偏光フィルム、粘着剤層および剥離フィルムから構成されるフィルム積層体）をハーフカットし、偏光フィルムおよび粘着剤層を切断する。ハーフカッター３としては、公知の部材を用いればよい。具体的には、刃物、レーザカッターなどを挙げることができる。ハーフカッター３によって偏光フィルムおよび粘着剤層が切断された後に、ナイフエッジ（除去部）４によって剥離フィルムが偏光フィルムから除去される。

偏光フィルムと剥離フィルムとの間には粘着剤層が塗布されており、剥離フィルムが除去された後、粘着剤層は偏光フィルム側に残存する。上記粘着剤層としては、特に限定されるものではなく、アクリル系、エポキシ系、ポリウレタン系などの粘着剤層を挙げることができる。粘着剤層の厚さは特に制限されないが、通常５〜４０μｍである。

一方、第２フィルム搬送機構５２は、第１フィルム搬送機構５１と同様の構成であり、第１巻出部１１、第２巻出部１１ａ、第１巻取部１２、第２巻取部１２ａ、ハーフカッター１３、ナイフエッジ１４および欠点フィルム巻取ローラー１７・１７ａを備えている。同一の部材名を付した部材については第１フィルム搬送機構５１における部材と同一の作用を示す。

好ましい形態として製造システム１００は、洗浄部７１を備えている。洗浄部７１はニップロール６・６ａによって基板５の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板５を洗浄するものである。洗浄部７１としては、洗浄液を噴射するノズルおよびブラシなどから構成される公知の洗浄部を用いればよい。洗浄部７１によって貼合の直前に基板５を洗浄することによって、基板５の付着異物が少ない状態にて貼合を行うことができる。

次に、図２を用いて、ナイフエッジ４について説明する。図２は、製造システム１００におけるニップロール６・６ａの周辺部分を示す断面図である。図２は、基板５が左方向から搬送され、左下方向から粘着剤層を有する（図示せず、以降同じ）偏光フィルム５ａが搬送される状況を示している。偏光フィルム５ａには剥離フィルム５ｂが備えられており、ハーフカッター３によって偏光フィルム５ａおよび粘着剤層が切断され、剥離フィルム５ｂは切断されていない（ハーフカット）。

剥離フィルム５ｂ側には、ナイフエッジ４が設置されている。ナイフエッジ４は、剥離フィルム５ｂを剥離させるためのエッジ状部材であり、偏光フィルム５ａと接着力が低い剥離フィルム５ｂがナイフエッジ４を伝って剥離されることとなる。

その後、剥離フィルム５ｂは、図１の第１巻取部２に巻き取られることとなる。なお、ナイフエッジに代えて、粘着ローラーを用いて剥離フィルムを巻き取る構成を用いることも可能である。その場合、巻取部と同様に、粘着ローラーを２箇所に備えることによって、剥離フィルムの巻取効率を高めることができる。

＜貼合装置＞
次に、貼合装置６０について説明する。貼合装置６０は基板５を搬送し、フィルム搬送機構５０によって搬送された偏光フィルムを基板に貼合するものである。図示しないが、貼合装置６０では基板５の上面に対して、クリーンエアーが供給されている。すなわち、ダウンフローの整流が行われている。これによって、基板５の搬送および貼合を安定した状態にて行うことが可能である。

貼合装置６０はフィルム搬送機構５０の上部に備えられている。これにより、製造システム１００の省スペース化を図ることができる。図示しないが、貼合装置６０にはコンベアーロールを備える基板搬送機構が設置されており、これにより基板５が搬送方向へ搬送される（図６にて後述する第１基板搬送装置６１・第２基板搬送装置６２が基板搬送機構に該当する）。

製造システム１００では、左側から基板５が搬送され、その後、図中右側、つまり、第１フィルム搬送機構５１の上部から第２フィルム搬送機構５２の上部へと搬送される。基板５は長方形形状であり、長辺および短辺の比率は特に限定されないが、例えば、１６：９〜４：３の比率とすることができる。また、基板５の具体例としては、例えば有機ＥＬパネル、液晶セルのガラス基板パネルを挙げることができる。

フィルム搬送機構５０と貼合装置６０との間には、貼合部であるニップロール（第１貼合部）６・６ａおよびニップロール（第２貼合部）１６・１６ａがそれぞれ備えられている。ニップロール６・６ａおよび１６・１６ａは、基板５の下面に剥離フィルムが除去された偏光フィルムを貼合する役割を果たす部材である。なお、基板５の両面には下面から偏光フィルムが貼合されるため、ニップロール６・６ａにて貼合された後に、基板５は反転機構６５によって反転される。反転機構６５については後述する。

ニップロール６・６ａへ搬送された偏光フィルムは、粘着剤層を介して基板５の下面に貼合される。ニップロール６・６ａとしては、それぞれ圧着ロール、加圧ロールなどの公知の構成を採用することができる。また、ニップロール６・６ａにおける貼合時の圧力および温度は適宜調整すればよい。ニップロール１６・１６ａの構成も同様である。なお、図示しないが、製造システム１００では、好ましい構成として、第１巻出部１からハーフカッターまでの間に欠点表示（マーク）検出部が備えられており、欠点を有する偏光フィルムが検出される構成となっている。

なお、上記欠点表示は、偏光フィルムの原反作成時に検出を行って欠点表示を付与する、または、欠点表示検出部よりも第１巻出部１１または第２巻出部１１ａ側に備えられた欠点表示付与部によって偏光フィルムに付される。欠点表示付与部は、カメラ、画像処理装置および欠点表示形成部によって構成されている。まず、上記カメラによって偏光フィルムの撮影がなされ、当該撮影情報を処理することによって、欠点の有無を検査することができる。上記欠点としては、具体的には、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。欠点が検出された場合、欠点表示形成部によって偏光フィルムに欠点表示が形成される。欠点表示としては、インクなどのマークが用いられる。

さらに、図示しない貼合回避部は、上記マークをカメラにより判別して、貼合装置６０に停止信号を送信して基板５の搬送を停止させる。その後、欠点が検出された偏光フィルムは、ニップロール６・６ａによって貼合が行われず、欠点フィルム巻取ローラー（回収部）７・７ａにて巻き取られる。これにより、基板５と、欠点を有する偏光フィルムとの貼合を回避することができる。当該一連の構成が備えられていれば、欠点を有する偏光フィルムと基板５との貼合を回避できるため、歩留まりを高めることができ好ましい。欠点検出部および貼合回避部としては、公知の検査センサを適宜用いることができる。

図１に示すように、反転機構６５によって基板５が反転状態となった後、基板５はニップロール１６・１６ａに搬送される。そして、基板５の下面に偏光フィルムが貼合される。その結果、基板５の両面に偏光フィルムが貼合されることとなり、基板５の両面に２枚の偏光フィルムが互いに異なる吸収軸にて貼合された状態となる。その後、必要に応じて、貼りずれが生じていないか、基板５の両面について検査がなされる。当該検査は、通常、カメラを備える検査部等によってなされる構成を採用できる。

このように製造システム１００では、基板５へ偏光フィルムを貼合する際、基板５の下面から貼合を行う構成となっており、基板５への整流環境を妨げることがない。このため、基板５の貼合面への異物混入をも防止することができ、より正確な貼合が可能となる。

図３（ａ）および図３（ｂ）に本発明と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図３（ａ）・（ｂ）における領域Ａは巻出部が設置される領域であり、領域Ｂは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Ｃは巻取部等が設置される領域である。また、ＨＥＰＡフィルター４０からはクリーンエアーが供給される。なお、図３（ａ）では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング４１が設置されているため、グレーチング４１を介して、気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図３（ｂ）では、グレーチング４１が設置されていないため、気流は床に接触した後、床に沿って移動することとなる。

図３（ａ）・（ｂ）に示す製造システムは下貼り型であるため、図１０（ａ）・（ｂ）で示したように、偏光フィルムによってＨＥＰＡフィルター４０からの気流が妨げられない。このため、気流ベクトルの方向はほとんど基板に向う方向となっており、クリーンルームにて好ましい整流環境が実現されているといえる。図３（ａ）では、グレーチング４１が設置され、図３（ｂ）では設置されていないが、両図とも同様の好ましい状態が示されている。なお、図３および図１０では、基板搬送機構は水平に形成されているが、一連の構造としては設置されていない。このため、基板搬送機構間を気流が通過可能な構成となっている。基板は後述する反転機構によって保持された後、基板搬送機構間を移送される構成となっている。

また、製造システム１００では、まず、基板５を長辺間口（長辺が搬送方向と直交する）にて搬送し、その後、短辺間口（短辺が搬送方向と直交する）にて搬送する構成となっている。

＜基板支持装置＞
上記第１基板搬送機構６１において搬送された上記基板５を反転するに当たり保持する基板支持装置は、複数の基板支持部材によって機械的に挟着する態様や、流体圧の吸引作用を利用して吸着する態様、その他の態様が可能である。

吸着部６６Ｓは、図４に示されるように上記第１基板搬送機構６１において搬送された基板５の表面の複数箇所を吸着する複数の吸着口が開口した複数の吸着部材によって構成される。これにより基板５の表面は吸着部６６に保持される。吸着部６６としては、公知の吸着部を用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着部を用いる事ができる。

基板支持装置６６は、図５ないし図７に示されるように機械的に挟着するタイプのもので、コンベアーロール６１２を備える上記第１基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部およびコンベアーロール６２２を備える上記第２基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、ガタを考慮しても干渉しないように進入して、反転機構６５の基板反転部６７の反転動作に応じて第１および第２の基板支持部６６１、６６２が介挿して配置されるように構成されている基板搬送機構における基板支持装置に関するものである。

上記基板支持装置６６は、図５に示されるようにフィルムが貼合された基板より大きなサイズの一対の櫛状部材によって構成され、２個の一対の櫛状部材が、基板反転部６７に連結したベース部材６６０に対して相対的に揺動可能に配設されている。

また基板支持装置６６は、図８に示されるようにタクトタイムの短縮の観点より垂直面において１８０度の角度関係で２個配設され、上記第１および第２基板搬送機構６１、６２の搬送方向と、該搬送方向に対して直交する幅方向の中間位置に配置された反転機構の２個の基板反転部６７に連結するとともに、第１基板搬送機構６１の幅方向に延在する第１の基板支持装置６６と第２基板搬送機構６２の搬送方向に延在する第２の基板支持装置６６とが、同一平面において直交するような配置関係にすることも可能である。更にタクトタイムを短縮するために垂直面において９０度（６０度）の角度関係で基板反転部６７に対して４個（６個）の基板支持装置を配設することも可能である。

すなわち一方の基板支持装置６６が、図８に示されるようにコンベアーロール６１２を備える上記第１基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部に対向して進入配置されている時には、他方の基板支持装置６６が、コンベアーロール６２２を備える上記第２基板搬送機構６２のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、介挿され進入配置されるように構成されている。

上記基板支持装置６６は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７に連結した部材に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるように構成されている。

上記第１基板搬送機構６１の下流側端部が、幅方向に複数の例えば４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄに分割され、隣合う分割部分の間に上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する略Ｅ字状の第１および第２の櫛状部材の複数の例えば３個の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第２基板搬送機構６２の上流側端部が、搬送方向に複数の例えば４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄに分割され、隣合う分割部分の間に反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入する複数の間隙が形成されている。

図５および図６に示されるように上記第１基板搬送機構６１の下流側端部において、幅方向において分割された４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄには、それぞれ搬送ローラ６１２が配設され、回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、同期させて回転駆動され、下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方に搬送され、停止位置に到達したら停止するように構成されている。

図５および図６に示されるように上記第２基板搬送機構６２の上流側端部において、基板の搬送方向において分割された４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄには、それぞれ搬送ローラ６２２が配設され、回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、同期させて回転駆動され、基板反転部６７によって反転され上面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方の第２の貼合装置に搬送されるように構成されている。

図５ないし図７に示されるように上記第１および第２の支持部材６６１、６６２は、複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた第１および第２の櫛状部材であって、制御すベース部６６０内の一端を支点として揺動する揺動部材によって構成されている。

すなわち上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、揺動駆動機構６６３０によって一定角度範囲例えば９０度の範囲において揺動駆動されるように構成されている。

上記揺動駆動機構６６３０は、図９に示されるように上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動する図９中上方の第１の揺動駆動機構６６３１と、第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動される図９中下方の第２の揺動駆動機構６６３２とから成る。

上記第１の揺動駆動機構６６３１は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７の端部６７２に上記連絡部６７３を介して連結したベース部材６６０の一端に配設された電気的駆動装置としての第１モータによって構成され、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中間中空軸６６０１を揺動回転させることにより、該中間中空軸６６０１に一体的に連結された上記第１の支持部材６６１としての上記第１の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６１１〜６６１３を揺動回転させるように構成されている。

図５ないし図１０に示されるように回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、上記第１基板搬送機構６１の下流側端部の４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄにおいて、搬送ローラ６１２が回転駆動され、下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方に搬送され、停止位置に到達して停止すると、上記第１の揺動駆動機構６６３１を構成する電気的駆動装置としての第１モータが、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中間中空軸６６０１を反時計方向に揺動回転させることにより、該中間中空軸６６０１に一体的に連結された上記第１の櫛状部材を構成する図９中（Ａ）に示されるように垂直状態の上記複数の突出部６６１１〜６６１３を反時計方向に９０度揺動回転させることにより、図９中（Ｂ）に示されるように水平状態の上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３との間に、停止している下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５を挟着して支持するものである。

上記第２の揺動駆動機構６６３２は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７の端部６７２に上記連絡部６７３を介して連結したベース部材６６０の他端に配設された電気的駆動装置としての第２のモータによって構成され、その駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中心軸６６０２を揺動回転させることにより、該中心軸に一体的に連結された上記第２の支持部材６６２としての上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３を揺動回転させるように構成されている。

上記複数の突出部６６１１〜６６１３の反時計方向における９０度の揺動回転により、図９中（Ｂ）に示されるように水平状態の上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３との間に、停止している下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が挟着され支持されると、後述する基板反転機構の上記基板反転部６７が反転軸回りに反転するので、図１０（Ａ）に示されるように上記基板５を挟着している上記複数の突出部６６１１〜６６１３と上記複数の突出部６６２１〜６６２３との上下関係が反転して、上記第２基板搬送機構の上流側端部に基板５を載置する。

上記第２の揺動駆動機構６６３２を構成する電気的駆動装置としての第２モータが、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中心軸６６０２を反時計方向に揺動回転させることにより、該中心軸６６０２に一体的に連結された上記第２の櫛状部材を構成する図１０中（Ａ）に示されるように水平状態の上記複数の突出部６６２１〜６６２３を反時計方向に揺動回転させることにより、図１０中（Ｂ）に示されるように９０度揺動回転させて、垂直状態にするので、上記第１の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６１１〜６６１３との間に、挟着していた下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５の挟着状態を解除して、上記第２基板搬送機構の搬送ローラ６２２の回転によって、第２貼合装置に下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５を搬送するものである。

上記揺動駆動機構６６３０は、図１１（Ａ）に示されるように揺動駆動源としての１個のモータ６６３０と、該モータ６６３０からの揺動駆動力を上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材に回転連絡して揺動駆動する第１クラッチ手段６６３３と、上記揺動駆動源としての１個のモータ６６３０からの揺動駆動力を上記第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材に回転連絡して揺動駆動する第２クラッチ手段６６３４とから構成するもので、揺動駆動源としてのモータ６６３０を１個にするので、基板支持装置の簡素化、軽量化に適している。

上記揺動駆動機構６６３０は、図１１（Ｂ）に示されるように第１および第２の揺動駆動源としてアクチュエータ６６３５、６６３６を用いて、一部を支点として揺動する揺動部材によって第１および第２の支持部材６６１、６６２の他端を図中上下に移動させることにより、を構成して、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を上記支点を中心にして一定角度範囲例えば０度から±３０度前後それぞれ揺動させることにより、上記基板５の挟着支持および挟着支持状態の解除を可能にする態様が可能であり、コントローラ６６３７によって上記アクチュエータ６６３５、６６３６を構成するソレノイドの電流の印加制御すなわちオンオフ制御で実現するものであるので、制御が簡単であるという利点を有する。

上述においては、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を相対的に揺動回転することにより、上記基板５を挟着支持する例について説明したが、実施形態を上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上下方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成することが可能である。

すなわち上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、直線的駆動機構すなわち往復動駆動機構によって駆動され、往復動するように構成することが可能である。

前記直線的駆動機構が、図１２（Ａ）に示されるようにコントローラ６６３８Ｃからの駆動電流に従い第１および第２のソレノイド６６３８Ａ、６６３８Ｂ他の電気的駆動装置の図１２中上下方向の駆動力によって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２の少なくとも一方が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するとともに、反転後上記第２の基板搬送機構の上流端において、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２の少なくとも一方が相対的に離隔することにより、上記基板５の挟着状態を解除するように構成することも可能である。

また前記直線的駆動機構が、図１２（Ｂ）に示されるように基板支持部材６６１を構成する櫛状部材の複数の突出部の基板５との接触面に上記基板５を吸着する吸着部６６３９を複数形成して、駆動装置としてのポンプＰから供給される流体圧による負圧吸引作用により、上記基板５を吸着または挟着することによって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成することが可能であり、駆動装置としてのポンプや圧力源を工場内の適宜箇所に設置して配管連絡にすれば、基板支持装置の構成をシンプルにして、軽量化および高速化が可能になるという利点を有する。

また図１２（Ｃ）に示されるように第１および第２の支持部材６６１、６６２の両端に被吸着部と吸着部６６３９を複数形成して、駆動装置としての真空ポンプのような吸引ポンプＰから配管を介して供給される流体圧（負圧）による負圧吸引作用により、被吸着部が上記吸着部６６３９に吸着されることにより、上記第１の支持部材６６１を図中上方に移動させて、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２との間に基板を挟着支持するように構成することが可能であり、駆動装置としてのポンプや圧力源を工場内の適宜箇所に設置して配管連絡にすれば、基板支持装置の構成をシンプルにして、軽量化および高速化が可能になるという利点を有する。上記実施形態は、吸着部による吸引作用により基板を吸着する態様について、説明したが、吐出口からエアーその他の圧力流体を吐出して、その押圧力によって基板５を支持する態様も可能である。

また偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構６１における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部１６と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を支持する基板支持部を備えた基板支持装置６６とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結したベース部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるように構成されているものである。

さらに偏光フィルムの貼合装置における基板支持機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部１６と、上記第１基板搬送機構６１にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部６７の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部６７に連結したベース部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるように構成されている。

上記偏光フィルムの貼合装置において、上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して直交する第１および第２の基板搬送機構６１、６２の幅方向の中間位置に配設された反転機構のベース部６７０に回転可能に配置され、反転動作を実現する基板反転部６７を備えている。

上記基板支持部材のその他の態様について、以下説明する。
基板支持部は、基板５を支持する部材であり、載置した基板を挟持可能である。また、基板支持部は基板５を吸着する吸着手段を好ましい形態として備えている。吸着手段としては、公知のものを用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着手段を用いることができる。基板支持部はパイプ状のアームおよび吸着手段から構成されており、吸着手段にて吸引された空気がアーム中を通過する構成となっているが、アームおよび吸着手段の形状は当該構成に限定されるものではない。

また、基板支持部はアームに吸着手段が２つ備えられた構造となっており、３本のアームからなるアーム群を１対備えている。また、吸着手段は基板５の対角線上に４つ配置されており、基板５の長さ方向において、上記吸着手段間にさらに吸着手段が２つ配置されている。当該アームの本数および吸着手段の設置数はあくまで一例であり、例えば、大きな基板を反転させる場合には、アームの本数および吸着手段の数を増加させるなど適宜変更すればよい。また、吸着手段の設置場所を基板５の中心部分に集中させる、または、基板５の端部周辺に変更するなどの変更ももちろん可能である。

基板反転部が基板５を載置していない場合、基板５を受け入れ可能なようにアーム群間の距離が広がった状態となっている（以下、この状態を「待機状態」と称する）。一方、基板反転部６７は基板５もアーム群間の距離が広がった状態となっている。また、１対のアーム群は基板５を挟持するため、アーム群間の距離を狭めることもできる。このようにアーム群間の距離は変更可能であり、そのために基板支持部は、モーターを有しており、モーターの回転運動を直線運動に変えてアーム群間の距離を変更する構成となっている。なお、アーム群間の距離を変更できる構成であれば、モーターを備える構成に変えて用いてもよい。

上記構成より成る本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記基板支持装置６６が、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結したベース部材６６０に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるものであるので、シンプルな構成によって、上記第１基板搬送機構６１によって搬送された上記基板５が、上記第１基板搬送機構６１の端部に進入した上記第１の支持部材６６１および第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって、確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記基板反転部６７による上記基板の反転を可能にするとともに、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

また本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入することにより、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入して、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

さらに本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

また本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上記揺動駆動機構によって揺動駆動されることにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

さらに本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記揺動駆動機構を構成する上記第１の揺動駆動機構６６３１が、上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動するとともに、上記揺動駆動機構を構成する第２の揺動駆動機構６６３２が、第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

また本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記揺動駆動機構が、揺動駆動源６６３０と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第１クラッチ手段６６３３を介して上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材に伝達して揺動駆動するとともに、上記揺動駆動源６６３０からの揺動駆動力を上記第２クラッチ手段６６３４を介して上記第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材に伝達して揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

さらに本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に接近することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６１、６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に離隔することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送および偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

また本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記直線的駆動機構６６３８Ａ、Ｂによって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が直線駆動され、往復動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送偏向フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

さらに本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置６６３８Ａ、Ｂの駆動力によって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するものであるので、駆動指令に基づく上記電気的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現にするという効果を奏する。

また本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するものであるので、流体圧を供給する駆動装置を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化を可能にするという効果を奏する。

さらに本実施例の偏向フィルムの貼合装置は、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結するベース部材６６０に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるものであるので、上記ベース部材６６０に連結した上記基板反転部６７によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部への上記基板反転部６７の反転動作および上記第２貼合部１６による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

また本実施例の偏光フィルムの貼合装置は、上記基板支持装置が、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部６７に連結したベース部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるので、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるので、上記ベース部材６６０に連結した上記基板反転部６７によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部への上記基板反転部６７の反転動作および上記第２貼合部１６における第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。

＜反転機構＞
反転機構６５は、第１基板搬送機構にて搬送された基板５を反転させて第２基板搬送機構に配置する部材である。上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されている。図４は反転機構６５を示す斜視図である。反転機構６５は、第１基板反転部（基板反転部）６７および第２基板反転部（基板反転部）６８を備えている。

第１基板反転部６７は棒状の形状であり、吸着部６６を備えている。第１基板反転部６７は自身の軸方向に回転することが可能であり、吸着部６６を介して、軸に対して垂直方向に基板５を移動させることができる。また、第１基板反転部６７は、第２基板反転部６８と連結されている。当該連結部分は駆動可能であり、第１基板反転部６７はその位置を変更することができ、基板５の位置を変更することができる。

また、第２基板反転部６８は、２つのアーム構造に加え、台部が水平に回転可能な構造となっている。２つのアーム構造によって、基板５を上下方向に移動可能であり、台部の回転により、基板５を水平方向に回転させることができる。

本実施の形態では基板反転部として、第１基板反転部６７および第２基板反転部６８の構造を示したが、基板反転部は当該構成に限定されるものではない。例えば、好ましい形態として制御部を有するロボットアームを用いることができる。ロボットアームを用いた場合、より精密な基板５の操作が可能であるため好ましい。ロボットアームとしては公知のロボットアームを用いることができる。

次に、第１基板反転部６７および第２基板反転部６８による基板５の反転について説明する。図１３は、基板５が反転する際の軌道を示す斜視図である。図１３（ａ）は図４における基板５の状態に対応している。基板５の軌道が把握し易いように吸着部６６、第１基板反転部６７および第２基板反転部６８は図示を省略している。

まず、第１基板搬送機構から基板５の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板５が搬送される。図１３（ａ）のように、基板５は、図示しない第１基板反転部６７の手前にて停止し、吸着部６６が基板５の表面に吸着する。基板５は、最終的には、図１３（ｄ）のように、第１基板搬送機構の搬送方向に沿った短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように、第２基板搬送機構に配置される。

第１基板反転部６７および第２基板反転部６８は、図１３（ａ）における基板５の状態を図１３（ｄ）における基板５の状態に変更するように、基板５が曲線を描くように移動させる。すなわち、緩やかな１の動作によって基板５を移動させる。したがって、本実施例における基板５の反転は、直線的な移動、例えば、基板５の１辺に沿った方向への反転させる移動を伴うものではない。また、当該動作は、基板の反転および基板の水平方向における旋回の２の動作を連続させる動作ではないし、これら２つの動作を同時に行うものでもない。

図１３（ａ）における基板５は、図１３（ｂ）〜（ｄ）に示すように、その一方の（図中左側の）短辺を内側、他方の（図中右側）短辺を外側として移動される。具体的には、図４に示されるロポットの各軸の回転駆動系が切られ、作業者によってロボットの各軸を動かすことが出来る状態であって、動かされたロボットの各軸の角度および変位がセンサによって検知されるティーチングモードにおいて、作業者によって以下に述べるように基板５の姿勢とその姿勢を実現するロボットの各軸の角度および変位が教示され、記憶される。図１３（ａ）では、基板５が位置している水平面から基板５が持ち上げられ、内側短辺よりも外側短辺の方が高い位置となるよう、基板５が傾いた状態にて移動される。基板５' は基板５が移動した後の位置を示している。また、曲線６９は、基板５および基板５' において互いに対応する頂点同士を結んだ基板５の軌跡を示している。第１基板反転部６７および第２基板反転部６８は曲線を描くように基板５を移動させる。換言すると、基板が曲線の軌跡に沿って移動するともいえる。上記曲線は円弧であり、直線でなく滑らかな軌跡である。上述のティーチング以外にも図１３に示される円弧軌跡に従って基板が反転移動するようにロボットの各軸の角度および変位データを作成して予め制御装置のＲＯＭに格納しておき、かかるデータに従ってロボットを動作させることにより、図１３に示される円弧軌跡に従って基板が反転移動させる実施例も採用可能である。

基板５は、図１３（ｂ）および（ｃ）に示す状態を経由して、最終的に図１３（ｄ）に示す状態に移動される。図１３（ｄ）の基板５の配置は、図１３（ａ）の基板５が反転し、搬送方向に沿った短辺が長辺となるように変更された配置である。

さらに、図１４を用いて基板５の配置を変更させる過程について説明する。図１４（ａ）〜（ｄ）は、反転機構６５によって基板５を反転させる過程を示す平面図である。図１４（ａ）〜（ｄ）の基板５の配置はそれぞれ、図１３（ａ）〜（ｄ）における基板５の配置に対応している。

図１４は、図４における基板５の回転過程を示す平面図である。図１４では、反転機構６５に加えて第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２を図示している。第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２にはコンベアーロールが備えられおり、これによって基板５が搬送される。また、第１基板搬送機構６１と第２基板搬送機構６２とは同一方向に向かって配置されている。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置６０は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。

まず、図１４（ａ）のように、吸着部６６が基板５の表面に吸着し、基板５の表面が保持される。その後、図１４（ｄ）の基板５の配置となるように、図１３（ａ）〜（ｃ）で示した曲線６９の軌跡を辿り基板５の移動がなされる。図１３（ｄ）に示す位置に基板５が到達した後には、吸着部６６の吸着が解除されることにより基板５の保持が解かれた後、基板５は第２基板搬送機構６２によって搬送される。そして、反転機構６５は図６（ａ）の位置に戻り、順次搬送される他の基板５を同様の動作にて反転させる。

本実施例の反転機構６５によれば、結果として、１つの動作によって、（１）基板５は反転されると共に、（２）第１基板搬送機構６１の搬送方向に沿った長辺または短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置される。このため、１つの動作によって、基板５の２つの状態を変更させることができる。

このように１つの反転機構６５によって２つの作用を生ぜしめるため、短いタクトタイムにて基板５の反転が可能である。つまり、１つの反転機構６５によって基板５の反転および搬送方向に沿った辺の変更を行うため、貼合装置６０におけるライン長を圧迫することもない。

また、反転機構６５によって基板５に対して反転および搬送方向に沿った辺の変更を行った後、ニップロール１６・１６ａによって、基板５に対して下面から偏光フィルムを貼合することができる。これにより、貼合装置６０によって基板５の両面に対して共に下面から偏光フィルムが貼合されることとができ、整流環境を妨げることもない。

図１４では、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２はその搬送方向が一直線上に配置されず、隣接した構造となっている。これは、図１４（ａ）の基板５と、図１４（ｄ）の基板５とを比較すると、互いに対応する頂点同士の複数の中点を結んだ直線が、第１基板搬送機構６１における基板５の搬送方向に対して４５°の角度となっている。このように、第１基板搬送機構６１との搬送方向と、第２基板搬送機構６２での基板５の搬送方向とは同一方向に向かう、すなわち平行ではあるものの同一直線上にはないからである。なお、図１４（ｄ）の基板５の配置はあくまで一例であり、厳密に当該配置とする必要はない。

図５ないし図７に示される実施例の反転機構は、ベース部６７０に対して図中上下方向のように一方向に伸縮自在の往復部６７１と、該往復部６７１内に介挿され図中水平面において９０度の範囲内において回転する回転部６７２と、該回転部６７２の上端に配設された２個の支持部６７３１、６７３２内に回転自在に挿入されたモータ６７３３によって１８０度の範囲内において回転駆動される回転軸６７３４に一体的に配設され、上記基板支持装置６６のベース部材６６０の一端に配設されたモータ６６３０に一体的に連結した基板反転部としての基板反転部材６７３とから成る。

上記モータ６７３３によって回転駆動される上記回転軸６７３４が、反転機構の基板反転部６７３の反転軸を構成するもので、往復部６７１内に介挿され図中水平面において９０度の範囲内において回転する回転部６７２が、配置変更部材であり、該回転部６７２の回転軸心が配置変更軸である。

上記基板反転部材６７３は、制御装置からの制御信号によって図５および図７に示される第１基板搬送機構６１の下流端の幅方向に延在する状態から図中手前方向に１８０度反転するものであるが、その時上記回転部６７２が反時計方向に９０度回転駆動されるため、９０度回転した時には、図６に示されるように第２基板搬送機構６２の上流端の搬送方向に延在する状態になり、第１基板搬送機構６１の下流端に搬送された基板５を第２基板搬送機構６２の上流端に配置方向を９０度変更して配置して、搬送を可能にするものである。

上記回転部６７２の反時計方向の回転は、図５に示される状態においては、上記第１基板搬送機構６１の下流側端部の幅方向に分割された複数の例えば４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄの隣合う分割部分の間に上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する略Ｅ字状の第１および第２の櫛状部材の複数の例えば３個の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入している状態であるため、上記分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄと上記突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との干渉の回避、円弧軌跡の制御、その他の観点のために、上記基板反転部材６７３が上方に回転して、上記３個の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が、上記分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄより上方に位置して進入状態が解消された反転角度１５度以上、３０度、４５度から、上記回転部６７２の反時計方向の回転を開始するとともに、図６に示される上記第２基板搬送機構６２の上流側端部の複数の例えば４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄ内に、第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入を開始する前の反転角度１３５度以上、１５０度、１６５度までに上記回転部６７２の反時計方向の回転が終了するように回転位相を任意に設定することが出来る。

上記構成より成る反転機構は、９０度の範囲内において回転する上記回転部６７２の上端に配設された２個の支持部６７３１、６７３２内に回転自在に挿入された上記回転軸６７３４回りに１８０度の範囲内において基板反転部としての基板反転部材６７３が反転するものであるため、複合された一連の円弧軌跡に沿った移動によって、上記第１基板搬送機構６１の下流側端部において支持された基板５を反転させるとともに、上記第２基板搬送機構６２の上流側端部に上記第２基板搬送機構６２における搬送方向に沿う方向に変更して配置するものであるため、タクトタイムの短縮を可能にするものである。

図８、図１５および図１６に示される実施例の反転機構は、ベース部６７０に対して図中上下方向のように一方向に伸縮自在の略Ｌ字状の往復部６７１と、該Ｌ字状の往復部６７１の先端部に配設された基板反転用の駆動モータ６７３３と、該駆動モータ６７３３の回転軸６７３４の先端に一体的に配設された固着部６７３５と、該固着部６７３５に一部が固着された上下のリング部材６７３６、６７３７と、該上下のリング部材６７３６、６７３７の間に形成される空間内に図中反時計方向に回転可能に介挿された中間回転部材６７３８と、該中間回転部材６７３８の外周壁に円周角で９０度の角度関係になるように固着され、第１基板搬送機構６１の下流端の幅方向に延在するとともに、第２基板搬送機構６２の上流端の搬送方向に延在する上記基板支持装置６６の２個のベース部材６６０の一端に配設されたモータ６６３０に一体的に連結した第１および第２の基板反転部６７３とから成る。

上記駆動モータ６７３３の上記回転軸６７３４は、反転機構の反転軸を構成するもので、第１および第２の基板搬送機構の基板搬送方向と平行に配置されており、上下のリング部材６７３６、６７３７の間に形成される空間内に図中反時計方向に回転可能に介挿された中間回転部材６７３８は、配置変更部材を構成するもので、該中間回転部材６７３８の回転中心が配置変更軸である。

上記基板反転部材６７３は、制御装置からの制御信号に基づく駆動モータ６７３３の回転によって、図８、図１５および図１６に示される第１基板搬送機構６１の下流端の幅方向および第２基板搬送機構６２の上流端の搬送方向にそれぞれ延在する状態から図の紙面厚さ方向上方および下方に１８０度反転するものであるが、その時上記中間回転部材６７３８および９０度の角度関係で配設された第１および第２の基板反転部６７３が時計方向に回転駆動源（図示せず）によって９０度回転駆動されるため、９０度回転した時には、図８に示されるように第１基板搬送機構６１の下流端において支持された基板５が、円弧状軌跡に沿って移動して第２基板搬送機構６２の上流端の搬送方向に延在する状態になるとともに、第２基板搬送機構６２の上流端において支持された基板５が、円弧状軌跡に沿って移動して第１基板搬送機構６１の下流端の下流端の幅方向に延在する状態になるものである。

本実施例も上述の実施例と同様に、上記基板支持装置６６の上記分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄと上記突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との干渉の回避、円弧軌跡の制御、その他の観点のために、上記基板反転部材６７３が上方および下方に回転して、上記３個の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が、上記分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄより上方および下方に位置して進入状態が解消された反転角度１５度以上、３０度、４５度から、上記中間回転部材６７３８の時計方向の回転を開始するとともに、図８に示される上記第２基板搬送機構６２の上流側端部の複数の例えば４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄ内に、第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入を開始する前の反転角度１３５度以上、１５０度、１６０度までに上記中間回転部材６７３８の時計方向の回転が終了するように回転位相を任意に設定することが出来る。

上記上下のリング部材６７３６、６７３７が上方および下方に４５度回転した状態になった時には、図１５（Ｃ）および図１６図（Ｂ）に示されるように上記中間回転部材６７３８が時計方向に２２．５度回転駆動されるので、上記中間回転部材６７３８の外周壁に９０度の角度関係で配設された第１および第２の基板反転部６７３が時計方向に２２．５度回転駆動されるのて、回転軸６７３４を中心にした回転と 上記中間回転部材６７３８の回転軸を中心にした回転とが複合された円弧軌跡に沿った移動によってそれぞれ２２．５度および１１２．５度の状態になる。

上記上下のリング部材６７３６、６７３７が上方および下方に９０度回転して、垂直状態になった時には、図１５（Ｃ）および図１６図（Ｃ）に示されるように上記中間回転部材６７３８が時計方向に４５度回転駆動されるので、上記中間回転部材６７３８の外周壁に９０度の角度関係で配設された第１および第２の基板反転部６７３が時計方向に４５度回転駆動されるのて、上記複合された円弧軌跡に沿った移動によってそれぞれ４５度および１３５度の状態になる。

上記上下のリング部材６７３６、６７３７が上方および下方に１３５度回転した状態になった時には、図１５（Ｃ）および図１６図（Ｄ）に示されるように上記中間回転部材６７３８が時計方向に１３５度回転駆動されるので、上記中間回転部材６７３８の外周壁に９０度の角度関係で配設された第１および第２の基板反転部６７３が時計方向に６２．５度回転駆動されるのて、上記複合された円弧軌跡に沿った移動によってそれぞれ６２．５度および１５２．５度の状態になる。

上記上下のリング部材６７３６、６７３７が上方および下方に１８０度回転した状態になった時には、図１５（Ｃ）および図１６図（Ｅ）に示されるように上記中間回転部材６７３８が時計方向に１８０度回転駆動されるので、上記中間回転部材６７３８の外周壁に９０度の角度関係で配設された第１および第２の基板反転部６７３が時計方向に９０度回転駆動されるのて、上記複合された円弧軌跡に沿った移動によってそれぞれ９０度および１８０度の状態になる。

本実施例の基板反転部６７および基板支持装置６６は、図８、図１５（Ｅ）、図１６（Ａ）に示されるように垂直面において１８０度の角度関係で２個配設され、上記第１および第２基板搬送機構６１、６２の搬送方向と、該搬送方向に対して直交する幅方向の中間位置に配置された反転機構の２個の基板反転部６７３に連結するとともに、第１基板搬送機構６１の幅方向に延在する第１の基板支持装置６６と第２基板搬送機構６２の搬送方向に延在する第２の基板支持装置６６とが、同一平面において直交するような配置関係にしたので、１８０度基板反転部６７が反転すると、上記複合された一連の円弧軌跡に沿った移動によって第１および第２の基板反転部６７が入れ替わり、次の基板の支持および反転を直ちに行うことが出来るため、図４および図５に示される実施例よりタクトタイムの短縮を可能にするものである。

図１７は、反転機構６５を２つ用いた貼合装置６０の変形例を示す平面図である。当該変形例の変更点としては、（１）反転機構６５が２つであり、（２）第１基板搬送機構６１に基板載置部６１ａが備えられており、（３）第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２が一直線上に配置されている点である。なお、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２が同一方向に向かって配置されている点は同じである。

基板載置部６１ａおよび反転機構６５は、第１基板搬送機構６１における第２基板搬送機構６２側の端部において、上記端部の第１基板搬送機構６１の搬送方向に対して水平な両方向に沿って備えられている。反転機構６５は図４、図１３および図１４にて説明した構造である。また、上記端部には、基板載置部６１ａへ基板５を搬送する搬送手段が備えられており、具体的には、例えば、コンベアーロールを挙げることができる。

基板載置部６１ａは、反転機構６５による基板５の移動前において、基板５が搬送される終点となる場である。当該構造によれば、第１基板搬送機構６１に搬送された基板５は、搬送手段によって２つの基板載置部６１ａに交互に搬送される。基板載置部６１ａおよび反転機構６５は２対ずつ備えられており、２つの反転機構６５に交互に搬送される複数の基板５は、第２基板搬送機構６２に順次移動させられる。

当該変形例では、２つの基板載置部６１ａは第１基板搬送機構６１の水平な両方向に沿ってそれぞれ備えられているため、反転した基板５は、第１基板搬送機構６１の搬送方向に沿って配置されることとなる。したがって、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２を一直線上に配置することが可能である。

当該変形例によれば、（１）反転機構６５が２つ備えられているため、基板５を単位時間当り２倍処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板５の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。（２）さらに、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供できる。特にクリーンルームにおいては面積効率が要求されるため、当該貼合装置は非常に好ましい。

＜その他の付帯的構成＞
さらに、好ましい形態として、製造システム１００は、制御部７０、洗浄部７１、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４を備えている。貼りずれ検査装置７２、貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４は、貼合後の基板５、すなわち、液晶表示装置に対して検査等の処理を行うものである。

図１８は上記液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図であり、図１９は液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。以下、液晶表示装置が備える各部材の説明と共にその動作について説明する。

制御部７０は、反転部６５、洗浄部７１、貼りずれ検査装置７２、貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４と接続されており、これらに制御信号を送信して制御するものである。制御部７０は、主としてＣＰＵ（Central Processing Unit ）により構成され、必要に応じてメモリ等を備える。

製造システム１００に洗浄部７１が備えられている場合、洗浄部７１でのタクトタイムを短縮するため、第１基板搬送機構６１における基板５は、長辺間口にて洗浄部７１に搬送されることが好ましい。通常、洗浄部７１での洗浄は長時間を要するため、タクトタイムを短縮する観点から当該構成は非常に有効である。

次に、偏光フィルムを基板５の両面に貼合する貼合工程を行うが（図１９のＳ２）、本工程については、図１〜図１７を用いて説明した通りである。

貼りずれ検査装置７２は、貼合された基板５における偏光フィルムの貼りずれの有無を検査するものである。貼りずれ検査装置７２は、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール１６・１６ａによって偏光フィルムが貼合された基板５の貼合位置に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板５の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板５に貼りずれの有無を検査することができる（貼りずれ検査工程、図９のＳ３）。なお、貼りずれ検査装置７２としては、従来公知の貼りずれ検査装置を使用可能である。

貼合異物自動検査装置７３は、貼合された基板５における異物の有無を検査するものである。貼合異物自動検査装置７３は、貼りずれ検査装置７２と同様に、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール１６・１６ａによって偏光フィルムが貼合された後の基板５の第２基板搬送機構６２（貼合装置６０）に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板５の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板５に貼合異物の有無を検査することができる（貼合異物検査工程、Ｓ４）。上記異物としては、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。なお、貼合異物自動検査装置７３としては、従来公知の貼合異物検査装置を使用可能である。

Ｓ３およびＳ４は逆の順序でなされてもよいし、同時になされてもよい。また、一方の工程を省略することも可能である。

仕分け搬送装置７４は、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３からの検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定する。仕分け搬送装置７４は、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３から検査結果に基づく出力信号を受信して、貼合された基板５を良品または不良品に仕分けできるものであればよい。したがって、従来公知の仕分け搬送システムを用いることができる。

当該液晶表示装置の製造システムでは好ましい態様として貼りずれおよび異物の両方を検出する構成となっており、貼りずれまたは異物が検査されたと判定された場合（ＹＥＳ）、貼合された基板５は不良品として仕分けされる（Ｓ７）。一方、貼りずれおよび異物のいずれもが検知されなかったと判定された場合（ＮＯ）、貼合された基板５は良品として仕分けされる（Ｓ６）。

仕分け搬送装置７４を備える液晶表示装置の製造システムによれば、良品および不良品の仕分けを速やかに行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。貼りずれ検査装置７２または貼合異物自動検査装置７３のみが備えられている場合、仕分け搬送装置７４は、貼りずれおよび異物の一方のみ有無を判定する構成であってもよい。

さらに本実施例の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムは、上記基板支持装置が、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、回転して反転動作するものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作による円弧軌跡に沿う移動により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿ってオフセットした位置において短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。

また本実施例の偏光フィルムの貼合装置は、上記基板支持装置が、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、反転して反転動作するものであるので、上記基板反転部の上記一回の反転動作による円弧軌跡に沿う移動により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿ってオフセットした位置において短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。

なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲およびその精神に基づいて種々の変更が可能であり、異なる実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明に係る偏光フィルムの貼合装置は、偏光フィルムを基板に貼合する分野にて利用可能である。

１ 第１巻出部
１ａ 第２巻出部
２ 第１巻取部
２ａ 第２巻取部
３ ハーフカッター
４ ナイフエッジ
５・５' 基板
５ａ 偏光フィルム
５ｂ 剥離フィルム
６・６ａ ニップロール（第１貼合部）
７・７ａ 欠点フィルム巻取ローラー
１１ 第１巻出部
１１ａ 第２巻出部
１２ 第１巻取部
１２ａ 第２巻取部
１３ ハーフカッター
１４ ナイフエッジ
１６・１６ａ ニップロール（第２貼合部）
１７・１７ａ 欠点フィルム巻取ローラー
４０ ＨＥＰＡフィルター
４１ グレーチング
５０ フィルム搬送機構
５１ 第１フィルム搬送機構
５２ 第２フィルム搬送機構
６０ 貼合装置（偏光フィルムの貼合装置）
６１ 第１基板搬送機構
６１ａ 基板載置部
６２ 第２基板搬送機構
６５ 反転機構
６６ 基板支持装置
６６Ｓ 吸着部
６７ 第１基板反転部（基板反転部）
６８ 第２基板反転部（基板反転部）
６９ 曲線
７０ 制御部
７１ 洗浄部
７２ 貼りずれ検査装置
７３ 貼合異物自動検査装置
７４ 仕分け搬送装置
１００ 製造システム（液晶表示装置の製造システム）

Claims (22)

1. 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
   上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、
   上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第２基板搬送機構に配置する反転機構と、
   上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、
   上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルム貼合装置であって、
   上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されており、
   上記反転機構は上記基板を吸着する吸着部と、
   上記吸着部に連結されており、基板を反転させる基板反転部とを備えており、 上記基板反転部は、第１基板搬送機構における基板を、（１）曲線を描くように、（２）反転させながら、（３）第１基板搬送機構の搬送方向に沿った長辺または短辺が搬送方向に対して直交する方向に沿うように、第２基板搬送機構に配置することを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
2. 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
   上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、
   上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持装置と、
   上記基板支持部に連結して該基板支持部に支持された基板を反転させて配置する基板反転部を備えた反転機構と、
   上記反転機構によって反転させるとともに短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて配置された上記基板を搬送する第２基板搬送機構と、
   上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルム貼合装置であって、
   上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは同一方向に向かって配置されており、
   上記反転機構は、上記基板の表面が裏面になるように基板反転部を反転させる反転軸および上記第１基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向から上記第２基板搬送機構において搬送される上記基板の配置方向に配置変更部によって変更される配置変更軸回りに一定角度範囲で回転させることにより、上記第１基板搬送機構において搬送された上記基板を円弧軌跡を描いて反転させるとともに、上記第２基板搬送機構における基板の搬送方向に沿うように配置を変更して、上記第２基板搬送機構に対して配置されるように構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
3. 請求項２において、
   前記反転機構は、前記基板反転部が前記配置変更部に回転可能に配設された前記反転軸を備える反転軸部に連結して、回転駆動源によってそれぞれ回転駆動されるように構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
4. 請求項２において、
   前記反転機構は、前記配置変更部が前記反転軸を備える反転軸部に連結した前記基板反転部に相対回転可能に配設され、回転駆動源によってそれぞれ回転駆動されるように構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
5. 請求項２ないし請求項４のいずれかにおいて、
   上記基板支持装置の上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の両面を挟着して支持する複数の支持部材によって構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
6. 請求項２ないし請求項４のいずれかにおいて、
   上記基板支持装置の上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の表面を吸着する吸着部を備えた吸着部材によって構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
7. 請求項３または請求項４において、
   上記基板支持装置が、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板を、挟着することによって支持するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板を、挟着による支持を解除して、上記第２基板搬送機構の端部に載置するように構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
8. 請求項３または請求項４において、
   上記第１基板搬送機構の端部が、幅方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第２基板搬送機構の端部が、搬送方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に反転した上記第１および第２の支持部材を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
9. 請求項８において、
   上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた第１および第２の櫛状部材が、一部を支点として一定角度範囲において揺動するように構成されている
   ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
10. 請求項９において、
    上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、揺動駆動機構によって揺動駆動されるように構成されている
    ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
11. 請求項１０において、
    上記揺動駆動機構は、上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動する第１の揺動駆動機構と、第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動される第２の揺動駆動機構とから成る
    ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
12. 請求項８において、
    上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、一方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成されている
    ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
13. 請求項１２において、
    上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、直線的駆動機構によって駆動され、往復動するように構成されている
    ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
14. 請求項１または請求項２において、
    上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構が一直線上に配置されており、
    
    第１基板搬送機構における第２基板搬送機構側の端部において、第１基板搬送機構の搬送方向に対して水平な両方向に沿って、基板載置部および上記反転機構が２対ずつ備えられ、
    上記端部には、上記端部から上記基板載置部へ基板を搬送する搬送手段が備えられており、
    上記反転機構は上記基板載置部のそれぞれに搬送された基板を反転させて第２基板搬送機構に配置することを特徴とする請求項１に記載の偏光フィルムの貼合装置。
15. 請求項１、請求項２または請求項１４のいずれかにおいて、
    偏光フィルムを搬送する第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構が備えられており、
    上記第１フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、
    上記第２フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、
    上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は上記第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構の上部に備えられており、
    上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第１貼合部が上記第１フィルム搬送機構と第１基板搬送機構との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第２貼合部が上記第２フィルム搬送機構と第２基板搬送機構との間にそれぞれ備えられていることを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
16. 請求項１、請求項２、請求項１４または請求項１５のいずれかにおいて、
    上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、
    上記第１基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
17. 請求項１５において、
    上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構には、第１巻出部から巻出
    された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、
    上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、
    基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
18. 請求項１、請求項２、請求項１４ないし請求項１７のいずれかに記載の偏光フィルムの貼合装置と、
    上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
19. 請求項１８において、
    上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
20. 請求項１、請求項２、請求項１４ないし請求項１７のいずれかに記載の偏光フィルムの貼合装置と、
    上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
21. 請求項２０において、
    上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
22. 請求項１８において、
    上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、
    上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。

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