JP2011232303A - 画像検査方法及び画像検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】当初の基準空間を使用した検査の結果(S31〜S35)、不良と判定された被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、電子計算機は、その評価によって誤判定であると評価された不良判定画像である誤判定画像を記憶装置に記憶させる(S37)。その記憶装置に記憶された誤判定画像の数量Nが、所定量N0に達しか否かを判定する(S38)。所定量N0に達した場合は(S38、Yes)、記憶装置から誤判定画像を読み出す(S39)。読み出した誤判定画像を当初の基準画像の群に加えて、基準空間を再度作成する(S40)。
【選択図】図7
Description
外観が正常な状態にある複数の正常製品の画像をそれぞれ基準画像として取得する基準画像取得ステップと、
その基準画像取得ステップで取得した各基準画像から所定の特徴量を抽出する抽出ステップと、
その抽出ステップで抽出した前記特徴量に基づいて、各基準画像のマハラノビス距離からなる基準空間を作成する作成ステップと、
その作成ステップで作成した前記基準空間のマハラノビス距離に基づいて、前記被検査製品の画像の良否判定の基準となる閾値を決定する閾値決定ステップと、
前記被検査製品の画像のマハラノビス距離を算出して、そのマハラノビス距離と前記閾値とを比較することで、前記被検査製品の画像の良否判定をする検査実施ステップと、
その検査実施ステップで不良と判定された前記被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、その評価によって、誤判定であると評価された前記不良判定画像である誤判定画像を取得する誤判定画像取得ステップと、
前記基準画像取得ステップで取得した前記基準画像の群に前記誤判定画像を加えて、前記基準空間を再度作成する再作成ステップと、を含むことを特徴とする。
その記憶ステップで前記記憶手段に記憶された前記誤判定画像の数量が所定量に達したか否かを判定する数量判定ステップと、を含み、
前記誤判定画像取得ステップは、前記数量判定ステップで前記誤判定画像の数量が前記所定量に達したと判定した場合に、前記記憶手段から前記誤判定画像を読み出す形で、前記誤判定画像を取得するステップである。
外観が正常な状態にある複数の正常製品の画像をそれぞれ基準画像として取得する基準画像取得手段と、
その基準画像取得手段が取得した各基準画像から所定の特徴量を抽出する抽出手段と、
その抽出手段が抽出した前記特徴量に基づいて、各基準画像のマハラノビス距離からなる基準空間を作成する作成手段と、
その作成手段が作成した前記基準空間のマハラノビス距離に基づいて、前記被検査製品の画像の良否判定の基準となる閾値を決定する閾値決定手段と、
前記被検査製品の画像のマハラノビス距離を算出して、そのマハラノビス距離と前記閾値とを比較することで、前記被検査製品の画像の良否判定をする検査実施手段と、
その検査実施手段によって不良と判定された前記被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、その評価によって、誤判定であると評価された前記不良判定画像である誤判定画像を取得する誤判定画像取得手段と、
前記基準画像取得手段が取得した前記基準画像の群に前記誤判定画像を加えて、前記基準空間を再度作成する再作成手段と、を含むことを特徴とする。
12 カメラ
13 照明
14 電子計算機
15 表示装置
16 記憶装置
20 ワーク
Claims (3)
- コンピュータによって処理される、被検査製品の画像の良否検査を行う画像検査方法であって、
外観が正常な状態にある複数の正常製品の画像をそれぞれ基準画像として取得する基準画像取得ステップと、
その基準画像取得ステップで取得した各基準画像から所定の特徴量を抽出する抽出ステップと、
その抽出ステップで抽出した前記特徴量に基づいて、各基準画像のマハラノビス距離からなる基準空間を作成する作成ステップと、
その作成ステップで作成した前記基準空間のマハラノビス距離に基づいて、前記被検査製品の画像の良否判定の基準となる閾値を決定する閾値決定ステップと、
前記被検査製品の画像のマハラノビス距離を算出して、そのマハラノビス距離と前記閾値とを比較することで、前記被検査製品の画像の良否判定をする検査実施ステップと、
その検査実施ステップで不良と判定された前記被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、その評価によって、誤判定であると評価された前記不良判定画像である誤判定画像を取得する誤判定画像取得ステップと、
前記基準画像取得ステップで取得した前記基準画像の群に前記誤判定画像を加えて、前記基準空間を再度作成する再作成ステップと、を含むことを特徴とする画像検査方法。 - 前記誤判定画像取得ステップの前に実行される、前記誤判定画像を記憶手段に記憶させる記憶ステップと、
その記憶ステップで前記記憶手段に記憶された前記誤判定画像の数量が所定量に達したか否かを判定する数量判定ステップと、を含み、
前記誤判定画像取得ステップは、前記数量判定ステップで前記誤判定画像の数量が前記所定量に達したと判定した場合に、前記記憶手段から前記誤判定画像を読み出す形で、前記誤判定画像を取得するステップであることを特徴とする請求項1に記載の画像検査方法。 - 被検査製品の画像の良否検査を行う画像検査装置であって、
外観が正常な状態にある複数の正常製品の画像をそれぞれ基準画像として取得する基準画像取得手段と、
その基準画像取得手段が取得した各基準画像から所定の特徴量を抽出する抽出手段と、
その抽出手段が抽出した前記特徴量に基づいて、各基準画像のマハラノビス距離からなる基準空間を作成する作成手段と、
その作成手段が作成した前記基準空間のマハラノビス距離に基づいて、前記被検査製品の画像の良否判定の基準となる閾値を決定する閾値決定手段と、
前記被検査製品の画像のマハラノビス距離を算出して、そのマハラノビス距離と前記閾値とを比較することで、前記被検査製品の画像の良否判定をする検査実施手段と、
その検査実施手段によって不良と判定された前記被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、その評価によって、誤判定であると評価された前記不良判定画像である誤判定画像を取得する誤判定画像取得手段と、
前記基準画像取得手段が取得した前記基準画像の群に前記誤判定画像を加えて、前記基準空間を再度作成する再作成手段と、を含むことを特徴とする画像検査装置。
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JP2010105594A JP2011232303A (ja) | 2010-04-30 | 2010-04-30 | 画像検査方法及び画像検査装置 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048073A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 撮像条件最適化方法および撮像条件最適化システム |
WO2017017722A1 (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | オリンパス株式会社 | 処理装置、処理方法及びプログラム |
JP2018112470A (ja) * | 2017-01-11 | 2018-07-19 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システムおよび検査方法 |
JP2019039727A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 富士通株式会社 | 画像検査装置、画像検査方法および画像検査プログラム |
JP2019095932A (ja) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 日本製鉄株式会社 | 異常判定方法及び装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004038885A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Adoin Kenkyusho:Kk | 画像特徴学習型欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム |
JP2005003473A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 溶接痕の外観検査方法 |
JP2008051781A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | I-Pulse Co Ltd | 基板の外観検査方法および装置 |
-
2010
- 2010-04-30 JP JP2010105594A patent/JP2011232303A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004038885A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Adoin Kenkyusho:Kk | 画像特徴学習型欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム |
JP2005003473A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 溶接痕の外観検査方法 |
JP2008051781A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | I-Pulse Co Ltd | 基板の外観検査方法および装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048073A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 撮像条件最適化方法および撮像条件最適化システム |
WO2017017722A1 (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | オリンパス株式会社 | 処理装置、処理方法及びプログラム |
US10395092B2 (en) | 2015-07-24 | 2019-08-27 | Olympus Corporation | Processing device, processing method, and information storage device |
JP2018112470A (ja) * | 2017-01-11 | 2018-07-19 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システムおよび検査方法 |
JP2019039727A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 富士通株式会社 | 画像検査装置、画像検査方法および画像検査プログラム |
JP2019095932A (ja) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 日本製鉄株式会社 | 異常判定方法及び装置 |
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