JP2011232032A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011232032A5 JP2011232032A5 JP2010099600A JP2010099600A JP2011232032A5 JP 2011232032 A5 JP2011232032 A5 JP 2011232032A5 JP 2010099600 A JP2010099600 A JP 2010099600A JP 2010099600 A JP2010099600 A JP 2010099600A JP 2011232032 A5 JP2011232032 A5 JP 2011232032A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- order diffracted
- diffracted light
- vph diffraction
- spectroscopic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
本発明の第1の態様は、入射光を回折するVPH回折格子を含み、前記VPH回折格子で生じる0次回折光を、前記VPH回折格子または他のVPH回折格子に入射させることを特徴とする分光装置を提供する。
本発明の第2の態様は、少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、第2のVPH回折格子に入射させる分光装置を提供する。
本発明の第2の態様は、少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、第2のVPH回折格子に入射させる分光装置を提供する。
本発明の第3の態様は、第2の態様に記載の分光装置において、前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置を提供する。
本発明の第4の態様は、第3の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、一致する分光装置を提供する。
本発明の第5の態様は、第3の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。
本発明の第6の態様は、第3の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子の波長分散面と、第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、波長分散面上で、平行である分光装置を提供する。
本発明の第7の態様は、第3の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子の波長分散面と、第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。
本発明の第8の態様は、第4の態様乃至第7の態様のいずれか1つに記載の分光装置において、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい分光装置を提供する。
本発明の第9の態様は、第4の態様乃至第7の態様のいずれか1つに記載の分光装置において、第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい分光装置を提供する。
本発明の第10の態様は、第2の態様乃至第9の態様のいずれか1つに記載の分光装置において、さらに、少なくとも第1のVPH回折格子からの1次回折光と第2のVPH回折格子からの1次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された1次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。
本発明の第11の態様は、第10の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子からの1次回折光と、第2のVPH回折格子からの1次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。
本発明の第12の態様は、第11の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、第1のVPH回折格子からの1次回折光と、第2のVPH回折格子からの1次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。
本発明の第13の態様は、第12の態様に記載の分光装置において、第1のVPH回折格子の格子定数と、第2のVPH回折格子の格子定数は、異なり、第1のVPH回折格子からの1次回折光と、第2のVPH回折格子からの1次回折光は、一つの集光レンズに入射する分光装置を提供する。
本発明の第14の態様は、第12の態様に記載の分光装置において、集光レンズは、第1のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第1の集光レンズと、第2のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第2の集光レンズと、を含み、第1の集光レンズの光軸は、第1のVPH回折格子の入射面の法線と平行であり、第2の集光レンズの光軸は、第
2のVPH回折格子の入射面の法線と平行である分光装置を提供する。
2のVPH回折格子の入射面の法線と平行である分光装置を提供する。
本発明の第15の態様は、第10の態様乃至第14の態様のいずれか1つに記載の分光装置において、さらに、1次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、光路切換え手段による光路の切換えにより、検出器上での1次回折光の波長分散量が変化する分光装置を提供する。
本発明の第16の態様は、入射光を回折する一つのVPH回折格子を含み、VPH回折格子で生じる0次回折光を、VPH回折格子に入射させる分光装置を提供する。
本発明の第17の態様は、第16の態様に記載の分光装置において、VPH回折格子に入射する入射光の入射角と、VPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なる分光装置を提供する。
本発明の第18の態様は、第17の態様に記載の分光装置において、さらに、VPH回折格子からの1次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された1次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。
本発明の第19の態様は、第18の態様に記載の分光装置において、入射光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光と、0次回折光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。
本発明の第20の態様は、第19の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光と、0次回折光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。
本発明の第21の態様は、第18の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光と、0次回折光の入射によりVPH回折格子で生じる1次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される受光素子に入射する分光装置を提供する。
Claims (21)
- 入射光を回折するVPH回折格子を含み、
前記VPH回折格子で生じる0次回折光を、前記VPH回折格子または他のVPH回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。 - 請求項2に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。 - 請求項3に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、一致することを特徴とする分光装置。 - 請求項3に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。 - 請求項3に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子の波長分散面と、前記第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、前記波長分散面上で、平行であることを特徴とする分光装置。 - 請求項3に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子の波長分散面と、前記第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。 - 請求項4乃至請求項7のいずれか1項に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しいことを特徴とする分光装置。 - 請求項4乃至請求項7のいずれか1項に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、特定の波長で等しいことを特徴とする分光装置。 - 請求項2乃至請求項9のいずれか1項に記載の分光装置において、さらに、
少なくとも前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と前記第2のVPH回折格子からの1次回折光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記1次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。 - 請求項10に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、前記波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。 - 請求項11に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。 - 請求項12に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子の格子定数と、前記第2のVPH回折格子の格子定数は、異なり、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、一つの前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。 - 請求項12に記載の分光装置において、
前記集光レンズは、前記第1のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第1の集光レンズと、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第2の集光レンズと、
を含み、
前記第1の集光レンズの光軸は、前記第1のVPH回折格子の入射面の法線と平行であり、
前記第2の集光レンズの光軸は、前記第2のVPH回折格子の入射面の法線と平行であることを特徴とする分光装置。 - 請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の分光装置において、さらに、
前記1次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、
前記光路切換え手段による光路の切換えにより、前記検出器上での前記1次回折光の波長分散量が変化することを特徴とする分光装置。 - 入射光を回折する一つのVPH回折格子を含み、
前記VPH回折格子で生じる0次回折光を、前記VPH回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。 - 請求項16に記載の分光装置において、
前記VPH回折格子に入射する前記入射光の入射角と、前記VPH回折格子に入射する前記0次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。 - 請求項17に記載の分光装置において、さらに、
前記VPH回折格子からの1次回折光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記1次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。 - 請求項18に記載の分光装置において、
前記入射光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光と、前記0次回折光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。 - 請求項19に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記入射光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光と、前記0次回折光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。 - 請求項18に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記入射光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光と、前記0次回折光の入射により前記VPH回折格子で生じる1次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010099600A JP5567887B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010099600A JP5567887B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 分光装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014016864A Division JP5731031B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 分光装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011232032A JP2011232032A (ja) | 2011-11-17 |
JP2011232032A5 true JP2011232032A5 (ja) | 2013-05-23 |
JP5567887B2 JP5567887B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=45321514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010099600A Expired - Fee Related JP5567887B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5567887B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5988691B2 (ja) | 2012-05-18 | 2016-09-07 | オリンパス株式会社 | 分光装置、及び、それを備えた共焦点走査型顕微鏡 |
US9291501B2 (en) * | 2012-07-26 | 2016-03-22 | Raytheon Company | High efficiency multi-channel spectrometer |
JP6166049B2 (ja) * | 2013-01-25 | 2017-07-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置および光検出方法 |
EP2951544A4 (en) * | 2013-02-01 | 2016-11-16 | Tornado Spectral Systems Inc | DISPERSIVE SPECTROMETER WITH ULTRA LARGE BAND WITH SEVERAL BACKS |
JP6168968B2 (ja) * | 2013-11-14 | 2017-07-26 | オリンパス株式会社 | 分光装置、及び、それを備えた共焦点走査型顕微鏡 |
DE112014007080B4 (de) * | 2014-12-22 | 2021-09-09 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Gitterspektrometer mit umschaltbarem Lichtweg |
CZ2018346A3 (cs) * | 2018-07-11 | 2019-10-16 | Univerzita PalackĂ©ho v Olomouci | Zobrazovací spektrograf využívající nultý spektrální řád difrakční mřížky |
US12055437B2 (en) * | 2019-08-23 | 2024-08-06 | Answeray Inc. | Spectrometer and imaging device |
CN110646089A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-03 | 安吉九恒健康科技有限公司 | 一种基于体布拉格光栅的高光谱成像*** |
EP4414671A1 (en) * | 2023-02-07 | 2024-08-14 | Hitachi High-Tech Analytical Science GmbH | An optical spectrometer assembly |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2519427A1 (fr) * | 1982-01-04 | 1983-07-08 | Instruments Sa | Dispositif de spectrometrie |
WO2004008089A1 (en) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | River Diagnostics B.V. | Optical spectrometer |
DE102006017705B4 (de) * | 2006-04-15 | 2010-01-07 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter und Laserscanning-Mikroskop |
JP5205242B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器の製造方法 |
-
2010
- 2010-04-23 JP JP2010099600A patent/JP5567887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011232032A5 (ja) | ||
JP6218338B2 (ja) | 光ビームのスペクトルを分析するための分光計 | |
JP5724213B2 (ja) | 検出装置 | |
WO2018118984A1 (en) | Ultra-compact, aberration corrected, visible chiral spectrometer with meta-lenses | |
US8508731B2 (en) | Spectrometer capable of eliminating side-tail effects | |
JP2011257583A5 (ja) | ||
RU2013143824A (ru) | Устройство измерения оптических характеристик и способ измерения оптических характеристик | |
WO2016039690A1 (en) | Light sensor modules and spectrometers including an optical grating structure | |
JP2012127901A (ja) | 分光検出装置 | |
JP2011187733A5 (ja) | 光学装置、デバイス製造方法およびブレーズ型回折格子 | |
WO2008027930A3 (en) | Spectroscope with spatial resolution control | |
WO2011137316A3 (en) | Broad band czerny-turner spectrometer, methods, and applications | |
KR102287914B1 (ko) | 분광기 및 이미징 장치 | |
DK2929307T3 (en) | SPECTROMETER FOR ANALYZING A SPECTRUM SPECTRUM | |
JP2014170109A5 (ja) | ||
JP6097412B2 (ja) | 光学装置 | |
JP2009121986A (ja) | 分光装置 | |
JP2010026065A (ja) | 分光装置 | |
WO2008106016A3 (en) | Prism spectrometer with moveable detector element and with collimated input light | |
WO2017212522A1 (ja) | 回折格子及び分光装置 | |
CN110375856B (zh) | 基于分波前双闪耀平面反射光栅的光谱成像***及方法 | |
JP2013113583A5 (ja) | ||
WO2003058182A1 (fr) | Spectroscope | |
JP5900248B2 (ja) | 分光光度計 | |
JP2017150981A (ja) | 分光装置 |