JP2011232032A5 - - Google Patents

Description

本発明の第１の態様は、入射光を回折するＶＰＨ回折格子を含み、前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子または他のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置を提供する。
本発明の第２の態様は、少なくとも第１のＶＰＨ回折格子と第２のＶＰＨ回折格子とを含み、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、第２のＶＰＨ回折格子に入射させる分光装置を提供する。

本発明の第３の態様は、第２の態様に記載の分光装置において、前記第１のＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置を提供する。

本発明の第４の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、一致する分光装置を提供する。

本発明の第５の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。

本発明の第６の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、波長分散面上で、平行である分光装置を提供する。

本発明の第７の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。

本発明の第８の態様は、第４の態様乃至第７の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい分光装置を提供する。

本発明の第９の態様は、第４の態様乃至第７の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい分光装置を提供する。

本発明の第１０の態様は、第２の態様乃至第９の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、さらに、少なくとも第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された１次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。

本発明の第１１の態様は、第１０の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。

本発明の第１２の態様は、第１１の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。

本発明の第１３の態様は、第１２の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の格子定数と、第２のＶＰＨ回折格子の格子定数は、異なり、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、一つの集光レンズに入射する分光装置を提供する。

本発明の第１４の態様は、第１２の態様に記載の分光装置において、集光レンズは、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第１の集光レンズと、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第２の集光レンズと、を含み、第１の集光レンズの光軸は、第１のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であり、第２の集光レンズの光軸は、第
２のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行である分光装置を提供する。

本発明の第１５の態様は、第１０の態様乃至第１４の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、さらに、１次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、光路切換え手段による光路の切換えにより、検出器上での１次回折光の波長分散量が変化する分光装置を提供する。

本発明の第１６の態様は、入射光を回折する一つのＶＰＨ回折格子を含み、ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、ＶＰＨ回折格子に入射させる分光装置を提供する。

本発明の第１７の態様は、第１６の態様に記載の分光装置において、ＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、ＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なる分光装置を提供する。

本発明の第１８の態様は、第１７の態様に記載の分光装置において、さらに、ＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された１次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。

本発明の第１９の態様は、第１８の態様に記載の分光装置において、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。

本発明の第２０の態様は、第１９の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。

本発明の第２１の態様は、第１８の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される受光素子に入射する分光装置を提供する。

Claims (21)

1. 入射光を回折するＶＰＨ回折格子を含み、
   前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子または他のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
2. 少なくとも第１のＶＰＨ回折格子と第２のＶＰＨ回折格子とを含み、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
3. 請求項２に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。
4. 請求項３に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、一致することを特徴とする分光装置。
5. 請求項３に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。
6. 請求項３に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、前記第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、前記波長分散面上で、平行であることを特徴とする分光装置。
7. 請求項３に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、前記第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。
8. 請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、波長毎に略等しいことを特徴とする分光装置。
9. 請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の分光装置において、
   前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、特定の波長で等しいことを特徴とする分光装置。
10. 請求項２乃至請求項９のいずれか１項に記載の分光装置において、さらに、
    少なくとも前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、
    前記集光レンズで集光された前記１次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。
11. 請求項１０に記載の分光装置において、
    前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、前記波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
12. 請求項１１に記載の分光装置において、
    前記検出器は、複数の受光素子を含み、
    前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
13. 請求項１２に記載の分光装置において、
    前記第１のＶＰＨ回折格子の格子定数と、前記第２のＶＰＨ回折格子の格子定数は、異なり、
    前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、一つの前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
14. 請求項１２に記載の分光装置において、
    前記集光レンズは、前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第１の集光レンズと、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第２の集光レンズと、
    を含み、
    前記第１の集光レンズの光軸は、前記第１のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であり、
    前記第２の集光レンズの光軸は、前記第２のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であることを特徴とする分光装置。
15. 請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載の分光装置において、さらに、
    前記１次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、
    前記光路切換え手段による光路の切換えにより、前記検出器上での前記１次回折光の波長分散量が変化することを特徴とする分光装置。
16. 入射光を回折する一つのＶＰＨ回折格子を含み、
    前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
17. 請求項１６に記載の分光装置において、
    前記ＶＰＨ回折格子に入射する前記入射光の入射角と、前記ＶＰＨ回折格子に入射する前記０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。
18. 請求項１７に記載の分光装置において、さらに、
    前記ＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、
    前記集光レンズで集光された前記１次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。
19. 請求項１８に記載の分光装置において、
    前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
20. 請求項１９に記載の分光装置において、
    前記検出器は、複数の受光素子を含み、
    前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
21. 請求項１８に記載の分光装置において、
    前記検出器は、複数の受光素子を含み、
    前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。