JP2011220949A - Imaging inspection system and imaging inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査対象の端部の位置を検出することができる撮影検査システムおよび撮影検査方法に関する。 The present invention relates to an imaging inspection system and an imaging inspection method that can detect the position of an end of an inspection target.
光透過性を有するシート状のプラスチックや紙、金属、布など（以下、ワークという。）の品質検査を行う場合に、一般に、光源からワークに光を照射し、撮像装置がワークを透過した光にもとづく画像を形成し、形成された画像にもとづいて検査が行われる。 When performing quality inspections of sheet-like plastic, paper, metal, cloth, etc. (hereinafter referred to as workpieces) that have optical transparency, light that is generally irradiated from the light source to the workpiece and the imaging device has passed through the workpiece. An image based on the image is formed, and an inspection is performed based on the formed image.
特許文献１には、撮像装置が偏光フィルタを介してワークを撮影した画像にもとづいて、ワークに設けられた貫通穴の大きさおよび形状を検査する装置が記載されている。 Patent Document 1 describes an apparatus that inspects the size and shape of a through-hole provided in a workpiece based on an image obtained by imaging the workpiece through a polarizing filter.
ワークに異物等が付着しているか否か等の品質検査に加えて、ワークの大きさが規定に合致しているか否か等の検査を行うために、ワークの端部の位置を正確に検出することが求められている。また、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うためにも、ワークの端部の位置を正確に検出することが求められている。しかし、ワークの端部の位置を検出する場合には、以下のような問題がある。 In addition to quality inspections, such as whether foreign matter is attached to the workpiece, the end position of the workpiece is accurately detected in order to check whether the size of the workpiece conforms to the regulations. It is requested to do. Further, in order to inspect whether or not a mark or an embedded object printed in advance on a workpiece is in a predetermined position, it is required to accurately detect the position of the end portion of the workpiece. However, there are the following problems when detecting the position of the end of the workpiece.
光源は所定の範囲を照射する光を発するので、光源がワークの端部を照射するように設置され、撮像装置が光源によって照射されたワークの端部を撮影する場合に、光源によって発せられた光がワークの外側を通過して直接撮像装置に入射し、撮像装置の画素の画素値が撮影可能な輝度の最大値を超えてしまう画素値の飽和という現象が生じる。 Since the light source emits light that irradiates a predetermined range, the light source is installed so as to illuminate the end of the work, and the light source is emitted when the imaging device photographs the end of the work irradiated by the light source. A phenomenon of saturation of the pixel value occurs in which the light passes directly outside the workpiece and directly enters the imaging device, and the pixel value of the pixel of the imaging device exceeds the maximum luminance value that can be photographed.
図９は、ワークの端部を撮影する撮像装置の画素の例を示す説明図である。図９に示すように、撮像装置の受光素子の大きさや、撮像装置を構成するレンズの収差、光の回析等を考慮すると、撮像装置によって撮影される画像の１画素に対応する範囲（図９において白丸で示される範囲）は一定の面積を有し、ワーク内の領域とワーク外の領域とを含む範囲である。 FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an example of a pixel of an imaging device that photographs an end portion of a workpiece. As shown in FIG. 9, in consideration of the size of the light receiving element of the image pickup device, the aberration of the lenses constituting the image pickup device, the diffraction of light, and the like, a range corresponding to one pixel of an image taken by the image pickup device (see FIG. 9). 9 is a range having a certain area and including a region inside the workpiece and a region outside the workpiece.
撮像装置がワークの端部を撮影する場合に、光源によって発せられてワークの外側を通過した光、つまり、ワークによって減衰されていない光が、直接１画素の範囲の一部（上述したワーク外の領域）に入射する。すると、当該画素の画素値が飽和するという問題が生じる。そのような問題は、微細なルーバー（Ｌｏｕｖｅｒ）が並べられたライトコントロールフィルムなどのプラスチックフィルムを用いて、光源によって発せられた光の拡散を防ぎ、撮像装置への直接光の入射を防ぐ方法を採用した場合にも生じる。 When the imaging device captures the edge of the workpiece, the light emitted by the light source and passed through the outside of the workpiece, that is, the light not attenuated by the workpiece is directly part of the range of one pixel (the above-mentioned outside of the workpiece). The incident area). Then, there arises a problem that the pixel value of the pixel is saturated. Such a problem is that a plastic film such as a light control film in which fine louvers are arranged is used to prevent diffusion of light emitted by a light source and prevent direct light from entering an imaging device. It also occurs when it is adopted.
図１０は、光源によって発せられてワークの外側を通過した光が直接撮像装置に入射した場合の撮影画像の例を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、光源によって発せられてワークの外側を通過した光が直接撮像装置の１画素の領域の一部に入射した場合に、ワークの端部に対応する画素の画素値が飽和し、撮像装置によって撮影された画像にもとづいてワークの端部の位置を正確に検出できないという問題がある。 FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an example of a captured image in a case where light emitted from the light source and passed through the outside of the work is directly incident on the imaging apparatus. As shown in FIG. 10A, when the light emitted from the light source and passed through the outside of the work is directly incident on a part of one pixel area of the imaging device, the pixel of the pixel corresponding to the end of the work There is a problem that the value is saturated and the position of the end portion of the workpiece cannot be accurately detected based on the image photographed by the imaging device.
また、ワークの端部に対応する画素の画素値の飽和を防ぐために、単に光源の照度を低下させた場合には、図１０（ｂ）に示すように、光源によって発せられた光がワークを透過しないので、ワークを透過した光にもとづいてワークに付着した異物の検出等をすることができないという問題が生じる。また、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うことができないという問題が生じる。 In addition, when the illuminance of the light source is simply decreased to prevent saturation of the pixel value of the pixel corresponding to the edge of the work, as shown in FIG. Since it does not transmit, the problem that the foreign material adhering to a workpiece | work cannot be detected based on the light which permeate | transmitted the workpiece | work arises. Further, there arises a problem that it is impossible to inspect whether or not a mark printed on the workpiece in advance or an embedded object is at a predetermined position.
特許文献１に記載されている装置は、光源によって発せられた光が撮影対象の外側を通過して撮像装置に入射する場合を想定しておらず、撮影対象の端部の位置を正確に検出することができない。 The device described in Patent Document 1 does not assume the case where light emitted from a light source passes through the outside of an imaging target and enters the imaging device, and accurately detects the position of the end of the imaging target. Can not do it.
そこで、本発明は、検査対象の端部の位置を正確に検出することができる撮影検査システムおよび撮影検査方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide an imaging inspection system and an imaging inspection method that can accurately detect the position of the end of the inspection object.
本発明による撮影検査システムは、シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、照射部と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる照射側偏光部と、検査対象の表面と撮影部との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる撮影側偏光部と、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、照射側偏光部は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射することを特徴とする。 An imaging / inspection system according to the present invention is an imaging / inspection system including an imaging unit that images the surface of a sheet-like inspection object, and is provided on the back side of the inspection object and irradiates light toward the position where the inspection object exists. An irradiation unit that is provided between the irradiation unit and the position where the inspection target exists, and that passes only light that vibrates in a specific direction out of the light from the irradiation unit toward the inspection target, and the inspection target An imaging-side polarization unit that is installed between the surface and the imaging unit and passes only light that vibrates in a direction orthogonal to a specific direction, and detects the position of the end of the inspection object based on the image captured by the imaging unit The irradiation-side polarization unit emits passing light to a back surface of the inspection target and a predetermined area outside the side end of the inspection target.
本発明による他の態様の撮影検査システムは、シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、検査対象に向かう照射部からの光の光量を減らす減光部と、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、減光部は、少なくとも検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らすことを特徴とする。 Another aspect of the imaging inspection system according to the present invention is an imaging inspection system that includes an imaging unit that images the surface of a sheet-like inspection object, and is provided on the back side of the inspection object and directed toward the position where the inspection object exists. An irradiation unit that irradiates light, a dimming unit that reduces the amount of light from the irradiation unit toward the inspection object, and an image processing unit that detects the position of the end of the inspection object based on the image captured by the imaging unit The light reduction unit reduces the amount of light directed to a region including at least the side end portion of the inspection target and a predetermined region outside the region.
本発明によれば、検査対象の外側を通過した光によって画素値が飽和することを防ぎ、撮影部が検査対象の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理部は、撮影部によって撮影された画像にもとづいて検査対象の端部の位置を正確に検出することができる。従って、検査対象の大きさを容易に算出することが可能になる。 According to the present invention, it is possible to prevent the pixel value from being saturated with light that has passed outside the inspection target, and the imaging unit can accurately image the end of the inspection target. The image processing unit can accurately detect the position of the end portion to be inspected based on the image photographed by the photographing unit. Therefore, the size of the inspection object can be easily calculated.
本発明による撮影検査システムの実施形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明による撮影検査システムの実施形態の構成例を示す説明図である。 An embodiment of an imaging inspection system according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration example of an embodiment of the imaging inspection system according to the present invention.
図１に示すように、本発明による撮影検査システムは、偏光板３ａ，３ｂおよび画像処理装置６を含む。 As shown in FIG. 1, the imaging inspection system according to the present invention includes polarizing plates 3 a and 3 b and an image processing device 6.
偏光板３ａは、検査対象である光透過性を有するシート状のワーク５を搬送するベルトコンベア１ａとベルトコンベア１ｂとの間に設置された光源２の上方であって、ワーク５の搬送経路の下方に設置される。つまり、ベルトコンベア１ａ，１ｂによって搬送中のワーク５は、偏光板３ａを介して光源２によって照射される。また、偏光板３ｂは、光源２、偏光板３ａ、およびワーク５の搬送経路の上方であって、ワーク５を撮影する撮像装置４の下方に設置される。つまり、撮像装置４は、光源２によって照射されたワーク５を偏光板３ｂを介して撮影する。画像処理装置６は、撮像装置４に接続されている。 The polarizing plate 3a is above the light source 2 installed between the belt conveyor 1a and the belt conveyor 1b that conveys the sheet-like workpiece 5 having optical transparency to be inspected. Installed below. That is, the workpiece 5 being conveyed by the belt conveyors 1a and 1b is irradiated by the light source 2 through the polarizing plate 3a. Further, the polarizing plate 3 b is installed above the light source 2, the polarizing plate 3 a, and the conveyance path of the workpiece 5 and below the imaging device 4 that photographs the workpiece 5. That is, the imaging device 4 images the workpiece 5 irradiated by the light source 2 through the polarizing plate 3b. The image processing device 6 is connected to the imaging device 4.
光源２は、例えば、白熱電球、蛍光灯、ランプ、またはＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）である。撮像装置４は、例えば、一次元ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙｅｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラ、フォトダイオード、または直線状に配列されたカメラである。 The light source 2 is, for example, an incandescent bulb, a fluorescent lamp, a lamp, or an LED (Light Emitting Diode). The imaging device 4 is, for example, a one-dimensional CCD (Charge Coupled Device) camera, a TDI (Time Delayed Integration) camera, a photodiode, or a camera arranged linearly.
撮像装置４は、入射した光を電気信号に変換して画像処理装置６に入力する。画像処理装置６は、入力された電気信号に応じて画像を生成し、生成した画像にもとづいてワーク５の端部の位置を識別する。また、画像処理装置６は、生成した画像にもとづいてワーク５に付着した異物等を検出する。なお、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂが、ワーク５を搬送するために行うプーリやローラの回転動作に応じてパルス状の信号を出力し、画像処理装置６に当該信号が入力されるように構成されていてもよい。そのように構成された場合には、画像処理装置６が、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂによって出力された信号が入力されたタイミングと、撮像装置４によって入力された電気信号にもとづいて生成した画像とにもとづいてワーク５に予め印刷されたマークや埋め込まれた物の位置を検出することができる。 The imaging device 4 converts the incident light into an electrical signal and inputs it to the image processing device 6. The image processing device 6 generates an image according to the input electrical signal, and identifies the position of the end portion of the workpiece 5 based on the generated image. Further, the image processing device 6 detects foreign matter or the like attached to the workpiece 5 based on the generated image. The belt conveyor 1a or the belt conveyor 1b is configured to output a pulse signal in accordance with the rotation operation of the pulleys and rollers performed to convey the workpiece 5, and the signal is input to the image processing device 6. May be. In such a configuration, the image processing device 6 generates an image based on the timing when the signal output from the belt conveyor 1a or the belt conveyor 1b is input and the electrical signal input by the imaging device 4. Based on the above, it is possible to detect the position of a mark printed in advance on the work 5 or an embedded object.
偏光板３ａは、光源２に向かい合う矩形状の面と搬送中のワーク５の裏面である下面に向かい合う矩形状の面とを有する板状またはフィルム状に成形されている。そして、偏光板３ａに設けられた面における短辺の長さはベルトコンベア１ａ，１ｂによって搬送されるワーク５の移動方向の長さよりも短いように成形されている。また、偏光板３ａに設けられた面における長辺の長さは、ワーク５の幅よりも長いように成形されている。偏光板３ｂは、ワーク５の表面である上面に向かい合う面と撮像装置４に向かい合う面とを有する板状またはフィルム状に成形されている。そして、偏光板３ａ，３ｂは、形成された面における特定方向に振動する光のみが通過可能なフィルタ機能を有する。 The polarizing plate 3a is formed in a plate shape or a film shape having a rectangular surface facing the light source 2 and a rectangular surface facing the lower surface which is the back surface of the workpiece 5 being conveyed. And the length of the short side in the surface provided in the polarizing plate 3a is shape | molded so that it may be shorter than the length of the moving direction of the workpiece | work 5 conveyed by the belt conveyors 1a and 1b. Further, the long side of the surface provided on the polarizing plate 3 a is formed so as to be longer than the width of the workpiece 5. The polarizing plate 3 b is formed into a plate shape or a film shape having a surface facing the upper surface which is the surface of the work 5 and a surface facing the imaging device 4. The polarizing plates 3a and 3b have a filter function that allows only light that vibrates in a specific direction on the formed surface to pass therethrough.
そして、偏光板３ａおよび偏光板３ｂは、偏光板３ａのワーク５の下面に向かい合う面と、偏光板３ｂのワーク５の上面に向かい合う面とが平行になり、通過可能な光の振動方向がワーク５を介して互いに向かい合う面において９０°異なるように設置される。従って、偏光板３ｂを通過可能な光の振動方向は、偏光板３ａを通過可能な光の振動方向に直交する方向である。 In the polarizing plate 3a and the polarizing plate 3b, the surface of the polarizing plate 3a that faces the lower surface of the work 5 and the surface of the polarizing plate 3b that faces the upper surface of the work 5 are parallel, and the vibration direction of the light that can pass is the work. 5 are installed so as to be different from each other by 90 ° on the surfaces facing each other. Therefore, the vibration direction of light that can pass through the polarizing plate 3b is a direction orthogonal to the vibration direction of light that can pass through the polarizing plate 3a.
図２は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がない場合の光源２によって発せられた光の経路を示す説明図である。図２に示す例では、偏光板３ａは、縦方向に振動する光のみが通過可能なように設置され、偏光板３ｂは、横方向に振動する光のみが通過可能なように設置されている。 FIG. 2 is an explanatory diagram showing a path of light emitted by the light source 2 when there is no workpiece 5 between the polarizing plate 3a and the polarizing plate 3b. In the example shown in FIG. 2, the polarizing plate 3a is installed so that only light that vibrates in the vertical direction can pass therethrough, and the polarizing plate 3b is installed so that only light that vibrates in the horizontal direction can pass therethrough. .
そのように設置された場合には、光源２によって発せられた光のうち、縦方向に振動する光のみが偏光板３ａを通過する。しかし、偏光板３ａを通過した縦方向に振動する光は、横方向に振動する光のみが通過可能な偏光板３ｂによって通過を遮られる。従って、光源２によって発せられた光は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がない場合に、つまり、ワーク５を透過しない場合に、偏光板３ａまたは偏光板３ｂによって通過を遮られ、撮像装置４に入射しない。 In such an installation, only light that vibrates in the vertical direction among the light emitted by the light source 2 passes through the polarizing plate 3a. However, the light that vibrates in the vertical direction after passing through the polarizing plate 3a is blocked from passing by the polarizing plate 3b through which only the light that vibrates in the horizontal direction can pass. Therefore, the light emitted by the light source 2 is blocked from passing by the polarizing plate 3a or the polarizing plate 3b when there is no work 5 between the polarizing plate 3a and the polarizing plate 3b, that is, when the work 5 is not transmitted. And does not enter the imaging device 4.
図３は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がある場合の光源２によって発せられた光の経路を示す説明図である。 FIG. 3 is an explanatory diagram showing the path of light emitted by the light source 2 when the workpiece 5 is between the polarizing plate 3a and the polarizing plate 3b.
図３に示す例では、図２に示す例と同様に、光源２によって発せられた光のうち、縦方向に振動する光のみが偏光板３ａを通過する。そして、偏光板３ａを通過した光はワーク５を透過する。 In the example shown in FIG. 3, as in the example shown in FIG. 2, only the light that vibrates in the vertical direction out of the light emitted by the light source 2 passes through the polarizing plate 3a. And the light which passed the polarizing plate 3a permeate | transmits the workpiece | work 5. FIG.
図４は、ワーク５を透過する光の経路を示す説明図である。ワーク５の表面は、偏光板３ａを通過した光の一部を正反射する。また、図４に示すように、ワーク５は、様々な形状の物質によって構成されている。ワーク５の内部に入射した光は、ワーク５を構成する物質の内部に屈折して侵入したり、物質の内部で反射されたり吸収されたりして減衰する。ワーク５を構成する物質の内部を透過した光は、さらに他の物質の内部に屈折して侵入したり、物質の内部で反射されたり吸収されたりして減衰する。 FIG. 4 is an explanatory diagram showing the path of light that passes through the workpiece 5. The surface of the work 5 regularly reflects part of the light that has passed through the polarizing plate 3a. Moreover, as shown in FIG. 4, the workpiece | work 5 is comprised with the substance of various shapes. The light incident on the inside of the work 5 is refracted and enters the inside of the material constituting the work 5, and is attenuated by being reflected or absorbed inside the material. The light transmitted through the substance constituting the workpiece 5 is further refracted and penetrates into another substance, or reflected or absorbed inside the substance and attenuated.
そして、偏光板３ａを通過した一定の方向（図３に示す例では縦方向）に振動する光は、ワーク５の内部に入射してワーク５を構成する物質の内部に侵入したり、反射されたりして、振動の方向が変化する。従って、図３に示すように、ワーク５を透過した光（拡散透過光）は、様々な方向に振動している。 And the light which vibrates in the fixed direction (vertical direction in the example shown in FIG. 3) that has passed through the polarizing plate 3a is incident on the inside of the workpiece 5 and enters the inside of the substance constituting the workpiece 5 or is reflected. Or the direction of vibration changes. Therefore, as shown in FIG. 3, the light (diffuse transmitted light) that has passed through the work 5 vibrates in various directions.
図３に示すように、ワーク５を透過した光のうち、横方向に振動する光が偏光板３ｂを通過して撮像装置４に入射する。また、図２に示すように、ワーク５を透過しなかった光は、偏光板３ａまたは偏光板３ｂによって通過を遮られ、撮像装置４に入射しない。従って、撮像装置４にはワーク５を透過した光のみが入射する。つまり、撮像装置４の受光素子には、ワーク５によって減衰された光のみが入射する。従って、ワーク５の端部に対応する画素の画素値の飽和を防ぐことができる。 As shown in FIG. 3, among the light transmitted through the workpiece 5, light that vibrates in the lateral direction passes through the polarizing plate 3 b and enters the imaging device 4. Further, as shown in FIG. 2, the light that has not passed through the workpiece 5 is blocked from passing by the polarizing plate 3 a or the polarizing plate 3 b and does not enter the imaging device 4. Accordingly, only the light that has passed through the workpiece 5 enters the imaging device 4. That is, only the light attenuated by the work 5 is incident on the light receiving element of the imaging device 4. Therefore, saturation of the pixel value of the pixel corresponding to the end portion of the work 5 can be prevented.
本実施形態によれば、光源２と撮像装置４との間に偏光板３ａ，３ｂが設置され、ワーク５を透過した光にもとづいてワーク５が撮影されるので、ワーク５の外側を通過した光によって画素値が飽和することを防ぎ、撮像装置４がワーク５の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理装置６は、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５の端部の位置を正確に検出することができる。そして、画像処理装置６は、検出したワーク５の端部の位置にもとづいて、ワーク５の寸法を算出することができる。そして、ワーク５が所定の寸法であるか否かの検査を行うことが可能になる。また、検出されたワーク５の端部の位置と、算出されたワーク５の寸法とにもとづいて、ワーク５の所定の位置に印刷処理を行うことが可能になる。また、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂが、ワーク５を搬送するために行うプーリやローラの回転動作に応じてパルス状の信号を出力し、画像処理装置６に当該信号が入力されるように構成された場合には、画像処理装置６が、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂによって出力された信号が入力されたタイミングと、撮像装置４によって入力された電気信号にもとづいて生成した画像とにもとづいて、ワーク５の搬送方向の先端部の左端や、ワーク５の中央などの基準位置から、ワーク５に予め印刷されたマークや埋め込まれた物の距離および方向を検出することができる。そして、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うことができる。 According to the present embodiment, the polarizing plates 3 a and 3 b are installed between the light source 2 and the imaging device 4, and the work 5 is photographed based on the light transmitted through the work 5. The pixel value is prevented from being saturated by light, and the imaging device 4 can accurately photograph the end of the work 5. The image processing device 6 can accurately detect the position of the end portion of the workpiece 5 based on the image taken by the imaging device 4. Then, the image processing apparatus 6 can calculate the dimensions of the workpiece 5 based on the detected position of the end portion of the workpiece 5. And it becomes possible to test | inspect whether the workpiece | work 5 is a predetermined dimension. Further, based on the detected position of the end portion of the work 5 and the calculated dimensions of the work 5, it is possible to perform printing processing at a predetermined position of the work 5. Further, the belt conveyor 1a or the belt conveyor 1b is configured to output a pulse-like signal in accordance with the rotation operation of a pulley or a roller performed to convey the workpiece 5, and the signal is input to the image processing device 6. In such a case, the image processing device 6 is based on the timing when the signal output from the belt conveyor 1a or the belt conveyor 1b is input and the image generated based on the electrical signal input by the imaging device 4. The distance and direction of a mark printed in advance on the workpiece 5 or an embedded object can be detected from a reference position such as the left end of the tip of the workpiece 5 in the conveyance direction or the center of the workpiece 5. Then, it is possible to inspect whether a mark printed on the workpiece or an embedded object is in a predetermined position.
また、光源２によって発せられた光はワーク５を透過するので、画像処理装置６は、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５に付着した異物等を検出することができる。よって、一の撮影検査システムで、ワーク５の端部の位置の検出と、ワーク５に付着した異物等の検出とを行うことができる。従って、別個のシステムを用意する必要がなくなり、ワーク５を各システム間を搬送する搬送機能や、各システムの起動作業、メンテナンス作業などが容易になり、コストを削減することができる。 Further, since the light emitted from the light source 2 passes through the work 5, the image processing device 6 can detect foreign matter or the like attached to the work 5 based on the image taken by the imaging device 4. Therefore, it is possible to detect the position of the end portion of the workpiece 5 and the detection of a foreign substance or the like attached to the workpiece 5 with one imaging inspection system. Therefore, it is not necessary to prepare a separate system, and the transfer function for transferring the workpiece 5 between the systems, the activation work of each system, the maintenance work, and the like are facilitated, and the cost can be reduced.
なお、光源２とワーク５との間の偏光板が他の形状であってもよい。図５は、図１に示す偏光板３ａに代えて、筒状に成形された偏光板３ｃを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図５に示す例では、偏光板３ｃが、ワーク５を湾曲させながら移動させる移動機構における回転ドラムに適用されている。つまり、偏光板３ｃが、ワーク５を湾曲させながら移動させる移動機構における回転ドラム機構と一体化され、回転ドラムが偏光機能を有する。 The polarizing plate between the light source 2 and the workpiece 5 may have another shape. FIG. 5 is an explanatory diagram showing a configuration example of an imaging inspection system including a polarizing plate 3c formed in a cylindrical shape instead of the polarizing plate 3a shown in FIG. In the example shown in FIG. 5, the polarizing plate 3c is applied to a rotating drum in a moving mechanism that moves the work 5 while curving it. That is, the polarizing plate 3c is integrated with a rotating drum mechanism in a moving mechanism that moves the workpiece 5 while curving the workpiece 5, and the rotating drum has a polarizing function.
図５に示すように、偏光板３ｃは、内周面が光源２と向かい合う筒状に成形されている。そして、偏光板３ｃの外周面がワーク５に接し、円周方向に回転してワーク５を搬送する。また、偏光板３ｂが、偏光板３ｃにおいて内周面が光源２に向かい合う位置の反対側の面（外周面）に向かい合う位置に設置されている。撮像装置４は、偏光板３ｂを介してワーク５を撮影する。画像処理装置６は、撮像装置４に接続されている。 As shown in FIG. 5, the polarizing plate 3 c is formed in a cylindrical shape whose inner peripheral surface faces the light source 2. And the outer peripheral surface of the polarizing plate 3c contacts the workpiece | work 5, rotates in the circumferential direction, and the workpiece | work 5 is conveyed. Further, the polarizing plate 3b is installed at a position facing the surface (outer peripheral surface) opposite to the position where the inner peripheral surface faces the light source 2 in the polarizing plate 3c. The imaging device 4 images the workpiece 5 via the polarizing plate 3b. The image processing device 6 is connected to the imaging device 4.
そして、偏光板３ｂは、偏光板３ｃの外周面が偏光板３ｂに向かい合う位置における通過可能な光の振動方向と、偏光板３ｂを通過可能な光の振動方向とが偏光板３ｂにおける偏光板３ｃの外周面に向かい合う面において９０°異なるように設置される。なお、偏光板３ｃの内周面側に画像処理装置６に接続された撮像装置４が設置され、偏光板３ｃの外周面側に光源２が設置されていてもよい。 The polarizing plate 3b includes a polarizing plate 3c in the polarizing plate 3b in which the vibration direction of light that can pass at the position where the outer peripheral surface of the polarizing plate 3c faces the polarizing plate 3b and the vibration direction of light that can pass through the polarizing plate 3b are the same. It is installed so as to be different by 90 ° on the surface facing the outer peripheral surface. In addition, the imaging device 4 connected to the image processing device 6 may be installed on the inner peripheral surface side of the polarizing plate 3c, and the light source 2 may be installed on the outer peripheral surface side of the polarizing plate 3c.
そのような構成によれば、ワーク５が搬送方向に長い形状である場合であっても、撮像装置４の画素の画素値の飽和を防ぎ、画像処理装置６が、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５端部の位置を検出することができる。また、画像処理装置６が、ワーク５に付着した異物等を検出することができる。 According to such a configuration, even when the workpiece 5 has a shape that is long in the conveyance direction, saturation of the pixel values of the pixels of the imaging device 4 is prevented, and the image processing device 6 is captured by the imaging device 4. The position of the end portion of the workpiece 5 can be detected based on the image. In addition, the image processing apparatus 6 can detect foreign matter or the like attached to the workpiece 5.
図６は、図１に示す偏光板３ａに代えて、ワーク５の下方の全体を覆う形状に成形された偏光板３ｄを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図６に示す例では、偏光板３ｄが、面発光型の光源２の上面である発光面全体を覆う板状に成形されている。また、偏光板３ｂは、光源２、偏光板３ｄおよびワーク５の上方であって、ワーク５を撮影する撮像装置４の下方に設置される。なお、撮像装置４は、ワーク５の上面の全体を撮影可能な機能を有するとする。 FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a configuration example of an imaging inspection system including a polarizing plate 3d formed in a shape covering the entire lower portion of the work 5 in place of the polarizing plate 3a illustrated in FIG. In the example shown in FIG. 6, the polarizing plate 3 d is formed in a plate shape that covers the entire light emitting surface, which is the upper surface of the surface emitting light source 2. In addition, the polarizing plate 3 b is installed above the light source 2, the polarizing plate 3 d, and the work 5 and below the imaging device 4 that photographs the work 5. Note that the imaging device 4 has a function capable of photographing the entire upper surface of the work 5.
そして、偏光板３ｄおよび偏光板３ｂは、偏光板３ｄのワーク５の下面に向かい合う面と、偏光板３ｂのワーク５の上面に向かい合う面とが平行になり、通過可能な光の振動方向がワーク５を介して互いに向かい合う面において９０°異なるように設置される。 In the polarizing plate 3d and the polarizing plate 3b, the surface of the polarizing plate 3d that faces the lower surface of the work 5 and the surface of the polarizing plate 3b that faces the upper surface of the work 5 are parallel, and the vibration direction of light that can pass is the work 5 are installed so as to be different from each other by 90 ° on the surfaces facing each other.
そのような構成によれば、静止状態で、端部の位置を含むワーク５の全体を検査することができる。また、ワーク５の搬送用のベルトコンベア１ａ，１ｂや、筒状に成形した偏光板を用いることなく、簡易な構成でワーク５を検査することができる。なお、偏光板３ｄは、光源２の上面において、設置されたワーク５の中央部分に対応する領域に穴部が設けられていてもよい。 According to such a structure, the whole workpiece | work 5 including the position of an edge part can be test | inspected by a stationary state. Moreover, the workpiece | work 5 can be test | inspected by simple structure, without using the belt conveyors 1a and 1b for conveyance of the workpiece | work 5, and the polarizing plate shape | molded by the cylinder shape. Note that the polarizing plate 3 d may be provided with a hole in a region corresponding to the central portion of the work 5 installed on the upper surface of the light source 2.
図７は、図１に示す偏光板３ａ，３ｂに代えて、光源２によって発せられた光を減衰させて透過させる減光板７ａ，７ｂを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図７に示す例では、減光板７ａ，７ｂは、ワーク５を搬送するベルトコンベア１ａとベルトコンベア１ｂとの間に設置された光源２の上方であって、ワーク５の搬送経路の下方であり、かつ、ワーク５の端部に応じた位置にそれぞれ設置される。なお、減光板７ａ，７ｂに代えて、図１に示す偏光板３ｂと同様な位置に減光板が設置されてもよい。 FIG. 7 is an explanatory diagram showing a configuration example of a photographing inspection system including light-reducing plates 7a and 7b that attenuate and transmit light emitted from the light source 2 instead of the polarizing plates 3a and 3b shown in FIG. In the example shown in FIG. 7, the dimming plates 7 a and 7 b are above the light source 2 installed between the belt conveyor 1 a and the belt conveyor 1 b that convey the workpiece 5, and below the conveyance path of the workpiece 5. And it installs in the position according to the edge part of the workpiece | work 5, respectively. Instead of the dimming plates 7a and 7b, a dimming plate may be installed at the same position as the polarizing plate 3b shown in FIG.
そのような構成によれば、ワーク５の端部の近傍を通過する光が減光板７ａ，７ｂによって減衰されるので、画素値が飽和することを防ぎ、撮像装置４がワーク５の端部を正確に撮影することができる。 According to such a configuration, the light passing through the vicinity of the end of the work 5 is attenuated by the dimming plates 7a and 7b, so that the pixel value is prevented from being saturated, and the imaging device 4 moves the end of the work 5 to the end. You can shoot accurately.
次に、本発明の概要について説明する。図８は、本発明の概要を示すブロック図である。図８に示すように、本発明による撮影検査システム２０は、照射部１０（図１に示す光源２に相当）、照射側偏光部１１（図１に示す偏光板３ａに相当）、撮影側偏光部１２（図１に示す偏光板３ｂに相当）、および画像処理部１３（図１に示す画像処理装置６に相当）を含む。 Next, the outline of the present invention will be described. FIG. 8 is a block diagram showing an outline of the present invention. 8, the imaging inspection system 20 according to the present invention includes an irradiation unit 10 (corresponding to the light source 2 shown in FIG. 1), an irradiation side polarization unit 11 (corresponding to the polarizing plate 3a shown in FIG. 1), and imaging side polarization. Part 12 (corresponding to the polarizing plate 3b shown in FIG. 1) and an image processing part 13 (corresponding to the image processing apparatus 6 shown in FIG. 1).
照射部１０は、検査対象（図１に示すワーク５に相当）の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する。照射側偏光部１１は、照射部１０と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部１０からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる。撮影側偏光部１２は、検査対象の表面と撮影部（図１に示す撮像装置４に相当）との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる。画像処理部１３は、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する。 The irradiation unit 10 is provided on the back side of the inspection target (corresponding to the workpiece 5 shown in FIG. 1), and irradiates light toward the position where the inspection target exists. The irradiation side polarization unit 11 is provided between the irradiation unit 10 and the position where the inspection target exists, and allows only light that vibrates in a specific direction out of light from the irradiation unit 10 toward the inspection target. The imaging-side polarizing unit 12 is installed between the surface to be inspected and the imaging unit (corresponding to the imaging device 4 shown in FIG. 1), and allows only light that vibrates in a direction orthogonal to the specific direction to pass therethrough. The image processing unit 13 detects the position of the end portion to be inspected based on the image captured by the imaging unit.
また、照射側偏光部１１は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する。 The irradiation side polarization unit 11 emits passing light to the back surface of the inspection target and a predetermined region outside the side end of the inspection target.
そのような構成によれば、検査対象の外側を通過した光によって撮影部の画素値が飽和することを防ぎ、撮影部が検査対象の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理部１３は、撮像部によって撮影された画像にもとづいて検査対象の端部の位置を正確に検出することができる。従って、検査対象の大きさを容易に算出することができる。 According to such a configuration, it is possible to prevent the pixel value of the imaging unit from being saturated by light that has passed outside the inspection target, and the imaging unit can accurately image the end of the inspection target. The image processing unit 13 can accurately detect the position of the end of the inspection target based on the image captured by the imaging unit. Accordingly, the size of the inspection object can be easily calculated.
また上記の実施形態では、以下の（１）〜（３）に示すような撮影検査システムも開示されている。 Moreover, in said embodiment, the imaging | photography inspection system as shown to the following (1)-(3) is also disclosed.
（１）検査対象を移動させる移動機構を備えたシステムに適用され、照射側偏光部１１における通過光を出射する面は矩形状に形成され、当該矩形状の面における短辺の長さは検査対象の移動方向の長さよりも短く、当該矩形状の面における長辺の長さは検査対象の幅よりも長い撮影検査システム。 (1) It is applied to a system including a moving mechanism for moving an inspection object, and the surface on the irradiation side polarization unit 11 that emits the passing light is formed in a rectangular shape, and the length of the short side of the rectangular surface is the inspection An imaging inspection system in which the length of the long side of the rectangular surface is shorter than the length of the object to be inspected, which is shorter than the length of the object in the moving direction.
（２）検査対象を湾曲させながら移動させる回転ドラム機構を備えたシステムに適用され、照射側偏光部１１は、回転ドラム機構と一体化され、内周面が照射部１０と向かい合う筒状に成形されている撮影検査システム。 (2) It is applied to a system including a rotating drum mechanism that moves an object to be inspected while being bent, and the irradiation side polarization unit 11 is integrated with the rotating drum mechanism, and the inner peripheral surface is formed into a cylindrical shape facing the irradiation unit 10. Is an imaging inspection system.
（３）照射部１０は、面状発光面を有し、照射側偏光部１１は、板状に形成され、かつ、撮影部に対して発光面を隠蔽するように形成されている撮影検査システム。 (3) The irradiation unit 10 has a planar light emitting surface, and the irradiation side polarizing unit 11 is formed in a plate shape and is formed so as to conceal the light emitting surface from the imaging unit. .
なお、上記の実施形態では、図８に示す撮影検査システムの照射側偏光部１１および撮影側偏光部１２を転換して、検査対象に向かう照射部１０からの光の光量を減らす減光部（図７に示す減光板７ａ，７ｂに相当）であって、少なくとも検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らす減光部を備えた撮影検査システムも開示されている。 In the above-described embodiment, a dimming unit that reduces the amount of light from the irradiation unit 10 toward the inspection target by changing the irradiation side polarization unit 11 and the imaging side polarization unit 12 of the imaging inspection system illustrated in FIG. 7 corresponds to the light reduction plates 7a and 7b shown in FIG. 7 and includes a light reduction portion for reducing the amount of light directed to at least a region including the side end portion of the inspection target and a predetermined region outside the region. A system is also disclosed.
本発明を、光透過性を有するシート状の検査対象の端部の位置を検出するシステムに適用可能である。 The present invention can be applied to a system that detects the position of an end portion of a sheet-like inspection object having optical transparency.
１ａ，１ｂ ベルトコンベア
２ 光源
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ 偏光板
４ 撮像装置
５ ワーク
６ 画像処理装置
７ａ，７ｂ 減光板
１０ 照射部
１１ 照射側偏光部
１２ 撮影側偏光部
１３ 画像処理部
２０ 撮影検査システム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a, 1b Belt conveyor 2 Light source 3a, 3b, 3c, 3d Polarizing plate 4 Imaging device 5 Work piece 6 Image processing device 7a, 7b Light reduction plate 10 Irradiation part 11 Irradiation side polarization part 12 Photographing side polarization part 13 Image processing part 20 Photographing inspection system
Claims (5)
前記検査対象の裏面側に設けられ、前記検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、
前記照射部と前記検査対象の存在位置との間に設けられ、前記検査対象に向かう前記照射部からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる照射側偏光部と、
前記検査対象の表面と前記撮影部との間に設置され、前記特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる撮影側偏光部と、
前記撮影部が撮影した画像にもとづいて、前記検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、
前記照射側偏光部は、前記検査対象の裏面と前記検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する
ことを特徴とする撮影検査システム。 An imaging inspection system including an imaging unit for imaging a surface of a sheet-like inspection object,
An irradiation unit that is provided on the back side of the inspection object and irradiates light toward the presence position of the inspection object;
An irradiation-side polarization unit that is provided between the irradiation unit and the position where the inspection target exists, and transmits only light that vibrates in a specific direction among the light from the irradiation unit toward the inspection target;
An imaging-side polarizing unit that is installed between the surface to be inspected and the imaging unit and transmits only light that vibrates in a direction orthogonal to the specific direction;
An image processing unit that detects a position of an end of the inspection target based on an image captured by the imaging unit;
The irradiation side polarization unit emits passing light to a back surface of the inspection target and a predetermined region outside the side end of the inspection target.
照射側偏光部における通過光を出射する面は矩形状に形成され、当該矩形状の面における短辺の長さは検査対象の移動方向の長さよりも短く、当該矩形状の面における長辺の長さは検査対象の幅よりも長い
請求項１記載の撮影検査システム。 Applied to a system with a moving mechanism that moves the inspection object,
The surface that emits the passing light in the irradiation side polarization unit is formed in a rectangular shape, and the length of the short side of the rectangular surface is shorter than the length in the moving direction of the inspection target, and the length of the long side of the rectangular surface is short. The imaging inspection system according to claim 1, wherein the length is longer than the width of the inspection target.
照射側偏光部は、前記回転ドラム機構と一体化され、内周面が照射部と向かい合う筒状に成形されている
請求項１記載の撮影検査システム。 Applied to a system with a rotating drum mechanism that moves the object to be inspected while curving,
The imaging inspection system according to claim 1, wherein the irradiation-side polarization unit is integrated with the rotating drum mechanism and is formed in a cylindrical shape having an inner peripheral surface facing the irradiation unit.
照射側偏光部は、板状に形成され、かつ、撮影部に対して前記発光面を隠蔽するように形成されている
請求項１記載の撮影検査システム。 The irradiation unit has a planar light emitting surface,
The imaging inspection system according to claim 1, wherein the irradiation side polarization unit is formed in a plate shape and is configured to conceal the light emitting surface from the imaging unit.
前記検査対象の裏面側に設けられ、前記検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、
前記検査対象に向かう前記照射部からの光の光量を減らす減光部と、
前記撮影部が撮影した画像にもとづいて、前記検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、
前記減光部は、少なくとも前記検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らす
ことを特徴とする撮影検査システム。 An imaging inspection system including an imaging unit for imaging a surface of a sheet-like inspection object,
An irradiation unit that is provided on the back side of the inspection object and irradiates light toward the presence position of the inspection object;
A dimming unit that reduces the amount of light from the irradiation unit toward the inspection object;
An image processing unit that detects a position of an end of the inspection target based on an image captured by the imaging unit;
The said light reduction part reduces the light quantity of the light which goes to the area | region including the side edge part in the said test object at least, and the predetermined area | region outside this area | region. The imaging inspection system characterized by the above-mentioned.
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990150U (en) * | 1972-11-22 | 1974-08-05 | ||
| JPH036406A (en) * | 1989-06-02 | 1991-01-11 | Nireco Corp | Method and apparatus for detecting end part of transparent film |
| JPH095058A (en) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Defect inspection device for regular pattern |
| JP2002071582A (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Fuji Fine Kk | Transparent body inspecting device |
| JP2007322424A (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Ajuhitek Inc | Automatic optical inspection apparatus, system, and method |
| JP2008008787A (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nireco Corp | Inspection method of transparent solid and inspection device of transparency solid |
-
2010
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990150U (en) * | 1972-11-22 | 1974-08-05 | ||
| JPH036406A (en) * | 1989-06-02 | 1991-01-11 | Nireco Corp | Method and apparatus for detecting end part of transparent film |
| JPH095058A (en) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Defect inspection device for regular pattern |
| JP2002071582A (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Fuji Fine Kk | Transparent body inspecting device |
| JP2007322424A (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Ajuhitek Inc | Automatic optical inspection apparatus, system, and method |
| JP2008008787A (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nireco Corp | Inspection method of transparent solid and inspection device of transparency solid |
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