JP2011212616A - 流動物質塗布装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】小型でありながら安定的に流動物質を塗布することができる流動物質塗布装置を提供すること。
【解決手段】流動物質塗布装置1は、水平に延びる直線状の案内レール11と、案内レール11に対して水平方向の離れが一定の距離を維持しながら案内レール11に沿って水平に移動するノズル15と、ノズル15から吐出される流動物質Gが塗布されるワークWが載置される載置台21と、ワークWを水平面内で回転させる回転機構24と、ノズル15の動き及び回転機構24の回転を制御する制御装置30とを備える。ワークWには、2本の非平行な直線GLp、GLsを含む線状GLに流動物質Gが塗布される。而して、流動物質Gを塗布する際にノズル15を案内レール11から離れる方向に動かさなくて済むため、案内レール11に対して水平方向に交差する高剛性なレールを設けなくて済み、構造をシンプルかつ省スペースにすることができる。
【選択図】図1

Description

本発明は流動物質塗布装置に関し、特に小型でありながら安定的に流動物質を塗布することができる流動物質塗布装置に関する。
携帯電話のディスプレイ等に見られるように、液晶や有機発光素子が実装された素子基板と、素子基板を保護する封止基板とを、接着剤等のシール剤で貼り合わせて構成された表示装置がある。このような表示装置を製造するプロセスにおいてシール剤を基板に塗布する装置として、基板が載置される塗布ステージと、パルスモータを駆動源とし相直交する3軸方向(X、Y、Z方向)に駆動軸を有する駆動機構と、駆動機構により駆動されてシール剤を吐出するノズルとを備え、3軸方向の駆動軸が適宜1つの軸方向に移動することによりノズルを任意に移動させて基板にシール剤を塗布する塗布装置がある(例えば、特許文献1参照。)。
特開2002−166211号公報(段落0013、図1等)
しかしながら、上述の塗布装置では、3つの駆動軸を安定して支持するために、基板を跨いで駆動軸を支持する2本の支柱を設けるため、装置が大型化し、装置レイアウトの自由度が小さくなってしまう。他方、支柱を1本にして装置の小型化を図ることが考えられるが、支柱を1本にすると駆動軸が片持ちとなり、安定性に欠けて、製品の歩留まりの低下を招来するおそれがある。
本発明は上述の課題に鑑み、比較的小型でありながら安定的に流動物質を塗布することができる流動物質塗布装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の第1の態様に係る流動物質塗布装置は、例えば図1に示すように、水平に延びるように設けられた直線状の案内レール11と;案内レール11に対して水平方向の離れが一定の距離を維持しながら案内レール11に沿って水平に移動するノズル15と;ノズル15から吐出される流動物質Gが塗布されるワークWが載置される載置台21と;載置台21に載置されたワークWを水平面内で回転させる回転機構24と;ワークWに流動物質Gを2本の非平行な直線GLp、GLsを含む線状GLに塗布するように、ノズル15の案内レール11に沿った動き及び回転機構24の回転を制御する制御装置30とを備える。
このように構成すると、流動物質を2本の非平行な直線を含む線状に塗布する際にもノズルを案内レールから離れる方向に動かさなくて済むため、案内レールに対して水平方向に交差する高剛性なレールを設けなくて済み、ノズルの動きを案内するレールの構造をシンプルかつ省スペースにすることができる。
また、本発明の第2の態様に係る流動物質塗布装置は、例えば図1を参照して示すと、上記本発明の第1の態様に係る流動物質塗布装置1において、案内レール11に沿ったノズル15の移動距離が、載置台21に載置されるワークWの塗布面Wfの最長距離の0.5倍以上1.0倍未満に制限されるように案内レール11が構成されている。
このように構成すると、案内レールを最長距離未満にすることができ、省スペースを実現することが可能となる。
また、本発明の第3の態様に係る流動物質塗布装置は、例えば図1を参照して示すと、上記本発明の第1の態様に係る流動物質塗布装置1において、載置台21に載置され得る最大のワークWの塗布面Wfが、第1の辺Ws1の長さがa、第1の辺Ws1に直交する第2の辺Ws2の長さがbの矩形に形成されており;案内レール11に沿ったノズル15の最大移動距離が、(a2+b21/2/2である。
このように構成すると、ノズルを動かす範囲がワークの塗布面の対角線の半分の長さで済み、案内レールの長さをこれに応じて短くすることができて省スペースを実現することが可能となる。
また、本発明の第4の態様に係る流動物質塗布装置は、例えば図1を参照して示すと、上記本発明の第1の態様乃至第3の態様のいずれか1つの態様に係る流動物質塗布装置1において、ワークWの塗布面Wfが矩形に形成されており、2本の非平行な直線が、塗布面Wfの辺Ws1、Ws2に接触していない第1の直線GLpと、第1の直線GLpの一端と塗布面Wfの角とを結ぶ仮想線上に存在する第2の直線GLsとで構成され;ノズル15が案内レール11に沿って移動しているときに載置台21が回転しないことで第1の直線GLpを形成し;ノズル15が案内レール11に沿って移動しつつ載置台21が回転することで第2の直線GLsを形成するように構成されている。
このように構成すると、ワークを貼付する際に気泡の混入を抑制しつつ塗布面全体に展延することが可能な態様での流動物質の塗布を、省スペースで行うことができる。
また、本発明の第5の態様に係る流動物質塗布装置は、例えば図1を参照して示すと、上記本発明の第1の態様又は第2の態様に係る流動物質塗布装置1において、ワークWの塗布面Wfが矩形に形成されており;載置台21が、2本のワークWの対角線のそれぞれが案内レール11と平行になる範囲で回転するように制限されている。
このように構成すると、2本のワークWの対角線のそれぞれが案内レール11と平行になるので、2本のワークWの対角線のそれぞれをノズルの移動経路に対して平行にすることができ、簡単な構成で流動物質を非平行な直線状でワークの角部まで塗布することが可能となる。これにより、ワークを他の部材と貼り合わせた場合に、流動物質をワークの角部まで過不足なく充填させることが可能となる。
本発明によれば、流動物質を2本の非平行な直線を含む線状に塗布する際にもノズルを案内レールから離れる方向に動かさなくて済むため、案内レールに対して水平方向に交差する高剛性なレールを設けなくて済み、ノズルの動きを案内するレールの構造をシンプルかつ省スペースにすることができる。
本発明の実施の形態に係る流動物質塗布装置の模式的斜視図である。 接着剤が塗布されたワークを示す平面図である。 接着剤線がワークに塗布される進行状況を説明する平面図である。 変形例に係る接着剤の塗布形態を示すワークの平面図である。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において互いに同一又は相当する部材には同一あるいは類似の符号を付し、重複した説明は省略する。
まず図1を参照して、本発明の実施の形態に係る流動物質塗布装置1を説明する。図1は、流動物質塗布装置1の模式的斜視図である。流動物質塗布装置(以下、単に「塗布装置」という。)1は、流動物質としての接着剤GをワークWに塗布する塗布機構10と、ワークWが載置されて回転されるベース部20と、制御装置30とを備えている。塗布機構10は、案内レール11と、接着剤Gを吐出するノズル15と、案内レール11とノズル15との間に介在して両者を結びつける移動部材12、鉛直レール13、鉛直移動板14を有している。ベース部20は、ワークWが載置される載置台21と、載置台21を回転させる回転機構24とを含んで構成されている。ワークWは、本実施の形態では液晶パネルであり、携帯電話のディスプレイに適した大きさで、辺Ws1と辺Ws2とが直交する矩形板状に形成されている。ワークWは、辺Ws1が長さa、辺Ws2が長さbに形成されている。接着剤Gは、合成樹脂を含んでおり、紫外線が照射されることで粘度が増加するように構成されている。接着剤Gが塗布された液晶パネルであるワークWは、後に液晶パネルよりも一回り大きな矩形板状に形成されている保護ガラスと貼り合わせられる。
案内レール11は、細長い部材で形成されており、長手方向が水平に延びるように設けられている。案内レール11は、図1では、ノズル15まわり以外を省略しているが、実際はワークWに対して設計通りに接着剤Gを塗布することができる所定の長さを有している。案内レール11は、少なくとも両端部が支柱(不図示)を介して塗布装置1のフレーム(不図示)に固定されており、たわみや振れ等の、接着剤Gの塗布位置に狂いが生じる原因が発生することがないように構成されている。
移動部材12は、案内レール11に嵌合し、案内レール11の長手方向に沿って移動する部材である。移動部材12は、また、案内レール11と鉛直レール13とを接続する部材であり、板状に形成されている。移動部材12は、案内レール11と鉛直レール13との係合を安定させるため、一方の面で案内レール11に嵌合し、他方の面で鉛直レール13に取り付けられている。本実施の形態では、移動部材12が、ワークWの接着剤Gが塗布される面である塗布面Wfの対角線の長さ(塗布面Wfの最長距離)の0・5倍以上移動することができ、1.0倍未満の移動に制限されている。移動部材12の移動距離が、0.5倍以上なので塗布面Wfの図心から角まで接着剤Gを塗布することが可能になり、1.0倍未満なので案内レール11の長さを抑制することができて塗布装置1をコンパクトにすることが可能になる。本実施の形態では、ワークWの角まで接着剤Gを塗布することができるようにするために載置台21の回転中心から一方の方向には対角線の長さの0.5倍移動することができ、小型化を図る観点から他方の方向には対角線の長さの0.5倍未満(典型的には載置台21を回転させずに辺Ws2に平行な線状の接着剤Gを塗布可能な長さで、例えば約0.2〜0.3倍程度)移動することができるように構成されている。
鉛直レール13は、案内レール11と同様の構成の細長い部材で形成されており、長手方向が鉛直に延びるように設けられている。鉛直レール13は、上述のように移動部材12を介して案内レール11に係合していることにより、案内レール11に対して直交している。鉛直レール13は、長手方向の中央付近において面で移動部材12に取り付けられているため、たわみや振れ等の、接着剤Gの塗布位置に狂いが生じる原因が発生することがないような構成となっている。
鉛直移動板14は、鉛直レール13に嵌合し、鉛直レール13の長手方向に沿って移動する部材である。鉛直移動板14は、また、鉛直レール13とノズル15とを接続する部材であり、板状に形成されている。鉛直移動板14は、鉛直レール13とノズル15との係合を安定させるため、一方の面で鉛直レール13に嵌合し、他方の面にノズル15が取り付けられている。鉛直移動板14は、鉛直レール13と協働して、ベース部20に対してノズル15を鉛直方向に相対的に移動させる鉛直移動機構を構成している。
ノズル15は、ワークWに塗布される接着剤Gを適切な太さで吐出する装置である。ノズル15は、別途接着剤Gが貯留されている接着剤槽(不図示)とチューブ(不図示)を介して接続されており、接着剤圧送装置(不図示)の作動により、接着剤槽(不図示)から適切なタイミングで接着剤Gが圧送されてくることにより、接着剤Gが吐出されるように構成されている。また、ノズル15の先端あるいはチューブ(不図示)にバルブ(不図示)を設け、バルブ(不図示)の開閉動作によりノズル15からの接着剤Gの吐出の有無をコントロールすることができるように構成されていてもよい。ノズル15は、案内レール11に沿った水平方向の移動によりワークWの回転中心の上空を通過することができる位置に設けられている。塗布機構10は案内レール11に対して水平に直交する方向に移動する機構を備えていないため、ノズル15は案内レール11に対して水平に直交する方向(案内レール11から離れる方向)に移動することができないようになっている。
載置台21は、ワークWが載置される部材である。載置台21は、平板状に形成された部材であり、ワークWが載置される面が水平になるように回転機構24に取り付けられている。載置台21は、典型的には、ワークWと接する面に真空ポンプ(不図示)に連通する複数の通気孔が形成されており、真空ポンプ(不図示)の作動によりワークWを真空吸着できるように構成されている。このように構成されていることで、載置台21は、ワークWの塗布面Wfを水平にして保持することができるように構成されている。
回転機構24は、回転軸22と、モータ23とを有している。回転軸22は、モータ23の動力を載置台21に伝達する棒状の部材であり、その長手方向が載置台21の水平面に対して直交するようにその一端が載置台21に接続されており、その他端はモータ23に接続されている。モータ23は、回転軸22を軸線まわりに回動させる装置である。モータ23は、回転軸22を正逆両方向に回転させることができるように構成されている。モータ23は、回転軸22の軸線まわりの回動により載置台21を水平面内で正逆両方向に回転させることができ、ひいては載置台21に載置されたワークWを水平面内で正逆両方向に回転させることができるように構成されている。回転機構24は、回転軸22の軸線を延長した仮想延長線(不図示)が、案内レール11の長手方向に沿って移動するノズル15の吐出口の軌跡上を通り抜ける位置に設置されている。
制御装置30は、塗布機構10と信号ケーブルで接続されており、移動部材12の案内レール11に沿った移動及び鉛直移動板14の鉛直レール13に沿った移動を制御することができるように構成されている。また、制御装置30は、接着剤圧送装置(不図示)及び/又はバルブ(不図示)と信号ケーブルで接続されており、ノズル15からの接着剤Gの吐出量(吐出の有無も含む)を制御することができるように構成されている。また、制御装置30は、モータ23と信号ケーブルで接続されており、モータ23に接続された回転軸22を介して載置台21の回転方向及び回転角度を制御することができるように構成されている。
引き続き図1を参照して、塗布装置1の作用を説明する。ワークWに接着剤Gを塗布するに際し、まず、前工程で準備されたワークWが複数収容されているトレー(不図示)内の1つのワークWをロボット(不図示)がつかみ、塗布面Wfを上方に向けて載置台21に載置する。このとき、塗布面Wfの図心(2本の対角線の交点)が載置台21の水平面内における回転中心に来るように、また、ワークWの長手方向の辺Ws2が案内レール11と平行になるように、ワークWを載置台21に載置する。載置台21に載置されたワークWに対し、以下のように接着剤Gが塗布される。
ここで図2を参照して、接着剤Gの塗布状態について説明する。図2は接着剤Gが塗布されたワークWを示す平面図である。ワークWには、最終的に、塗布面Wfの図心を通り辺Ws2に平行で塗布面Wfの4つの辺に接触しない第1の直線としての平行接着剤線GLpと、平行接着剤線GLpの一端Gdから最寄りの2つの角に向けてそれぞれ延びる2本の第2の直線としての斜め接着剤線GLs1、GLs2と、平行接着剤線GLpの他端Geから最寄りの2つの角に向けてそれぞれ延びる2本の斜め接着剤線GLs3、GLs4とを含む線状に接着剤Gが塗布される。平行接着剤線GLpに対し、4つの斜め接着剤線GLs1、GLs2、GLs3、GLs4(以下総称するときは単に「斜め接着剤線GLs」という。)は、それぞれ平行ではない(非平行)。斜め接着剤線GLsは、平行接着剤線GLpの一端Gd又は他端Geと塗布面Wfの角とを結ぶ仮想線上に形成される。なお、図2では、平行接着剤線GLpと斜め接着剤線GLsとが同じ太さのように示されているが、実際は、平行接着剤線GLpを塗布する方が単位長さ当たりの接着剤Gの吐出流量を多くすることで太く形成することが好ましい。このように、平行接着剤線GLpとこれに非平行な4つの斜め接着剤線GLsとを形成するように接着剤Gを塗布することで、矩形のワークWに対しても後に保護ガラス(不図示)を重ねて押圧したときに接着剤Gを過不足なく展延することが可能となる。
さらに図3に示す、接着剤線GLがワークWに塗布される進行状況を説明する平面図をも、図1及び図2と併せて参照して、塗布装置1の作用の説明を続ける。最終的に図2に示すように接着剤Gを塗布するため、制御装置30は、塗布機構10及びベース部20を次のように制御する。トレー(不図示)から運ばれてきて、載置台21に載置されたワークWに対し、制御装置30は、ノズル15を、塗布後に平行接着剤線GLpの他端Geとなる位置の鉛直上方に移動させる。その後、制御装置30は、接着剤Gの塗布に適した高さまでノズル15を下降させる。そして、制御装置30は、接着剤Gを吐出しながら一端Gdとなる位置に向けて案内レール11に対して平行にノズル15を移動させ、平行接着剤線GLpを形成する(図3(a)参照)。このとき、載置台21は回転していない。本実施の形態では、載置台21の回転中心から他端Geの方向にワークWの対角線の長さの約0.2〜0.3倍ノズル15が移動することができるように構成されているので、載置台21を回転させずに平行接着剤線GLpを形成するように接着剤Gを塗布することができる。
ノズル15が一端Gdに到達したら、制御装置30は、平行接着剤線GLpを形成したときと同じ方向へノズル15を案内レール11に対して平行に移動させるのを継続しながら、載置台21を回転させる。載置台21の回転は、載置台21が回転する前の平行接着剤線GLpを一端Gdからさらに延長した仮想平行線Ep上を、斜め接着剤線GLs1が塗布される予定の部分が順次横切る方向に行われる(図3(b)参照)。なお、仮想平行線Epは、載置台21が回転しても案内レール11との平行を維持する、説明の便宜上用いる仮想線である。ノズル15は、載置台21の回転に伴って斜め接着剤線GLs1が塗布される予定の部分が仮想平行線Epと交わったときにその上方に位置しているように、順次一端Gdから離れる方向に移動する。ノズル15がワークWの角部に至るまで移動されると、斜め接着剤線GLs1が形成される(図3(c)参照)。斜め接着剤線GLs1が形成されたとき、仮想平行線Epは塗布面Wfの対角線と一致している。
斜め接着剤線GLs1が形成されたら、制御装置30は、既に形成されている平行接着剤線GLpが案内レール11と平行になる位置まで載置台21を逆回転させ、ノズル15を一端Gdの上方に移動させる。その後、制御装置30は、斜め接着剤線GLs1を形成するときとは反対方向に載置台21を回転させながら、ノズル15を一端Gdから離れる方向に移動させて、斜め接着剤線GLs1を形成したときと同じ要領で斜め接着剤線GLs2を形成する。斜め接着剤線GLs2が形成されたら、斜め接着剤線GLs2が反対側に行くように載置台21を180°近く回転させる。このとき、他端Geがノズル15の側に来るように(斜め接着剤線GLs2を形成するときに一端Gdがあった位置に他端Geが来るように)既に形成されている平行接着剤線GLpが案内レール11と平行になる位置まで載置台21を回転させる。そして、制御装置30は、ノズル15を他端Geの上方に移動させる。このときのノズル15の移動は、載置台21の回転と並行して行われてもよい。その後、制御装置30は、2本の斜め接着剤線GLs1、GLs2を形成したときと同じ要領で、さらに2本の斜め接着剤線GLs3、GLs4を形成する。これにより、図2に示す態様の接着剤Gの塗布が完了する。
以上のように、本発明の実施の形態に係る塗布装置1によれば、案内レール11に沿った1次元方向のノズル15の移動と、載置台21の回転とを適切に組み合わせることにより、簡素かつコンパクトな構成で、矩形のワークWに適した態様で接着剤Gを塗布することができる。特に、ノズル15を案内レール11に対して水平に直交する方向に移動させることなく図2に示す態様で接着剤Gを塗布することができるので、案内レール11に対して水平方向に交差する高剛性なレールを設けなくて済み、塗布装置1の設置面積を約60%小さくすることが可能になる。
以上の説明では、ノズル15(移動部材12)が、平行接着剤線GLpの長さと斜め接着剤線GLs1の長さを合計した長さを案内レール11に沿って移動することができるとしたが、最大移動距離が塗布面Wfの対角線の半分の長さ((a2+b21/2/2)に制限されることとしてもよい。このように構成すると、案内レール11の長さをノズル15の最大移動距離を確保できる長さにすれば足り、塗布装置1をよりコンパクトにすることができる。このとき、ノズル15は、載置台21の回転中心から一方向に、塗布面Wfの対角線の半分の長さを移動可能に構成される。このように構成した場合は、平行接着剤線GLpを第1平行接着剤線GLpA(図2参照)と第2平行接着剤線GLpB(図2参照)とに2分割して塗布することとなる。すなわち、まず、載置台21の回転中心と重なる塗布面Wfの図心上を基準点Gcとして一端Gdまでノズル15を移動させて第1平行接着剤線GLpAを形成し、その後上述の要領で2本の斜め接着剤線GLs1、GLs2を形成する。次いで載置台21を180°近く回転させ、ノズル15を基準点Gcの上方に移動させた後、第2平行接着剤線GLpB並びに2本の斜め接着剤線GLs3、GLs4を、第1平行接着剤線GLpA並びに2本の斜め接着剤線GLs1、GLs2と同じ要領で形成する。
また、前段落で説明したようなノズル15の最大移動距離をできるだけ短くすることに代えて、載置台21の回転角度を、ワークWの塗布面Wfの2本の対角線のそれぞれが案内レール11と平行になる範囲、換言すれば塗布面Wfの図心(基準点Gc(図2参照)と一致する)を頂点として2本の対角線のなす角に制限することとしてもよい。この場合は、塗布面Wfの対角線に相当する長さ分((a2+b21/2)ノズル15を移動させることができるようにすると、ワークWの4つの角のすべてに接着剤Gを到達させることができるため、好ましい。しかしながら、接着剤Gを塗布した後の工程で接着剤Gを展延させたときに広がることを考慮して、塗布する際に接着剤GをワークWの角まで到達させない場合もあり、この場合はノズル15の移動距離が塗布面Wfの最長距離(対角線の長さ)の1.0倍未満となるように構成してもよい。
以上の説明では、1本の平行接着剤線GLpと4本の斜め接着剤線GLsとを含む接着剤線GLが形成される態様で塗布されることとしたが、次の形態で塗布されてもよい。
図4は、変形例に係る接着剤Gの塗布形態を示すワークWの平面図である。図4に示す変形例に係る接着剤Gの塗布形態は、接着剤線GLに加えて、接着剤線GL’が形成されている。接着剤線GL’は、基準点Gcを基準として接着剤線GLを相似形に縮小した形態で、これが基準点Gcを中心に90°回転した形態で塗布されているものである。このように接着剤Gを塗布することで、後の工程で接着剤Gを展延させたときに不足しがちな部分に接着剤Gを供給することができる。なお、接着剤線GL’の塗布は、接着剤線GLを塗布した状態から、ワークWを90°回転させた状態を基準として、接着剤線GLを塗布するのと同じ要領で行われる。
以上の説明では、ワークWが携帯電話のディスプレイに適した大きさの液晶パネルであるとしたが、比較的大型となるノートパソコンのディスプレイに適した大きさの液晶パネルであってもよく、液晶パネル以外の、例えばプラズマや有機ELのフラットパネルあるいはカーナビや自動販売機に設けられるタッチパネル等を含むディスプレイ、ディスク基板等であってもよい。また、ワークWが矩形であるとしたが、矩形以外の例えば円形や楕円形であってもよい。ワークWの形状と塗布面の最長距離との関係は、円形の場合は直径となり、楕円の場合は長軸(長径)となる。
1 流動物質塗布装置
10 塗布機構
11 案内レール
12 移動部材
13 鉛直レール
14 鉛直移動板
15 ノズル
20 ベース部
21 載置台
24 回転機構
30 制御装置
G 接着剤(流動物質)
W ワーク
Wf 塗布面
Ws1、Ws2 辺

Claims (5)

  1. 水平に延びるように設けられた直線状の案内レールと;
    前記案内レールに対して水平方向の離れが一定の距離を維持しながら前記案内レールに沿って水平に移動するノズルと;
    前記ノズルから吐出される流動物質が塗布されるワークが載置される載置台と;
    前記載置台に載置されたワークを水平面内で回転させる回転機構と;
    前記ワークに前記流動物質を2本の非平行な直線を含む線状に塗布するように、前記ノズルの前記案内レールに沿った動き及び前記回転機構の回転を制御する制御装置とを備える;
    流動物質塗布装置。
  2. 前記案内レールに沿った前記ノズルの移動距離が、前記載置台に載置されるワークの塗布面の最長距離の0.5倍以上1.0倍未満に制限されるように前記案内レールが構成された;
    請求項1に記載の流動物質塗布装置。
  3. 前記載置台に載置され得る最大のワークの塗布面が、第1の辺の長さがa、前記第1の辺に直交する第2の辺の長さがbの矩形に形成されており;
    前記案内レールに沿った前記ノズルの最大移動距離が、(a2+b21/2/2である;
    請求項1に記載の流動物質塗布装置。
  4. 前記ワークの塗布面が矩形に形成されており、前記2本の非平行な直線が、前記塗布面の辺に接触していない第1の直線と、前記第1の直線の一端と前記塗布面の角とを結ぶ仮想線上に存在する第2の直線とで構成され;
    前記ノズルが前記案内レールに沿って移動しているときに前記載置台が回転しないことで前記第1の直線を形成し;
    前記ノズルが前記案内レールに沿って移動しつつ前記載置台が回転することで前記第2の直線を形成するように構成された;
    請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の流動物質塗布装置。
  5. 前記ワークの塗布面が矩形に形成されており;
    前記載置台が、2本の前記ワークの対角線のそれぞれが前記案内レールと平行になる範囲で回転するように制限された;
    請求項1又は請求項2に記載の流動物質塗布装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019066669A (ja) * 2017-09-29 2019-04-25 シチズンファインデバイス株式会社 画像表示装置の製造方法

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