JP2011203180A - 熱式流量センサおよび負圧吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発熱素子および発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有する流量センサの出力を用いて空気の流量を算出する流量算出部131と、流量センサの出力を増幅することで、空気の流量に対する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部132と、増幅部132による増幅率を変更する増幅率変更回路と、増幅部132の基準電圧をシフトすることで、空気の流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、増幅率変更回路をオン/オフする第1のスイッチと、出力シフト回路をオン/オフする第2のスイッチと、外部からの信号に応じて第1のスイッチおよび第2のスイッチのオン/オフをそれぞれ制御するスイッチ制御部133と、を備える。
【選択図】図6
Description
本発明を、上述した実施形態によって説明したが、この開示の一部をなす記述および図面は、この発明を限定するものではない。この開示から当業者には様々な代替の実施形態や運用技術等が明らかになるはずである。
Claims (6)
- 駆動回路から付与される電力によって発熱する発熱素子および当該発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有するセンサと、
前記温度検出素子の各電気抵抗の変化に対応する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部と、
前記増幅部による増幅率を変更する増幅率変更回路と、
を備えることを特徴とする熱式流量センサ。 - 駆動回路から付与される電力によって発熱する発熱素子および当該発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有するセンサと、
前記温度検出素子の各電気抵抗の変化に対応する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部と、
前記増幅部の基準電圧をシフトすることで、前記温度検出素子の各電気抵抗から求まる流体の流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、
を備えることを特徴とする熱式流量センサ。 - 駆動回路から付与される電力によって発熱する発熱素子および当該発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有するセンサと、
前記温度検出素子の各電気抵抗の変化に対応する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部と、
前記増幅部による増幅率を変更する増幅率変更回路と、
前記増幅部の基準電圧をシフトすることで、前記温度検出素子の各電気抵抗から求まる流体の測定流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、
を備えることを特徴とする熱式流量センサ。 - 前記測定流量または外部からの信号に応じて、前記増幅率および前記基準電圧のシフト操作をそれぞれ制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項3記載の熱式流量センサ。
- 前記増幅率変更回路をオン/オフする第1のスイッチと、
前記出力シフト回路をオン/オフする第2のスイッチと、をさらに備え、
前記制御部は、前記測定流量または前記外部からの信号に応じて、前記第1のスイッチおよび前記第2のスイッチのオン/オフをそれぞれ制御することを特徴とする請求項4記載の熱式流量センサ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱式流量センサと、
負圧発生装置で発生した負圧を利用して部品を吸着する吸着ノズルと、を備え、
前記熱式流量センサは、前記吸着ノズルから吸い込まれる空気の流量を計測することを特徴とする負圧吸着装置。
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