JP2011203078A - Testing apparatus and testing method - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、例えば自動車エンジンの排気マニホールドを覆うヒートインシュレータ等の金属製部材のような部材の良否を検査する検査装置に関し、より詳しくは、表面を凹凸状に形成した凹凸部材であっても正確に良否を検査することのできるような検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting the quality of a member such as a metal member such as a heat insulator that covers an exhaust manifold of an automobile engine. More specifically, the present invention accurately relates to an uneven member whose surface is uneven. The present invention relates to an inspection apparatus capable of inspecting pass / fail.
これまで、例えば、金属製製品等の製品における完成検査等において、製品をハンマー等で叩いた際の打音を採取して、その打音の振動スペクトルによって製品の良否を判定していた。 Up to now, for example, in the completion inspection of a product such as a metal product, the sound of hitting the product with a hammer or the like has been collected, and the quality of the product has been determined by the vibration spectrum of the sound.
しかし、完成検査のためにハンマー等で製品を叩くことにより、製品表面に傷が入ったり、そもそも強度の低い製品の場合においては変形し、良品であっても完成検査のために、不良品となるという問題があった。例えば、強度の低い紙製の部材においては、金属製部材に比べて容易に変形するため、上記問題は顕著に現れる。 However, by hitting the product with a hammer or the like for completion inspection, the surface of the product is scratched or deformed in the case of a product with low strength in the first place. There was a problem of becoming. For example, a paper member having a low strength is easily deformed as compared with a metal member, and thus the above problem appears remarkably.
そのため、ハンマー等を用いた打音検査のできない製品に対しては、検査担当者の目視による検査を実施している。しかし、このような目視検査の場合、検査に対する熟練の技術が必要であり、正確な検査を効率よく実施することは困難であった。そこで、以下に示すような検査装置が提案されている(特許文献1参照)。 For this reason, products that cannot be hammered using a hammer or the like are visually inspected by an inspector. However, in the case of such a visual inspection, skilled techniques for the inspection are required, and it has been difficult to efficiently perform an accurate inspection. Therefore, an inspection apparatus as shown below has been proposed (see Patent Document 1).
特許文献1で提案された検査装置は、被検体に空気を衝突させて、空気が衝突した被検体の振動を、マグネットを用いたセンサで検出し、その振動を良品の振動特性と比較して被検体の良否判定する装置である。この検査装置により、ハンマー等による打音検査のできない被検体であっても正確に検査することができるとされている。
The inspection apparatus proposed in
しかし、マグネットを用いたセンサで振動検出しているため、振動の検出能力は低く、十分に正確な振動を検出できるものではなかった。
このような問題に対して、レーザ光を被検体に照射するとともに、被検体で反射した反射レーザ光を受光し、その位相差によって振動を検出するレーザドップラー式振動センサで被検体の振動を検出し、被検体の良否判定を行う検査装置が提案されている(特許文献2参照)。この検査装置によれば、高精度で被検体の振動を検出できるため、正確な良否判定ができるとされている。
However, since vibration is detected by a sensor using a magnet, the vibration detection capability is low, and it is not possible to detect sufficiently accurate vibration.
In response to these problems, the laser beam is irradiated to the subject, the reflected laser beam reflected by the subject is received, and the vibration of the subject is detected by a laser Doppler type vibration sensor that detects vibration based on the phase difference. In addition, an inspection apparatus that determines the quality of a subject has been proposed (see Patent Document 2). According to this inspection apparatus, since it is possible to detect the vibration of the subject with high accuracy, it is said that accurate pass / fail judgment can be made.
しかし、検査対象である部材において、例えば、自動車部品等に用いられる金属製製品の場合、省エネに影響しやすい軽量が強く望まれており、金属製製品を構成する金属製材料の薄肉化が進んでいる。さらには、形状の複雑化に伴う形状加工性の向上や、静寂性に影響する吸音効果、電磁シールド性などの付加的効果も求められている。 However, in the case of a metal product used for automobile parts, etc., for the member to be inspected, for example, a light weight that easily affects energy saving is strongly desired, and the metal material constituting the metal product is becoming thinner. It is out. Furthermore, there are also demands for additional effects such as an improvement in shape workability accompanying the complexity of the shape, a sound absorption effect that affects silence, and electromagnetic shielding properties.
そのような要望に対して、金属製薄板に折り曲げ加工を施し、例えば、コルゲート形状のような凹凸加工面110aを形成したアルミニウム製金属板110が多用されている(図9参照)。このような凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110は、凹凸状を構成する襞部分が折り曲げ加工によって形成されるため、軽量でありながら、形状加工性が高く、さらには、凹凸による乱反射効果に基づく吸音効果や電磁シールド性を備えている。
In response to such a demand, an
このような凹凸状の凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110であっても、十分な強度を必要としており、クラック150等の不具合が生じた製品を用いることはできず、製品検査で良否を正確に判定する必要があった。
Even the
上述したように、凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110は、金属製薄板を用いているため、局部的な強度は低く、ハンマーによる打音検査を行うと変形するため、他の検査方法で検査する必要がある。
As described above, the
しかし、例えば、検査担当者の目視による検査では、凹凸加工面110aが形成されているため、クラック150を目視で発見することは困難であった。特に、折り曲げによる襞部分にクラック150等が生じている場合、単に目視するだけでは発見できず、凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110の製品検査として目視検査は適していない。
However, for example, in the visual inspection of the person in charge of the inspection, since the
これに対し、高精度で振動を検知できる特許文献2で提案された検査装置を用いた場合においても、照射されたレーザ光は、図5(a)に示すように、表面の凹凸状の凹凸加工面110aにより乱反射するため、正確に振動を検知できないという問題があった。
On the other hand, even when the inspection apparatus proposed in
そこで、この発明は、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、正確に良否を判定することのできる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides an inspection apparatus and an inspection method capable of accurately determining whether or not a concave-convex member whose surface is formed in a concave-convex shape by subjecting a thin plate-like member to shape processing. With the goal.
この発明は、被検体に向けて流体を噴出させて前記被検体を加振させる流体噴出手段と、噴出された前記流体の衝突によって振動する前記被検体の振動を検出する振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備え、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査装置であって、前記被検体を、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材で構成するとともに、表面の一部における凹凸状を押し潰した押潰し部を形成し、前記固定支持手段が、前記押潰し部において前記凹凸状部材を支持固定するとともに、前記振動検出手段が、前記押潰し部における振動を検出することを特徴とする。 The present invention includes a fluid ejecting unit that ejects a fluid toward a subject to vibrate the subject, a vibration detecting unit that detects vibration of the subject that vibrates due to a collision of the ejected fluid, An inspection apparatus for inspecting the quality of the subject by the detected vibration, and subjecting the subject to shape processing on a thin plate member to make the surface uneven While forming the concavo-convex member formed, forming a crushed portion by crushing the concavo-convex shape in a part of the surface, the fixing support means supports and fixes the concavo-convex member in the crushed portion, The vibration detection means detects vibration in the crushing portion.
上記流体は、空気等の気体、液体あるいはゲル状体とすることができる。
上記薄板材状部材は、アルミニウム製薄板材状部材やFe−Al製薄板材状部材等の金属製薄板材状部材、紙製薄板材状部材、あるいは樹脂製薄板状部材とすることができる。
The fluid may be a gas such as air, a liquid, or a gel.
The sheet material member can be a metal sheet material member such as an aluminum sheet material member or an Fe-Al sheet material member, a paper sheet material member, or a resin sheet member.
上記薄板材状部材に施す形状加工によって形成された凹凸は、折り曲げ加工によるコルゲートや型押し加工等によって形成されたエンボス等とすることができる。
上記押潰し部は、上記コルゲートやエンボス等の凹凸を押し潰して略平坦状にした部分とすることができる。
The unevenness formed by the shape processing applied to the thin plate member can be an emboss formed by corrugation or embossing by bending.
The crushing portion can be a portion that is flattened by crushing irregularities such as the corrugation and embossing.
この発明により、表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、流体によって加振し、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 According to the present invention, even if the surface of the concavo-convex member is formed into a concavo-convex shape, it is possible to accurately inspect the quality of the subject by oscillating with the fluid and accurately detecting the vibration caused by the vibration.
詳しくは、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材における押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。例えば、表面の凹凸によって固定支持手段による固定支持が不安定な場合、流体噴出手段から噴出された流体の衝突を噴出させて被検体を加振させると、流体が衝突しても十分に加振することができない。しかし、押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、被検体は堅固に固定でき、流体の衝突によって確実に加振することができる。したがって、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 Specifically, since the fixing support means supports the subject at the crushing portion of the uneven member whose surface is formed uneven by applying shape processing to the thin plate member, reliable support and fixation can be realized. . For example, when the fixed support by the fixed support means is unstable due to unevenness of the surface, if the subject is vibrated by ejecting the collision of the fluid ejected from the fluid ejecting means, the vibration is sufficiently excited even if the fluid collides Can not do it. However, since the fixing support means supports the subject in the crushing portion, the subject can be firmly fixed and can be vibrated reliably by the collision of the fluid. Therefore, it is possible to accurately detect the quality of the subject by accurately detecting vibration due to the vibration.
また、振動検出手段が押潰し部における振動を検出するため、より正確に加振された凹凸状部材である被検体の振動を検出することができる。詳しくは、凹凸状部材の表面に形成された凹部と凸部とが存在する場合、例えば、振動検出手段からの距離が変わったり、凹部と凸部との境界部分で検出したりして、正確な振動検出ができないおそれがある。しかし、表面の凹凸を押し潰した押潰し部における振動を検出するため、表面の凹部と凸部との差が少なくなり正確に振動を検出することができる。 In addition, since the vibration detecting means detects the vibration in the crushing portion, it is possible to detect the vibration of the subject that is the uneven member that is vibrated more accurately. Specifically, when there are concave and convex portions formed on the surface of the concavo-convex member, for example, the distance from the vibration detecting means is changed, or detection is performed at the boundary portion between the concave and convex portions. May not be able to be detected. However, since the vibration in the crushed portion obtained by crushing the unevenness on the surface is detected, the difference between the concave and convex portions on the surface is reduced, and the vibration can be detected accurately.
したがって、この発明により、表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、流体噴出手段から噴出した流体によって被検体を確実に加振し、その加振による振動を押潰し部で正確に検出して、被検体の良否を正確に検査することができる。 Therefore, according to the present invention, even if the surface of the concavo-convex member has a concavo-convex shape, the subject is reliably vibrated by the fluid ejected from the fluid ejecting means, and the vibration due to the vibration is accurately detected by the crushing portion. It is possible to accurately inspect whether the subject is good or bad.
この発明の態様として、良品である前記凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶する記憶手段と、前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出する振動特性算出手段と、前記良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する判定手段とを備えることができる。 As an aspect of the present invention, a storage means for storing the vibration characteristics of the concavo-convex member that is a non-defective product as a non-defective vibration characteristic, and a subject vibration characteristic that is a vibration characteristic of the subject is calculated from the vibration detected by the vibration detection means. Vibration characteristic calculating means, determination means for determining the quality of the subject by comparing the non-defective product vibration characteristics and the subject vibration characteristics may be provided.
この発明により、振動検出手段が検出した振動に基づいて、より正確に被検体の良否を判定することができる。
詳しくは、振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を振動特性算出手段によって算出し、被検体の良否を判定するため、単に、取得した振動データから判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。
According to the present invention, the quality of the subject can be determined more accurately based on the vibration detected by the vibration detecting means.
Specifically, when the object vibration characteristic, which is the vibration characteristic of the subject, is calculated from the vibration detected by the vibration detection means by the vibration characteristic calculation means, and the quality of the subject is determined, simply judging from the acquired vibration data Compared to the above, the determination process can be performed with a low load, and the quality can be determined more accurately.
また、記憶手段に、良品である凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶するとともに、良品振動特性と被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定するため、単に、検出した振動にのみ基づいて良否判定するよりも、より正確に良否判定することができる。 The storage means stores the vibration characteristics of the concavo-convex member, which is a non-defective product, as the non-defective vibration characteristics, and compares the non-defective vibration characteristics with the subject vibration characteristics to determine the quality of the subject. The pass / fail judgment can be made more accurately than the pass / fail judgment based only on the vibration.
また、この発明の態様として、前記凹凸状部材を、立体形状で形成された立体形状部材で構成し、前記流体噴出手段が、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記流体を噴出させることができる。 Further, as an aspect of the present invention, the uneven member is configured by a three-dimensional member formed in a three-dimensional shape, and the fluid ejecting means is provided at a vibration location away from the crushing portion in the three-dimensional member. The fluid can be ejected.
この発明により、立体形状部材全体の良否を正確に判定することができる。詳しくは、振動検出手段が振動を検出する箇所と、前記流体噴出手段が流体を噴出させる被加振箇所とが近く、クラック等が生じた不良箇所が、振動を検出する箇所及び被加振箇所から離れた位置である場合、被加振箇所から振動を検出する箇所に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、立体形状部材において、振動検出手段によって振動を検出する押潰し部から離れた被加振箇所に流体噴出手段が流体を噴出させるため、不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。 By this invention, the quality of the whole three-dimensionally shaped member can be accurately determined. Specifically, a location where the vibration detection means detects vibration and a vibration location where the fluid ejection means ejects fluid are close to each other, and a defective location where a crack or the like occurs is a location where vibration is detected and a location where vibration is applied When the position is far from the vibration, the vibration transmitted from the place to be detected to the place where the vibration is detected is less influenced by the defective place, and accurate pass / fail judgment cannot be made. However, in the three-dimensional member, since the fluid ejecting means ejects the fluid to the vibration-excited part away from the crushing portion where the vibration is detected by the vibration detecting means, the influence on the vibration due to the defective part when a defect occurs. Can be detected and a more accurate pass / fail judgment can be made.
また、この発明の態様として、前記流体を、気体で構成するとともに、前記振動検出手段を、前記押潰し部に対してレーザ光を照射し、前記押潰し部で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって前記被検体の振動を検出する構成とすることができる。 Further, as an aspect of the present invention, the fluid is composed of gas, and the vibration detecting unit irradiates the crushing portion with laser light and receives the laser light reflected by the crushing portion. The vibration of the subject can be detected based on the phase difference.
この発明により、周辺環境に影響されずに、正確な良否判定を行うことができる。詳しくは、流体を液体やゲル状体で構成した場合、被検体に向けて噴出された流体は、被検体表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、検査終了後に、被検体表面に残留する液体やゲル状体の流体を取り除く手間が必要となる。しかし、流体を気体で構成するため、噴出されて被検体を加振した流体が被検体表面に残らず、流体によって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する流体を取り除く手間もかからない。 According to the present invention, it is possible to perform an accurate pass / fail judgment without being affected by the surrounding environment. Specifically, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, the fluid ejected toward the subject remains on the subject surface, which may affect subsequent vibration. Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, it is necessary to remove the liquid or the gel-like body fluid remaining on the surface of the subject after completion of the examination. However, since the fluid is composed of gas, the fluid that is ejected and vibrates the subject does not remain on the surface of the subject, and vibrations that are vibrated by the fluid can be accurately detected. In addition, there is no need to remove the fluid remaining on the surface like a liquid or gel.
また、振動検出手段を、押潰し部に対してレーザ光を照射し、押潰し部で反射したレーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。詳しくは、被検体の振動を、例えば、音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、振動検出手段を、被検体にレーザ光を照射するとともに、反射レーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、流体によって加振させた振動のみを検出することができる。 Further, since the vibration detecting means is configured to irradiate the crushing part with laser light, receive the laser light reflected by the crushing part, and detect the vibration of the subject based on the phase difference, the vibration detecting means depends on the surrounding environment. Therefore, accurate vibration can be detected. Specifically, when detecting the vibration of the subject, for example, by collecting the sound as sound, noise such as noise around the inspection apparatus is also detected, so that accurate vibration detection is difficult. On the other hand, since the vibration detection means is configured to irradiate the subject with laser light and receive reflected laser light and detect the vibration of the subject based on the phase difference, noise such as noise around the inspection apparatus. It is possible to detect only the vibrations excited by the fluid without including the vibrations caused by.
また、他の凹凸状表面にレーザ光を照射した場合、レーザ光は表面の凹凸によって様々な反射方向に反射して乱反射するが、振動検出手段が、押潰し部に向けてレーザ光を照射することによって、反射レーザ光を受光しやすくなる。したがって、レーザ光によって、より正確に被検体の振動を検出することができる。 In addition, when laser light is irradiated on another uneven surface, the laser light is reflected in various reflection directions by the unevenness of the surface and is irregularly reflected, but the vibration detection means irradiates the laser beam toward the crushing portion. This makes it easier to receive the reflected laser light. Therefore, the vibration of the subject can be detected more accurately by the laser light.
また、この発明は、被検体に向けて気体を噴出させて前記被検体を加振させる気体噴出手段と、噴出された前記気体の衝突によって振動する前記被検体に対してレーザ光を照射し、前記被検体の表面で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって振動を検出するレーザ式振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備えた検査装置を用いて、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査方法であって、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材に立体加工を施して、立体形状に形成した立体形状部材で構成する前記被検体の表面の一部における凹凸状を押し潰して押潰し部を形成し、該押潰し部において前記固定支持手段で前記被検体を支持固定し、前記気体噴出手段から、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記気体を噴出させ、前記振動検出手段によって前記押潰し部における振動を検出し、前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出し、あらかじめ記憶手段に記憶された良品である前記立体形状部材の振動特性である良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定することを特徴とする。 Further, the present invention irradiates laser light to the subject that vibrates due to collision of the ejected gas, gas ejecting means for exciting the subject by ejecting gas toward the subject, Using an inspection apparatus comprising a laser-type vibration detecting unit that receives the laser light reflected by the surface of the subject and detects vibrations by a phase difference thereof, and a fixed support unit that fixedly supports the subject. An inspection method for inspecting the quality of a subject by detected vibrations, which is formed into a three-dimensional shape by subjecting a thin plate-like member to shape processing and subjecting the uneven member having a surface to be uneven to three-dimensional processing A crushing portion is formed by crushing a concavo-convex shape on a part of the surface of the subject formed of a three-dimensionally shaped member, and the subject is supported and fixed by the fixing support means at the crushing portion, and the gas ejection means From the above In the body-shaped member, the gas is ejected to a vibration location away from the crushing portion, the vibration in the crushing portion is detected by the vibration detecting means, and the vibration of the subject is detected from the vibration detected by the vibration detecting means. The object vibration characteristic, which is a characteristic, is calculated, and the non-defective vibration characteristic of the solid shape member, which is a non-defective product stored in the storage unit, is compared with the object vibration characteristic to determine whether the object is good or bad. It is characterized by determining.
この発明により、表面が凹凸状に形成された立体形状部材であっても、気体によって加振し、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 According to the present invention, even if the surface is a three-dimensionally shaped member, it is possible to accurately inspect the quality of the subject by vibrating with gas and accurately detecting vibration due to the vibration.
詳しくは、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された立体形状部材における押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。したがって、被検体は堅固に固定支持手段に固定され、気体の衝突によって確実に加振することができる。よって、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 Specifically, since the fixing support means supports the subject at the crushing portion in the three-dimensionally shaped member whose surface is formed in an uneven shape by applying shape processing to the thin plate material-like member, reliable support and fixation can be realized. . Therefore, the subject is firmly fixed to the fixed support means, and can be vibrated reliably by gas collision. Therefore, it is possible to accurately detect the vibration of the subject and accurately inspect the quality of the subject.
また、振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を振動特性算出手段によって算出し、被検体の良否を判定するため、単に、取得した振動から判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。 In addition, the vibration characteristic calculation means calculates the object vibration characteristics that are the vibration characteristics of the subject from the vibrations detected by the vibration detection means, and determines whether the subject is good or bad. Thus, the determination process can be performed with a low load and the quality can be determined more accurately.
また、記憶手段に、良品である凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶するとともに、良品振動特性と被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定するため、単に、検出した振動にのみ基づいて良否判定するよりも、より正確に良否判定することができる。 The storage means stores the vibration characteristics of the concavo-convex member, which is a non-defective product, as the non-defective vibration characteristics, and compares the non-defective vibration characteristics with the subject vibration characteristics to determine the quality of the subject. The pass / fail judgment can be made more accurately than the pass / fail judgment based only on the vibration.
また、振動検出手段が振動を検出する箇所と、前記流体噴出手段が流体を噴出させる被加振箇所とが近く、クラック等が生じた不良箇所が、振動を検出する箇所及び被加振箇所から離れた位置である場合、被加振箇所から振動を検出する箇所に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、立体形状部材において、振動検出手段によって振動を検出する押潰し部から離れた被加振箇所に流体噴出手段が流体を噴出させるため、不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。 Further, the location where the vibration detecting means detects vibration and the vibration-excited location where the fluid ejecting means ejects fluid are close to each other, and a defective location where a crack or the like has occurred is detected from the location where vibration is detected and the location where the vibration is applied. In the case of being away from each other, the vibration transmitted from the place to be detected to the place where the vibration is detected has less influence of the vibration due to the defective place, and an accurate pass / fail judgment cannot be made. However, in the three-dimensional member, since the fluid ejecting means ejects the fluid to the vibration-excited part away from the crushing portion where the vibration is detected by the vibration detecting means, the influence on the vibration due to the defective part when a defect occurs. Can be detected and a more accurate pass / fail judgment can be made.
また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、被検体に向けて噴出された流体は、被検体表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、検査終了後に、被検体表面に残留する液体やゲル状体の流体を取り除く手間が必要となる。しかし、流体を気体で構成するため、噴出されて被検体を加振した流体が被検体表面に残らず、流体によって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する流体を取り除く手間もかからない。 Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, the fluid ejected toward the subject remains on the subject surface, which may affect subsequent vibration. Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, it is necessary to remove the liquid or the gel-like body fluid remaining on the surface of the subject after completion of the examination. However, since the fluid is composed of gas, the fluid that is ejected and vibrates the subject does not remain on the surface of the subject, and vibrations that are vibrated by the fluid can be accurately detected. In addition, there is no need to remove the fluid remaining on the surface like a liquid or gel.
また、振動検出手段を、押潰し部に対してレーザ光を照射し、押潰し部で反射したレーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。詳しくは、被検体の振動を、例えば音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、振動検出手段を、被検体にレーザ光を照射するとともに、反射レーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、流体によって加振させた振動のみを検出することができる。 Further, since the vibration detecting means is configured to irradiate the crushing part with laser light, receive the laser light reflected by the crushing part, and detect the vibration of the subject based on the phase difference, the vibration detecting means depends on the surrounding environment. Therefore, accurate vibration can be detected. Specifically, when the vibration of the subject is collected and detected, for example, as sound, noise such as noise around the inspection apparatus is also detected, so that accurate vibration detection is difficult. On the other hand, since the vibration detection means is configured to irradiate the subject with laser light and receive reflected laser light and detect the vibration of the subject based on the phase difference, noise such as noise around the inspection apparatus. It is possible to detect only the vibrations excited by the fluid without including the vibrations caused by.
また、他の凹凸状表面にレーザ光を照射した場合、レーザ光は表面の凹凸によって様々な反射方向に反射して乱反射するが、振動検出手段が、押潰し部に向けてレーザ光を照射することによって、反射レーザ光を受光しやすくなる。したがって、レーザ光によって、より正確に被検体の振動を検出することができる。 In addition, when laser light is irradiated on another uneven surface, the laser light is reflected in various reflection directions by the unevenness of the surface and is irregularly reflected, but the vibration detection means irradiates the laser beam toward the crushing portion. This makes it easier to receive the reflected laser light. Therefore, the vibration of the subject can be detected more accurately by the laser light.
この発明により、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、正確に良否を判定することのできる検査装置及び検査方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of accurately determining whether or not a rugged member has a rugged surface by applying shape processing to a thin plate member. .
この発明を実施するための一形態を、以下図面を用いて説明する。
図1は検査ワーク100の説明図を示し、図2は検査ワーク100の折り曲げ加工についての説明図を示している。
An embodiment for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory diagram of the
詳しくは、図1(a)は検査ワーク100の斜視図を示し、図1(b)は検査ワーク100を構成するアルミニウム製金属板110の斜視図を示している。
また、図2(a)は図1(b)におけるA−A切断部端面図を示し、図2(b)におけるB−B切断部端面図を示し、図2(c)はC−C切断部端面図を示している。図2(d)は図1(a)におけるD−D切断部端面図を示し、図2(e)は図1(a)におけるE−E切断部端面図を示している。
Specifically, FIG. 1A shows a perspective view of the
2 (a) shows an end view of the AA cut portion in FIG. 1 (b), shows an end view of the BB cut portion in FIG. 2 (b), and FIG. 2 (c) shows a CC cut. The part end elevation is shown. 2D shows an end view of the DD cut portion in FIG. 1A, and FIG. 2E shows an end view of the EE cut portion in FIG.
検査ワーク100は、薄板状のアルミニウム製金属板110に折り曲げ加工を施すとともに、立体加工して、中空の略四角錐台状に形成している。詳しくは、検査ワーク100は、折り曲げ加工により凹凸状に加工された凹凸加工面110aを全面に有している。
The
さらには、四角錐台状に形成された検査ワーク100の上面100aの中央には、凹凸加工面110aの凹凸状を押し潰したプレス部101を形成している。また、検査ワーク100において、プレス部101から離れた位置である、側面100bの下部の一部を、後述する加振エアーKaを衝突させて加振させる加振ポイントBaとしている。
Furthermore, the
この凹凸加工面110aは、図2に示したように、縦横両方向に襞状の折り目を有する形状である。このような形状の凹凸加工面110aを有する検査ワーク100は、変形性および形状保持性が優れ、吸音・消音性も良好であるという利点を有する。
As shown in FIG. 2, the concavo-convex processed
具体的には、アルミニウム製金属板110の凹凸加工面110aは、図2(a)の断面図に示したように、横方向から見て山形に***する***部112を一定間隔おきに有する波状であり、前記***部112において、幅狭の第1凸部113と、それよりも幅狭の第1凹部114を横方向に繰り返し有する(図2(b)参照)。一方、前記***部112間の低い部位において、幅広の第2凸部115と、それより幅狭の第2凹部116を横方向に繰り返す(図2(c)参照)形状である。
Specifically, as shown in the cross-sectional view of FIG. 2A, the concavo-convex processed
前記第1凸部113は、頂面113aが下へ若干湾曲し両側113bが逆ハの字になる形状で、第1凹部114は、平坦な底部114aを有する。これとは逆に、前記第2凸部115は、頂面115aが平坦で、第2凹部116は、底面116aが上へ若干湾曲し両側116bがハの字になる形状である。これら***部112、第1凸部113、第1凹部114、第2凸部115及び第2凹部116が波状加工部110aを構成する。
The first
凹凸加工面110aがこのような構造をなすので検査ワーク100は加工性がよく、特にLDR(Limiting Drawing Ratio)あるいは限界絞り比が高く、絞り性が良好であって、複雑で微細な加工でも可能となる。
Since the concavo-convex processed
そして、上述したように、検査ワーク100における上面100aの中央に形成されたプレス部101は、凹凸加工面110aの凹凸を押し潰して形成している。
And as mentioned above, the
詳述すると、プレス部101における凹凸加工面110aは、第1凸部113が押し潰され、頂面113aが平坦になるとともに、逆ハの字状であった両側113bが頂面113a下面と第1凹部114の上面とに密着して、略平坦状な第1凸部113’となる。さらには、底面116aが平坦になるとともに、ハの字状であった両側116bが第2凸部115の下面と底面116aの上面とに密着して、略平坦状な第2凹部116’となる。
More specifically, the
これにより、検査ワーク100における上面100aのプレス部101では、検査ワーク100の外側表面及び内側表面ともに、略平坦な面部分を構成することができる。
Thereby, in the
なお、上述の説明では、検査ワーク100を凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110で構成したが、凹凸加工面110aが形成された紙製板や樹脂版で構成してもよい。
In the above description, the
次に、検査ワーク100の良否を検査する検査装置1について説明する。
検査装置1は、制御ユニット10と、レーザユニット20と、加振ユニット30と、固定ユニット40とで構成している。
Next, the
The
制御ユニット10は、制御装置11、表示装置12、記憶装置13、AD変換装置14、及びマウスやキーボード等の入力装置である操作装置、DVD−RAM等の各種記憶媒体を読取る記憶媒体読取装置、または記憶媒体読書き装置、及びネットワーク接続可能なLANボード等の通信装置で構成する送受信装置等を備えている。
The
制御装置11は、CPU、ROM、及びRAMで構成し、記憶装置13に格納したプログラムに従って各種制御処理を実行する装置である。
表示装置12は、液晶モニタ又はCRTディスプレイ等で構成して各種情報を表示する装置である。
The
The
記憶装置13は、ハードディスク等の記憶装置で構成して、良品平均振動特性データや不良品平均振動特性データを含む各種データ、及び判定プログラム、振動特性算出プログラム、あるいは各種装置を制御する制御プログラムを含む各種プログラムを格納する装置である。
AD変換装置14は、制御装置11から出力された出力信号をアナログ変換する装置である。
The
The
レーザユニット20は、レーザコントローラ21と、レーザヘッドセンサ22とで構成している。
レーザコントローラ21は、制御ユニット10のAD変換装置14に接続され、AD変換装置14からのアナログ化された出力信号に基づいて、レーザヘッドセンサ22に対してレーザ照射のON/OFFを切り替えるとともに、反射レーザ光の受光を制御するコントローラである。
The
The
レーザヘッドセンサ22は、レーザコントローラ21の制御に基づいて、レーザヘッド22aより検査ワーク100のプレス部101に向かってレーザ光Lgを照射するとともに、プレス部101で反射した反射レーザ光Lcを受光することができる構成である。
Based on the control of the
加振ユニット30は、上流側から順に、蓄圧タンク31と、電磁弁32と、噴射ノズル33aに連結された減圧弁33とで構成し、この順で、噴射ノズル33aから噴出されるエアーが蓄圧タンク31から減圧弁33まで導通可能に連結されている。
The
蓄圧タンク31は、加振ユニット30で検査ワーク100に対して加振エアーKaとして噴出させるエアーを、外部から取り込んで加圧して貯蓄するタンクである。
The
電磁弁32は、制御ユニット10のAD変換装置14に接続され、AD変換装置14からのアナログ化された出力信号に基づいて、蓄圧タンク31に貯蓄されたエアーの噴出のON/OFFを切り替える切換え弁である。
減圧弁33は、電磁弁32より下流側に配置され、電磁弁32を通過したエアーを、検査ワーク100の強度や性状に応じて、適宜の圧力に減圧調整する調整弁である。
The
The
固定ユニット40は、下流側から順に、負圧タンク41と、電磁弁42と、固定台43とで構成し、この順で、負圧エアーが導通可能に連結されている。
負圧タンク41は、固定台43で検査ワーク100を固定するための負圧エアーを生成するためのタンクである。
The fixed
The
電磁弁42は、制御ユニット10のAD変換装置14に接続され、AD変換装置14からのアナログ化された出力信号に基づいて、負圧タンク41に貯蓄された負圧エアーのON/OFFを切り替える切換え弁である。
固定台43は、検査ワーク100を固定するための固定台であり、上部より検査ワーク100を固定するための負圧エアーが作用する構成である。
The
The fixing
このように構成した検査装置1は、図4に示すように、固定台43の上面に検査ワーク100のプレス部101を載置し、固定ユニット40による負圧エアーを作用させて、固定台43に支持固定することができる。
As shown in FIG. 4, the
また、加振ユニット30の噴射ノズル33aにより、検査ワーク100のプレス部101から離れた位置である側面100bの下部の加振ポイントBaに対して加振エアーKaを噴出することができる。また、レーザユニット20のレーザヘッド22aより、検査ワーク100の上面100aに形成したプレス部101に対して、レーザ光Lgを照射し、プレス部101で反射した反射レーザ光Lcを受光して、その位相差に基づいてプレス部101の振動を検出することができる。
Further, the excitation air Ka can be ejected to the excitation point Ba at the lower part of the
このとき、レーザヘッド22a(図4)は検査ワーク100の上面100aに形成したプレス部101に対してレーザ光Lgを照射しているため、高確率で反射レーザ光Lcを受光することができる。
At this time, since the
詳しくは、図5(a)に示すように、プレス部101でない凹凸加工面110aに対してレーザ光Lgを照射すると、例えば、頂面113aの中央に照射されたレーザ光Lg1は、そのまま反射されるため反射レーザ光Lc1を受光することができる。また、第1凹部114の底部114aに照射されたレーザ光Lg2もそのまま反射されるため反射レーザ光Lc2を受光することができる。
Specifically, as shown in FIG. 5A, when the concavo-convex processed
しかし、頂面113aの中央でない部分に照射されたレーザ光Lg3は、傾斜する頂面113aで反射するため、レーザヘッド22a(図4)で反射レーザ光Lcを受光することができない。また、頂面113aと両側113bとの折り曲げR部113rに照射されたレーザ光Lg4も、R状である角部で反射するため、レーザヘッド22aで反射レーザ光Lcを受光することができない。なお、底部114aにおいても、レーザヘッド22aによって直上からレーザ光Lgが照射されるため、逆ハの字状の折り曲げR部113rによって隠れる第1凸部113の際の部分にレーザ光Lgが照射されることはない。したがって、凹凸加工面110aが形成された検査ワーク100の上面100aでは、底部114aの中間部分と、頂面113aの中央部分でしか、反射レーザ光Lcを受光することはできない。
However, since the laser beam Lg3 irradiated to the non-center portion of the
このように、レーザヘッド22aからレーザ光Lgを照射し、反射した反射レーザ光Lcを受光することのできる確率は低く、検査装置として、利便性が低いと考えられる。
Thus, the probability that the laser beam Lg can be irradiated from the
これに対して、図5(b)に示すように、凹凸加工面110aにおける凹凸が押し潰されたプレス部101では、頂面113a’も平坦であるため、頂面113a’と両側113b’との角部である折り曲げR部113r’以外の部分で、レーザヘッド22aから照射したレーザ光Lgが反射した反射レーザ光Lcを受光することができる(図5(b)における反射レーザ受光可能範囲参照)。したがって、反射レーザ光Lcの受光確率が非常に高くなる。
On the other hand, as shown in FIG. 5B, in the
続いて、検査装置1を用いた検査ワーク100の良否検査について、図6乃至8とともに説明する。なお、図6は検査装置1における良否検査のフローチャートを示し、図7は検出した振動についての説明図を示し、図8は良否判定の方法について説明するためのグラフを示している。さらに、詳述すると、図7(a)はレーザユニット20によって取得したプレス部101での振動波形のグラフを示し、図7(b)は良品(OK)と不良品(NG)との振動波形から算出した振動スペクトル波形を示している。
Subsequently, the quality inspection of the
まず、良否検査を実施するにあたり、検査ワーク100を固定台43にセットする(ステップs1)。このとき、上述したように、検査ワーク100のプレス部101が固定台43上部となるように載置し、AD変換装置14を介した制御装置11からの信号により、固定ユニット40を作動させて、負圧エアーを作用させて検査ワーク100を固定台43に固定する。
First, when performing a pass / fail inspection, the
そして、レーザヘッド22a及び噴射ノズル33aの位置及び方向を、セットした検査ワーク100にあわせて微調整した後、電磁弁32を制御して、噴射ノズル33aから加振エアーを加振ポイントBaに向けて噴射させる(ステップs2)。なお、噴射ノズル33aからの加振エアーの噴出は、所定時間経過後、制御装置11の制御によって停止させる。
Then, after finely adjusting the positions and directions of the
電磁弁32aから噴出された加振エアーの衝突によって振動する検査ワーク100の振動を、レーザユニット20によって検出する(ステップs3)。なお、レーザユニット20は、図7(a)に示すように、制御装置11の制御によって、加振ユニット30による加振エアーの噴出開始前から振動を検出し、加振エアーの噴出終了後所定時間経過するまで振動を、時間情報とともに検出する。
The
レーザユニット20によって振動を検出した制御装置11は、振動特性算出プログラムにより、ステップs3で検出した振動データに対してスペクトル解析を行い、振動スペクトルを取得した振動データの取得振動特性データとして算出する(ステップs4)。
The
そして、制御装置11は、図7(b)に示すような、良品平均振動特性データ及び不良品平均振動特性データを記憶装置13から読み出し、ステップs4で算出した取得振動特性データを、判定プログラムにより、良品平均振動特性データ及び不良品平均振動特性データと比較して良否判定を行う(ステップs5)。
Then, the
詳しくは、取得振動特性データに基づく取得平均振動特性波形S1、良品平均振動特性データに基づく良品平均振動特性波形Sg及び不良品平均振動特性データに基づく不良品平均振動特性波形Sbについてのある周波数範囲のグラフである図8に示すように、ステップs5で実施する判定プログラムによる判定は、所定間隔毎に設定された判定周波数ポイントPnについて、取得平均振動特性波形S1が良品平均振動特性波形Sgと不良品平均振動特性波形Sbとの間の範囲に入るかどうかを判定する。 Specifically, a certain frequency range for the acquired average vibration characteristic waveform S1 based on the acquired vibration characteristic data, the good average vibration characteristic waveform Sg based on the non-defective average vibration characteristic data, and the defective average vibration characteristic waveform Sb based on the defective average vibration characteristic data. As shown in FIG. 8 which is a graph of FIG. 8, the determination by the determination program performed in step s5 is that the acquired average vibration characteristic waveform S1 is not equal to the non-defective average vibration characteristic waveform Sg for the determination frequency points Pn set at predetermined intervals. It is determined whether or not it falls within the range between the non-defective product average vibration characteristic waveform Sb.
例えば、図8に示すように、判定周波数ポイントPnでは取得平均振動特性波形S1は良品平均振動特性波形Sgと不良品平均振動特性波形Sbとの間の範囲に入るため「OK」と判定する。次の判定周波数ポイントPn+1では、取得平均振動特性波形S1は良品平均振動特性波形Sgを超えるため「NG」と判定する。さらに、判定周波数ポイントPn+2,Pn+3では「OK」と判定され、判定周波数ポイントPn+4では、取得平均振動特性波形S1が不良品平均振動特性波形Sbを下回るため「NG」と判定する。 For example, as shown in FIG. 8, at the determination frequency point Pn, the acquired average vibration characteristic waveform S1 falls within the range between the non-defective product average vibration characteristic waveform Sg and the defective product average vibration characteristic waveform Sb. At the next determination frequency point Pn + 1, since the acquired average vibration characteristic waveform S1 exceeds the non-defective average vibration characteristic waveform Sg, it is determined as “NG”. Furthermore, “OK” is determined at the determination frequency points Pn + 2 and Pn + 3, and “NG” is determined at the determination frequency point Pn + 4 because the acquired average vibration characteristic waveform S1 is lower than the defective average vibration characteristic waveform Sb.
このように、所定間隔毎に設定された判定周波数ポイントPnの全箇所において、上記判定を繰り返し、判定周波数ポイントPnの設定箇所数に対する、判定結果「OK」の判定周波数ポイントPnの数の比率を算出する。 In this way, the above determination is repeated at all the determination frequency points Pn set at predetermined intervals, and the ratio of the number of determination frequency points Pn of the determination result “OK” to the number of determination frequency points Pn is set. calculate.
そして、この判定結果「OK」の判定周波数ポイントPnの数の比率が、基準値以上であれば(ステップs6:Yes)、制御装置11は、表示装置12に判定結果が「良品」であったことを出力する(ステップs7)。逆に、この判定結果「OK」の判定周波数ポイントPnの数の比率が、基準値以下であれば(ステップs6:No)、制御装置11は、表示装置12に判定結果が「不良品」であったことを出力する(ステップs8)。そして、その結果を記憶装置13に記憶して、この良品検査処理を終了する。このような検査方法によって検査ワーク100(A〜J)について検査し。基準値を「0.700」に設定した結果を以下の表1に示す。
If the ratio of the number of determination frequency points Pn of the determination result “OK” is equal to or greater than the reference value (step s6: Yes), the
詳しくは、アルミニウム製金属板110に形状加工を施して凹凸加工面110aが形成された検査ワーク100におけるプレス部101において固定台43が検査ワーク100を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。したがって、検査ワーク100は堅固に固定台43に固定され、加振エアーの衝突によって確実に加振することができる。よって、その加振による振動を正確に検出して検査ワーク100の良否を正確に検査することができる。
Specifically, since the fixing
また、レーザユニット20が検出した振動から検査ワーク100の振動特性である取得振動特性を振動特性算出プログラムを実行する制御装置11によって算出し、検査ワーク100の良否を判定するため、単に、取得した振動データから判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。
Further, the acquired vibration characteristic, which is the vibration characteristic of the
また、記憶手段13に、良品の振動特性を良品振動特性として記憶するとともに、良品振動特性と取得振動特性とを比較して検査ワーク100の良否を判定するため、単に、検出した振動にのみ基づいて良否判定するよりも、より正確に良否判定することができる。
In addition, the vibration characteristics of the non-defective product are stored in the storage means 13 as the non-defective product vibration characteristics, and the quality of the
また、レーザユニット20が振動を検出するプレス部101と、加振ユニット30が加振エアーを噴出させる加振ポイントBaとが近く、クラック150(図9)等の不良個所が、振動を検出するプレス部101及び加振ポイントBaから離れた位置である場合、加振ポイントBaから振動を検出するプレス部101に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、検査ワーク100において、レーザユニット20によって振動を検出するプレス部101から離れた加振ポイントBaに加振ユニット30が加振エアーを噴出させるため、クラック150等の不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。
Further, the
また、検査装置1を用いることにより周辺環境に影響されずに、正確な良否判定を行うことができる。詳しくは、加振エアーの代わりに液体やゲル状体を加振ユニット30から噴出させた場合、検査ワーク100に向けて噴出された液体やゲル状体は、検査ワーク100表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、液体やゲル状体を噴出させた場合、検査終了後に、検査ワーク100表面に残留する液体やゲル状体を取り除く手間が必要となる。しかし、加振エアーを噴出するため、噴出されて検査ワーク100を加振した加振エアーが検査ワーク100表面に残らず、加振エアーによって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する加振エアーを取り除く手間もかからない。
In addition, by using the
また、プレス部101に対してレーザ光Lgを照射し、プレス部101で反射した反射レーザ光Lcを受光し、その位相差によって検査ワーク100の振動を検出するレーザユニット20を用いたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。
Further, since the laser unit L that irradiates the
詳しくは、検査ワーク100の振動を、例えば音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、検査ワーク100にレーザ光Lgを照射するとともに、反射レーザ光Lcを受光し、その位相差によって検査ワーク100の振動を検出するレーザユニット20を用いたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、加振エアーによって加振させた振動のみを検出することができる。
Specifically, when the vibration of the
また、プレス部101以外の検査ワーク100の表面にレーザ光Lgを照射した場合、レーザ光Lgは表面の凹凸によって様々な反射方向に反射して乱反射するが、レーザユニット20が、プレス部101に向けてレーザ光Lgを照射することによって、反射レーザ光Lcを受光しやすくなる。したがって、レーザ光Lgによって、より正確に検査ワーク100の振動を検出することができる。
In addition, when the surface of the
この発明の構成と、上述の実施例との対応において、この発明の被検体及び立体形状部材は、検査ワーク100に対応し、
以下同様に、
流体は、加振エアーに対応し、
流体噴出手段及び気体噴出手段は、加振ユニット30に対応し、
振動検出手段及びレーザ式振動検出手段は、レーザユニット20に対応し、
固定支持手段は、固定ユニット40に対応し、
凹凸状部材は、凹凸加工面110aが形成されたアルミニウム製金属板110に対応し、
押潰し部は、プレス部101に対応し、
記憶手段は、記憶装置13に対応し、
良品振動特性は、良品平均振動特性データに対応し、
被検体振動特性は、取得振動特性データに対応し、
振動特性算出手段は、ステップs4で振動特性算出プログラムを実行する制御装置11に対応し、
判定手段は、ステップs5で判定プログラムを実行する制御装置11に対応し、
被加振箇所は、加振ポイントBaに対応し、
反射したレーザ光は、反射レーザ光Lcに対応するも、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。
In correspondence between the configuration of the present invention and the above-described embodiment, the subject and the three-dimensionally shaped member of the present invention correspond to the
Similarly,
The fluid supports vibration air,
The fluid ejection means and the gas ejection means correspond to the
The vibration detection means and the laser type vibration detection means correspond to the
The fixing support means corresponds to the fixing
The uneven member corresponds to the
The crushing part corresponds to the
The storage means corresponds to the
Good product vibration characteristics correspond to good product average vibration characteristics data,
The subject vibration characteristic corresponds to the acquired vibration characteristic data,
The vibration characteristic calculation means corresponds to the
The determination means corresponds to the
The excitation location corresponds to the excitation point Ba,
The reflected laser light corresponds to the reflected laser light Lc,
The present invention is not limited only to the configuration of the above-described embodiment, and many embodiments can be obtained.
1…検査装置
11…制御装置
13…記憶装置
20…レーザユニット
30…加振ユニット
40…固定ユニット
100…検査ワーク
101…プレス部
110…アルミニウム製金属板
110a…凹凸加工面
Ba…加振ポイント
Lg…レーザ光
Lc…反射レーザ光
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記被検体を、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材で構成するとともに、表面の一部における凹凸状を押し潰した押潰し部を形成し、
前記固定支持手段が、前記押潰し部において前記凹凸状部材を支持固定するとともに、
前記振動検出手段が、前記押潰し部における振動を検出することを特徴とする
検査装置。 Fluid ejecting means for ejecting fluid toward the subject to vibrate the subject, vibration detecting means for detecting vibration of the subject that vibrates due to collision of the ejected fluid, and fixing the subject An inspection device that includes a fixed support means for supporting, and inspects the quality of the subject by the detected vibration,
The subject is formed by a concavo-convex member whose surface is formed into a concavo-convex shape by subjecting a thin plate material-like member to shape processing, and a crushing portion is formed by crushing the concavo-convex shape in a part of the surface,
The fixing support means supports and fixes the concavo-convex member at the crushing portion,
The inspection apparatus, wherein the vibration detection means detects vibration in the crushing portion.
前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出する振動特性算出手段と、
前記良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する判定手段とを備えた
請求項1に記載の検査装置。 Storage means for storing the vibration characteristics of the concavo-convex member which is a non-defective product as non-defective vibration characteristics;
Vibration characteristic calculating means for calculating a subject vibration characteristic which is a vibration characteristic of the subject from the vibration detected by the vibration detecting means;
The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a determination unit that compares the non-defective product vibration characteristics with the subject vibration characteristics to determine whether the subject is good or bad.
前記流体噴出手段が、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記流体を噴出させる
請求項1または請求項2に記載の検査装置。 The concavo-convex member is composed of a three-dimensional member formed in a three-dimensional shape,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the fluid ejecting unit ejects the fluid to a vibration-excited portion separated from the crushing portion in the three-dimensionally shaped member.
前記振動検出手段を、前記押潰し部に対してレーザ光を照射し、前記押潰し部で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって前記被検体の振動を検出する構成とした
請求項1乃至3のうちいずれかに記載の検査装置。 The fluid is composed of a gas,
The vibration detection unit is configured to irradiate the crushing portion with laser light, receive the laser light reflected by the crushing portion, and detect the vibration of the subject based on the phase difference. The inspection apparatus according to any one of 1 to 3.
薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材に立体加工を施して、立体形状に形成した立体形状部材で構成する前記被検体の表面の一部における凹凸状を押し潰して押潰し部を形成し、
該押潰し部において前記固定支持手段で前記被検体を支持固定し、
前記気体噴出手段から、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記気体を噴出させ、
前記振動検出手段によって前記押潰し部における振動を検出し、
前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出し、
あらかじめ記憶手段に記憶された良品である前記立体形状部材の振動特性である良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する
検査方法。 A gas jetting means for jetting a gas toward the subject to vibrate the subject, and irradiating the subject that vibrates due to the collision of the jetted gas with a laser beam, on the surface of the subject The subject is detected by the detected vibration using an inspection apparatus including a laser-type vibration detecting unit that receives the reflected laser beam and detects a vibration based on a phase difference thereof, and a fixed support unit that fixes and supports the subject. An inspection method for inspecting the quality of
Concavity and convexity on a part of the surface of the subject formed by a three-dimensionally shaped member obtained by subjecting a thin plate-like member to three-dimensional processing on a concave-convex member whose surface is formed into a concave-convex shape. Crush to form a crushed part,
The subject is supported and fixed by the fixing support means in the crushing portion,
From the gas jetting means, the gas is jetted to a place to be vibrated away from the crushing portion in the three-dimensionally shaped member,
Detecting vibration in the crushing portion by the vibration detecting means;
Calculating a subject vibration characteristic which is a vibration characteristic of the subject from the vibration detected by the vibration detection means;
An inspection method for determining whether a subject is good or bad by comparing the non-defective vibration characteristics, which are vibration characteristics of the three-dimensionally shaped member, which is a non-defective product stored in advance in a storage unit, with the subject vibration characteristics.
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