JP2011203078A

JP2011203078A - Testing apparatus and testing method

Info

Publication number: JP2011203078A
Application number: JP2010069972A
Authority: JP
Inventors: Kazuyo Akimoto; 一世秋本
Original assignee: Sanwa Packing Industry Co Ltd
Current assignee: Sanwa Packing Industry Co Ltd
Priority date: 2010-03-25
Filing date: 2010-03-25
Publication date: 2011-10-13
Anticipated expiration: 2030-03-25
Also published as: JP5492623B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a testing apparatus and a testing method for accurately determining the quality, even if a thin plate material member as a concave-convex member has a processed shape, and a concave-convex shaped surface.SOLUTION: The inspection apparatus 1 is provided with a vibration application unit 30 for blowing vibration application air towards a test workpiece 100, and applying a vibration to the test workpiece 100; a laser unit 20 for detecting the vibration in the test workpiece 100 vibrated by a collision of the blown vibration application air; and a fixing unit 40 for fixing and supporting the test workpiece 100 and tests the quality of the test workpiece 100 by the detected vibration. The test workpiece 100 includes an aluminum metal plate 110 formed with the concave-convex processed surface 110a, and a pressing section 101, in which the concave-convex surface is collapsed, and a fixing table 43 supports and fixes the aluminum metal plate 110 in the pressing section 101; and the laser unit 20 detects vibration in the pressing section 101.

Description

この発明は、例えば自動車エンジンの排気マニホールドを覆うヒートインシュレータ等の金属製部材のような部材の良否を検査する検査装置に関し、より詳しくは、表面を凹凸状に形成した凹凸部材であっても正確に良否を検査することのできるような検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting the quality of a member such as a metal member such as a heat insulator that covers an exhaust manifold of an automobile engine. More specifically, the present invention accurately relates to an uneven member whose surface is uneven. The present invention relates to an inspection apparatus capable of inspecting pass / fail.

これまで、例えば、金属製製品等の製品における完成検査等において、製品をハンマー等で叩いた際の打音を採取して、その打音の振動スペクトルによって製品の良否を判定していた。 Up to now, for example, in the completion inspection of a product such as a metal product, the sound of hitting the product with a hammer or the like has been collected, and the quality of the product has been determined by the vibration spectrum of the sound.

しかし、完成検査のためにハンマー等で製品を叩くことにより、製品表面に傷が入ったり、そもそも強度の低い製品の場合においては変形し、良品であっても完成検査のために、不良品となるという問題があった。例えば、強度の低い紙製の部材においては、金属製部材に比べて容易に変形するため、上記問題は顕著に現れる。 However, by hitting the product with a hammer or the like for completion inspection, the surface of the product is scratched or deformed in the case of a product with low strength in the first place. There was a problem of becoming. For example, a paper member having a low strength is easily deformed as compared with a metal member, and thus the above problem appears remarkably.

そのため、ハンマー等を用いた打音検査のできない製品に対しては、検査担当者の目視による検査を実施している。しかし、このような目視検査の場合、検査に対する熟練の技術が必要であり、正確な検査を効率よく実施することは困難であった。そこで、以下に示すような検査装置が提案されている（特許文献１参照）。 For this reason, products that cannot be hammered using a hammer or the like are visually inspected by an inspector. However, in the case of such a visual inspection, skilled techniques for the inspection are required, and it has been difficult to efficiently perform an accurate inspection. Therefore, an inspection apparatus as shown below has been proposed (see Patent Document 1).

特許文献１で提案された検査装置は、被検体に空気を衝突させて、空気が衝突した被検体の振動を、マグネットを用いたセンサで検出し、その振動を良品の振動特性と比較して被検体の良否判定する装置である。この検査装置により、ハンマー等による打音検査のできない被検体であっても正確に検査することができるとされている。 The inspection apparatus proposed in Patent Document 1 collides air with a subject, detects the vibration of the subject that the air collides with a sensor using a magnet, and compares the vibration with the vibration characteristics of a non-defective product. This is an apparatus for determining the quality of a subject. It is said that this inspection apparatus can accurately inspect even a subject that cannot be hammered by a hammer or the like.

しかし、マグネットを用いたセンサで振動検出しているため、振動の検出能力は低く、十分に正確な振動を検出できるものではなかった。
このような問題に対して、レーザ光を被検体に照射するとともに、被検体で反射した反射レーザ光を受光し、その位相差によって振動を検出するレーザドップラー式振動センサで被検体の振動を検出し、被検体の良否判定を行う検査装置が提案されている（特許文献２参照）。この検査装置によれば、高精度で被検体の振動を検出できるため、正確な良否判定ができるとされている。 However, since vibration is detected by a sensor using a magnet, the vibration detection capability is low, and it is not possible to detect sufficiently accurate vibration.
In response to these problems, the laser beam is irradiated to the subject, the reflected laser beam reflected by the subject is received, and the vibration of the subject is detected by a laser Doppler type vibration sensor that detects vibration based on the phase difference. In addition, an inspection apparatus that determines the quality of a subject has been proposed (see Patent Document 2). According to this inspection apparatus, since it is possible to detect the vibration of the subject with high accuracy, it is said that accurate pass / fail judgment can be made.

しかし、検査対象である部材において、例えば、自動車部品等に用いられる金属製製品の場合、省エネに影響しやすい軽量が強く望まれており、金属製製品を構成する金属製材料の薄肉化が進んでいる。さらには、形状の複雑化に伴う形状加工性の向上や、静寂性に影響する吸音効果、電磁シールド性などの付加的効果も求められている。 However, in the case of a metal product used for automobile parts, etc., for the member to be inspected, for example, a light weight that easily affects energy saving is strongly desired, and the metal material constituting the metal product is becoming thinner. It is out. Furthermore, there are also demands for additional effects such as an improvement in shape workability accompanying the complexity of the shape, a sound absorption effect that affects silence, and electromagnetic shielding properties.

そのような要望に対して、金属製薄板に折り曲げ加工を施し、例えば、コルゲート形状のような凹凸加工面１１０ａを形成したアルミニウム製金属板１１０が多用されている（図９参照）。このような凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０は、凹凸状を構成する襞部分が折り曲げ加工によって形成されるため、軽量でありながら、形状加工性が高く、さらには、凹凸による乱反射効果に基づく吸音効果や電磁シールド性を備えている。 In response to such a demand, an aluminum metal plate 110 in which a metal thin plate is bent to form an uneven surface 110a such as a corrugated shape is often used (see FIG. 9). The aluminum metal plate 110 on which such a concavo-convex processed surface 110a is formed is formed by bending a ridge portion constituting the concavo-convex shape. It has a sound absorption effect based on the diffuse reflection effect and electromagnetic shielding properties.

このような凹凸状の凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０であっても、十分な強度を必要としており、クラック１５０等の不具合が生じた製品を用いることはできず、製品検査で良否を正確に判定する必要があった。 Even the aluminum metal plate 110 having such a concavo-convex concavo-convex surface 110a requires a sufficient strength and cannot use a product in which a defect such as a crack 150 has occurred. Therefore, it was necessary to accurately judge the quality.

上述したように、凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０は、金属製薄板を用いているため、局部的な強度は低く、ハンマーによる打音検査を行うと変形するため、他の検査方法で検査する必要がある。 As described above, the aluminum metal plate 110 on which the concavo-convex processed surface 110a is formed uses a metal thin plate, so the local strength is low, and deformation occurs when a hammering test is performed with a hammer. It is necessary to inspect by the inspection method.

しかし、例えば、検査担当者の目視による検査では、凹凸加工面１１０ａが形成されているため、クラック１５０を目視で発見することは困難であった。特に、折り曲げによる襞部分にクラック１５０等が生じている場合、単に目視するだけでは発見できず、凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０の製品検査として目視検査は適していない。 However, for example, in the visual inspection of the person in charge of the inspection, since the uneven surface 110a is formed, it is difficult to visually detect the crack 150. In particular, when a crack 150 or the like is generated in a wrinkle portion due to bending, it cannot be found simply by visual observation, and visual inspection is not suitable as a product inspection of the aluminum metal plate 110 on which the uneven surface 110a is formed.

これに対し、高精度で振動を検知できる特許文献２で提案された検査装置を用いた場合においても、照射されたレーザ光は、図５（ａ）に示すように、表面の凹凸状の凹凸加工面１１０ａにより乱反射するため、正確に振動を検知できないという問題があった。 On the other hand, even when the inspection apparatus proposed in Patent Document 2 capable of detecting vibration with high accuracy is used, the irradiated laser beam is uneven as shown in FIG. There is a problem in that vibration cannot be accurately detected because of irregular reflection by the processed surface 110a.

特開２００７−１４７５１３号公報JP 2007-147513 A 特開２００８−１２２１５５号公報JP 2008-122155 A

そこで、この発明は、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、正確に良否を判定することのできる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides an inspection apparatus and an inspection method capable of accurately determining whether or not a concave-convex member whose surface is formed in a concave-convex shape by subjecting a thin plate-like member to shape processing. With the goal.

この発明は、被検体に向けて流体を噴出させて前記被検体を加振させる流体噴出手段と、噴出された前記流体の衝突によって振動する前記被検体の振動を検出する振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備え、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査装置であって、前記被検体を、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材で構成するとともに、表面の一部における凹凸状を押し潰した押潰し部を形成し、前記固定支持手段が、前記押潰し部において前記凹凸状部材を支持固定するとともに、前記振動検出手段が、前記押潰し部における振動を検出することを特徴とする。 The present invention includes a fluid ejecting unit that ejects a fluid toward a subject to vibrate the subject, a vibration detecting unit that detects vibration of the subject that vibrates due to a collision of the ejected fluid, An inspection apparatus for inspecting the quality of the subject by the detected vibration, and subjecting the subject to shape processing on a thin plate member to make the surface uneven While forming the concavo-convex member formed, forming a crushed portion by crushing the concavo-convex shape in a part of the surface, the fixing support means supports and fixes the concavo-convex member in the crushed portion, The vibration detection means detects vibration in the crushing portion.

上記流体は、空気等の気体、液体あるいはゲル状体とすることができる。
上記薄板材状部材は、アルミニウム製薄板材状部材やＦｅ−Ａｌ製薄板材状部材等の金属製薄板材状部材、紙製薄板材状部材、あるいは樹脂製薄板状部材とすることができる。 The fluid may be a gas such as air, a liquid, or a gel.
The sheet material member can be a metal sheet material member such as an aluminum sheet material member or an Fe-Al sheet material member, a paper sheet material member, or a resin sheet member.

上記薄板材状部材に施す形状加工によって形成された凹凸は、折り曲げ加工によるコルゲートや型押し加工等によって形成されたエンボス等とすることができる。
上記押潰し部は、上記コルゲートやエンボス等の凹凸を押し潰して略平坦状にした部分とすることができる。 The unevenness formed by the shape processing applied to the thin plate member can be an emboss formed by corrugation or embossing by bending.
The crushing portion can be a portion that is flattened by crushing irregularities such as the corrugation and embossing.

この発明により、表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、流体によって加振し、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 According to the present invention, even if the surface of the concavo-convex member is formed into a concavo-convex shape, it is possible to accurately inspect the quality of the subject by oscillating with the fluid and accurately detecting the vibration caused by the vibration.

詳しくは、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材における押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。例えば、表面の凹凸によって固定支持手段による固定支持が不安定な場合、流体噴出手段から噴出された流体の衝突を噴出させて被検体を加振させると、流体が衝突しても十分に加振することができない。しかし、押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、被検体は堅固に固定でき、流体の衝突によって確実に加振することができる。したがって、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 Specifically, since the fixing support means supports the subject at the crushing portion of the uneven member whose surface is formed uneven by applying shape processing to the thin plate member, reliable support and fixation can be realized. . For example, when the fixed support by the fixed support means is unstable due to unevenness of the surface, if the subject is vibrated by ejecting the collision of the fluid ejected from the fluid ejecting means, the vibration is sufficiently excited even if the fluid collides Can not do it. However, since the fixing support means supports the subject in the crushing portion, the subject can be firmly fixed and can be vibrated reliably by the collision of the fluid. Therefore, it is possible to accurately detect the quality of the subject by accurately detecting vibration due to the vibration.

また、振動検出手段が押潰し部における振動を検出するため、より正確に加振された凹凸状部材である被検体の振動を検出することができる。詳しくは、凹凸状部材の表面に形成された凹部と凸部とが存在する場合、例えば、振動検出手段からの距離が変わったり、凹部と凸部との境界部分で検出したりして、正確な振動検出ができないおそれがある。しかし、表面の凹凸を押し潰した押潰し部における振動を検出するため、表面の凹部と凸部との差が少なくなり正確に振動を検出することができる。 In addition, since the vibration detecting means detects the vibration in the crushing portion, it is possible to detect the vibration of the subject that is the uneven member that is vibrated more accurately. Specifically, when there are concave and convex portions formed on the surface of the concavo-convex member, for example, the distance from the vibration detecting means is changed, or detection is performed at the boundary portion between the concave and convex portions. May not be able to be detected. However, since the vibration in the crushed portion obtained by crushing the unevenness on the surface is detected, the difference between the concave and convex portions on the surface is reduced, and the vibration can be detected accurately.

したがって、この発明により、表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、流体噴出手段から噴出した流体によって被検体を確実に加振し、その加振による振動を押潰し部で正確に検出して、被検体の良否を正確に検査することができる。 Therefore, according to the present invention, even if the surface of the concavo-convex member has a concavo-convex shape, the subject is reliably vibrated by the fluid ejected from the fluid ejecting means, and the vibration due to the vibration is accurately detected by the crushing portion. It is possible to accurately inspect whether the subject is good or bad.

この発明の態様として、良品である前記凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶する記憶手段と、前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出する振動特性算出手段と、前記良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する判定手段とを備えることができる。 As an aspect of the present invention, a storage means for storing the vibration characteristics of the concavo-convex member that is a non-defective product as a non-defective vibration characteristic, and a subject vibration characteristic that is a vibration characteristic of the subject is calculated from the vibration detected by the vibration detection means. Vibration characteristic calculating means, determination means for determining the quality of the subject by comparing the non-defective product vibration characteristics and the subject vibration characteristics may be provided.

この発明により、振動検出手段が検出した振動に基づいて、より正確に被検体の良否を判定することができる。
詳しくは、振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を振動特性算出手段によって算出し、被検体の良否を判定するため、単に、取得した振動データから判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。 According to the present invention, the quality of the subject can be determined more accurately based on the vibration detected by the vibration detecting means.
Specifically, when the object vibration characteristic, which is the vibration characteristic of the subject, is calculated from the vibration detected by the vibration detection means by the vibration characteristic calculation means, and the quality of the subject is determined, simply judging from the acquired vibration data Compared to the above, the determination process can be performed with a low load, and the quality can be determined more accurately.

また、記憶手段に、良品である凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶するとともに、良品振動特性と被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定するため、単に、検出した振動にのみ基づいて良否判定するよりも、より正確に良否判定することができる。 The storage means stores the vibration characteristics of the concavo-convex member, which is a non-defective product, as the non-defective vibration characteristics, and compares the non-defective vibration characteristics with the subject vibration characteristics to determine the quality of the subject. The pass / fail judgment can be made more accurately than the pass / fail judgment based only on the vibration.

また、この発明の態様として、前記凹凸状部材を、立体形状で形成された立体形状部材で構成し、前記流体噴出手段が、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記流体を噴出させることができる。 Further, as an aspect of the present invention, the uneven member is configured by a three-dimensional member formed in a three-dimensional shape, and the fluid ejecting means is provided at a vibration location away from the crushing portion in the three-dimensional member. The fluid can be ejected.

この発明により、立体形状部材全体の良否を正確に判定することができる。詳しくは、振動検出手段が振動を検出する箇所と、前記流体噴出手段が流体を噴出させる被加振箇所とが近く、クラック等が生じた不良箇所が、振動を検出する箇所及び被加振箇所から離れた位置である場合、被加振箇所から振動を検出する箇所に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、立体形状部材において、振動検出手段によって振動を検出する押潰し部から離れた被加振箇所に流体噴出手段が流体を噴出させるため、不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。 By this invention, the quality of the whole three-dimensionally shaped member can be accurately determined. Specifically, a location where the vibration detection means detects vibration and a vibration location where the fluid ejection means ejects fluid are close to each other, and a defective location where a crack or the like occurs is a location where vibration is detected and a location where vibration is applied When the position is far from the vibration, the vibration transmitted from the place to be detected to the place where the vibration is detected is less influenced by the defective place, and accurate pass / fail judgment cannot be made. However, in the three-dimensional member, since the fluid ejecting means ejects the fluid to the vibration-excited part away from the crushing portion where the vibration is detected by the vibration detecting means, the influence on the vibration due to the defective part when a defect occurs. Can be detected and a more accurate pass / fail judgment can be made.

また、この発明の態様として、前記流体を、気体で構成するとともに、前記振動検出手段を、前記押潰し部に対してレーザ光を照射し、前記押潰し部で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって前記被検体の振動を検出する構成とすることができる。 Further, as an aspect of the present invention, the fluid is composed of gas, and the vibration detecting unit irradiates the crushing portion with laser light and receives the laser light reflected by the crushing portion. The vibration of the subject can be detected based on the phase difference.

この発明により、周辺環境に影響されずに、正確な良否判定を行うことができる。詳しくは、流体を液体やゲル状体で構成した場合、被検体に向けて噴出された流体は、被検体表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、検査終了後に、被検体表面に残留する液体やゲル状体の流体を取り除く手間が必要となる。しかし、流体を気体で構成するため、噴出されて被検体を加振した流体が被検体表面に残らず、流体によって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する流体を取り除く手間もかからない。 According to the present invention, it is possible to perform an accurate pass / fail judgment without being affected by the surrounding environment. Specifically, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, the fluid ejected toward the subject remains on the subject surface, which may affect subsequent vibration. Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, it is necessary to remove the liquid or the gel-like body fluid remaining on the surface of the subject after completion of the examination. However, since the fluid is composed of gas, the fluid that is ejected and vibrates the subject does not remain on the surface of the subject, and vibrations that are vibrated by the fluid can be accurately detected. In addition, there is no need to remove the fluid remaining on the surface like a liquid or gel.

また、振動検出手段を、押潰し部に対してレーザ光を照射し、押潰し部で反射したレーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。詳しくは、被検体の振動を、例えば、音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、振動検出手段を、被検体にレーザ光を照射するとともに、反射レーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、流体によって加振させた振動のみを検出することができる。 Further, since the vibration detecting means is configured to irradiate the crushing part with laser light, receive the laser light reflected by the crushing part, and detect the vibration of the subject based on the phase difference, the vibration detecting means depends on the surrounding environment. Therefore, accurate vibration can be detected. Specifically, when detecting the vibration of the subject, for example, by collecting the sound as sound, noise such as noise around the inspection apparatus is also detected, so that accurate vibration detection is difficult. On the other hand, since the vibration detection means is configured to irradiate the subject with laser light and receive reflected laser light and detect the vibration of the subject based on the phase difference, noise such as noise around the inspection apparatus. It is possible to detect only the vibrations excited by the fluid without including the vibrations caused by.

また、他の凹凸状表面にレーザ光を照射した場合、レーザ光は表面の凹凸によって様々な反射方向に反射して乱反射するが、振動検出手段が、押潰し部に向けてレーザ光を照射することによって、反射レーザ光を受光しやすくなる。したがって、レーザ光によって、より正確に被検体の振動を検出することができる。 In addition, when laser light is irradiated on another uneven surface, the laser light is reflected in various reflection directions by the unevenness of the surface and is irregularly reflected, but the vibration detection means irradiates the laser beam toward the crushing portion. This makes it easier to receive the reflected laser light. Therefore, the vibration of the subject can be detected more accurately by the laser light.

また、この発明は、被検体に向けて気体を噴出させて前記被検体を加振させる気体噴出手段と、噴出された前記気体の衝突によって振動する前記被検体に対してレーザ光を照射し、前記被検体の表面で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって振動を検出するレーザ式振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備えた検査装置を用いて、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査方法であって、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材に立体加工を施して、立体形状に形成した立体形状部材で構成する前記被検体の表面の一部における凹凸状を押し潰して押潰し部を形成し、該押潰し部において前記固定支持手段で前記被検体を支持固定し、前記気体噴出手段から、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記気体を噴出させ、前記振動検出手段によって前記押潰し部における振動を検出し、前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出し、あらかじめ記憶手段に記憶された良品である前記立体形状部材の振動特性である良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定することを特徴とする。 Further, the present invention irradiates laser light to the subject that vibrates due to collision of the ejected gas, gas ejecting means for exciting the subject by ejecting gas toward the subject, Using an inspection apparatus comprising a laser-type vibration detecting unit that receives the laser light reflected by the surface of the subject and detects vibrations by a phase difference thereof, and a fixed support unit that fixedly supports the subject. An inspection method for inspecting the quality of a subject by detected vibrations, which is formed into a three-dimensional shape by subjecting a thin plate-like member to shape processing and subjecting the uneven member having a surface to be uneven to three-dimensional processing A crushing portion is formed by crushing a concavo-convex shape on a part of the surface of the subject formed of a three-dimensionally shaped member, and the subject is supported and fixed by the fixing support means at the crushing portion, and the gas ejection means From the above In the body-shaped member, the gas is ejected to a vibration location away from the crushing portion, the vibration in the crushing portion is detected by the vibration detecting means, and the vibration of the subject is detected from the vibration detected by the vibration detecting means. The object vibration characteristic, which is a characteristic, is calculated, and the non-defective vibration characteristic of the solid shape member, which is a non-defective product stored in the storage unit, is compared with the object vibration characteristic to determine whether the object is good or bad. It is characterized by determining.

この発明により、表面が凹凸状に形成された立体形状部材であっても、気体によって加振し、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 According to the present invention, even if the surface is a three-dimensionally shaped member, it is possible to accurately inspect the quality of the subject by vibrating with gas and accurately detecting vibration due to the vibration.

詳しくは、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された立体形状部材における押潰し部において固定支持手段が被検体を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。したがって、被検体は堅固に固定支持手段に固定され、気体の衝突によって確実に加振することができる。よって、その加振による振動を正確に検出して被検体の良否を正確に検査することができる。 Specifically, since the fixing support means supports the subject at the crushing portion in the three-dimensionally shaped member whose surface is formed in an uneven shape by applying shape processing to the thin plate material-like member, reliable support and fixation can be realized. . Therefore, the subject is firmly fixed to the fixed support means, and can be vibrated reliably by gas collision. Therefore, it is possible to accurately detect the vibration of the subject and accurately inspect the quality of the subject.

また、振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を振動特性算出手段によって算出し、被検体の良否を判定するため、単に、取得した振動から判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。 In addition, the vibration characteristic calculation means calculates the object vibration characteristics that are the vibration characteristics of the subject from the vibrations detected by the vibration detection means, and determines whether the subject is good or bad. Thus, the determination process can be performed with a low load and the quality can be determined more accurately.

また、振動検出手段が振動を検出する箇所と、前記流体噴出手段が流体を噴出させる被加振箇所とが近く、クラック等が生じた不良箇所が、振動を検出する箇所及び被加振箇所から離れた位置である場合、被加振箇所から振動を検出する箇所に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、立体形状部材において、振動検出手段によって振動を検出する押潰し部から離れた被加振箇所に流体噴出手段が流体を噴出させるため、不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。 Further, the location where the vibration detecting means detects vibration and the vibration-excited location where the fluid ejecting means ejects fluid are close to each other, and a defective location where a crack or the like has occurred is detected from the location where vibration is detected and the location where the vibration is applied. In the case of being away from each other, the vibration transmitted from the place to be detected to the place where the vibration is detected has less influence of the vibration due to the defective place, and an accurate pass / fail judgment cannot be made. However, in the three-dimensional member, since the fluid ejecting means ejects the fluid to the vibration-excited part away from the crushing portion where the vibration is detected by the vibration detecting means, the influence on the vibration due to the defective part when a defect occurs. Can be detected and a more accurate pass / fail judgment can be made.

また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、被検体に向けて噴出された流体は、被検体表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、流体を液体やゲル状体で構成した場合、検査終了後に、被検体表面に残留する液体やゲル状体の流体を取り除く手間が必要となる。しかし、流体を気体で構成するため、噴出されて被検体を加振した流体が被検体表面に残らず、流体によって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する流体を取り除く手間もかからない。 Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, the fluid ejected toward the subject remains on the subject surface, which may affect subsequent vibration. Further, when the fluid is composed of a liquid or a gel-like body, it is necessary to remove the liquid or the gel-like body fluid remaining on the surface of the subject after completion of the examination. However, since the fluid is composed of gas, the fluid that is ejected and vibrates the subject does not remain on the surface of the subject, and vibrations that are vibrated by the fluid can be accurately detected. In addition, there is no need to remove the fluid remaining on the surface like a liquid or gel.

また、振動検出手段を、押潰し部に対してレーザ光を照射し、押潰し部で反射したレーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。詳しくは、被検体の振動を、例えば音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、振動検出手段を、被検体にレーザ光を照射するとともに、反射レーザ光を受光し、その位相差によって被検体の振動を検出する構成としたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、流体によって加振させた振動のみを検出することができる。 Further, since the vibration detecting means is configured to irradiate the crushing part with laser light, receive the laser light reflected by the crushing part, and detect the vibration of the subject based on the phase difference, the vibration detecting means depends on the surrounding environment. Therefore, accurate vibration can be detected. Specifically, when the vibration of the subject is collected and detected, for example, as sound, noise such as noise around the inspection apparatus is also detected, so that accurate vibration detection is difficult. On the other hand, since the vibration detection means is configured to irradiate the subject with laser light and receive reflected laser light and detect the vibration of the subject based on the phase difference, noise such as noise around the inspection apparatus. It is possible to detect only the vibrations excited by the fluid without including the vibrations caused by.

この発明により、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材であっても、正確に良否を判定することのできる検査装置及び検査方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of accurately determining whether or not a rugged member has a rugged surface by applying shape processing to a thin plate member. .

検査ワークの斜視図。The perspective view of a test | inspection workpiece | work. 検査ワークのコルゲート形状及びプレス部の説明図。Explanatory drawing of the corrugated shape of an inspection work, and a press part. 検査装置のブロック図。The block diagram of an inspection apparatus. 検査装置による検査状況の概略説明図。The schematic explanatory drawing of the inspection condition by an inspection apparatus. 照射レーザについての説明図。Explanatory drawing about irradiation laser. 良否検査のフローチャート。Flow chart of pass / fail inspection. 検査結果についての説明図。Explanatory drawing about a test result. 良否判定についての説明図。Explanatory drawing about a quality determination. 凹凸加工面が形成されたアルミニウム製金属板の平面図。The top view of the aluminum metal plate in which the uneven | corrugated processed surface was formed.

この発明を実施するための一形態を、以下図面を用いて説明する。
図１は検査ワーク１００の説明図を示し、図２は検査ワーク１００の折り曲げ加工についての説明図を示している。 An embodiment for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory diagram of the inspection workpiece 100, and FIG. 2 is an explanatory diagram for bending the inspection workpiece 100.

詳しくは、図１（ａ）は検査ワーク１００の斜視図を示し、図１（ｂ）は検査ワーク１００を構成するアルミニウム製金属板１１０の斜視図を示している。
また、図２（ａ）は図１（ｂ）におけるＡ−Ａ切断部端面図を示し、図２（ｂ）におけるＢ−Ｂ切断部端面図を示し、図２（ｃ）はＣ−Ｃ切断部端面図を示している。図２（ｄ）は図１（ａ）におけるＤ−Ｄ切断部端面図を示し、図２（ｅ）は図１（ａ）におけるＥ−Ｅ切断部端面図を示している。 Specifically, FIG. 1A shows a perspective view of the inspection work 100, and FIG. 1B shows a perspective view of an aluminum metal plate 110 constituting the inspection work 100.
2 (a) shows an end view of the AA cut portion in FIG. 1 (b), shows an end view of the BB cut portion in FIG. 2 (b), and FIG. 2 (c) shows a CC cut. The part end elevation is shown. 2D shows an end view of the DD cut portion in FIG. 1A, and FIG. 2E shows an end view of the EE cut portion in FIG.

検査ワーク１００は、薄板状のアルミニウム製金属板１１０に折り曲げ加工を施すとともに、立体加工して、中空の略四角錐台状に形成している。詳しくは、検査ワーク１００は、折り曲げ加工により凹凸状に加工された凹凸加工面１１０ａを全面に有している。 The inspection workpiece 100 is formed into a hollow, substantially quadrangular truncated pyramid shape by bending a thin aluminum metal plate 110 and three-dimensionally processing it. Specifically, the inspection workpiece 100 has a concavo-convex processed surface 110a processed into a concavo-convex shape by bending.

さらには、四角錐台状に形成された検査ワーク１００の上面１００ａの中央には、凹凸加工面１１０ａの凹凸状を押し潰したプレス部１０１を形成している。また、検査ワーク１００において、プレス部１０１から離れた位置である、側面１００ｂの下部の一部を、後述する加振エアーＫａを衝突させて加振させる加振ポイントＢａとしている。 Furthermore, the press part 101 which crushes the uneven | corrugated shape of the uneven | corrugated processed surface 110a is formed in the center of the upper surface 100a of the test | inspection workpiece | work 100 formed in the shape of a quadrangular pyramid. Further, in the inspection work 100, a part of the lower portion of the side surface 100b, which is a position away from the press unit 101, is set as an excitation point Ba that is excited by collision with excitation air Ka described later.

この凹凸加工面１１０ａは、図２に示したように、縦横両方向に襞状の折り目を有する形状である。このような形状の凹凸加工面１１０ａを有する検査ワーク１００は、変形性および形状保持性が優れ、吸音・消音性も良好であるという利点を有する。 As shown in FIG. 2, the concavo-convex processed surface 110a has a shape having a crease-like crease in both the vertical and horizontal directions. The inspection work 100 having the uneven surface 110a having such a shape has the advantages of excellent deformability and shape retention, and good sound absorption and silencing properties.

具体的には、アルミニウム製金属板１１０の凹凸加工面１１０ａは、図２（ａ）の断面図に示したように、横方向から見て山形に***する***部１１２を一定間隔おきに有する波状であり、前記***部１１２において、幅狭の第１凸部１１３と、それよりも幅狭の第１凹部１１４を横方向に繰り返し有する（図２（ｂ）参照）。一方、前記***部１１２間の低い部位において、幅広の第２凸部１１５と、それより幅狭の第２凹部１１６を横方向に繰り返す（図２（ｃ）参照）形状である。 Specifically, as shown in the cross-sectional view of FIG. 2A, the concavo-convex processed surface 110a of the aluminum metal plate 110 has a corrugated shape having ridges 112 that protrude in a mountain shape when seen from the lateral direction at regular intervals. In the raised portion 112, the first convex portion 113 having a narrow width and the first concave portion 114 having a narrower width are repeatedly provided in the lateral direction (see FIG. 2B). On the other hand, at the lower part between the raised parts 112, the second convex part 115 having a wide width and the second concave part 116 having a narrower width are repeated in the lateral direction (see FIG. 2C).

前記第１凸部１１３は、頂面１１３ａが下へ若干湾曲し両側１１３ｂが逆ハの字になる形状で、第１凹部１１４は、平坦な底部１１４ａを有する。これとは逆に、前記第２凸部１１５は、頂面１１５ａが平坦で、第２凹部１１６は、底面１１６ａが上へ若干湾曲し両側１１６ｂがハの字になる形状である。これら***部１１２、第１凸部１１３、第１凹部１１４、第２凸部１１５及び第２凹部１１６が波状加工部１１０ａを構成する。 The first convex portion 113 has a shape in which the top surface 113a is slightly curved downward and both sides 113b are reverse-shaped, and the first concave portion 114 has a flat bottom portion 114a. On the other hand, the second convex portion 115 has a flat top surface 115a, and the second concave portion 116 has a shape in which the bottom surface 116a is slightly curved upward and both sides 116b have a square shape. The raised portion 112, the first convex portion 113, the first concave portion 114, the second convex portion 115, and the second concave portion 116 constitute a wave-like processed portion 110a.

凹凸加工面１１０ａがこのような構造をなすので検査ワーク１００は加工性がよく、特にＬＤＲ（ＬｉｍｉｔｉｎｇＤｒａｗｉｎｇＲａｔｉｏ）あるいは限界絞り比が高く、絞り性が良好であって、複雑で微細な加工でも可能となる。 Since the concavo-convex processed surface 110a has such a structure, the inspection workpiece 100 has good workability, in particular, high LDR (Limiting Drawing Ratio) or high limit drawing ratio, good drawability, and can be used for complicated and fine machining. It becomes.

そして、上述したように、検査ワーク１００における上面１００ａの中央に形成されたプレス部１０１は、凹凸加工面１１０ａの凹凸を押し潰して形成している。 And as mentioned above, the press part 101 formed in the center of the upper surface 100a in the test | work 100 is formed by crushing the unevenness | corrugation of the uneven | corrugated processed surface 110a.

詳述すると、プレス部１０１における凹凸加工面１１０ａは、第１凸部１１３が押し潰され、頂面１１３ａが平坦になるとともに、逆ハの字状であった両側１１３ｂが頂面１１３ａ下面と第１凹部１１４の上面とに密着して、略平坦状な第１凸部１１３’となる。さらには、底面１１６ａが平坦になるとともに、ハの字状であった両側１１６ｂが第２凸部１１５の下面と底面１１６ａの上面とに密着して、略平坦状な第２凹部１１６’となる。 More specifically, the uneven processing surface 110a in the press part 101 has the first convex part 113 crushed, the top surface 113a becomes flat, and both sides 113b having a reverse C-shape are formed on the bottom surface of the top surface 113a. The first convex portion 113 ′ is formed in close contact with the upper surface of the first concave portion 114 to form a substantially flat first convex portion 113 ′. Further, the bottom surface 116a becomes flat, and both sides 116b having a C-shape are in close contact with the lower surface of the second convex portion 115 and the upper surface of the bottom surface 116a to form a substantially flat second concave portion 116 ′. .

これにより、検査ワーク１００における上面１００ａのプレス部１０１では、検査ワーク１００の外側表面及び内側表面ともに、略平坦な面部分を構成することができる。 Thereby, in the press part 101 of the upper surface 100a in the inspection work 100, both the outer surface and the inner surface of the inspection work 100 can constitute a substantially flat surface portion.

なお、上述の説明では、検査ワーク１００を凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０で構成したが、凹凸加工面１１０ａが形成された紙製板や樹脂版で構成してもよい。 In the above description, the inspection work 100 is composed of the aluminum metal plate 110 on which the concavo-convex surface 110a is formed, but may be composed of a paper plate or a resin plate on which the concavo-convex surface 110a is formed.

次に、検査ワーク１００の良否を検査する検査装置１について説明する。
検査装置１は、制御ユニット１０と、レーザユニット２０と、加振ユニット３０と、固定ユニット４０とで構成している。 Next, the inspection apparatus 1 that inspects the quality of the inspection workpiece 100 will be described.
The inspection device 1 includes a control unit 10, a laser unit 20, a vibration unit 30, and a fixed unit 40.

制御ユニット１０は、制御装置１１、表示装置１２、記憶装置１３、ＡＤ変換装置１４、及びマウスやキーボード等の入力装置である操作装置、ＤＶＤ−ＲＡＭ等の各種記憶媒体を読取る記憶媒体読取装置、または記憶媒体読書き装置、及びネットワーク接続可能なＬＡＮボード等の通信装置で構成する送受信装置等を備えている。 The control unit 10 includes a control device 11, a display device 12, a storage device 13, an AD conversion device 14, an operation device that is an input device such as a mouse and a keyboard, a storage medium reading device that reads various storage media such as a DVD-RAM, Alternatively, a storage medium read / write device and a transmission / reception device configured by a communication device such as a LAN board connectable to a network are provided.

制御装置１１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭで構成し、記憶装置１３に格納したプログラムに従って各種制御処理を実行する装置である。
表示装置１２は、液晶モニタ又はＣＲＴディスプレイ等で構成して各種情報を表示する装置である。 The control device 11 includes a CPU, a ROM, and a RAM, and executes various control processes according to a program stored in the storage device 13.
The display device 12 is a device configured by a liquid crystal monitor, a CRT display, or the like to display various information.

記憶装置１３は、ハードディスク等の記憶装置で構成して、良品平均振動特性データや不良品平均振動特性データを含む各種データ、及び判定プログラム、振動特性算出プログラム、あるいは各種装置を制御する制御プログラムを含む各種プログラムを格納する装置である。
ＡＤ変換装置１４は、制御装置１１から出力された出力信号をアナログ変換する装置である。 The storage device 13 is composed of a storage device such as a hard disk, and includes various data including non-defective average vibration characteristic data and defective average vibration characteristic data, and a determination program, a vibration characteristic calculation program, or a control program for controlling various devices. It is a device for storing various programs including it.
The AD conversion device 14 is a device that performs analog conversion of the output signal output from the control device 11.

レーザユニット２０は、レーザコントローラ２１と、レーザヘッドセンサ２２とで構成している。
レーザコントローラ２１は、制御ユニット１０のＡＤ変換装置１４に接続され、ＡＤ変換装置１４からのアナログ化された出力信号に基づいて、レーザヘッドセンサ２２に対してレーザ照射のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるとともに、反射レーザ光の受光を制御するコントローラである。 The laser unit 20 includes a laser controller 21 and a laser head sensor 22.
The laser controller 21 is connected to the AD conversion device 14 of the control unit 10, and switches laser irradiation ON / OFF for the laser head sensor 22 based on the analog output signal from the AD conversion device 14. It is a controller that controls the reception of reflected laser light.

レーザヘッドセンサ２２は、レーザコントローラ２１の制御に基づいて、レーザヘッド２２ａより検査ワーク１００のプレス部１０１に向かってレーザ光Ｌｇを照射するとともに、プレス部１０１で反射した反射レーザ光Ｌｃを受光することができる構成である。 Based on the control of the laser controller 21, the laser head sensor 22 irradiates the laser beam Lg from the laser head 22 a toward the press part 101 of the inspection work 100 and receives the reflected laser light Lc reflected by the press part 101. It is a configuration that can.

加振ユニット３０は、上流側から順に、蓄圧タンク３１と、電磁弁３２と、噴射ノズル３３ａに連結された減圧弁３３とで構成し、この順で、噴射ノズル３３ａから噴出されるエアーが蓄圧タンク３１から減圧弁３３まで導通可能に連結されている。 The vibration unit 30 includes a pressure accumulating tank 31, an electromagnetic valve 32, and a pressure reducing valve 33 connected to the injection nozzle 33a in order from the upstream side. In this order, air ejected from the injection nozzle 33a accumulates pressure. The tank 31 and the pressure reducing valve 33 are connected so as to be conductive.

蓄圧タンク３１は、加振ユニット３０で検査ワーク１００に対して加振エアーＫａとして噴出させるエアーを、外部から取り込んで加圧して貯蓄するタンクである。 The pressure accumulating tank 31 is a tank that takes in air from outside and pressurizes and stores air to be ejected as vibration air Ka to the inspection work 100 by the vibration unit 30.

電磁弁３２は、制御ユニット１０のＡＤ変換装置１４に接続され、ＡＤ変換装置１４からのアナログ化された出力信号に基づいて、蓄圧タンク３１に貯蓄されたエアーの噴出のＯＮ／ＯＦＦを切り替える切換え弁である。
減圧弁３３は、電磁弁３２より下流側に配置され、電磁弁３２を通過したエアーを、検査ワーク１００の強度や性状に応じて、適宜の圧力に減圧調整する調整弁である。 The solenoid valve 32 is connected to the AD converter 14 of the control unit 10 and is switched to switch ON / OFF of the ejection of air stored in the pressure accumulating tank 31 based on an analog output signal from the AD converter 14. It is a valve.
The pressure reducing valve 33 is an adjustment valve that is arranged on the downstream side of the electromagnetic valve 32 and adjusts the pressure of the air that has passed through the electromagnetic valve 32 to an appropriate pressure according to the strength and properties of the inspection work 100.

固定ユニット４０は、下流側から順に、負圧タンク４１と、電磁弁４２と、固定台４３とで構成し、この順で、負圧エアーが導通可能に連結されている。
負圧タンク４１は、固定台４３で検査ワーク１００を固定するための負圧エアーを生成するためのタンクである。 The fixed unit 40 is composed of a negative pressure tank 41, an electromagnetic valve 42, and a fixed base 43 in order from the downstream side, and in this order, negative pressure air is connected to be conductive.
The negative pressure tank 41 is a tank for generating negative pressure air for fixing the inspection work 100 with the fixing base 43.

電磁弁４２は、制御ユニット１０のＡＤ変換装置１４に接続され、ＡＤ変換装置１４からのアナログ化された出力信号に基づいて、負圧タンク４１に貯蓄された負圧エアーのＯＮ／ＯＦＦを切り替える切換え弁である。
固定台４３は、検査ワーク１００を固定するための固定台であり、上部より検査ワーク１００を固定するための負圧エアーが作用する構成である。 The solenoid valve 42 is connected to the AD converter 14 of the control unit 10 and switches ON / OFF of the negative pressure air stored in the negative pressure tank 41 based on an analog output signal from the AD converter 14. It is a switching valve.
The fixing base 43 is a fixing base for fixing the inspection work 100, and is configured such that negative pressure air for fixing the inspection work 100 acts from above.

このように構成した検査装置１は、図４に示すように、固定台４３の上面に検査ワーク１００のプレス部１０１を載置し、固定ユニット４０による負圧エアーを作用させて、固定台４３に支持固定することができる。 As shown in FIG. 4, the inspection apparatus 1 configured as described above places the press part 101 of the inspection work 100 on the upper surface of the fixed base 43 and causes negative pressure air from the fixed unit 40 to act on the fixed base 43. Can be supported and fixed.

また、加振ユニット３０の噴射ノズル３３ａにより、検査ワーク１００のプレス部１０１から離れた位置である側面１００ｂの下部の加振ポイントＢａに対して加振エアーＫａを噴出することができる。また、レーザユニット２０のレーザヘッド２２ａより、検査ワーク１００の上面１００ａに形成したプレス部１０１に対して、レーザ光Ｌｇを照射し、プレス部１０１で反射した反射レーザ光Ｌｃを受光して、その位相差に基づいてプレス部１０１の振動を検出することができる。 Further, the excitation air Ka can be ejected to the excitation point Ba at the lower part of the side surface 100b which is a position away from the press part 101 of the inspection work 100 by the injection nozzle 33a of the excitation unit 30. Further, the laser head 22a of the laser unit 20 irradiates the press part 101 formed on the upper surface 100a of the inspection work 100 with the laser light Lg, receives the reflected laser light Lc reflected by the press part 101, and The vibration of the press part 101 can be detected based on the phase difference.

このとき、レーザヘッド２２ａ（図４）は検査ワーク１００の上面１００ａに形成したプレス部１０１に対してレーザ光Ｌｇを照射しているため、高確率で反射レーザ光Ｌｃを受光することができる。 At this time, since the laser head 22a (FIG. 4) irradiates the laser light Lg to the press portion 101 formed on the upper surface 100a of the inspection work 100, the reflected laser light Lc can be received with high probability.

詳しくは、図５（ａ）に示すように、プレス部１０１でない凹凸加工面１１０ａに対してレーザ光Ｌｇを照射すると、例えば、頂面１１３ａの中央に照射されたレーザ光Ｌｇ１は、そのまま反射されるため反射レーザ光Ｌｃ１を受光することができる。また、第１凹部１１４の底部１１４ａに照射されたレーザ光Ｌｇ２もそのまま反射されるため反射レーザ光Ｌｃ２を受光することができる。 Specifically, as shown in FIG. 5A, when the concavo-convex processed surface 110a that is not the press portion 101 is irradiated with the laser beam Lg, for example, the laser beam Lg1 irradiated to the center of the top surface 113a is reflected as it is. Therefore, the reflected laser beam Lc1 can be received. Further, since the laser beam Lg2 irradiated to the bottom 114a of the first recess 114 is also reflected as it is, the reflected laser beam Lc2 can be received.

しかし、頂面１１３ａの中央でない部分に照射されたレーザ光Ｌｇ３は、傾斜する頂面１１３ａで反射するため、レーザヘッド２２ａ（図４）で反射レーザ光Ｌｃを受光することができない。また、頂面１１３ａと両側１１３ｂとの折り曲げＲ部１１３ｒに照射されたレーザ光Ｌｇ４も、Ｒ状である角部で反射するため、レーザヘッド２２ａで反射レーザ光Ｌｃを受光することができない。なお、底部１１４ａにおいても、レーザヘッド２２ａによって直上からレーザ光Ｌｇが照射されるため、逆ハの字状の折り曲げＲ部１１３ｒによって隠れる第１凸部１１３の際の部分にレーザ光Ｌｇが照射されることはない。したがって、凹凸加工面１１０ａが形成された検査ワーク１００の上面１００ａでは、底部１１４ａの中間部分と、頂面１１３ａの中央部分でしか、反射レーザ光Ｌｃを受光することはできない。 However, since the laser beam Lg3 irradiated to the non-center portion of the top surface 113a is reflected by the inclined top surface 113a, the reflected laser beam Lc cannot be received by the laser head 22a (FIG. 4). In addition, the laser beam Lg4 irradiated to the bent R portion 113r between the top surface 113a and both sides 113b is also reflected by the R-shaped corner portion, so that the reflected laser beam Lc cannot be received by the laser head 22a. The bottom 114a is also irradiated with the laser light Lg from directly above by the laser head 22a. Therefore, the laser light Lg is applied to the portion at the first convex portion 113 that is hidden by the inverted C-shaped bent R portion 113r. Never happen. Therefore, on the upper surface 100a of the inspection work 100 on which the concavo-convex processed surface 110a is formed, the reflected laser light Lc can be received only at the intermediate portion of the bottom portion 114a and the central portion of the top surface 113a.

このように、レーザヘッド２２ａからレーザ光Ｌｇを照射し、反射した反射レーザ光Ｌｃを受光することのできる確率は低く、検査装置として、利便性が低いと考えられる。 Thus, the probability that the laser beam Lg can be irradiated from the laser head 22a and the reflected laser beam Lc reflected is low, and the convenience of the inspection apparatus is low.

これに対して、図５（ｂ）に示すように、凹凸加工面１１０ａにおける凹凸が押し潰されたプレス部１０１では、頂面１１３ａ’も平坦であるため、頂面１１３ａ’と両側１１３ｂ’との角部である折り曲げＲ部１１３ｒ’以外の部分で、レーザヘッド２２ａから照射したレーザ光Ｌｇが反射した反射レーザ光Ｌｃを受光することができる（図５（ｂ）における反射レーザ受光可能範囲参照）。したがって、反射レーザ光Ｌｃの受光確率が非常に高くなる。 On the other hand, as shown in FIG. 5B, in the press part 101 in which the unevenness on the uneven surface 110a is crushed, the top surface 113a ′ is also flat, and therefore the top surface 113a ′ and both sides 113b ′ The reflected laser beam Lc reflected by the laser beam Lg irradiated from the laser head 22a can be received at a portion other than the bent R portion 113r ′, which is the corner portion of the laser beam (see the reflection laser receivable range in FIG. 5B). ). Therefore, the light reception probability of the reflected laser light Lc is very high.

続いて、検査装置１を用いた検査ワーク１００の良否検査について、図６乃至８とともに説明する。なお、図６は検査装置１における良否検査のフローチャートを示し、図７は検出した振動についての説明図を示し、図８は良否判定の方法について説明するためのグラフを示している。さらに、詳述すると、図７（ａ）はレーザユニット２０によって取得したプレス部１０１での振動波形のグラフを示し、図７（ｂ）は良品（ＯＫ）と不良品（ＮＧ）との振動波形から算出した振動スペクトル波形を示している。 Subsequently, the quality inspection of the inspection work 100 using the inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 6 shows a flowchart of pass / fail inspection in the inspection apparatus 1, FIG. 7 shows an explanatory diagram of the detected vibration, and FIG. 8 shows a graph for explaining a pass / fail judgment method. More specifically, FIG. 7A shows a graph of vibration waveforms in the press unit 101 acquired by the laser unit 20, and FIG. 7B shows vibration waveforms of a non-defective product (OK) and a defective product (NG). The vibration spectrum waveform calculated from

まず、良否検査を実施するにあたり、検査ワーク１００を固定台４３にセットする（ステップｓ１）。このとき、上述したように、検査ワーク１００のプレス部１０１が固定台４３上部となるように載置し、ＡＤ変換装置１４を介した制御装置１１からの信号により、固定ユニット４０を作動させて、負圧エアーを作用させて検査ワーク１００を固定台４３に固定する。 First, when performing a pass / fail inspection, the inspection work 100 is set on the fixed base 43 (step s1). At this time, as described above, the press unit 101 of the inspection work 100 is placed on the fixed base 43 and the fixed unit 40 is operated by a signal from the control device 11 via the AD converter 14. Then, negative pressure air is applied to fix the inspection work 100 to the fixed base 43.

そして、レーザヘッド２２ａ及び噴射ノズル３３ａの位置及び方向を、セットした検査ワーク１００にあわせて微調整した後、電磁弁３２を制御して、噴射ノズル３３ａから加振エアーを加振ポイントＢａに向けて噴射させる（ステップｓ２）。なお、噴射ノズル３３ａからの加振エアーの噴出は、所定時間経過後、制御装置１１の制御によって停止させる。 Then, after finely adjusting the positions and directions of the laser head 22a and the injection nozzle 33a according to the set inspection work 100, the electromagnetic valve 32 is controlled to direct the excitation air from the injection nozzle 33a toward the excitation point Ba. (Step s2). The ejection of the vibration air from the injection nozzle 33a is stopped by the control of the control device 11 after a predetermined time has elapsed.

電磁弁３２ａから噴出された加振エアーの衝突によって振動する検査ワーク１００の振動を、レーザユニット２０によって検出する（ステップｓ３）。なお、レーザユニット２０は、図７（ａ）に示すように、制御装置１１の制御によって、加振ユニット３０による加振エアーの噴出開始前から振動を検出し、加振エアーの噴出終了後所定時間経過するまで振動を、時間情報とともに検出する。 The laser unit 20 detects the vibration of the inspection workpiece 100 that vibrates due to the collision of the excitation air ejected from the electromagnetic valve 32a (step s3). In addition, as shown in FIG. 7A, the laser unit 20 detects vibration from before the start of ejection of the vibration air by the vibration unit 30 under the control of the control device 11, and is predetermined after the ejection of the vibration air. Vibration is detected along with time information until the time has passed.

レーザユニット２０によって振動を検出した制御装置１１は、振動特性算出プログラムにより、ステップｓ３で検出した振動データに対してスペクトル解析を行い、振動スペクトルを取得した振動データの取得振動特性データとして算出する（ステップｓ４）。 The control device 11 that has detected the vibration by the laser unit 20 performs spectrum analysis on the vibration data detected in step s3 by the vibration characteristic calculation program, and calculates the vibration data obtained as the vibration data obtained by acquiring the vibration spectrum ( Step s4).

そして、制御装置１１は、図７（ｂ）に示すような、良品平均振動特性データ及び不良品平均振動特性データを記憶装置１３から読み出し、ステップｓ４で算出した取得振動特性データを、判定プログラムにより、良品平均振動特性データ及び不良品平均振動特性データと比較して良否判定を行う（ステップｓ５）。 Then, the control device 11 reads the non-defective product average vibration property data and the defective product average vibration property data as shown in FIG. 7B from the storage device 13, and uses the determination program to obtain the acquired vibration property data calculated in step s4. Then, the quality determination is performed by comparing with the good product average vibration characteristic data and the defective product average vibration characteristic data (step s5).

詳しくは、取得振動特性データに基づく取得平均振動特性波形Ｓ１、良品平均振動特性データに基づく良品平均振動特性波形Ｓｇ及び不良品平均振動特性データに基づく不良品平均振動特性波形Ｓｂについてのある周波数範囲のグラフである図８に示すように、ステップｓ５で実施する判定プログラムによる判定は、所定間隔毎に設定された判定周波数ポイントＰｎについて、取得平均振動特性波形Ｓ１が良品平均振動特性波形Ｓｇと不良品平均振動特性波形Ｓｂとの間の範囲に入るかどうかを判定する。 Specifically, a certain frequency range for the acquired average vibration characteristic waveform S1 based on the acquired vibration characteristic data, the good average vibration characteristic waveform Sg based on the non-defective average vibration characteristic data, and the defective average vibration characteristic waveform Sb based on the defective average vibration characteristic data. As shown in FIG. 8 which is a graph of FIG. 8, the determination by the determination program performed in step s5 is that the acquired average vibration characteristic waveform S1 is not equal to the non-defective average vibration characteristic waveform Sg for the determination frequency points Pn set at predetermined intervals. It is determined whether or not it falls within the range between the non-defective product average vibration characteristic waveform Sb.

例えば、図８に示すように、判定周波数ポイントＰｎでは取得平均振動特性波形Ｓ１は良品平均振動特性波形Ｓｇと不良品平均振動特性波形Ｓｂとの間の範囲に入るため「ＯＫ」と判定する。次の判定周波数ポイントＰｎ＋１では、取得平均振動特性波形Ｓ１は良品平均振動特性波形Ｓｇを超えるため「ＮＧ」と判定する。さらに、判定周波数ポイントＰｎ＋２，Ｐｎ＋３では「ＯＫ」と判定され、判定周波数ポイントＰｎ＋４では、取得平均振動特性波形Ｓ１が不良品平均振動特性波形Ｓｂを下回るため「ＮＧ」と判定する。 For example, as shown in FIG. 8, at the determination frequency point Pn, the acquired average vibration characteristic waveform S1 falls within the range between the non-defective product average vibration characteristic waveform Sg and the defective product average vibration characteristic waveform Sb. At the next determination frequency point Pn + 1, since the acquired average vibration characteristic waveform S1 exceeds the non-defective average vibration characteristic waveform Sg, it is determined as “NG”. Furthermore, “OK” is determined at the determination frequency points Pn + 2 and Pn + 3, and “NG” is determined at the determination frequency point Pn + 4 because the acquired average vibration characteristic waveform S1 is lower than the defective average vibration characteristic waveform Sb.

このように、所定間隔毎に設定された判定周波数ポイントＰｎの全箇所において、上記判定を繰り返し、判定周波数ポイントＰｎの設定箇所数に対する、判定結果「ＯＫ」の判定周波数ポイントＰｎの数の比率を算出する。 In this way, the above determination is repeated at all the determination frequency points Pn set at predetermined intervals, and the ratio of the number of determination frequency points Pn of the determination result “OK” to the number of determination frequency points Pn is set. calculate.

そして、この判定結果「ＯＫ」の判定周波数ポイントＰｎの数の比率が、基準値以上であれば（ステップｓ６：Ｙｅｓ）、制御装置１１は、表示装置１２に判定結果が「良品」であったことを出力する（ステップｓ７）。逆に、この判定結果「ＯＫ」の判定周波数ポイントＰｎの数の比率が、基準値以下であれば（ステップｓ６：Ｎｏ）、制御装置１１は、表示装置１２に判定結果が「不良品」であったことを出力する（ステップｓ８）。そして、その結果を記憶装置１３に記憶して、この良品検査処理を終了する。このような検査方法によって検査ワーク１００（Ａ〜Ｊ）について検査し。基準値を「０．７００」に設定した結果を以下の表１に示す。 If the ratio of the number of determination frequency points Pn of the determination result “OK” is equal to or greater than the reference value (step s6: Yes), the control device 11 indicates that the determination result is “good” on the display device 12. (Step s7). Conversely, if the ratio of the number of determination frequency points Pn of the determination result “OK” is equal to or less than the reference value (step s6: No), the control device 11 indicates that the determination result is “defective product” on the display device 12. It is output that there was (step s8). And the result is memorize | stored in the memory | storage device 13, and this good quality inspection process is complete | finished. The inspection work 100 (A to J) is inspected by such an inspection method. The results of setting the reference value to “0.700” are shown in Table 1 below.

このように検査装置１を用いて検査ワーク１００を検査することにより、凹凸加工面１１０ａが形成された検査ワーク１００であっても、加振エアーによって加振し、その加振エアーによる振動を正確に検出して検査ワーク１００の良否を正確に検査することができる。

By inspecting the inspection workpiece 100 using the inspection apparatus 1 as described above, even the inspection workpiece 100 having the uneven surface 110a is vibrated with the vibration air and the vibration due to the vibration air is accurately detected. It is possible to accurately inspect whether the inspection workpiece 100 is good or bad.

詳しくは、アルミニウム製金属板１１０に形状加工を施して凹凸加工面１１０ａが形成された検査ワーク１００におけるプレス部１０１において固定台４３が検査ワーク１００を支持するため、確実な支持固定を実現することができる。したがって、検査ワーク１００は堅固に固定台４３に固定され、加振エアーの衝突によって確実に加振することができる。よって、その加振による振動を正確に検出して検査ワーク１００の良否を正確に検査することができる。 Specifically, since the fixing base 43 supports the inspection work 100 in the press portion 101 of the inspection work 100 in which the aluminum metal plate 110 is subjected to shape processing to form the uneven surface 110a, reliable support and fixation are realized. Can do. Therefore, the inspection work 100 is firmly fixed to the fixed base 43 and can be reliably vibrated by the collision of the vibration air. Therefore, it is possible to accurately inspect the quality of the inspection work 100 by accurately detecting the vibration caused by the vibration.

また、レーザユニット２０が検出した振動から検査ワーク１００の振動特性である取得振動特性を振動特性算出プログラムを実行する制御装置１１によって算出し、検査ワーク１００の良否を判定するため、単に、取得した振動データから判定する場合と比べて、判定処理を低い負荷で行うとともに、より正確に良否判定することができる。 Further, the acquired vibration characteristic, which is the vibration characteristic of the inspection work 100, is calculated from the vibration detected by the laser unit 20 by the control device 11 that executes the vibration characteristic calculation program, and is simply acquired in order to determine the quality of the inspection work 100. Compared with the case of determining from vibration data, the determination process can be performed with a low load and the quality can be determined more accurately.

また、記憶手段１３に、良品の振動特性を良品振動特性として記憶するとともに、良品振動特性と取得振動特性とを比較して検査ワーク１００の良否を判定するため、単に、検出した振動にのみ基づいて良否判定するよりも、より正確に良否判定することができる。 In addition, the vibration characteristics of the non-defective product are stored in the storage means 13 as the non-defective product vibration characteristics, and the quality of the inspection work 100 is determined by comparing the good product vibration characteristics with the acquired vibration characteristics. Therefore, the pass / fail judgment can be made more accurately than the pass / fail judgment.

また、レーザユニット２０が振動を検出するプレス部１０１と、加振ユニット３０が加振エアーを噴出させる加振ポイントＢａとが近く、クラック１５０（図９）等の不良個所が、振動を検出するプレス部１０１及び加振ポイントＢａから離れた位置である場合、加振ポイントＢａから振動を検出するプレス部１０１に伝達される振動には不良箇所による振動の影響が少なくなり、正確な良否判定ができない。しかし、検査ワーク１００において、レーザユニット２０によって振動を検出するプレス部１０１から離れた加振ポイントＢａに加振ユニット３０が加振エアーを噴出させるため、クラック１５０等の不良が生じている場合における不良箇所による振動への影響を検出し、より正確な良否判定を行うことができる。 Further, the press unit 101 where the laser unit 20 detects vibration and the vibration point Ba where the vibration unit 30 ejects vibration air are close to each other, and a defective portion such as a crack 150 (FIG. 9) detects vibration. In the case where the position is away from the press unit 101 and the excitation point Ba, the vibration transmitted from the excitation point Ba to the press unit 101 that detects the vibration is less affected by the vibration due to the defective portion, and accurate pass / fail judgment is performed. Can not. However, in the inspection work 100, since the vibration unit 30 ejects vibration air to the vibration point Ba away from the press unit 101 that detects vibration by the laser unit 20, a defect such as a crack 150 occurs. It is possible to detect the influence of the defective portion on the vibration and perform a more accurate pass / fail judgment.

また、検査装置１を用いることにより周辺環境に影響されずに、正確な良否判定を行うことができる。詳しくは、加振エアーの代わりに液体やゲル状体を加振ユニット３０から噴出させた場合、検査ワーク１００に向けて噴出された液体やゲル状体は、検査ワーク１００表面に残るため、その後の振動に影響を与えるおそれがある。また、液体やゲル状体を噴出させた場合、検査終了後に、検査ワーク１００表面に残留する液体やゲル状体を取り除く手間が必要となる。しかし、加振エアーを噴出するため、噴出されて検査ワーク１００を加振した加振エアーが検査ワーク１００表面に残らず、加振エアーによって加振された振動を正確に検出することができる。また、液体やゲル状体のように表面に残留する加振エアーを取り除く手間もかからない。 In addition, by using the inspection apparatus 1, it is possible to make an accurate quality determination without being affected by the surrounding environment. Specifically, when a liquid or a gel-like body is ejected from the vibration unit 30 instead of the excitation air, the liquid or the gel-like body ejected toward the inspection work 100 remains on the surface of the inspection work 100. There is a risk of affecting the vibration. Further, when the liquid or gel-like body is ejected, it is necessary to remove the liquid or gel-like body remaining on the surface of the inspection work 100 after the inspection is completed. However, since the vibration air is ejected, the vibration air that is ejected and vibrates the inspection work 100 does not remain on the surface of the inspection work 100, and the vibration that is vibrated by the vibration air can be accurately detected. In addition, there is no need to remove the vibration air remaining on the surface like a liquid or gel.

また、プレス部１０１に対してレーザ光Ｌｇを照射し、プレス部１０１で反射した反射レーザ光Ｌｃを受光し、その位相差によって検査ワーク１００の振動を検出するレーザユニット２０を用いたため、周辺環境によらず、正確な振動を検出することができる。 Further, since the laser unit L that irradiates the press unit 101 with the laser beam Lg, receives the reflected laser beam Lc reflected by the press unit 101, and detects the vibration of the inspection work 100 by the phase difference is used, Regardless of this, accurate vibration can be detected.

詳しくは、検査ワーク１００の振動を、例えば音として集音して検出する場合、検査装置周辺の騒音等のノイズも合わせて検出するため、正確な振動検出が難しい。これに対して、検査ワーク１００にレーザ光Ｌｇを照射するとともに、反射レーザ光Ｌｃを受光し、その位相差によって検査ワーク１００の振動を検出するレーザユニット２０を用いたため、検査装置周辺の騒音等のノイズによる振動を含まず、加振エアーによって加振させた振動のみを検出することができる。 Specifically, when the vibration of the inspection work 100 is collected and detected as sound, for example, noise such as noise around the inspection apparatus is also detected, so that accurate vibration detection is difficult. On the other hand, since the laser unit 20 that irradiates the inspection workpiece 100 with the laser beam Lg and receives the reflected laser beam Lc and detects the vibration of the inspection workpiece 100 based on the phase difference is used, noise around the inspection apparatus, etc. It is possible to detect only vibrations excited by vibration air without including vibrations due to noise.

また、プレス部１０１以外の検査ワーク１００の表面にレーザ光Ｌｇを照射した場合、レーザ光Ｌｇは表面の凹凸によって様々な反射方向に反射して乱反射するが、レーザユニット２０が、プレス部１０１に向けてレーザ光Ｌｇを照射することによって、反射レーザ光Ｌｃを受光しやすくなる。したがって、レーザ光Ｌｇによって、より正確に検査ワーク１００の振動を検出することができる。 In addition, when the surface of the inspection work 100 other than the press unit 101 is irradiated with the laser beam Lg, the laser beam Lg is reflected in various reflection directions due to the unevenness of the surface and diffusely reflected, but the laser unit 20 is applied to the press unit 101. By irradiating the laser beam Lg toward, it becomes easy to receive the reflected laser beam Lc. Therefore, the vibration of the inspection workpiece 100 can be detected more accurately by the laser beam Lg.

この発明の構成と、上述の実施例との対応において、この発明の被検体及び立体形状部材は、検査ワーク１００に対応し、
以下同様に、
流体は、加振エアーに対応し、
流体噴出手段及び気体噴出手段は、加振ユニット３０に対応し、
振動検出手段及びレーザ式振動検出手段は、レーザユニット２０に対応し、
固定支持手段は、固定ユニット４０に対応し、
凹凸状部材は、凹凸加工面１１０ａが形成されたアルミニウム製金属板１１０に対応し、
押潰し部は、プレス部１０１に対応し、
記憶手段は、記憶装置１３に対応し、
良品振動特性は、良品平均振動特性データに対応し、
被検体振動特性は、取得振動特性データに対応し、
振動特性算出手段は、ステップｓ４で振動特性算出プログラムを実行する制御装置１１に対応し、
判定手段は、ステップｓ５で判定プログラムを実行する制御装置１１に対応し、
被加振箇所は、加振ポイントＢａに対応し、
反射したレーザ光は、反射レーザ光Ｌｃに対応するも、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。 In correspondence between the configuration of the present invention and the above-described embodiment, the subject and the three-dimensionally shaped member of the present invention correspond to the inspection work 100,
Similarly,
The fluid supports vibration air,
The fluid ejection means and the gas ejection means correspond to the vibration unit 30;
The vibration detection means and the laser type vibration detection means correspond to the laser unit 20,
The fixing support means corresponds to the fixing unit 40,
The uneven member corresponds to the aluminum metal plate 110 on which the uneven surface 110a is formed,
The crushing part corresponds to the pressing part 101,
The storage means corresponds to the storage device 13,
Good product vibration characteristics correspond to good product average vibration characteristics data,
The subject vibration characteristic corresponds to the acquired vibration characteristic data,
The vibration characteristic calculation means corresponds to the control device 11 that executes the vibration characteristic calculation program in step s4.
The determination means corresponds to the control device 11 that executes the determination program in step s5,
The excitation location corresponds to the excitation point Ba,
The reflected laser light corresponds to the reflected laser light Lc,
The present invention is not limited only to the configuration of the above-described embodiment, and many embodiments can be obtained.

１…検査装置
１１…制御装置
１３…記憶装置
２０…レーザユニット
３０…加振ユニット
４０…固定ユニット
１００…検査ワーク
１０１…プレス部
１１０…アルミニウム製金属板
１１０ａ…凹凸加工面
Ｂａ…加振ポイント
Ｌｇ…レーザ光
Ｌｃ…反射レーザ光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection apparatus 11 ... Control apparatus 13 ... Memory | storage device 20 ... Laser unit 30 ... Excitation unit 40 ... Fixed unit 100 ... Inspection workpiece 101 ... Press part 110 ... Aluminum metal plate 110a ... Concavity and convexity processing surface Ba ... Excitation point Lg ... Laser beam Lc ... Reflected laser beam

Claims

被検体に向けて流体を噴出させて前記被検体を加振させる流体噴出手段と、噴出された前記流体の衝突によって振動する前記被検体の振動を検出する振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備え、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査装置であって、
前記被検体を、薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材で構成するとともに、表面の一部における凹凸状を押し潰した押潰し部を形成し、
前記固定支持手段が、前記押潰し部において前記凹凸状部材を支持固定するとともに、
前記振動検出手段が、前記押潰し部における振動を検出することを特徴とする
検査装置。 Fluid ejecting means for ejecting fluid toward the subject to vibrate the subject, vibration detecting means for detecting vibration of the subject that vibrates due to collision of the ejected fluid, and fixing the subject An inspection device that includes a fixed support means for supporting, and inspects the quality of the subject by the detected vibration,
The subject is formed by a concavo-convex member whose surface is formed into a concavo-convex shape by subjecting a thin plate material-like member to shape processing, and a crushing portion is formed by crushing the concavo-convex shape in a part of the surface,
The fixing support means supports and fixes the concavo-convex member at the crushing portion,
The inspection apparatus, wherein the vibration detection means detects vibration in the crushing portion.

良品である前記凹凸状部材の振動特性を良品振動特性として記憶する記憶手段と、
前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出する振動特性算出手段と、
前記良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する判定手段とを備えた
請求項１に記載の検査装置。 Storage means for storing the vibration characteristics of the concavo-convex member which is a non-defective product as non-defective vibration characteristics;
Vibration characteristic calculating means for calculating a subject vibration characteristic which is a vibration characteristic of the subject from the vibration detected by the vibration detecting means;
The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a determination unit that compares the non-defective product vibration characteristics with the subject vibration characteristics to determine whether the subject is good or bad.

前記凹凸状部材を、立体形状で形成された立体形状部材で構成し、
前記流体噴出手段が、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記流体を噴出させる
請求項１または請求項２に記載の検査装置。 The concavo-convex member is composed of a three-dimensional member formed in a three-dimensional shape,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the fluid ejecting unit ejects the fluid to a vibration-excited portion separated from the crushing portion in the three-dimensionally shaped member.

前記流体を、気体で構成するとともに、
前記振動検出手段を、前記押潰し部に対してレーザ光を照射し、前記押潰し部で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって前記被検体の振動を検出する構成とした
請求項１乃至３のうちいずれかに記載の検査装置。 The fluid is composed of a gas,
The vibration detection unit is configured to irradiate the crushing portion with laser light, receive the laser light reflected by the crushing portion, and detect the vibration of the subject based on the phase difference. The inspection apparatus according to any one of 1 to 3.

被検体に向けて気体を噴出させて前記被検体を加振させる気体噴出手段と、噴出された前記気体の衝突によって振動する前記被検体に対してレーザ光を照射し、前記被検体の表面で反射した前記レーザ光を受光し、その位相差によって振動を検出するレーザ式振動検出手段と、前記被検体を固定支持する固定支持手段とを備えた検査装置を用いて、検出した振動によって被検体の良否を検査する検査方法であって、
薄板材状部材に形状加工を施して表面が凹凸状に形成された凹凸状部材に立体加工を施して、立体形状に形成した立体形状部材で構成する前記被検体の表面の一部における凹凸状を押し潰して押潰し部を形成し、
該押潰し部において前記固定支持手段で前記被検体を支持固定し、
前記気体噴出手段から、前記立体形状部材において前記押潰し部から離れた被加振箇所に前記気体を噴出させ、
前記振動検出手段によって前記押潰し部における振動を検出し、
前記振動検出手段が検出した振動から被検体の振動特性である被検体振動特性を算出し、
あらかじめ記憶手段に記憶された良品である前記立体形状部材の振動特性である良品振動特性と、前記被検体振動特性とを比較して被検体の良否を判定する
検査方法。 A gas jetting means for jetting a gas toward the subject to vibrate the subject, and irradiating the subject that vibrates due to the collision of the jetted gas with a laser beam, on the surface of the subject The subject is detected by the detected vibration using an inspection apparatus including a laser-type vibration detecting unit that receives the reflected laser beam and detects a vibration based on a phase difference thereof, and a fixed support unit that fixes and supports the subject. An inspection method for inspecting the quality of
Concavity and convexity on a part of the surface of the subject formed by a three-dimensionally shaped member obtained by subjecting a thin plate-like member to three-dimensional processing on a concave-convex member whose surface is formed into a concave-convex shape. Crush to form a crushed part,
The subject is supported and fixed by the fixing support means in the crushing portion,
From the gas jetting means, the gas is jetted to a place to be vibrated away from the crushing portion in the three-dimensionally shaped member,
Detecting vibration in the crushing portion by the vibration detecting means;
Calculating a subject vibration characteristic which is a vibration characteristic of the subject from the vibration detected by the vibration detection means;
An inspection method for determining whether a subject is good or bad by comparing the non-defective vibration characteristics, which are vibration characteristics of the three-dimensionally shaped member, which is a non-defective product stored in advance in a storage unit, with the subject vibration characteristics.