JP2011194405A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザーヘッド1から出力されるレーザー光についてエキスパンダー光学系2によって成形を行って平行光を生成する。この成形された平行光について、絞り部3により、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する。成形されたレーザー光を、絞り部3、レーザー用光学鏡筒4、対物レンズ5を介して自動搬送ステージ6に載置された加工対象7に照射して加工を行う。エキスパンダー光学系2によってレーザー光を成形し、成形後の光について絞り処理を行うことにより、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた形状で加工を行うことができる。
【選択図】図1
Description
さらに、前記エキスパンダー光学系と前記絞り部とが、一体として、前記光軸を中心に回転できるように構成されていてもよい。これらを一体として、光軸を中心に回動させることにより、エキスパンダー光学系で成形されたビーム形状を、絞り部の開口部分を介してそのまま加工対象に照射することができる。
また、絞り部は、対向して設けられかつ間隔を変更できる一対の絞り羽根を二対備えており、前記二対のうちの一対は絞り羽根同士が平行に対向し、他の一対は絞り羽根同士が傾斜して対向していてもよい。このような絞り部を採用すれば、両端部の幅の異なるクサビ形のビームが得られ、これを加工対象に照射すれば、加工中に照射位置のズレが発生した場合でも、連続したライン加工を得る(加工痕の重なり方を一様に保てる)ことができる。
また、対向して設けられかつ間隔を変更できる一対の絞り羽根を二対備えており、そのうちの一対は絞り羽根同士が平行に対向し、他の一対は絞り羽根同士が傾斜して対向している絞り部を用いることにより、両端部の幅の異なるクサビ形のビームが得られ、これを加工対象に照射すれば、加工中に照射位置のズレが発生した場合でも、連続したライン加工を得る(加工痕の重なり方を一様に保てる)ことができる。
図1は、本実施形態にかかるレーザー加工装置の構成図である。同図において、本実施形態にかかるレーザー加工装置は、YAGレーザーなどのレーザー光を出力するレーザーヘッド1と、レーザーヘッド1から出力されるレーザー光についてビーム形状の成形を行うエキスパンダー光学系2と、エキスパンダー光学系によって成形された光についてその少なくとも一部分を必要に応じて遮断する絞り処理を行う絞り部3とを含んでおり、エキスパンダー光学系2によってビーム形状が成形され絞り部3によって絞り処理が行われた光が、レーザー用光学鏡筒4および対物レンズ5を介して加工対象7に照射されることによって加工が行われる。ただし、エキスパンダー光学系2によって成形されたビーム形状の光を、そのまま、レーザー用光学鏡筒4および対物レンズ5を介して加工対象7に照射される場合も考えられる。この場合、成形されたビーム形状の光は、絞り部3を通過するだけであり、絞り部3による絞り処理は行われない。
エキスパンダー光学系2は、シリンドリカルレンズ21、22、23および24によって構成されている。本例では、これらレンズの硝材に、例えば合成石英を用い、4波長(例えば、266,355,532,1064nmの4波長)に対応できるようにする。
絞り部3は、エキスパンダー光学系2によってビーム形状が成形された光について、さらに成形する絞り処理を行うために設けられている。この絞り部3は、エキスパンダー光学系2によって成形された平行光について、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する絞り処理を行う。
レーザー用光学鏡筒4は、エキスパンダー光学系2と接続するためのレーザーアタッチメント41と、加工対象7の加工部分を観察するための観察ユニット46と、観察ユニット46側に光を反射するハーフミラー42および43と、加工対象7の加工部分を観察するための光を出力する光ファイバーFと、光ファイバーFから出力される光を、加工対象7の加工部分に向けて反射するハーフミラー44とを含んで構成されている。
加工対象7は自動搬送ステージ6の上に載置されている。この自動搬送ステージ6は、図示せぬモータなどで駆動され、加工対象7を、X軸方向(例えば、図面の紙面に平行な方向)およびY軸方向(例えば、図面の紙面に垂直な方向)に搬送する機能を有している。X軸方向への搬送とY軸方向への搬送とを同時に行うことも、それらを独立して別々に行うことも可能である。
以上の構成において、レーザーヘッド1から出力されるレーザー光はエキスパンダー光学系2に入射され、ビーム形状が成形される。さらに、エキスパンダー光学系2によって成形された光は、絞り部3によって必要な絞り処理が行われた後、レーザー用光学鏡筒4および対物レンズ5を介して加工対象7に照射される。
一般に、無限遠顕微鏡内は、結像レンズと対物レンズとの間は平行光になるように設計されている。このように設計されているのは、ハーフミラーを用いて加工面をレビューする時に像が二重になるのを避け、対物レンズの焦点合わせをレビューしながら可能とする利点があるからである。
図4を参照して、本例のレーザー加工装置による加工形状の例について説明する。図4には、矩形の加工形状を示している。図4(a)を参照すると、本例では、周知の対物レンズ5を加工用レンズとして採用している。この対物レンズ5に入射された光は、対物レンズ5を介して、加工対象7である基板に照射される。対物レンズ5に入射されるレーザー光は、ビーム形状が矩形であるため、その形状に応じた形状の加工痕71が加工対象7の表面に生じる。
ライン加工すなわち加工痕を直線形状にするには、加工対象7である基板を移動させることによって、図4に示した加工形状を繋ぎ、1本のラインとして加工することができる。
ここで、図7を参照して、本例のレーザー加工装置による加工形状を、一般的な加工形状と比較して説明する。
図8は、レーザーヘッド1を水平にレイアウトした場合の構成を示す図である。同図の構成が図1の構成と異なるのは、レーザーヘッド1から加工対象7までの光路の途中に、エキスパンダー光学系2によって成形された平行光の光路を所定角度曲げるためのミラー25が設けられている点である。このミラー25によって光路を例えば90度曲げ、レーザーヘッド1およびエキスパンダー光学系2を、レーザー用光学鏡筒と独立して支持することにより、レーザーヘッド1およびエキスパンダー光学系2のレイアウトの自由度が高くなり、装置の全体の構成をコンパクトにすることができる。
(絞り部の変形例)
図9は、絞り部3の変形例である。図3を参照して上述した構成では、絞り羽根31および32が平行に設けられ、かつ、絞り羽根33および34が平行に設けられている。これに対し、本例では、図3の場合とは異なり、絞り羽根31および32は平行でなく、両者の一端の間隔d1と他端の間隔d2とが異なっている。つまり、絞り羽根31および32は平行ではなく、傾斜して対向した状態になっている。このような傾斜した対向状態を保ったまま、図示せぬ機構によって、矢印Y3aのように絞り羽根31および32の間隔を変化させることができる。
なお、絞り羽根33および34は、図3の場合と同様に、平行に対向して設けられている。そして、絞り羽根33および34は、図示せぬ機構によって、その平行状態を保ったまま、矢印Y3bのように間隔を変化させることができる。
図9において、絞り羽根31および32の傾斜した対向状態を保ったまま、矢印Y3aおよび矢印Y3bのように絞り羽根の間隔を変化させたり、矢印Y3cのように光軸を中心に回動させたりすることにより、両端部の幅の異なるクサビ形のビームが得られる。このクサビ形のビームを加工対象に照射すれば、加工中に照射位置のズレが発生した場合でも、連続したライン加工を得る(すなわち加工痕の連続性を保つ)ことができる。このことについて、図10を参照して説明する。
図10は、加工対象7が搬送され、加工痕72a、72b、72cの順に形成される場合を示している。各加工痕72a〜72cは両端部の幅が異なるクサビ形である。このため、加工方向(矢印Y4の方向)に対して略直角方向(矢印Y5の方向)に照射位置のズレが発生した場合でも、加工痕72aの端部と加工痕72bの端部とが連続する確率が高くなり、また、加工痕72bの端部と加工痕72cの端部とが連続する確率も高くなる。すなわち、クサビ形の加工痕72aに着目すると、加工対象7の搬送方向(矢印Y4と逆の方向)の端部72a1の幅よりも他端部72a2の幅の方が大である。このため、加工痕72aの幅の大なる端部72a2に繋げて、次のクサビ形の加工痕72bの幅の小なる端部72b1が位置するようにビームが照射される。加工痕72bの端部72b2と加工痕72cの端部72c1との関係も同様である。
したがって、加工方向Y4に対して略直角方向(矢印Y5の方向)にビーム照射位置がズレた場合でも、各加工痕72a〜72cが途切れず、加工痕の連続性を保つことができる可能性が高くなる。例えば、加工痕72bを形成する際のビーム照射位置が矢印Y5の方向にズレた場合でも(同図の状態)、その前後の加工痕72a、加工痕72cとの連続性を保つことができる。
以上のように、本例の絞り部を採用すれば、矩形ではなくクサビ形のビーム形状が得られ、それを加工対象に照射することにより、加工痕の連続性を保つことができる。
エキスパンダー光学系は、図2を参照して説明したレンズ構成例に限らず、他のレンズ構成を採用してもよい。以下、他のレンズ構成例について説明する。
図11に示すエキスパンダー光学系2は、正方形のビーム形状について、レンズ21およびレンズ22により、矢印Y21方向(横方向)に縮小し、レンズ23および24により、矢印Y22方向(たて方向)に拡大する効果がある。レンズ21およびレンズ22による横方向の縮小効果には、絞りやすく、長さを短縮できるというメリットがある。レンズ23および24によるたて方向の拡大効果には、拡大倍率をあげやすいというメリットがある。
図12に示すエキスパンダー光学系2は、正方形のビーム形状について、レンズ21およびレンズ22により、矢印Y21方向(横方向)に縮小し、レンズ23および24により、矢印Y22方向(たて方向)に拡大する効果がある。レンズ21およびレンズ22による横方向の縮小効果には、集光点が生じないというメリットがある。レンズ23および24によるたて方向の拡大効果には、拡大倍率をあげやすいというメリットがある。
図13に示すエキスパンダー光学系2は、正方形のビーム形状について、レンズ21およびレンズ22により、矢印Y21方向(横方向)に縮小し、レンズ23および24により、矢印Y22方向(たて方向)に拡大する効果がある。レンズ21およびレンズ22による横方向の縮小効果には、集光点が生じないというメリットがある。レンズ23およびレンズ24によるたて方向の拡大効果には、長さを短縮しかつ集光点が生じないというメリットがある。
なお、図2を参照して前述したエキスパンダー光学系2は、正方形のビーム形状について、レンズ21およびレンズ22により、矢印Y21方向(横方向)に縮小し、レンズ23および24により、矢印Y22方向(たて方向)に拡大する効果がある。レンズ21およびレンズ22による横方向の縮小効果には、絞りやすく、長さを短縮できるというメリットがある。レンズ23および24によるたて方向の拡大効果には、長さを短縮しかつ集光点が生じないというメリットがある。
以上のレンズ構成例についてまとめると、図14のようになる。図14に示すパターンP1〜P4のように、いわゆる平凸シリンドリカルレンズ同士を組合せて縮小部または拡大部を構成する場合と、いわゆる平凸シリンドリカルレンズと平凹シリンドリカルレンズとを組合せて縮小部または拡大部を構成する場合とがある。
図14において、パターンP1は上記図11の場合、パターンP2は上記図2の場合、パターンP3は上記図12の場合、パターンP4は上記図13の場合、である。パターンP1は上記図11の場合であり、横方向に絞りやすく、たて方向に拡大しやすいという特徴がある。パターンP2は上記図2の場合であり、横方向に絞りやすいという特徴がある。パターンP3は上記図12の場合であり、たて方向に拡大しやすいという特徴がある。パターンP4は上記図13の場合であり、集光点がなく、エネルギー利用効率が最も高いという特徴がある。
なお、パターンP1〜P4のいずれについても、同じパターンにおいて、縮小部と拡大部との位置を入れ換えても得られる光学的効果およびメリットは同じである。
これらパターンの特徴を考慮し、加工対象や加工形状によって、レンズ21〜24の構成を変えればよい。例えば、ハードレイアウトと加工サイズとに制約が無い条件で、加工という観点からすると、レーザー光源の負荷を上げずに加工ができるのが望ましいので、エネルギー効率が高いパターンP4を採用すればよい。
また、いずれのパターンP1〜P4についても、図8を参照して説明したように、レーザーヘッドから加工対象までの光路の途中に、光路を所定角度曲げるためのミラーを設けてもよく、これによってレイアウトの自由度が高くなり、装置の全体の構成をコンパクトにすることができる。
なお、上記は、主として、縮小部による縮小処理の後に拡大部による拡大処理を行う場合について説明したが、この場合に限定されることはない。すなわち、縮小処理の後に更に縮小処理を行ったり、拡大処理の後に更に拡大処理を行ったり、拡大処理の後に縮小処理を行ったりしてもよい。つまり、縮小処理と拡大処理との順序および組合せを任意に選択し、入射像について、たて方向と横方向とを独立して縮小または拡大できることが重要であり、これによって所望のビーム形状が得られる。
(まとめ)
本装置によれば、エキスパンダー光学系を用い、レンズによってビーム形状を成形するためにエネルギー損失を少なくすることができる。
2 エキスパンダー光学系
3 絞り部
4 レーザー用光学鏡筒
5 対物レンズ
6 自動搬送ステージ
7 加工対象
11 スリット
21〜24 シリンドリカルレンズ
24 レンズ
25 ミラー
30 開口部分
31〜34 絞り羽根
41 レーザーアタッチメント
42〜44 ハーフミラー
45 集光レンズ
46 観察ユニット
47 CCDカメラ
48 操作部
71、72a〜72c 加工痕
F 光ファイバー
Claims (6)
- レーザー光源からのレーザー光を加工対象に照射して加工を行うレーザー加工装置であって、前記レーザー光源から出力されるレーザー光について成形を行って平行光を生成するエキスパンダー光学系と、前記エキスパンダー光学系によって成形された平行光について、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する絞り処理を行う絞り部とを含み、
エキスパンダー光学系によって成形されたレーザー光を、前記絞り部を介して前記加工対象に照射して加工を行うことを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記エキスパンダー光学系は、複数のシリンドリカルレンズからなり、前記複数のシリンドリカルレンズ全体を一体として、光軸を中心に回転できるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工装置。
- 前記加工対象が載置され、該加工対象へ照射される光の大きさおよび前記レーザー光源の発振周波数に応じた速度で、該加工対象を搬送する搬送手段をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載のレーザー加工装置。
- 前記エキスパンダー光学系によって成形された平行光の光路を所定角度曲げるためのミラーをさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
- 前記エキスパンダー光学系と前記絞り部とが、一体として、前記光軸を中心に回転できるように構成されていることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
- 前記絞り部は、対向して設けられかつ間隔を変更できる一対の絞り羽根を二対備えており、前記二対のうちの一対は絞り羽根同士が平行に対向し、他の一対は絞り羽根同士が傾斜して対向していることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
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