JP2011189267A - パターン膜形成部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】隣接するパターン膜同士の接触を防止する。
【解決手段】基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、液滴の着弾を許可する着弾許可領域と液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、基材に対して液滴吐出ヘッドを移動させながら、着弾許可領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出し、パターン膜形成領域に機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、液滴着弾領域設定工程では、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向側の第1着弾禁止領域と、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第2着弾禁止領域とを設定するとともに、第1着弾禁止領域を、第2着弾禁止領域よりも広く設定する。
【選択図】図7
【解決手段】基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、液滴の着弾を許可する着弾許可領域と液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、基材に対して液滴吐出ヘッドを移動させながら、着弾許可領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出し、パターン膜形成領域に機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、液滴着弾領域設定工程では、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向側の第1着弾禁止領域と、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第2着弾禁止領域とを設定するとともに、第1着弾禁止領域を、第2着弾禁止領域よりも広く設定する。
【選択図】図7
Description
本発明は、パターン膜形成部材の製造方法に関する。
例えば、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法では、基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出して、機能液をパターン膜形成領域に付着させる方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記のカラーフィルターの製造方法では、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら、液滴を吐出して、当該液滴を基材面に着弾させ、機能液を基材上に付着させている。ところで、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を液滴として吐出した際、液滴の主滴に追随して尾引き部やサテライト等が発生することがある。この場合、液滴吐出ヘッドと基材とが相対的に移動しているため、尾引き部やサテライトは、主滴が基材に着弾するタイミングよりも遅れて着弾する。その結果、尾引き部やサテライトは、主滴が着弾された位置からずれた位置に付着することになる。すなわち、所望した位置からずれた位置に付着してしまうことになる。この場合、例えば、尾引き部やサテライトが位置ずれによって区画部に乗り上がって付着してしまった場合には、隣接するパターン膜形成領域内に塗布された機能液同士が接触して混色が発生してしまう、という課題があった。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材に向けて機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと前記基材とを相対的に移動させ、前記基材上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、前記液滴の着弾を許可する着弾許可領域と前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、前記基材に対して前記液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記着弾許可領域に向けて、前記パターン膜の材料を含む前記機能液を前記液滴として吐出し、前記パターン膜形成領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、前記液滴着弾領域設定工程では、前記着弾許可領域に対して前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の第1着弾禁止領域と、前記着弾許可領域に対して前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第2着弾禁止領域とを設定するとともに、前記第1着弾禁止領域を、前記第2着弾禁止領域よりも広く設定することを特徴とする。
この構成によれば、区画されたパターン膜形成領域には、着弾許可領域と着弾禁止領域とが設定される。そして、着弾許可領域に向けて液滴吐出ヘッドから液滴が吐出される。ここで、着弾禁止領域のうち、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向側に設定された第1着弾禁止領域が、着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側に設定された第2着弾禁止領域よりも広く設定される。このため、液滴吐出ヘッドと基材とが相対的に移動しながら液滴が吐出された際、液滴の主滴に追随する尾引き部やサテライト等が着弾する領域を確保することが可能となる。すなわち、液滴の主滴が着弾した後に、遅れて着弾する尾引き部やサテライト等の着弾領域が確保される。従って、尾引き部やサテライトが区画部に乗り上がって付着することがないので、隣接するパターン膜形成領域に塗布された機能液同士の接触がなく、隣接するパターン膜同士の混色不良を低減することができる。また、上記の構成では、当初の着弾許可領域の広さを変えることなく基材の移動方向に対して下流側にずらした(オフセットした)構成とも言える。従って、一回の走査でパターン膜形成領域内に塗布する所定の機能液の量を減らすことなく、生産性を維持しながら、品質を向上させることができる。
[適用例2]上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記液滴着弾領域設定工程では、前記液滴吐出ヘッドの移動方向における前記第1着弾禁止領域の幅を、前記液滴吐出ヘッドの移動方向における前記第2着弾禁止領域の幅よりも広く設定することを特徴とする。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの移動方向における第1着弾禁止領域の幅が、液滴吐出ヘッドの移動方向における第2着弾禁止領域の幅よりも広く設定される。このため、液滴吐出ヘッドと基材とが相対的に移動しながら液滴が吐出された際、液滴の主滴に追随する尾引き部やサテライト等の着弾する領域をパターン膜形成領域内に均等に確保することが可能となる。すなわち、液滴の主滴が着弾した後に、遅れて着弾する尾引き部分やサテライト等の着弾領域が均等に確保される。これにより、隣接するパターン膜同士の混色不良を低減することができる。
[適用例3]上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記液滴着弾領域設定工程では、前記第1着弾禁止領域と前記第2着弾禁止領域とを、前記液滴吐出ヘッドと前記基材との相対的な移動方向に応じて設定することを特徴とする。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドと基材の走査回数が複数の場合であっても、基材の移動方向に対して上流側の第1着弾禁止領域が、下流側の第2着弾禁止領域よりも広く設定されるため、液滴の主滴に追随する尾引き部やサテライト等の着弾する領域を確実に確保することができる。
[適用例4]上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記液滴着弾領域設定工程では、前記液滴の尾引き部の長さに応じて前記第1着弾禁止領域の広さを設定することを特徴とする。
この構成によれば、第1着弾禁止領域が尾引き部の長さに応じて設定されるので、確実に隣接するパターン膜の混色不良を低減することができる。
[適用例5]上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記液滴着弾領域設定工程では、前記液滴吐出ヘッドと前記基材とが相対的に移動した際に吐出した前記液滴が前記基材の面に着弾した形状に応じて前記第1着弾禁止領域の広さを設定することを特徴とする。
この構成によれば、第1着弾禁止領域が基材に着弾した際の形状に応じて設定されるので、確実に隣接するパターン膜の混色不良を低減することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。
(パターン膜形成部材の構成)
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの構成について説明する。図1は、カラーフィルターの構成を示し、図1(a)は、平面図であり、同図(b)は、同図(a)のA−A断面図である。
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの構成について説明する。図1は、カラーフィルターの構成を示し、図1(a)は、平面図であり、同図(b)は、同図(a)のA−A断面図である。
図1(a),(b)において、カラーフィルター1は、基材10と、基材10の上に形成された区画部11と、区画部11によって区画されたパターン膜形成領域としての色素膜形成領域16と、色素膜形成領域16に形成されたパターン膜としての色素膜14と、区画部11と色素膜14の上に形成された保護膜18等で構成されている。
基材10は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルター機能として透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部11は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
(液滴吐出装置の構成)
次に、カラーフィルター1の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。図2は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
次に、カラーフィルター1の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。図2は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
図2において、液滴吐出装置30は、色素膜14の材料となる液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド50を有するヘッド機構部32と、液滴吐出ヘッド50から吐出された液滴の吐出対象である基材10を載置するワーク機構部33と、液滴吐出ヘッド50に液状体を供給する材料供給部34と、液滴吐出ヘッド50の保守を行うメンテナンス機構部35と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部36等を備えている。
液滴吐出装置30は、床上に設置された複数の支持脚41と、支持脚41の上側に設置された定盤42を備えている。定盤42の上側には、ワーク機構部33が定盤42の長手方向(X軸方向)に延在するように配置されている。ワーク機構部33の上方には、定盤42に固定された2本の支持柱52で支持されているヘッド機構部32が、ワーク機構部33と直交する方向(Y軸方向)に延在して配置されている。また、定盤42の一方の端部には、ヘッド機構部32の液滴吐出ヘッド50から連通して液状体を供給する材料供給部34が配置されている。そして、ヘッド機構部32の一方の支持柱52近傍には、メンテナンス機構部35がワーク機構部33と並んでX軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤42の下側には、制御部36が備えられている。
ヘッド機構部32は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッド50と、液滴吐出ヘッド50を懸架したヘッドキャリッジ51と、ヘッドキャリッジ51のY軸方向への移動をガイドするY軸ガイド53と、Y軸ガイド53の側方にY軸ガイド53と平行に設置されたY軸リニアモーター54等を備えている。
ワーク機構部33は、ヘッド機構部32の下方に位置し、ヘッド機構部32とほぼ同様の構成でX軸方向に延在するように配置されており、基材10を載置している載置台61と、載置台61の移動をガイドするX軸ガイド63と、X軸ガイド63の側方にX軸ガイド63と平行に設置されたX軸リニアモーター64等を備えている。
これらの構成により、液滴吐出ヘッド50と基材10とは、それぞれY軸方向およびX軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、液滴吐出ヘッド50の移動について説明する。液滴吐出ヘッド50を懸架したヘッドキャリッジ51は、Y軸ガイド53に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ51からY軸リニアモーター54側へ張り出している突起部が、Y軸リニアモーター54と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ51がY軸ガイド53に沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台61に搭載された基材10もX軸方向に自在に移動する。
このように、液滴吐出ヘッド50は、Y軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にある基材10のX軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。X軸方向に移動する基材10と、Y軸方向に移動する液滴吐出ヘッド50とを相対的に制御することにより、基材10上に機能液を吐出することができる。
液滴吐出ヘッド50に液状体を供給する材料供給部34は、タンク75と、ポンプ74と、タンク75からポンプ74を経て液滴吐出ヘッド50までを接続する流路チューブ79とを備えている。
図3は、液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図3に示すように、液滴吐出ヘッド50は、ノズルプレート115を備え、ノズルプレート115には、ノズル120が形成されている。ノズルプレート115の上側であってノズル120と相対する位置には、ノズル120に連通するキャビティ111が形成されている。そして、キャビティ111には、材料供給部34から機能液が供給される。
キャビティ111の上側には、上下方向(Z方向:縦振動)に振動して、キャビティ111内の容積を拡大縮小する振動板114と、上下方向に伸縮して振動板114を振動させる加圧手段としての圧電素子113が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド50が圧電素子113を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子113が伸張して、振動板114がキャビティ111内の容積を縮小する。その結果、ノズル120から縮小した容積分の機能液が液滴121として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子113を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
図2に戻り、次に、メンテナンス機構部35について説明する。メンテナンス機構部35は、キャッピングユニット86、ワイピングユニット87、およびフラッシングユニット88のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ81と、メンテキャリッジ81の移動をガイドするメンテキャリッジガイド82と、メンテキャリッジ81と一体の螺合部85と、螺合部85が螺合するボールねじ84と、ボールねじ84を回転させるメンテモーター83とを備えている。これにより、メンテモーター83が正逆回転すると、ボールねじ84が回転し、螺合部85を介してメンテキャリッジ81が、X軸方向に移動する。メンテキャリッジ81が液滴吐出ヘッド50のメンテナンスのために移動するときには、Y軸ガイド53に沿って液滴吐出ヘッド50が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
メンテナンスユニットのキャッピングユニット86は、液滴吐出装置30が稼動していない時に、液滴吐出ヘッド50に密着してキャッピングし、液状体が乾燥してノズル120が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット87は、液状体の連続吐出後やキャッピング時にノズル120に付着した液状体などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット88は、液滴吐出装置30の稼動開始時や基材10への加工前に、ノズル120から吐出される液状体を受け、ノズル120の吐出状態を常に良好な状態にする。
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置30の非稼動時や基材10を交換載置している加工待ち時などに、液滴吐出ヘッド50の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
次に、以上述べた構成を制御する制御部36の構成について説明する。図4は、制御部36の構成を示すブロック図である。制御部36は、指令部130と駆動部140とを備え、指令部130は、CPU132、記憶手段としてのROM133、RAM134および入出力インターフェース131からなり、CPU132が入出力インターフェース131を介して入力される各種信号を、ROM133、RAM134のデータに基づき処理し、入出力インターフェース131を介して駆動部140へ制御信号を出力する。
駆動部140は、ヘッドドライバー141、モータードライバー142、ポンプドライバー143、メンテドライバー145を備えている。モータードライバー142は、指令部130の制御信号により、X軸リニアモーター64、Y軸リニアモーター54を制御し、基材10、液滴吐出ヘッド50の移動を制御する。さらに、メンテモーター83を制御してメンテナンス機構部35の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバー141は、液滴吐出ヘッド50からの液状体の吐出を制御し、モータードライバー142の制御と同調して、基材10上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバー143は、液状体の吐出状態に対応してポンプ74を制御し、液滴吐出ヘッド50への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバー145は、メンテナンス機構部35のキャッピングユニット86、ワイピングユニット87およびフラッシングユニット88を制御する。
ここで、液滴吐出ヘッド50から液滴121が吐出される状態等について説明する。図5は、液滴の吐出状態及び着弾状態を示す説明図である。
まず、液滴の吐出状態について説明する。図5(a)は、液滴吐出ヘッド50のノズル120から液滴121が吐出された状態を示している。液滴121は、主滴121aと、主滴121aに追随して形成された尾引き部121bが形成される。また、尾引き部121bに追随してサテライト121c等が形成される場合もある。
次に、液滴の着弾状態について説明する。図5(b)〜(f)は、吐出された液滴が基材の面に着弾する状態を示したものである。なお、図5(b)〜(f)では、液滴吐出ヘッド50を固定して、基材10をX軸方向に移動させた場合を例にして説明する。また、図5(b)〜(f)において、基材10に着弾した液滴121、主滴121a、尾引き部121b、サテライト121cを液滴121’、主滴121a’、尾引き部121b’、サテライト121c’と表している。
まず、図5(b)では、液滴吐出ヘッド50と基材10とを相対的に移動させながら、基材10に向けて液滴121が吐出された状態を示している。吐出された液滴121は、基材10に向けて、主滴121a、尾引き部121b、サテライト121cの順で移動する。
図5(c)では、基材10の表面に液滴121が着弾した状態を示している。図5(c)に示すように、まず、主滴121aが基材10の面に着弾する。このとき、尾引き部121bやサテライト121cは、主滴121aに比べて遅れて進んでいるため、基材10の面に着弾していない。
次に、図5(d)に示すように、主滴121aに続いて尾引き部121bが基材10の面に着弾する。主滴121aが基材10に着弾して尾引き部121bが基材10に着弾するまでの間、基材10がX軸方向に移動しているため、尾引き部121bは、主滴121aの着弾位置に対して、X軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、基材10の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。
次に、図5(e)に示すように、尾引き部121bに続いてサテライト121cが基材10の面に着弾する。尾引き部121bが基材10に着弾してサテライト121cが基材10に着弾するまでの間、基材10がX軸方向に移動しているため、サテライト121cは、尾引き部121bの着弾位置に対して、X軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、基材10の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。また、図5(f)は、図5(e)の液滴121の着弾状態を平面視したものである。図5(f)に示すように、尾引き部121bやサテライト121cは、主滴121aの着弾位置からずれた位置に着弾する。
以上、図5に示したように、液滴吐出ヘッド50から吐出された液滴121は、主滴121aの着弾位置に対して尾引き部121bやサテライト121cの着弾位置がずれてしまう傾向にある。従って、例えば、液滴吐出ヘッド50をカラーフィルター等の製造に適用して吐出した場合に、液滴121の着弾位置がずれて区画部11上に着弾されてしまい、隣接するパターン膜形成領域に塗布された機能液と接触し、混色を起こしてしまうおそれがある。そこで、本実施形態では、このような不具合の発生を防止する。以下、パターン膜形成部材の製造方法において具体的に説明する。
(パターン膜形成部材の製造方法)
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。パターン膜形成部材の製造方法は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させ、基材上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、液滴の着弾を許可する着弾許可領域と前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、着弾許可領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出し、パターン膜形成領域に機能液を塗布する機能液塗布工程と、含むものである。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法について説明する。図6は、カラーフィルターの製造方法を示すフローチャートである。
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。パターン膜形成部材の製造方法は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させ、基材上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、液滴の着弾を許可する着弾許可領域と前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、着弾許可領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出し、パターン膜形成領域に機能液を塗布する機能液塗布工程と、含むものである。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法について説明する。図6は、カラーフィルターの製造方法を示すフローチャートである。
まず、基材載置工程S1では、区画部11が形成された基材10を液滴吐出装置30の載置台61上に載置する。
次いで、液滴着弾領域設定工程S2では、基材10上に形成された区画部11によって区画された色素膜形成領域16のうち、液滴121の着弾を許可する着弾許可領域201と液滴121の着弾を禁止する着弾禁止領域202とを設定する。着弾許可領域201は、液滴121の主滴121aの着弾を許可する領域である。そして、当該液滴着弾領域設定工程S2では、着弾許可領域201に対して液滴吐出ヘッド50の移動方向側の第1着弾禁止領域202aと、着弾許可領域201に対して液滴吐出ヘッド50の移動方向の反対側の第2着弾禁止領域202bとを設定するとともに、第1着弾禁止領域202aを、第2着弾禁止領域202bよりも広く設定する。さらには、液滴吐出ヘッド50の移動方向における第1着弾禁止領域202aの幅W1を、液滴吐出ヘッド50の移動方向における第2着弾禁止領域202bの幅W2よりも広く設定する。具体的には、液滴吐出ヘッド50と基材10とが相対的に移動する場合、例えば、図7(a)に示すように、液滴吐出ヘッド50に対して基材10がX軸の正方向に移動する場合、基材10が移動する上流側(X軸の負方向側)に第1着弾禁止領域202aが設けられ、下流側(X軸の正方向側)に第2着弾禁止領域202bが設けられる。
なお、第1着弾禁止領域202aの広さや幅は適宜設定が可能である。例えば、図5(a)に示した様に、液滴121の尾引き部121bの長さ分に応じて第1着弾禁止領域202aの広さや幅W1を設定してもよい。また、図5(e),(f)に示した様に、液滴吐出ヘッド50と基材10とが相対的に移動した際に吐出した液滴121が基材10の面に着弾した形状に応じて第1着弾禁止領域202aの広さや幅W1を設定してもよい。
次いで、機能液塗布工程S3では、図8(a)に示すように、着弾許可領域201に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴121として吐出し、色素膜形成領域16に機能液を塗布する。この際、図5で示したように、主滴121aに追随して尾引き部121bやサテライト121cが形成される。そして、液滴吐出ヘッド50と基材10とが相対的に移動しながら液滴吐出するため、図8(b)に示すように、基材10の面に対する主滴121aの着弾位置からずれた位置に尾引き部121bやサテライト121cが着弾する。しかしながら、本実施形態では、第1着弾禁止領域202aが、尾引き部121bの長さや液滴121の着弾形状に応じて広く確保されているため、機能液が区画部11上に乗り上げて付着することがないので、隣接する色素膜形成領域16に塗布された機能液同士が接触することが無い。すなわち、混色しない。塗布された機能液は、基材10の面に濡れ広がり、色素膜形成領域16内が機能液で満たされる。
この後、さらに、同一の色素膜形成領域16内に機能液を塗布する必要がある場合等は、液滴着弾領域設定工程S2に再度移行する。一方、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程S4に移行する。
ここで、同一の色素膜形成領域16内に機能液を塗布する必要がある場合について説明する。この場合、先に説明したように液滴着弾領域設定工程S2に移行する。そして、液滴着弾領域設定工程S2では、第1着弾禁止領域202aと第2着弾禁止領域202bを再設定する。具体的には、第1着弾禁止領域202aと第2着弾禁止領域202bとを液滴吐出ヘッド50と基材10との相対的な移動方向に応じて設定する。すなわち、図7(b)に示すように、液滴吐出ヘッド50に対して基材10がX軸の負方向に移動する場合、基材10が移動する上流側(X軸の正方向側)に第1着弾禁止領域202aが設けられ、下流側(X軸の負方向側)に第2着弾禁止領域202bが設けられる。
次に、機能液塗布工程S3に移行する。そして、図8(c)に示すように、着弾許可領域201に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴121として吐出し、色素膜形成領域16に機能液を塗布する。この際、図5で示したように、主滴121aに追随して尾引き部121bやサテライト121cが形成される。そして、液滴吐出ヘッド50と基材10とが相対的に移動しながら液滴吐出するため、図8(d)に示すように、基材10の面に対する主滴121aの着弾位置からずれた位置に尾引き部121bやサテライト121cが着弾する。しかしながら、本実施形態では、第1着弾禁止領域202aが、尾引き部121bの長さや液滴121の着弾形状に応じて広く確保されているため、機能液が区画部11上に乗り上げて付着することがないので、隣接する色素膜形成領域16に塗布された機能液同士が接触することが無い。すなわち、混色しない。塗布された機能液は、基材10の面に濡れ広がり、色素膜形成領域16内が機能液で満たされる。
この後、さらに、同一の色素膜形成領域16内に機能液を塗布する必要がある場合等は、液滴着弾領域設定工程S2に再度移行し、色素膜形成領域16内が所望の機能液の塗布量に達するまで繰り返す。
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程S4に移行する。固化工程S4では、塗布された機能液を、例えば、乾燥等により固化する。これにより、パターン膜としての色素膜14が形成される。その後、必要に応じて、区画部11と色素膜14の上に保護膜18を形成する。保護膜18の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。以上、上記の製造方法によって、カラーフィルター1(図1参照)が形成される。
(電気光学装置)
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図9は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図9は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
図9において、液晶ディスプレイ150は、カラーフィルター1と、カラーフィルター1に対向して配置された素子基材151と、シール材152によって接着されたカラーフィルター1と素子基材151の隙間に充填された液晶153等で構成されている。
カラーフィルター1の保護膜18の上には共通電極161が形成され、共通電極161の上には配向膜162が形成されている。また、基材10の色素膜14が形成された面の反対面には偏光板175が備えられている。
素子基材151は、透明性を有する基材170と、基材170の上に形成されたTFT(Thin Film Transistor)素子171と、基材170とTFT素子171の上に形成された配向膜172等で構成されている。また、基材170のTFT素子171が形成された面の反対面には偏光板176が備えられている。
(電子機器)
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図10は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図10において、テレビ受像機180の表示部に液晶ディスプレイ150が搭載されている。
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図10は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図10において、テレビ受像機180の表示部に液晶ディスプレイ150が搭載されている。
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
色素膜形成領域16において、液滴121を着弾させる着弾許可領域201と液滴121の着弾を禁止する着弾禁止領域202とが設定される。さらに、着弾禁止領域202は、液滴吐出ヘッド50に対して相対的に移動する基材10の上流側における区画部11の近傍の第1着弾禁止領域202aと、液滴吐出ヘッド50に対して相対的に移動する基材10の下流側における区画部11の近傍の第2着弾禁止領域202bとが設定される。そして、第1着弾禁止領域202aは、第2着弾禁止領域202bよりも広く設定される。これにより、液滴吐出ヘッド50から基材10に向けて液滴121を吐出した際に、液滴121の主滴121aに追随する尾引き部121bやサテライト121cが、主滴121aが着弾した位置からずれた位置に着弾されるが、尾引き部121bやサテライト121cが区画部11上に乗り上がって着弾されることはないので、隣接する色素膜形成領域16に塗布された機能液同士が接触しないので、混色を防止することができる。
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
(変形例)上記の実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルター1を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、EL(Electro−Luminescence)発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
1…パターン膜形成部材としてのカラーフィルター、10…基材、11…区画部、14…パターン膜としての色素膜、16…パターン膜形成領域としての色素膜形成領域、30…液滴吐出装置、50…液滴吐出ヘッド、121…液滴、121a…主滴、121b…尾引き部、121c…サテライト、150…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、180…電子機器としてのテレビ受像機、201…着弾許可領域、202…着弾禁止領域、202a…第1着弾禁止領域、202b…第2着弾禁止領域。
Claims (5)
- 基材に向けて機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと前記基材とを相対的に移動させ、前記基材上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域のうち、前記液滴の着弾を許可する着弾許可領域と前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域とを設定する液滴着弾領域設定工程と、
前記基材に対して前記液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記着弾許可領域に向けて、前記パターン膜の材料を含む前記機能液を前記液滴として吐出し、前記パターン膜形成領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、
前記液滴着弾領域設定工程では、
前記着弾許可領域に対して前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の第1着弾禁止領域と、前記着弾許可領域に対して前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第2着弾禁止領域とを設定するとともに、前記第1着弾禁止領域を、前記第2着弾禁止領域よりも広く設定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。 - 請求項1に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記液滴着弾領域設定工程では、
前記液滴吐出ヘッドの移動方向における前記第1着弾禁止領域の幅を、前記液滴吐出ヘッドの移動方向における前記第2着弾禁止領域の幅よりも広く設定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。 - 請求項1または2に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記液滴着弾領域設定工程では、
前記第1着弾禁止領域と前記第2着弾禁止領域とを、前記液滴吐出ヘッドと前記基材との相対的な移動方向に応じて設定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記液滴着弾領域設定工程では、
前記液滴の尾引き部の長さに応じて前記第1着弾禁止領域の広さを設定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記液滴着弾領域設定工程では、
前記液滴吐出ヘッドと前記基材とが相対的に移動した際に吐出した前記液滴が前記基材の面に着弾した形状に応じて前記第1着弾禁止領域の広さを設定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2013086044A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Seiko Epson Corp | パターン膜形成部材の製造方法 |
KR20170026146A (ko) | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 액적 토출 방법, 프로그램을 갖는 컴퓨터 판독 가능 기록 매체, 유기 el 장치의 제조 방법, 컬러 필터의 형성 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004361491A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス基板の製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
JP2009109799A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2009169217A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器 |
JP2010039331A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Seiko Epson Corp | 膜形成部材の製造方法 |
-
2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004361491A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス基板の製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
JP2009109799A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2009169217A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器 |
JP2010039331A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Seiko Epson Corp | 膜形成部材の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013086044A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Seiko Epson Corp | パターン膜形成部材の製造方法 |
KR20170026146A (ko) | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 액적 토출 방법, 프로그램을 갖는 컴퓨터 판독 가능 기록 매체, 유기 el 장치의 제조 방법, 컬러 필터의 형성 방법 |
US10847723B2 (en) | 2015-08-26 | 2020-11-24 | Tokyo Electron Limited | Droplet discharge method, program, manufacturing method of organic el device, forming method of color filter |
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