JP2011147839A - Perfluorocarbon removing agent and method for removing perfluorocarbon - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）を含有する排ガスを除去するために用いるＰＦＣ除去剤、およびＰＦＣの除去方法に関する。 The present invention relates to a PFC removal agent used for removing exhaust gas containing perfluorocarbon (PFC), and a PFC removal method.
半導体や液晶の製造プロセスでは、ドライエッチング用ガス、クリーニングガス等として、例えばＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ８などのパーフルオロカーボン（以下「ＰＦＣ」という）が多く用いられている。しかし、ＰＦＣは地球温暖化係数が格段に高いために、その排出量を削減することが世界的に求められている。 In semiconductor and liquid crystal manufacturing processes, perfluorocarbons (hereinafter referred to as “PFC”) such as CF 4 , C 2 F 6 , C 4 F 6 , and C 5 F 8 are often used as dry etching gas, cleaning gas, and the like. It has been. However, since PFC has a much higher global warming potential, there is a worldwide need to reduce its emissions.
そこで、ＰＦＣを分解する方法が提案されている。例えば、特許文献１には、分解剤として無機酸化物、具体的にはシリカゲルまたはＺＳＭ−５をフッ化水素処理したものを使用し、吸着剤としてゼオライト等を使用したＣ３Ｆ８等のガスの分解・除去方法が開示されている。特許文献２には、分解剤としてＳｉの酸化物、具体的には酸化ケイ素またはハイシリカゼオライトを使用し、吸着剤としてゼオライト等を使用したＣ３Ｆ８等の気体状フッ化物の分解・除去方法が開示されている。しかし、ＰＦＣを分解するには１１００℃〜１５００℃といった高温での処理が必要である。また、分解により副生したフッ化水素は毒性が高く、その処理装置を含めた排ガス処理プロセスは複雑化する。 Therefore, a method for decomposing PFC has been proposed. For example, Patent Document 1 uses a gas such as C 3 F 8 using an inorganic oxide as a decomposition agent, specifically silica gel or ZSM-5 treated with hydrogen fluoride, and using zeolite or the like as an adsorbent. Is disclosed. Patent Document 2 discloses the decomposition and removal of gaseous fluorides such as C 3 F 8 using Si oxide as a decomposing agent, specifically silicon oxide or high silica zeolite, and using zeolite or the like as an adsorbing agent. A method is disclosed. However, in order to decompose PFC, treatment at a high temperature of 1100 ° C. to 1500 ° C. is necessary. In addition, hydrogen fluoride produced as a by-product by decomposition is highly toxic, and the exhaust gas treatment process including the treatment apparatus becomes complicated.
また、特許文献３には、ＰＦＣを吸着させるＰＦＣ吸着部およびＣＯを酸化するＣＯ酸化部を備える、ＰＦＣおよびＣＯを含有する化合物ガスを処理するガス処理装置が開示されており、ＰＦＣ吸着剤としてはゼオライト、活性炭、シリカ、アルミナなどが挙げられている。 Patent Document 3 discloses a gas processing apparatus for treating a compound gas containing PFC and CO, which includes a PFC adsorbing part that adsorbs PFC and a CO oxidizing part that oxidizes CO, and is disclosed as a PFC adsorbent. Zeolite, activated carbon, silica, alumina and the like are mentioned.
特許文献４には、ハロゲン系ガスの除害剤（除去剤）としてバインダレスＸ型ゼオライトが開示されているが、ハロゲン系ガスとしてはハロゲン、ハロゲン化水素、ハロゲン化珪素、ハロゲン化ホウ素、ハロゲン化タングステン、ハロゲン化カルボニル、酸化ハロゲンが挙げられているのみで、ＰＦＣは記載されていない。 Patent Document 4 discloses binderless X-type zeolite as a halogen gas detoxifying agent (removal agent). Examples of the halogen gas include halogen, hydrogen halide, silicon halide, boron halide, and halogen. Only tungsten halide, carbonyl halide, and halogen oxide are mentioned, and PFC is not described.
本発明の目的は、炭素数３〜１０のＰＦＣを常温付近で簡便に、効率よく除去することができるＰＦＣ除去剤、およびＰＦＣの除去方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a PFC removal agent and a PFC removal method capable of easily and efficiently removing PFC having 3 to 10 carbon atoms around normal temperature.
本発明は以下の事項に関する。 The present invention relates to the following matters.
１． 炭素数３〜１０のパーフルオロカーボン（ＰＦＣ）を除去するために用いる除去剤であって、バインダレスＸ型ゼオライトを含むことを特徴とするＰＦＣ除去剤。 1. A remover used for removing perfluorocarbon (PFC) having 3 to 10 carbon atoms, which comprises a binderless X-type zeolite.
２． 前記ＰＦＣは、炭素数が４または５である上記１記載のＰＦＣ除去剤。 2. 2. The PFC removing agent according to 1 above, wherein the PFC has 4 or 5 carbon atoms.
３． バインダレスＸ型ゼオライトを含む除去剤に炭素数３〜１０のＰＦＣを含むガスを接触させることによって、ＰＦＣを吸着除去することを特徴とするＰＦＣの除去方法。 3. A PFC removal method comprising adsorbing and removing PFC by bringing a gas containing PFC having 3 to 10 carbon atoms into contact with a remover containing binderless X-type zeolite.
本発明のバインダレスＸ型ゼオライトを含む除去剤は、炭素数３〜１０のＰＦＣを室温で簡便に、効率よく吸着除去することができる。除去剤のゼオライトとしてバインダレスのＸ型ゼオライトを使用することにより、通常のバインダを使用したＸ型ゼオライトの成形体や、他のゼオライトと比較して高いＰＦＣ除去性能を得ることができる。また、バインダレスＸ型ゼオライトは、他のハロゲン系ガスよりもＰＦＣの吸着除去に特に優れた効果を発揮する。 The removal agent containing the binderless X-type zeolite of the present invention can adsorb and remove PFC having 3 to 10 carbon atoms simply and efficiently at room temperature. By using a binderless X-type zeolite as the removing agent zeolite, it is possible to obtain a PFC removal performance higher than that of an X-type zeolite molded body using a normal binder and other zeolites. Further, the binderless X-type zeolite exhibits a particularly superior effect in removing PFC by adsorption than other halogen-based gases.
本発明のＰＦＣ除去剤は、バインダレスＸ型ゼオライトを含むことを特徴とする。ここで、バインダレスＸ型ゼオライトとは、Ｘ型ゼオライト含有量が９８ｗｔ％以上であるゼオライト成形体である。また、本発明にいうＰＦＣとは、ＣＦ4、Ｃ２Ｆ６、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ８などの炭素とフッ素からなるパーフルオロカーボンをいい、除去剤に接触させるガスはＰＦＣ以外の他の種類のガスを含んでいても良い。 The PFC removing agent of the present invention is characterized by containing a binderless X-type zeolite. Here, the binderless X-type zeolite is a zeolite molded body having an X-type zeolite content of 98 wt% or more. The PFC referred to in the present invention is a perfluorocarbon composed of carbon and fluorine such as CF 4 , C 2 F 6 , C 4 F 6 , C 5 F 8, etc. This kind of gas may be included.
バインダレスＸ型ゼオライトは、例えば、次のようにして製造することができるが、これに限定されるものではない。 The binderless X-type zeolite can be produced, for example, as follows, but is not limited thereto.
まず、合成Ｘ型ゼオライト粉末、該合成Ｘ型ゼオライト粉末との合計に対して２０〜２５ｗｔ％の平均粒子径１．５μｍ以上のカオリン型粘土、および該カオリン型粘土中のアルミニウムに対してＮａＯＨ／Ａｌモル比０．２５以下の水酸化ナトリウムからなる混合物を水分の調整をしながら全てが均一になるよう混合混練した後、所望の形に成形する。次いで、得られた成形体を乾燥した後、カオリン型粘土が焼結し、メタカオリン型粘土に転移する温度５５０℃以上、好ましくは６００℃で焼成する。そして、必要に応じて焼成した成形体を飽和水分吸着量程度まで加湿した後、濃度１．５〜２．５ｍｏｌ／ｌの水酸化ナトリウムと０．１〜０．２ｍｏｌ／ｌの珪酸ナトリウムとの混合水溶液と接触（浸漬）させ、通常Ｘ型ゼオライトを合成する温度条件、例えば４０℃で１時間程度の熟成操作をした後、９０℃で８時間程度保持して結晶化させて、成形体中のカオリン型粘土を純粋なＸ型ゼオライトに転化させる。転化終了後、成形体を水酸化ナトリウムおよび珪酸ナトリウム混合溶液中から取出し、水で十分洗浄した後、成形体を乾燥する。活性化するために、この乾燥品をさらに焼成してもよい。用いる合成Ｘ型ゼオライト粉末は、通常、ＮａＸ型ゼオライトでよく、公知の方法、すなわちアルミン酸ナトリウムと珪酸ナトリウムとから合成することができる。 First, synthetic X-type zeolite powder, kaolin-type clay having an average particle size of 1.5 μm or more of 20 to 25 wt% with respect to the total of the synthetic X-type zeolite powder, and NaOH / A mixture of sodium hydroxide having an Al molar ratio of 0.25 or less is mixed and kneaded so as to be uniform while adjusting the water content, and then formed into a desired shape. Subsequently, after drying the obtained molded body, the kaolin-type clay is sintered and calcined at a temperature of 550 ° C. or higher, preferably 600 ° C., at which the kaolin-type clay is transferred to the metakaolin-type clay. And after humidifying the molded body fired as necessary to the saturated water adsorption amount, the concentration of 1.5 to 2.5 mol / l sodium hydroxide and 0.1 to 0.2 mol / l sodium silicate After contact with (dipping) the mixed aqueous solution and synthesizing the normal X-type zeolite, for example, after aging at 40 ° C. for about 1 hour, it is maintained at 90 ° C. for about 8 hours to crystallize, The kaolin-type clay is converted into pure X-type zeolite. After the conversion is completed, the molded body is taken out from the mixed solution of sodium hydroxide and sodium silicate, thoroughly washed with water, and then dried. In order to activate, this dried product may be further baked. The synthetic X-type zeolite powder used is usually NaX-type zeolite and can be synthesized from a known method, that is, sodium aluminate and sodium silicate.
なお、バインダレスＸ型ゼオライトとしては、ＮａＸ型以外のバインダレスＸ型ゼオライトを用いることもできるが、好ましくはＮａＸ型ゼオライトである。 As the binderless X-type zeolite, binderless X-type zeolites other than NaX type can be used, but NaX-type zeolite is preferable.
バインダレスＸ型ゼオライトは、例えば東ソー株式会社製、ゼオラムＦ−９ＨＡ等を使用することができる。 As the binderless X-type zeolite, for example, Zeorum F-9HA manufactured by Tosoh Corporation can be used.
用いるバインダレスＸ型ゼオライトは、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３比が２〜３であることが好ましい。また、バインダレスＸ型ゼオライトの陽イオンは、ＮａまたはＫであることが好ましい。 The binderless X-type zeolite to be used preferably has a SiO 2 / Al 2 O 3 ratio of 2 to 3. The cation of the binderless X-type zeolite is preferably Na or K.
本発明のＰＦＣの除去方法では、バインダレスＸ型ゼオライトを含む除去剤にＰＦＣを含むガスを接触させ、ＰＦＣを吸着除去する。 In the PFC removal method of the present invention, a PFC-containing gas is brought into contact with a removal agent containing a binderless X-type zeolite, and PFC is adsorbed and removed.
バインダレスＸ型ゼオライトを含む除去剤を用いる以外は公知の方法に従ってＰＦＣの除去を行なうことができ、本発明の除去剤の使用量（充填量）、除去剤の形状および大きさ、ＰＦＣを含むガスの流量および濃度、接触させる際の温度および圧力などの処理条件は適宜選択することができる。除去剤にＰＦＣを含むガスを接触させる際の温度は、特に限定されず、例えば０〜１２０℃、好ましくは０〜９０℃であり、例えば常温でよく、敢えて加温および冷却する必要はない。通常の処理工程では、必要により適宜前処理した排ガスを、温度制御を行ってもよいが、通常は、そのまま接触させることができる。 The PFC can be removed in accordance with a known method except that a remover containing binderless X-type zeolite is used. The amount of the remover used (filling amount), the shape and size of the remover, and the PFC are included. Processing conditions such as gas flow rate and concentration, temperature and pressure at the time of contact, and the like can be selected as appropriate. The temperature at which the gas containing PFC is brought into contact with the removing agent is not particularly limited, and is, for example, 0 to 120 ° C., preferably 0 to 90 ° C., for example, normal temperature, and does not need to be heated and cooled. In a normal treatment process, the temperature of the exhaust gas that has been pretreated appropriately may be controlled as necessary, but can usually be contacted as it is.
また、ＰＦＣを含むガスを除去剤に接触させるときの圧力も特に限定はされず、通常は常圧下でよく、または他の目的または前後の装置の都合で減圧または加圧下としてもよい。除去装置の容器の肉厚や材質は適宜設定される。 Further, the pressure at which the gas containing PFC is brought into contact with the removing agent is not particularly limited, and may be usually normal pressure, or may be reduced or increased for other purposes or for convenience of the front and rear devices. The thickness and material of the container of the removal device are appropriately set.
ＰＦＣを含むガスを除去剤に接触させるには、一般的には、除去剤を充填した容器（例えばカラム状容器）の中を、ＰＦＣを含むガスを流通させることで行う。好ましい除去処理装置としては、例えば、特開２００９−５０７４７号公報に記載のガス処理装置が挙げられる。 In general, the gas containing PFC is brought into contact with the removing agent by circulating the gas containing PFC through a container (for example, a columnar container) filled with the removing agent. As a preferable removal treatment apparatus, for example, a gas treatment apparatus described in JP-A-2009-50747 can be mentioned.
本発明の除去剤を充填する容器の形状は、特に限定されないが、例えば、円筒形、三角筒形、四角筒形、六角筒形等が挙げられるが、好ましくは四角筒形のものが使用される。 The shape of the container filled with the removing agent of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a cylindrical shape, a triangular cylindrical shape, a rectangular cylindrical shape, a hexagonal cylindrical shape, and the like, and preferably a rectangular cylindrical shape is used. The
前記容器の容量は、特に制限されないが、実用性を考慮すれば、好ましくは１〜５００Ｌ、更に好ましくは１０〜３００Ｌ、特に好ましくは５０〜２００Ｌである。容器の材質としては、腐食しがたいものが使用されるが、好ましくはインコネル、ハステロイ、ステンレス鋼が使用され、市販されている一般規格としては、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等が通常使用される。 The capacity of the container is not particularly limited, but is preferably 1 to 500 L, more preferably 10 to 300 L, and particularly preferably 50 to 200 L in consideration of practicality. As the material of the container, a material that does not easily corrode is used, but inconel, hastelloy, and stainless steel are preferably used, and SUS304, SUS316, etc. are usually used as general standards that are commercially available.
除去剤を充填した容器の排ガス導入口は、容器の上部、下部のどちらかに設ければ良く、除去処理ガス導出口は、排ガス導入口の反対側に位置していれば、つまり、導入した排ガスが除去剤を通過する構成であれば、特に限定されない。 The exhaust gas inlet of the container filled with the removing agent may be provided at either the upper part or the lower part of the container, and if the removal treatment gas outlet is located on the opposite side of the exhaust gas inlet, that is, it is introduced. If it is the structure which exhaust gas passes a removal agent, it will not specifically limit.
容器の形状、大きさ、排ガス導入口の導入角度については特に限定されないが、容器は移動に便利な車輪が接続されていることが一般的である。 The shape and size of the container and the introduction angle of the exhaust gas inlet are not particularly limited, but it is general that the container is connected with wheels that are convenient for movement.
容器に充填する除去剤は、好ましくは層状に充填され、その充填方法は、一般的に行われている方法であれば特に限定されないが、例えば、不活性ガスの雰囲気にて、容器の充填口から、そのまま投入する等の方法によって行われる。 The removing agent to be filled in the container is preferably packed in layers, and the filling method is not particularly limited as long as it is a commonly used method. For example, the filling port of the container in an inert gas atmosphere Then, it is performed by a method such as charging as it is.
除去装置に供給する排ガスの線速度は、好ましくは毎分１〜３００ｃｍ、更に好ましくは毎分５〜８０ｃｍである。また、排ガスの除去剤への接触時間は、好ましくは０を超え１５０分、更に好ましくは０を超え２０分である。さらに、排ガスの空間速度は、好ましくは１〜１５００ｈ−１である。 The linear velocity of the exhaust gas supplied to the removing device is preferably 1 to 300 cm / min, more preferably 5 to 80 cm / min. The contact time of the exhaust gas with the removal agent is preferably more than 0 and 150 minutes, more preferably more than 0 and 20 minutes. Furthermore, the space velocity of the exhaust gas is preferably 1-1500h- 1 .
本発明によれば、炭素数３〜１０のＰＦＣ、好ましくは炭素数が３〜５、特に好ましくは炭素数が４または５であるＰＦＣを室温で簡便に、効率よく除去することができる。炭素数が４または５のＰＦＣの具体例としては、Ｃ４Ｆ６（ヘキサフルオロ−１，３−ブタジエン）、Ｃ４Ｆ８（オクタフルオロシクロブタン）、Ｃ５Ｆ８（オクタフルオロシクロペンテン）等が挙げられ、これらのＰＦＣを高効率で除去することができる。また、半導体・液晶製造におけるエッチング工程およびクリーニング工程などから排出される排ガス中のＰＦＣの除去に好適である。 According to the present invention, PFC having 3 to 10 carbon atoms, preferably 3 to 5 carbon atoms, particularly preferably PFC having 4 or 5 carbon atoms, can be easily and efficiently removed at room temperature. Specific examples of PFC having 4 or 5 carbon atoms include C 4 F 6 (hexafluoro-1,3-butadiene), C 4 F 8 (octafluorocyclobutane), C 5 F 8 (octafluorocyclopentene) and the like. These PFCs can be removed with high efficiency. Moreover, it is suitable for the removal of PFC in exhaust gas discharged from an etching process and a cleaning process in semiconductor / liquid crystal manufacturing.
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.
〔実施例１〕
まず、ステンレス製カラム（内径１６．１ｍｍ；断面積２ｃｍ２）に、Ｃ４Ｆ６吸着剤（除去剤）としてバインダレスＸ型ゼオライト（東ソー株式会社製、ゼオラムＦ−９ＨＡ）を５０ｍｌ充填した。次いで、ドライエッチングガス用の排ガスを模した試験ガスとして、Ｃ４Ｆ６が２．４容量％のＮ２希釈ガス（Ｎ２：９７．６容量％）を、ガス流量１０２５ｍｌ／ｍｉｎ（Ｃ４Ｆ６：２５ｍｌ／ｍｉｎ、Ｎ２：１０００ｍｌ／ｍｉｎ）、常圧下、２５℃で吸着剤を充填したカラムへ供給した。ガスの供給流量の制御には、ＳＴＥＣ製のマスフローコントローラーを使用した。処理条件は線速度８．４ｃｍ／ｓｅｃ、接触時間３ｓｅｃ、空間速度１２３０ｈｒ−１である。そして、カラム出口側でＣ４Ｆ６が許容濃度である５ｐｐｍを検出する（破過）までの時間（破過時間）をＣ４Ｆ６の供給時間とし、この時間の間に排出されたガスのＣ４Ｆ６の濃度を測定した。Ｃ４Ｆ６の濃度は、株式会社堀場製作所製のＦＴ−ＩＲ分光器（型番：ＦＴ−７３０Ｇ、セル光路：１０ｍ、分解能：２ｃｍ−１）で測定した。また、破過までのＣ４Ｆ６の供給量［Ｃ４Ｆ６導入ガス流量（２５ｍｌ／ｍｉｎ）×破過までの時間］を求め、破過能力を示す破過流通量（ｍｏｌ／Ｌ）を次式から算出した。
[Example 1]
First, a stainless steel column (inner diameter 16.1 mm; cross-sectional area 2 cm 2 ) was packed with 50 ml of binderless X-type zeolite (Zeoram F-9HA, manufactured by Tosoh Corporation) as a C 4 F 6 adsorbent (removal agent). Next, as a test gas imitating exhaust gas for dry etching gas, N 2 dilution gas (N 2 : 97.6 vol%) with 2.4% by volume of C 4 F 6 was used, and a gas flow rate of 1025 ml / min (C 4 F 6 : 25 ml / min, N 2 : 1000 ml / min), and fed to a column packed with an adsorbent at 25 ° C. under normal pressure. A mass flow controller manufactured by STEC was used to control the gas supply flow rate. Processing conditions are a linear velocity of 8.4 cm / sec, a contact time of 3 sec, and a space velocity of 1230 hr −1 . Then, the time (breakthrough time) until C 4 F 6 is detected at an allowable concentration of 5 ppm (breakthrough) at the column outlet side is defined as the supply time of C 4 F 6 , and the gas discharged during this time The concentration of C 4 F 6 was measured. The concentration of C 4 F 6 was measured with an FT-IR spectrometer (model number: FT-730G, cell optical path: 10 m, resolution: 2 cm −1 ) manufactured by Horiba, Ltd. Further, the supply amount of C 4 F 6 until breakthrough [C 4 F 6 introduced gas flow rate (25 ml / min) × time to breakthrough] is obtained, and the breakthrough flow rate (mol / L) indicating breakthrough capability Was calculated from the following equation.
破過流通量（ｍｏｌ／Ｌ）＝破過までのＣ４Ｆ６供給量（Ｌ）／２２．４（Ｌ）／吸着剤充填量（５０ｍｌ＝０．０５Ｌ）
その結果を表１に示す。
Breakthrough flow rate (mol / L) = C 4 F 6 supply amount until breakthrough (L) /22.4 (L) / filling amount of adsorbent (50 ml = 0.05 L)
The results are shown in Table 1.
〔比較例１〕
Ｃ４Ｆ６吸着剤（除去剤）を、バインダを含むＸ型ゼオライト（東ソー株式会社製、ゼオラムＦ−９）とした以外は、実施例１と同様にしてＣ４Ｆ６の吸着除去を行った。その結果を表１に示す。
[Comparative Example 1]
C 4 F 6 adsorbent (removal agent), X-type zeolite (manufactured by Tosoh Corporation, Zeolam F-9) containing a binder except for using, subjected to adsorption removal of C 4 F 6 in the same manner as in Example 1 It was. The results are shown in Table 1.
〔実施例２〕
試験ガスとして、Ｃ４Ｆ６に代えて、Ｃ５Ｆ８を使用した以外は、実施例１と同様な方法によりガスの吸着除去を行った。その結果を表２に示す。
[Example 2]
Gas adsorption / removal was performed in the same manner as in Example 1 except that C 5 F 8 was used instead of C 4 F 6 as the test gas. The results are shown in Table 2.
〔比較例２〕
Ｃ５Ｆ８吸着剤（除去剤）を、バインダを含むＸ型ゼオライト（東ソー株式会社製、ゼオラムＦ−９）とした以外は、実施例２と同様にして吸着除去を行った。その結果を表２に示す。
[Comparative Example 2]
Adsorption and removal were carried out in the same manner as in Example 2 except that the C 5 F 8 adsorbent (removing agent) was X-type zeolite containing a binder (Zeolam F-9, manufactured by Tosoh Corporation). The results are shown in Table 2.
バインダレスＸ型ゼオライトを使用した実施例１および実施例２は、バインダを含むＸ型ゼオライトを使用した比較例１および比較例２よりも、破過時間が長く、破過流通量も大きいことが明らかとなった。 Example 1 and Example 2 using a binderless X-type zeolite have a longer breakthrough time and a larger breakthrough flow rate than Comparative Examples 1 and 2 using an X-type zeolite containing a binder. It became clear.
〔比較例３〕
試験ガスとしてＣＦ４を使用した以外は、実施例１と同様な方法により吸着除去試験を行った。この吸着剤（除去剤）として実施例１と同じバインダレスＸ型ゼオライト（ゼオラムＦ−９ＨＡ）を使用した吸着除去試験の破過流通量は０．０２（ｍｏｌ／Ｌ）であった。これは、比較例１と同じバインダを含むＸ型ゼオライト（ゼオラムＦ−９）を使用した場合もほぼ同様であった。
[Comparative Example 3]
An adsorption removal test was conducted in the same manner as in Example 1 except that CF 4 was used as the test gas. The breakthrough flow rate in the adsorption removal test using the same binderless X-type zeolite (Zeoram F-9HA) as in Example 1 as this adsorbent (removal agent) was 0.02 (mol / L). This was almost the same when the X-type zeolite (Zeoram F-9) containing the same binder as Comparative Example 1 was used.
〔比較例４〕
試験ガスとしてＣ２Ｆ６を使用した以外は、実施例１と同様な方法により吸着除去試験を行った。この吸着剤（除去剤）として実施例１と同じバインダレスＸ型ゼオライト（ゼオラムＦ−９ＨＡ）を使用した吸着除去試験の破過流通量は０．０４（ｍｏｌ／Ｌ）であった。これは、比較例１と同じバインダを含むＸ型ゼオライト（ゼオラムＦ−９）を使用した場合もほぼ同様であった。
[Comparative Example 4]
An adsorption removal test was performed by the same method as in Example 1 except that C 2 F 6 was used as the test gas. The breakthrough flow rate in the adsorption removal test using the same binderless X-type zeolite (Zeoram F-9HA) as in Example 1 as this adsorbent (removal agent) was 0.04 (mol / L). This was almost the same when the X-type zeolite (Zeoram F-9) containing the same binder as Comparative Example 1 was used.
〔比較例５〕
試験ガスとして塩素（Ｃｌ２）を用いた以外は、実施例１と同様な方法により吸着除去試験を行った。その結果、破過流通量は０．４７（ｍｏｌ／Ｌ）であった。実施例１および実施例２との比較から、バインダーレスゼオライトのＰＦＣの除害能力は、塩素に比べて極めて大きいことが明らかとなった。
[Comparative Example 5]
An adsorption removal test was conducted in the same manner as in Example 1 except that chlorine (Cl 2 ) was used as the test gas. As a result, the breakthrough flow rate was 0.47 (mol / L). From the comparison with Example 1 and Example 2, it became clear that the PFC detoxification ability of the binderless zeolite is extremely larger than that of chlorine.
以上のように、本発明の除去剤は高いＰＦＣ除去性能を有しており、炭素数３〜１０のＰＦＣを室温で簡便に、効率よく除去することができる。 As described above, the remover of the present invention has high PFC removal performance, and can easily and efficiently remove PFC having 3 to 10 carbon atoms at room temperature.
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|---|---|---|---|---|
| JP2001302551A (en) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Japan Pionics Co Ltd | Method for recovering perfluorocarbon and method decomposition the same |
| JP2010005542A (en) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Tosoh Corp | Perfluorocarbon adsorbent and perfluorocarbon detoxifying process using the same |
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2010
- 2010-01-19 JP JP2010008940A patent/JP2011147839A/en active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
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