JP2011131319A - 放電加工用ワイヤおよびマルチ放電加工方法 - Google Patents
放電加工用ワイヤおよびマルチ放電加工方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ワイヤ表面に、ワイヤ断面の周縁同一部位においてワイヤ長手方向に連続する一つの放電域Aと、該放電域Aの周方向両側においてワイヤ長手方向に連続する二つの非放電域Bと、これら非放電域Bによって放電域Aから隔てられたワイヤ長手方向に連続する給電域Cとを、ワイヤ断面において放電域Aおよび給電域Cを通る対称軸Sに関して線対称の配置で有する放電加工用ワイヤ10とする。
【選択図】図1
Description
11 母材
12 絶縁層
13 金属層
14 高抵抗層
20 マルチ放電加工機
21 供給リール
22 ガイドローラ
23 メインローラ
24 加工液供給装置
25 位置決めローラ
26 給電子
27 ワーク送り装置
28 ガイドローラ
29 排出リール
101、102、103 放電加工用ワイヤ
111、112、113 放電加工用ワイヤ
121、122、123、124、125 放電加工用ワイヤ
A 放電域
B 非放電域
C 給電域
S 対称軸
W ワイヤ(放電加工用ワイヤ)
Claims (5)
- ワイヤ表面に、ワイヤ断面の周縁同一部位においてワイヤ長手方向に連続する一つの放電域と、該放電域の周方向両側においてワイヤ長手方向に連続する少なくとも二つの非放電域と、該非放電域によって前記放電域から隔てられたワイヤ長手方向に連続する給電域とを有することを特徴とする放電加工用ワイヤ。
- 前記放電域と前記非放電域と前記給電域が、ワイヤ断面において前記放電域および前記給電域を通る対称軸に関して線対称の配置となっていることを特徴とする請求項1記載の放電加工用ワイヤ。
- ワイヤ断面が、一方向に長く、対向して長手方向に延びる一対の直線部を有し、それら一対の直線部の両端の互いに対向する端部同士を接続する部分のうちの少なくとも一方に外側へ膨らんだ曲線部を有する形状のワイヤであって、前記曲線部がワイヤ長手方向に連続してなる曲面部の一つに前記放電域を有することを特徴とする請求項1または2記載の放電加工用ワイヤ。
- 前記ワイヤ断面の形状が、前記一対の直線部が同寸且つ互いに平行で、それら一対の直線部の両端の互いに対向する端部同士を接続する部分の両方に前記曲線部を有するトラック形状であることを特徴とする請求項3記載の放電加工用ワイヤ。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の放電加工用ワイヤを供給リールから供給し、ローラ間に等間隔で多重に巻き掛けて、排出リールに巻き取ることにより、該放電加工用ワイヤを複数のワイヤ部分が前記ローラ間で互いに平行となる状態で走行させ、該放電加工用ワイヤの、前記ローラ間で互いに平行な状態で走行する複数のワイヤ部分に前記放電域側から被加工物を近づけつつ、前記複数のワイヤ部分に対し前記給電域側から給電を行って、それらワイヤ部分と被加工物との間に放電を発生させ、被加工物の複数箇所を同時に放電切断加工することを特徴とするマルチ放電加工方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2016198847A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
JP2022176164A (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-25 | 日揚科技股▲分▼有限公司 | 放電加工装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01183324A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-21 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工用ワイヤ電極 |
JPH01205925A (ja) * | 1988-02-08 | 1989-08-18 | Amada Co Ltd | 放電加工方法及び装置 |
JPH01228728A (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工用ワイヤ電極 |
JPH09248719A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャル・ウエハ用半導体インゴットの切断方法およびその装置 |
JP2010188455A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Kanai Hiroaki | 放電加工用ワイヤ |
JP2010208009A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Kanai Hiroaki | 放電加工用ワイヤ |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01183324A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-21 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工用ワイヤ電極 |
JPH01205925A (ja) * | 1988-02-08 | 1989-08-18 | Amada Co Ltd | 放電加工方法及び装置 |
JPH01228728A (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工用ワイヤ電極 |
JPH09248719A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャル・ウエハ用半導体インゴットの切断方法およびその装置 |
JP2010208009A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Kanai Hiroaki | 放電加工用ワイヤ |
JP2010188455A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Kanai Hiroaki | 放電加工用ワイヤ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016198847A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
JP2022176164A (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-25 | 日揚科技股▲分▼有限公司 | 放電加工装置 |
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