JP2011129332A - イオンビーム照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、互いに直列に接続された複数の処理室10と、その一端側に接続された入口側真空予備室6と、他端側に接続された出口側真空予備室と、1枚以上の基板2を、大気中から入口側真空予備室6、複数の処理室10および出口側真空予備室を経て大気中へと搬送する基板搬送装置とを備えている。更に、各処理室10にリボン状のイオンビーム54をそれぞれ供給して、基板2の搬送と協働して、各基板2の全面にイオンビーム54をそれぞれ照射する複数のイオンビーム供給装置50を備えていて、各基板2の全面に対して複数のイオンビーム供給装置50による複数のイオンビーム照射をそれぞれ行うよう構成されている。
【選択図】 図1
Description
4 基板起立装置
6 入口側真空予備室
8 待機室
10 処理室
12 出口側真空予備室
14 基板転倒装置
30 基板搬送装置
34 ホルダ
47 搬送ライン
50 イオンビーム供給装置
54 イオンビーム
58 ビームモニタ
60 制御装置
62 個別制御装置
64 統括制御装置
Claims (10)
- 互いに直列に接続されていて、基板にイオンビーム照射をそれぞれ行うための複数の処理室と、
前記直列に接続された処理室の一端側に接続されていて、前記基板を大気中から当該一端側の処理室へ搬入するための入口側真空予備室と、
前記直列に接続された処理室の他端側に接続されていて、前記基板を当該他端側の処理室から大気中へ搬出するための出口側真空予備室と、
1枚以上の前記基板を、大気中から前記入口側真空予備室、前記複数の処理室および前記出口側真空予備室を経て大気中へと搬送する基板搬送装置と、
前記各処理室に、前記基板が搬送される方向と交差する方向において前記基板を横断する長手方向の寸法を有するリボン状のイオンビームを、当該イオンビームの主面が各処理室における前記基板の搬送方向と交差する向きにそれぞれ供給して、前記基板の搬送と協働して、前記各基板の全面に前記イオンビームをそれぞれ照射する複数のイオンビーム供給装置とを備えていて、
前記各基板の全面に対して前記複数のイオンビーム供給装置による複数のイオンビーム照射をそれぞれ行うよう構成されている、ことを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 前記複数のイオンビーム供給装置を制御して、当該複数のイオンビーム供給装置による複数のイオンビーム照射の合計によって、前記各基板に対して、最終的に必要なイオンビーム照射特性を実現する制御を行う機能を有している制御装置を備えている請求項1記載のイオンビーム照射装置。
- 前記制御装置は、前記各イオンビーム供給装置から供給する前記イオンビームのビーム電流を制御して、複数のイオンビーム照射の合計によって、前記各基板に対して、最終的に必要なイオンビーム照射量を実現する制御を行う機能を有している請求項2記載のイオンビーム照射装置。
- 前記制御装置は、前記各イオンビーム供給装置から供給する前記イオンビームのエネルギーを制御して、複数のイオンビーム照射の合計によって、前記各基板に対して、最終的に必要な注入深さ分布を実現する制御を行う機能を有している請求項2記載のイオンビーム照射装置。
- 前記各イオンビーム供給装置から供給する前記イオンビームの長手方向におけるビーム電流密度分布を前記各処理室においてそれぞれ測定する複数のビームモニタを備えており、
前記制御装置は、前記各ビームモニタからの測定情報に基づいて、前記各イオンビーム供給装置から供給する前記イオンビームの長手方向におけるビーム電流密度分布を制御して、複数のイオンビーム照射の合計によって、前記各基板に対して、イオンビームの長手方向におけるイオンビーム照射量分布を均一化する制御を行う機能を有している請求項2記載のイオンビーム照射装置。 - 前記制御装置は、
前記各イオンビーム供給装置をそれぞれ制御する機能を有している複数の個別制御装置と、
当該複数の個別制御装置を統括する制御を行う機能を有している統括制御装置とを備えている請求項2ないし5のいずれかに記載のイオンビーム照射装置。 - 前記基板搬送装置は、前記入口側真空予備室から前記出口側真空予備室まで前記基板を立てた状態で搬送するものである請求項1ないし6のいずれかに記載のイオンビーム照射装置。
- 前記入口側真空予備室の入口の外側に、前記基板を実質的に水平状態から起立状態に立てる基板起立装置を備えており、
前記出口側真空予備室の出口の外側に、前記基板を起立状態から実質的に水平状態に倒す基板転倒装置を備えている請求項7記載のイオンビーム照射装置。 - 前記入口側真空予備室とそれに隣り合う前記処理室との間、前記各処理室間、および、前記出口側真空予備室とそれに隣り合う前記処理室との間に、真空に排気される部屋であって前記基板を待機させておく待機室をそれぞれ備えている請求項1ないし8のいずれかに記載のイオンビーム照射装置。
- 前記基板搬送装置は、前記基板を搬送する搬送ラインが途中で折り返された構造をしていて、その折り返しの前および後の搬送ラインに、前記複数の処理室が分散して設けられている請求項1ないし9のいずれかに記載のイオンビーム照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009285989A Pending JP2011129332A (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | イオンビーム照射装置 |
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JP (1) | JP2011129332A (ja) |
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