JP2011128079A - 流量測定装置及び流速測定装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 134
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 117
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 96
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 64
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 16
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 7
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 179
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical group O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical group [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000000041 tunable diode laser absorption spectroscopy Methods 0.000 description 3
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical group CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】主管、主管に連結し、主管と連結している側と反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された入射管、主管に連結し、主管と連結している側と反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された出射管、入射管と連結された第1パージ流体供給管とで構成された計測セルと、計測セルの第1パージ流体供給管にパージ流体を供給するパージ流体供給部と、計測セルにレーザ光を入射させる発光部と、発光部から入射され、計測セルを通過したレーザ光を受光し、受光した光量を受光信号として出力する受光部と、受光部から出力される受光信号に基づいて、計測セルを流れる排流体の流量を算出する算出部と、各部の動作を制御する制御部と、を有することで上記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
10 流量測定装置
12 計測セル
14 計測手段
16 パージガス供給手段
20 主管
22 入射管
24 出射管
26、28 窓
30、32 パージガス供給管
40 発光部
42 光ファイバ
44 受光部
46 光源ドライバ
48 算出部
50 制御部
52 ポンプ
54 ドライヤ
56 流量計
200 流速測定装置
Claims (18)
- 両端が開放され、それぞれ流体を流す流路と連結可能な主管、前記主管に連結し、前記主管と連結している側と反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された入射管、前記主管に連結し、前記主管と連結している側と反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された出射管、前記入射管と連結された第1パージ流体供給管とで構成された計測セルと、
前記計測セルの前記第1パージ流体供給管にパージ流体を供給するパージ流体供給部と、
前記入射管にレーザ光を入射させる発光部と、
前記入射管から入射され、前記計測セルを通過し、前記出射管から出射された前記レーザ光を受光し、受光した光量を受光信号として出力する受光部と、
前記受光部から出力される受光信号に基づいて、前記計測セルを流れる流体の流量を算出する算出部と、
各部の動作を制御する制御部と、を有すること特徴とする流量測定装置。 - 前記算出部は、前記受光部で受光した受光信号を1つの周波数で復調し、復調した信号の変動の大きさに基づいて、前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、前記受光部で受光した受光信号を異なる2つの周波数でそれぞれ復調し、復調した2つの周波数における信号の変動の大きさに基づいて、前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、前記受光部で受光した受光信号を複数の異なる周波数でそれぞれ復調し、復調した複数の周波数における信号の変動の大きさに基づいて、前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、予め算出した変動と流量との関係を記憶しており、前記関係と前記変動の大きさとに基づいて前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、前記入射管に流れるパージ流体の流量毎に、前記変動と前記流体の流量との関係を記憶しており、
前記入射管に流れるパージ流体の流量と前記変動に基づいて前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の流量測定装置。 - 前記制御部は、前記算出部で算出した前記流体の流量を含む領域で変動の変化量の大きくなる前記パージ流体の流量を算出し、算出結果に基づいて、前記パージ流体供給部から前記第1パージ流体供給管に供給するパージ流体の流量を調整することを特徴とする請求項6に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、さらに、前記発光部から出力したレーザ光の強度と、前記受光部で受光したレーザ光の強度とに基づいて、前記計測セルを流れる排流体の測定対象の物質の濃度も算出することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の流量測定装置。
- 前記受光部は、隣接して配置された複数の受光素子を有し、各受光素子で受光した光量を受光信号として出力し、
前記算出部は、各受光素子から送られた受光信号の強度の比較に基づいて、前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の流量測定装置。 - 前記算出部は、各受光素子から送られた受光信号の強度の比較に基づいて、前記レーザ光の到達位置を算出し、前記到達位置と基準位置とのずれに基づいて、前記流体の流量を算出することを特徴とする請求項9に記載の流量測定装置。
- 前記算出部は、各受光素子から送られた受光信号の強度の総量と、前記受光部で受光したレーザ光の強度とに基づいて、前記計測セルを流れる排流体の測定対象の物質の濃度も算出することを特徴とする請求項9または10に記載の流量測定装置。
- 前記計測セルは、前記主管の、前記流体の流れ方向において前記入射管の上流側、かつ、前記入射管の近傍に、前記入射管近傍の空気の流れを乱流にする乱流発生部を有することを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の流量測定装置。
- さらに、前記出射管と連結された第2パージ流体供給管を有し、
前記パージ流体供給部は、第2パージ流体供給管にもパージ流体を供給することを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の流量測定装置。 - 前記算出部は、さらに、前記受光部から出力される受光信号に基づいて、前記計測セルの前記主管を流れる流体の流速を計測することを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の流量計測装置。
- 前記流体は、気体であることを特徴とする請求項1から14のいずれか1項に記載の流量計測装置。
- 一方の端部が測定領域と向かい合う開口であり、反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された入射管、一方の端部が前記入射管と対向し、かつ、前記測定領域と向かい合う開口であり、反対側の端部に光が通過可能な窓部が形成された出射管、前記入射管と連結された第1パージ流体供給管とで構成された計測セルと、
前記計測セルの前記第1パージ流体供給管にパージ流体を供給するパージ流体供給部と、
前記入射管にレーザ光を入射させる発光部と、
前記入射管から入射され、前記測定領域を通過し、前記出射管から出射されたレーザ光を受光し、受光した光量を受光信号として出力する受光部と、
前記受光部から出力される受光信号に基づいて、前記測定領域を流れる流体の流速を算出する算出部と、
各部の動作を制御する制御部と、を有すること特徴とする流速測定装置。 - 前記計測セルは、前記入射管の一方の端部及び前記出射管の一方の端部とそれぞれ連結され、測定対象の流体が流れる主管を有し、
前記測定領域は、前記主管の一部であることを特徴とする請求項16に記載の流速測定装置。 - 前記流体は、気体であることを特徴とする請求項16または17に記載の流速測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009288309A JP5590875B2 (ja) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | 流量測定装置及び流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009288309A JP5590875B2 (ja) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | 流量測定装置及び流速測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011128079A true JP2011128079A (ja) | 2011-06-30 |
JP5590875B2 JP5590875B2 (ja) | 2014-09-17 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP5590875B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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