JP2011127053A - 樹脂シート及び積層体 - Google Patents

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康成 日下
Hiroshi Maenaka
寛 前中
Takuji Aoyama
卓司 青山
Ryosuke Takahashi
良輔 高橋
Takanori Inoue
孝徳 井上
Shunsuke Kondo
峻右 近藤
Yu Yamada
佑 山田
Takashi Watanabe
貴志 渡邉
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Abstract

【課題】ハンドリング性に優れており、更に熱伝導性及び加工性に優れた樹脂シート及び積層体を提供する。
【解決手段】本発明に係る樹脂シート2は、熱可塑性エラストマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有する。本発明に係る樹脂シート2では、上記第1の無機フィラー(B)の含有量は20〜60体積%であり、かつ上記物質(C)の含有量は1〜40体積%である。本発明に係る積層体1は、樹脂シート2と、樹脂シート2の一方の面2aに積層された発熱部品3と、樹脂シート2の他方の面2bに積層された金属筐体又は放熱部品4とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えば、発熱部品を金属筐体又は放熱部品に貼り合わせる用途に用いることができる樹脂シート、並びに該樹脂シートを用いた積層体に関する。
近年、電気機器の小型化及び高性能化が進行している。これに伴って、電子部品の実装密度が高くなってきており、電子部品から発生する熱を放散させる必要が高まっている。熱を放散させる方法として、高い放熱性を有し、かつ熱伝導率10W/m・K以上のアルミニウム等の熱伝導体を、発熱源に接着する方法が広く採用されている。また、この熱伝導体を発熱源に接着するために、絶縁性を有する絶縁接着材料が用いられている。絶縁接着材料には、熱伝導率が高いことが強く求められている。
上記絶縁接着材料の一例として、下記の特許文献1には、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂用硬化剤、硬化促進剤、エラストマー及び無機充填剤を含む接着剤組成物を、ガラスクロスに含浸させた絶縁接着シートが開示されている。
ガラスクロスを含まない絶縁接着材料も知られている。例えば、下記の特許文献2の実施例には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノールノボラック、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及びアルミナを含む絶縁接着剤が開示されている。
特開2006−342238号公報 特開平8−332696号公報
特許文献1に記載の絶縁接着シートでは、ハンドリング性を高めるために、ガラスクロスが用いられている。ガラスクロスを含む絶縁接着シートでは、薄膜化が困難であり、かつレーザー加工又はドリル穴開け加工等の各種加工が困難である。また、ガラスクロスを含む絶縁接着シートの硬化物の熱伝導率は比較的低いため、充分な放熱性が得られないことがある。さらに、ガラスクロスに接着剤組成物を含浸させるために、特殊な含浸設備を用意しなければならない。
特許文献2に記載の絶縁接着剤では、ガラスクロスが用いられていないため、未硬化状態ではそれ自体が自立性を有するシートではない。このため、絶縁接着剤のハンドリング性が低いことがある。
本発明の目的は、ハンドリング性に優れており、更に熱伝導性及び加工性に優れた樹脂シート、並びに該樹脂シートを用いた積層体を提供することである。
本発明の広い局面によれば、熱可塑性エラストマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、上記第1の無機フィラー(B)の含有量が20〜60体積%であり、かつ上記物質(C)の含有量が1〜40体積%である、樹脂シートが提供される。
本発明に係る樹脂シートのある特定の局面では、上記物質(C)が上記第2の無機フィラー(C2)であり、上記第1の無機フィラー(B)及び上記第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たす。
[{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)
本発明に係る樹脂シートの他の特定の局面では、上記物質(C)が上記第2の無機フィラー(C2)であり、上記第2の無機フィラー(C2)は、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種である。
本発明に係る樹脂シートのさらに他の特定の局面では、上記第1の無機フィラー(B)は、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種である。
上記熱可塑性エラストマー(A)のガラス転移温度は25℃以下であることが好ましい。
本発明に係る積層体は、樹脂シートと、樹脂シートの一方の面に積層された発熱部品と、樹脂シートの他方の面に積層された金属筐体又は放熱部品とを備える。
本発明に係る樹脂シートは、熱可塑性エラストマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、更に上記第1の無機フィラー(B)及び上記物質(C)の各含有量が上記特定の範囲内であるので、ハンドリング性に優れている。さらに、樹脂シートの熱伝導性及び加工性を高めることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂シートを用いた積層体の一例を模式的に示す部分切欠正面断面図である。
以下、本発明の詳細を説明する。
本発明に係る樹脂シートは、熱可塑性エラストマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有する。
本願発明者らは、上記組成の採用により、特に、上記第1の無機フィラー(B)及び上記物質(C)を上記特定の含有量で用いることにより、高い熱伝導性と高い加工性とを両立できることを見出した。また、本発明に係る樹脂シートは上記組成を有するので、ハンドリング性にも優れており、更に積層プレス時に過度の流動を抑制できる。
(熱可塑性エラストマー(A))
本発明に係る樹脂シートに含まれている上記熱可塑性エラストマー(A)としては、スチレン−ブタジエン共重合体、スチレンとイソブチレンとのブロック共重合体、スチレンとイソプレンとのブロック共重合体、ポリブタジエン、ポリイソプレン、アクリルニトリル−ブタジエン共重合体、エチレン−プロピレン共重合体(EPM、EPDM)、ポリクロロプレン、ブチルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、オレフィン系熱可塑性エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、エステル系熱可塑性エラストマー、アミド系熱可塑性エラストマー、及びシリコーンエラストマー等が挙げられる。熱可塑性エラストマー(A)は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
樹脂シートの接着力をより一層高める観点からは、熱可塑性エラストマー(A)は、架橋反応可能な官能基を有することが好ましい。上記架橋反応可能な官能基は、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基、ビニル基及びイソシアネート基等が挙げられる。樹脂シートの接着力をさらに一層高める観点からは、熱可塑性エラストマー(A)は、水酸基、カルボキシル基又はエポキシ基を有することが好ましい。
熱可塑性エラストマー(A)の重量平均分子量は、10,000以上であることが好ましい。熱可塑性エラストマー(A)の重量平均分子量の好ましい下限は30,000、より好ましい下限は40,000、更に好ましい下限は70,000、最も好ましい下限は100,000、好ましい上限は1,000,000である。熱可塑性エラストマー(A)の重量平均分子量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの凝集力が充分に得られ、ハンドリング性をより一層高めることができる。熱可塑性エラストマー(A)の重量平均分子量が上記好ましい上限を満たすと、充分な柔軟性が得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。この結果、放熱性をより一層高めることができる。
熱可塑性エラストマー(A)のガラス転移温度は、25℃以下であることが好ましい。熱可塑性エラストマー(A)のガラス転移温度の好ましい上限は15℃、より好ましい上限は10℃、更に好ましい上限は0℃である。熱可塑性エラストマー(A)のガラス転移温度が上記好ましい上限を満たすと、充分な柔軟性が得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。
熱可塑性エラストマー(A)を含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、熱可塑性エラストマー(A)の含有量は50〜100重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の熱可塑性エラストマー(A)の含有量のより好ましい下限は70重量%である。熱可塑性エラストマー(A)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。なお、全樹脂成分には、第1の無機フィラー(B)及び物質(C)は含まれない。全樹脂成分には、有機樹脂フィラー(C1)及び第2の無機フィラー(C2)は含まれない。
後述の架橋剤(D)が用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の熱可塑性エラストマー(A)の含有量の好ましい上限は99.99重量%、より好ましい上限は99.97重量%である。
後述の環状エーテル骨格を有する化合物(E)が用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の熱可塑性エラストマー(A)の含有量の好ましい上限は99重量%、より好ましい上限は97重量%である。
後述の架橋剤(D)と環状エーテル骨格を有する化合物(E)とが用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の熱可塑性エラストマー(A)の含有量の好ましい上限は98.99重量%、より好ましい上限は98.97重量%。更に好ましい上限は96.99重量%、最も好ましい上限は96.97重量%である。
(第1の無機フィラー(B))
本発明に係る樹脂シートに含まれている第1の無機フィラー(B)の熱伝導率は10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度は3.1以上である。この第1の無機フィラー(B)の使用により、樹脂シートの熱伝導性を高めることができる。この結果、樹脂シートの放熱性が高くなる。第1の無機フィラー(B)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
第1の無機フィラー(B)の熱伝導率が10W/m・K以上であることにより、樹脂シートの熱伝導性を充分に高めることができる。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率が10W/m・Kよりも小さいと、樹脂シートの熱伝導性を充分に高めることは困難である。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率の好ましい下限は15W/m・K、より好ましい下限は20W/m・Kである。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率の上限は特に限定されない。熱伝導率300W/m・K程度の無機フィラーは広く知られており、また熱伝導率200W/m・K程度の無機フィラーは容易に入手できる。
第1の無機フィラー(B)の新モース硬度は3.1以上である。このような第1の無機フィラー(B)が用いられた場合には、樹脂シートの加工性が低下しやすい。しかし、第1の無機フィラー(B)の添加量は一定の範囲内に限定されており、かつ第1の無機フィラー(B)の不足分を補うために第1の無機フィラー(B)とともに、物質(C)が用いられている。このため、樹脂シートの熱伝導性を犠牲にすることなく、樹脂シートの加工性を充分に確保できる。第1の無機フィラー(B)の新モース硬度の好ましい下限は4、好ましい上限は14である。第1の無機フィラー(B)の新モース硬度が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの高い熱伝導性と高い加工性とをより一層高いレベルで両立できる。
第1の無機フィラー(B)は、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。これらの好ましい第1の無機フィラー(B)の使用により、樹脂シートの放熱性をより一層高めることができる。
第1の無機フィラー(B)は、球状アルミナ、破砕アルミナ及び球状窒化アルミニウムからなる群から選択された少なくとも1種であることがより好ましく、球状アルミナ又は球状窒化アルミニウムであることがさらに好ましい。この場合には、樹脂シートの放熱性をより一層高めることができる。
第1の無機フィラー(B)は球状のフィラーであってもよく、破砕されたフィラーであってもよい。
上記破砕されたフィラーとしては、破砕アルミナ等が挙げられる。破砕されたフィラーは、例えば、一軸破砕機、二軸破砕機、ハンマークラッシャー又はボールミル等を用いて、塊状の無機物質を破砕することにより得られる。破砕されたフィラーの使用により、樹脂シート中の第1の無機フィラー(B)が、橋掛け又は効率的に近接された構造となりやすい。従って、樹脂シートの熱伝導性をより一層高めることができる。また、破砕されたフィラーは、一般的に、通常のフィラーに比べて安価である。このため、破砕されたフィラーの使用により、樹脂シートのコストを低減できる。
破砕されたフィラーの平均粒子径は、12μm以下であることが好ましい。平均粒子径が12μm以下であると、破砕されたフィラーを高密度に分散させることができ、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。破砕されたフィラーの平均粒子径の好ましい上限は10μm、好ましい下限は1μmである。破砕されたフィラーの平均粒子径が上記好ましい下限を満たすと、破砕されたフィラーをより一層高密度に充填させることができる。
破砕されたフィラーのアスペクト比は、特に限定されない。破砕されたフィラーのアスペクト比は、1.5〜20の範囲内であることが好ましい。アスペクト比が1.5未満のフィラーは、比較的高価である。上記アスペクト比が20以下であると、破砕されたフィラーの充填が容易である。
破砕されたフィラーのアスペクト比は、例えば、デジタル画像解析方式粒度分布測定装置(商品名:FPA、日本ルフト社製)を用いて、フィラーの破砕面を測定することにより求めることができる。
第1の無機フィラー(B)が球状のフィラーである場合には、球状のフィラーの平均粒子径は、0.1〜40μmの範囲内にあることが好ましい。平均粒子径が0.1μm以上であると、球状フィラーを高密度で充填できる。平均粒子径が40μm以下であると、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。
上記「平均粒子径」とは、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定した体積平均での粒度分布測定結果から求められる平均粒子径である。
樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量は20〜60体積%の範囲内である。第1の無機フィラー(B)の含有量が20体積%未満であると、樹脂シートの放熱性が充分に高められないことがある。第1の無機フィラー(B)の含有量が60体積%を超えると、樹脂シートの加工性が低下するおそれがある。樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量の好ましい下限は30体積%、より好ましい下限は35体積%、好ましい上限は55体積%、より好ましい上限は50体積%、最も好ましい上限は45体積%である。樹脂シート100体積%中、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の含有量は100体積%未満であるが、好ましくは90体積%未満、より好ましくは80体積%未満、さらに好ましくは70体積%未満である。上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの柔軟性が充分に得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。また、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。樹脂シート100体積%中、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の含有量は21体積%以上であることが好ましく、30体積%以上であることがより好ましく、35体積%以上であることが更に好ましい。上記好ましい下限を満たすと積層プレス時に樹脂シートが過度に流動するのを抑えることができる。また、樹脂シートのハンドリング性をより一層高めることができる。
(物質(C))
本発明に係る樹脂シートに含まれている物質(C)は、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方である。物質(C)として、有機樹脂フィラー(C1)のみが用いられてもよく、第2の無機フィラー(C2)のみが用いられてもよく、有機樹脂フィラー(C1)と第2の無機フィラー(C2)との双方が用いられてもよい。第1の無機フィラー(B)の含有量が限定された上記範囲内にあると、樹脂シートのハンドリング性が充分に得られなかったり、積層プレス時に樹脂シートが流動しやすくなったりするという課題が生じやすい。しかし、本発明に係る樹脂シートでは、第1の無機フィラー(B)とともに、物質(C)が一定の含有量で含まれているため、樹脂シートの加工性が低下することなく、上記課題を解決できる。この結果、例えば、樹脂シートを打ち抜き加工又はドリル穴開け加工等する際に、金型の摩耗を抑制できる。物質(C)は、1種のみが用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
有機樹脂フィラー(C1)は、樹脂により形成されているので、柔軟性が比較的高い。従って、有機樹脂フィラー(C1)の使用により、樹脂シートにハンドリング性を付与し、さらに樹脂シートの加工性が低下することなく、積層プレス時に樹脂シートが過度に流動するのを抑制できる。
樹脂シートの加工性が低下することなく、樹脂シートにハンドリング性を付与し、さらに積層プレス時に樹脂シートの過度の流動を抑制でき、更に樹脂シートの放熱性及び耐熱性をより一層高くすることができるので、物質(C)は、第2の無機フィラー(C2)であることが好ましい。
第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度が3以下であることにより、樹脂シートの加工性を充分に高めることができる。第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度が3.1以上であると、樹脂シートの加工性が低下することがある。第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度の好ましい上限は2.8、より好ましい上限は2.0、好ましい下限は1である。
有機樹脂フィラー(C1)は、モノマーにより形成された繰返し構造を含む不溶性粒子であることが好ましい。上記モノマーは、アクリル系モノマー又はスチレン系モノマーであることが好ましい。アクリル系モノマー及びスチレン系モノマーはそれぞれ、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記アクリル系モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸フェニル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸−2−エチルヘキシル、メタクリル酸グリシジル、β−ヒドロキシアクリル酸エチル、γ−アミノアクリル酸プロピル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、及びメタクリル酸ジエチルアミノエチル等が挙げられる。
上記スチレン系モノマーとしては、例えば、スチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、p−フェニルスチレン、p−クロロスチレン、p−エチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p−tert−ブチルスチレン、p−n−ヘキシルスチレン、p−n−オクチルスチレン、p−n−ノニルスチレン、p−n−デシルスチレン、p−n−ドデシルスチレン、2,4−ジメチルスチレン及び3,4−ジクロロスチレン等が挙げられる。
有機樹脂フィラー(C1)は、コアシェル構造を有することが好ましい。コアシェル構造を有する有機樹脂フィラーの使用により、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。コアシェル構造を有する有機樹脂フィラーは、コア層と、該コア層を被覆しているシェル層とを有する。上記コア層及び該コア層を被覆しているシェル層はアクリル系化合物であることが好ましい。
有機樹脂フィラー(C1)は、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物と、有機物とを含む複合フィラーであることが好ましい。この場合には、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。
上記コア層が、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むことが好ましい。上記シェル層が、有機物を含むことが好ましい。有機樹脂フィラー(C1)は、上記ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むコア層と、上記有機物を含むシェル層とを有する複合フィラーであることが好ましい。
上記ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物は、シロキサン系ポリマーであることが好ましい。上記有機物は、アクリル系化合物であることが好ましい。
有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径は、0.1〜40μmの範囲内であることが好ましい。有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径が0.1μm以上であると、有機樹脂フィラー(C1)をより一層高密度で充填できる。有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径が40μm以下であると、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。
物質(C)は第2の無機フィラー(C2)であり、第2の無機フィラー(C2)は、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種であることがより好ましく、タルクであることがより好ましい。この第2の無機フィラー(C2)の使用により、樹脂シートの加工性をより一層高めることができる。
第2の無機フィラー(C2)は球状のフィラーであってもよく、破砕されたフィラーであってもよい。
第2の無機フィラー(C2)が球状のフィラーである場合には、球状のフィラーの平均粒子径の好ましい下限は0.1μm、より好ましい下限は0.5μm、好ましい上限は40μm、より好ましい上限は20μmである。第2の無機フィラー(C2)の平均粒子径が上記好ましい下限を満たすと、第2の無機フィラー(C2)をより一層高密度で充填できる。第2の無機フィラー(C2)の平均粒子径が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。
上記「平均粒子径」とは、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定した体積平均での粒度分布測定結果から求められる平均粒子径である。
樹脂シート100体積%中の物質(C)の含有量は1〜40体積%の範囲内である。物質(C)の含有量が1体積%未満であると、積層プレス時に樹脂シートの過度の流動を十分に抑制できないことがある。物質(C)の含有量が40体積%を超えると、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の添加量が多くなりすぎることにより、樹脂シートの絶縁破壊特性が低下したり、樹脂シートが固くかつ脆くなって、樹脂シートのハンドリング性及び接着性が低下したりするおそれがある。樹脂シート100体積%中の物質(C)の含有量の好ましい下限は3体積%、より好ましい下限は5体積%、さらに好ましい下限は10体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。
また、樹脂シートが物質(C)として有機樹脂フィラー(C1)のみを含む場合には、樹脂シート100体積%中の有機樹脂フィラー(C1)の含有量の好ましい下限は3体積%、より好ましい下限は5体積%、さらに好ましい下限は10体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。
また、樹脂シートが物質(C)として第2の無機フィラー(C2)のみを含む場合には、樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量の好ましい下限は2体積%、より好ましい下限は3体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。
物質(C)は第2の無機フィラー(C2)であり、第1の無機フィラー(B)及び第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たすことが好ましい。この場合には、樹脂シートの加工性をより一層高くすることができる。
[{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)
上記式(X)中の右辺の値は6であり、上記式(X)中の右辺の値は5.5であることが好ましく、5であることがより好ましい。すなわち、上記式(X)中の「<6」は、「<5.5」であることが好ましく、「<5」であることがより好ましい。
(架橋剤(D))
本発明に係る樹脂シートは、架橋剤(D)をさらに含有することが好ましい。この場合には、熱可塑性エラストマー(A)が架橋反応可能な官能基を有することが好ましい。架橋剤(D)の使用により、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。架橋剤(D)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
架橋剤(D)としては、例えば、イソシアネート架橋剤、アジリジン架橋剤、エポキシ架橋剤及び金属キレート架橋剤等が挙げられる。
樹脂シートの接着力をより一層高める観点からは、架橋剤(D)は、熱可塑性エラストマー(A)と反応可能な官能基を有することが好ましい。上記反応可能な官能基としては、イソシアネート基及びエポキシ基等が挙げられる。樹脂シートの接着力をさらに一層高める観点からは、架橋剤(D)は、イソシアネート基又はエポキシ基を有することが好ましい。
架橋剤(D)が用いられる場合には、熱可塑性エラストマー(A)と架橋剤(D)とを含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、架橋剤(D)の含有量は0.01〜10重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の架橋剤(D)の含有量のより好ましい下限は0.03重量%、より好ましい上限は5重量%である。架橋剤(D)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。架橋剤(D)の含有量が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。なお、全樹脂成分には、架橋剤(D)が含まれる。
(環状エーテル骨格を有する化合物(E))
本発明に係る樹脂シートは、環状エーテル骨格を有する化合物(E)をさらに含有することが好ましい。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の使用により、樹脂シートの熱硬化性を高め、接着力をより一層高めることができる。環状エーテル骨格を有する化合物(E)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
環状エーテル骨格を有する化合物(E)としては、エポキシ樹脂(E1)及びオキセタン樹脂(E2)等が挙げられる。なかでも、エポキシ樹脂(E1)が好ましい。
エポキシ樹脂(E1)の具体例としては、ビスフェノール骨格を有するエポキシモノマー、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシモノマー、ナフタレン骨格を有するエポキシモノマー、アダマンテン骨格を有するエポキシモノマー、フルオレン骨格を有するエポキシモノマー、ビフェニル骨格を有するエポキシモノマー、バイ(グリシジルオキシフェニル)メタン骨格を有するエポキシモノマー、キサンテン骨格を有するエポキシモノマー、アントラセン骨格を有するエポキシモノマー、及びピレン骨格を有するエポキシモノマー等が挙げられる。
上記ビスフェノール骨格を有するエポキシモノマーとしては、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型及びビスフェノールS型のビスフェノール骨格を有するエポキシモノマー等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシモノマーとしては、ジシクロペンタジエンジオキシド、及びジシクロペンタジエン骨格を有するフェノールノボラックエポキシモノマー等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記ナフタレン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1−グリシジルナフタレン、2−グリシジルナフタレン、1,2−ジグリシジルナフタレン、1,5−ジグリシジルナフタレン、1,6−ジグリシジルナフタレン、1,7−ジグリシジルナフタレン、2,7−ジグリシジルナフタレン、トリグリシジルナフタレン、及び1,2,5,6−テトラグリシジルナフタレン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記アダマンテン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,3−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)アダマンテン、及び2,2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)アダマンテン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記フルオレン骨格を有するエポキシモノマーとしては、9,9−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−メトキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、及び9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記ビフェニル骨格を有するエポキシモノマーとしては、4,4’−ジグリシジルビフェニル、及び4,4’−ジグリシジル−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニル等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記バイ(グリシジルオキシフェニル)メタン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,1’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,1’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,1’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,2’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,2’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、及び1,2’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
上記キサンテン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,3,4,5,6,8−ヘキサメチル−2,7−ビス−オキシラニルメトキシ−9−フェニル−9H−キサンテン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
オキセタン樹脂(E2)の具体例としては、例えば、4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル、1,4−ベンゼンジカルボン酸ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メチル]エステル、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン、及びオキセタン化フェノールノボラック等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。
環状エーテル骨格を有する化合物(E)が用いられる場合には、熱可塑性エラストマー(A)と環状エーテル骨格を有する化合物(E)とを含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量は1〜50重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量のより好ましい下限は3重量%、より好ましい上限は30重量%である。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量が上記好ましい上限を満たすと、熱可塑性エラストマー(A)の凝集力を十分に確保できる。なお、全樹脂成分には、環状エーテル骨格を有する化合物(E)が含まれる。
(他の成分)
本発明に係る樹脂シートは、有機樹脂フィラー(C1)に含まれないゴム粒子を含んでいてもよい。上記ゴム粒子の使用により、樹脂シートの応力緩和性及び柔軟性を高めることができる。
本発明に係る樹脂シートは、分散剤を含んでいてもよい。該分散剤の使用により、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。
上記分散剤は、水素結合性を有する水素原子を含む官能基を有することが好ましい。上記分散剤が水素結合性を有する水素原子を含む官能基を有することで、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基としては、例えば、カルボキシル基(pKa=4)、リン酸基(pKa=7)、又はフェノール基(pKa=10)等が挙げられる。
上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基のpKaの好ましい下限は2、より好ましい下限は3、好ましい上限は10、より好ましい上限は9である。上記官能基のpKaが上記好ましい下限を満たすと、上記分散剤の酸性度が高くなりすぎない。従って、樹脂シートの貯蔵安定性をより一層高めることができる。上記官能基のpKaが上記好ましい上限を満たすと、上記分散剤としての機能が充分に果たされ、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。
上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基は、カルボキシル基又はリン酸基であることが好ましい。この場合には、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をさらに一層高めることができる。
上記分散剤としては、具体的には、例えば、ポリエステル系カルボン酸、ポリエーテル系カルボン酸、ポリアクリル系カルボン酸、脂肪族系カルボン酸、ポリシロキサン系カルボン酸、ポリエステル系リン酸、ポリエーテル系リン酸、ポリアクリル系リン酸、脂肪族系リン酸、ポリシロキサン系リン酸、ポリエステル系フェノール、ポリエーテル系フェノール、ポリアクリル系フェノール、脂肪族系フェノール、及びポリシロキサン系フェノール等が挙げられる。上記分散剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
樹脂シート100重量%中、上記分散剤の含有量の好ましい下限は0.01重量%、より好ましい下限は0.1重量%、好ましい上限は20重量%、より好ましい上限は10重量%である。上記分散剤の含有量が上記好ましい下限及び上限を満たすと、第1のフィラー(B)又は物質(C)の凝集を抑制でき、かつ樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性を充分に高めることができる。
本発明に係る樹脂シートは、ハンドリング性をより一層高めるために、ガラスクロス、ガラス不織布、アラミド不織布等の基材物質を含んでいてもよい。ただし、上記基材物質を含まなくても、本発明に係る樹脂シートは室温(23℃)において自立性を有し、かつ優れたハンドリング性を有する。よって、樹脂シートは基材物質を含まないことが好ましく、特にガラスクロスを含まないことが好ましい。樹脂シートが上記基材物質を含まない場合には、樹脂シートの厚みを薄くすることができ、かつ樹脂シートの熱伝導性をより一層高めることができる。さらに、樹脂シートが上記基材物質を含まない場合には、必要に応じて樹脂シートにレーザー加工又はドリル穴開け加工等の各種加工を容易に行うこともできる。なお、自立性とは、PETフィルム又は銅箔といった支持体が存在しなくても、シートの形状を保持し、シートとして取扱うことができることをいう。
また、本発明に係る樹脂シートは、必要に応じて、粘着性付与剤、可塑剤、硬化剤、カップリング剤、チキソ性付与剤、難燃剤及び着色剤などを含んでいてもよい。
(樹脂シート)
本発明に係る樹脂シートの製造方法は特に限定されない。樹脂シートは、例えば、上述した材料を混合した混合物を溶剤キャスト法又は押し出し成膜法、並びにプラストミル混練後のプレス成形等の方法でシート状に成形することにより得ることができる。シート状に成形する際に、脱泡することが好ましい。
樹脂シートの厚みは特に限定されない。樹脂シートの厚みは、10〜300μmの範囲内にあることが好ましい。樹脂シートの厚みのより好ましい下限は50μm、さらに好ましい下限は70μm、より好ましい上限は120μm、さらに好ましい上限は100μmである。樹脂シートの厚みが上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの絶縁性が高くなる。樹脂シートの厚みが上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの放熱性がより一層高くなる。
樹脂シートのガラス転移温度Tgは、25℃以下であることが好ましい。ガラス転移温度が25℃以下であると、樹脂シートが室温において固く、かつ脆くなり難い。このため、樹脂シートのハンドリング性をより一層高めることができる。
樹脂シートの熱伝導率は、0.7W/m・K以上であることが好ましく、1.0W/m・K以上であることがより好ましく、1.5W/m・K以上であることがさらに好ましい。熱伝導率が高いほど、樹脂シートの放熱性が高くなる。
樹脂シートの絶縁破壊電圧は、30kV/mm以上であることが好ましく、40kV/mm以上であることがより好ましく、50kV/mm以上であることがさらに好ましく、80kV/mm以上であることがさらに好ましく、100kV/mm以上であることがさらに好ましい。絶縁破壊電圧が高いほど、樹脂シートが例えば電力素子用のような大電流用途に用いられた場合に、絶縁性が高くなる。
(積層体)
本発明に係る樹脂シートは、発熱部品と金属筐体又は放熱部品とを接着するのに好適に用いられる。
図1に、本発明の一実施形態に係る樹脂シートを用いた積層体の一例を模式的に示す。
図1に示す積層体1は、樹脂シート2と、樹脂シート2の一方の面2aに積層された発熱部品3と、樹脂シート2の他方の面2bに積層された放熱部品4とを備える。放熱部品4にかえて、金属筐体を用いてもよい。樹脂シート2は、発熱部品3と放熱部品4との間に配置されている。樹脂シート2により、発熱部品3と、放熱部品4とが接着されている。
発熱部品3としては、具体的には、CPU、及び基板等が挙げられる。
放熱部品4又は金属筐体としては、具体的には、ヒートスプレッダ、及びヒートシンク等が挙げられる。
放熱部品4は、熱伝導率が10W/m・K以上の熱伝導体であることが好ましい。この熱伝導体としては、例えば、アルミニウム、銅、アルミナ、ベリリア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム又はグラファイトシート等が挙げられる。中でも、上記熱伝導体は、銅又はアルミニウムであることが好ましい。銅又はアルミニウムは、放熱性に優れている。
以下、本発明の具体的な実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を明らかにする。なお、本発明は以下の実施例に限定されない。
以下の材料を用意した。
[熱可塑性エラストマー(A)]
(1)SIBS(1):スチレンとイソブチレンとのブロック共重合体(カネカ社製、品番:シブスター 073T、Mw=約70,000、Tg=−20℃、全モノマー中のスチレン含有割合30重量%)
(2)SIBS(2):スチレンとイソブチレンとのブロック共重合体(カネカ社製、品番:シブスター 102T、Mw=約100,000、Tg=−20℃、全モノマー中のスチレン含有割合14重量%)
(3)SEBS:スチレンとブタジエンとのブロック共重合体(クレイトンポリマー社製、品番:クレイトンD−1155、Mw=100,000、Tg=−45℃、全モノマー中のスチレン含有割合40重量%)
(4)SIPS:スチレンとイソプレンのブロック共重合体(クラレ社製、品番:セプトン2007、Mw=約70000、Tg=−50℃、全モノマー中のスチレン含有割合30重量%)
(5)シリコーンエラストマー(Mw=52,000、Tg=−30℃):下記の合成例1に従って合成した。
(合成例1)
乾燥した窒素で置換した耐圧容器中に、4,4’−ジフェニルメタンイソシアネート20gと、両末端水酸基含有シリコーン(Mw=30,000)60gとを加え、70℃〜90℃で溶解させた後、2時間攪拌し、シリコーンエラストマーを得た。
[第1の無機フィラー(B)]
(1)球状アルミナ(デンカ社製、商品名:DAM−10、平均粒子径10μm、熱伝導率36W/m・K、新モース硬度12)
(2)破砕アルミナ(日本軽金属社製、商品名:LS−242C、平均粒子径2μm、熱伝導率36W/m・K、新モース硬度12)
(3)合成マグネサイト(神島化学社製、商品名:MSL、平均粒子径6μm、熱伝導率15W/m・K、新モース硬度3.5)
(4)窒化アルミニウム(東洋アルミ社製、商品名:TOYALNITE―FLX、平均粒子径14μm、熱伝導率200W/m・K、新モース硬度11)
(5)結晶シリカ(龍森社製、商品名:クリスタライトCMC−12、平均粒子径5μm、熱伝導率10W/m・K、新モース硬度7)
(6)炭化ケイ素(信濃電気製錬社製、商品名:シナノランダムGP#700、平均粒子径17μm、熱伝導率125W/m・K、新モース硬度13)
(7)酸化亜鉛(堺化学工業社製、商品名:LPZINC−5、平均粒子径5μm、熱伝導率54W/m・K、新モース硬度5)
(8)酸化マグネシウム(堺化学工業社製、商品名:SMO Large Particle、平均粒子径1.1μm、熱伝導率35W/m・K、新モース硬度6)
[有機樹脂フィラー(C1)]
(1)0.1μm粒子(コアシェル型シリコーン−アクリル粒子、旭化成ワッカーシリコーン社製、商品名:P22、平均粒子径0.1μm、コアシェル構造を有する、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むコア層と有機物を含む)
(2)0.5μm粒子(コアシェル型有機粒子、ガンツ化成社製、商品名:AC−3355、平均粒子径0.5μm、コアシェル構造を有する)
(3)4μm粒子(アクリル粒子、ガンツ化成社製、商品名:GM−0401S、平均粒子径4μm)
[第2の無機フィラー(C2)]
(1)マイカ(山口雲母工業所社製、商品名:SJ005、平均粒子径5μm、新モース硬度2.8)
(2)タルク(日本タルク社製、商品名:K−1、平均粒子径8μm、新モース硬度1)
(3)窒化ホウ素(昭和電工社製、商品名:UHP−1、平均粒子径8μm、新モース硬度2)
(4)クレー(白石カルシウム社製、商品名:ST−301、平均粒子径0.7μm、新モース硬度2)
(5)カオリン(BASF社製、商品名:ASP−400P、平均粒子径4.8μm、新モース硬度2.8)
(6)水酸化アルミニウム(日本軽金属社製、商品名:B−103、平均粒子径8μm、新モース硬度3)
(7)水酸化マグネシウム(タテホ化学工業社製、商品名:PZ−1、平均粒子径1.2μm、新モース硬度2.5)
(8)炭酸カルシウム(白石カルシウム社製、商品名:BF−300、平均粒子径8μm、新モース硬度3)
(9)珪藻土(白石カルシウム社製、商品名:ST−C219、平均粒子径9μm、新モース硬度1.5)
[その他の無機フィラー]
(1)溶融シリカ(トクヤマ社製、商品名:SE15、平均粒子径15μm、熱伝導率2W/m・K、新モース硬度7)
[架橋剤(D)]
(1)イソシアネート架橋剤(日本ポリウレタン工業社製、商品名:コロネートL)
(2)ビスフェノールA型エポキシ架橋剤(ジャパンエポキシレジン社製、商品名:エピコート828US)
[環状エーテル骨格を有する化合物(E)]
(1)エポキシ基含有スチレン樹脂(日油社製、商品名:マープルーフG−1010S、Mw=100,000、Tg=93℃)
[硬化剤]
(1)イソシアヌル変性固体分散型イミダゾール(イミダゾール系硬化促進剤、四国化成社製、商品名:2MZA−PW)
[分散剤]
(1)アクリル系分散剤(ビックケミージャパン社製、商品名:Disperbyk−2070、pKaが4のカルボキシル基を有する)
(2)ポリエーテル系分散剤(楠本化成社製、商品名:ED151、pKaが7のリン酸基を有する)
[添加剤]
(1)エポキシシランカップリング剤(信越化学工業社製、商品名:KBE403)
[溶剤]
メチルエチルケトン
(実施例1〜33及び比較例1〜7)
ホモディスパー型攪拌機を用いて、下記の表1〜4に示す割合(配合単位は重量部)で各原料を配合し、混練し、絶縁ワニスを調製した。
厚み50μmの離型PETシートに、上記樹脂ワニスを100μmの厚みになるように塗工し、90℃のオーブン内で30分乾燥して、PETシート上に樹脂シートを作製した。
(評価)
(1)ハンドリング性
PETシートと、該PETシート上に形成された樹脂シートとを有する積層シートを460mm×610mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。得られたテストサンプルを用いて、室温(23℃)でPETシートから樹脂シートを剥離したときのハンドリング性を下記の基準で評価した。
[ハンドリング性の判定基準]
〇:樹脂シートの変形がなく、容易に剥離可能
△:樹脂シートを剥離できるものの、シート伸びや破断が発生する
×:樹脂シートを剥離できない
(2)熱伝導率
樹脂シートの熱伝導率を、京都電子工業社製熱伝導率計「迅速熱伝導率計QTM−500」を用いて測定した。
(3)加工性
厚み50μmのPETフィルム2枚の間に挟まれた樹脂シートを、直径20mmの金型(塚谷刃物製作所社製、ピナクルダイRDC(FB))を用いて打ち抜いた。ばりが発生するまでの回数を測定し、打ち抜き加工性を以下の基準で評価した。
[加工性の判定基準]
◎:ばりが発生することなく100回以上加工可能
○:ばりが発生することなく50回以上、100回未満加工可能
△:ばりが発生することなく10回以上、50回未満加工可能
×:10回未満の加工によりばりが発生
(4)積層プレス時のはみ出し量
PETシートと、該PETシート上に形成された樹脂シートとを有する積層シートを13cm×5cmの大きさに切り出した後、樹脂シートをPETシートから剥離した。また、13cm×5cmの大きさのアルミニウム板(エンジニアリングテストサービス社製、JISH4000 A5052P、最大高さ粗さRz1.1μm)と、13cm×5cmの大きさの銅箔(福田金属箔粉工業社製、電解銅箔、CT−T8)とを用意した。
アルミニウム板の粗面と銅箔の粗面との間に樹脂シートを挟んで、積層体を得た後、23℃及び圧力4MPaで10分間プレスした。プレス後に積層体の側面からはみ出た樹脂シートの重量を測定し、下記の式により樹脂シートのはみ出し量を求めた。はみ出し量を下記の基準で判定した。
はみ出し量=(プレス後に積層体の側面からはみ出た樹脂シートの重量)/(プレス前の樹脂シートの重量)×100
[はみ出し量の判定基準]
○:樹脂シートのはみ出し量が7%未満
△:樹脂シートのはみ出し量が7%を超え、10%未満
×:樹脂シートのはみ出し量が10%以上
(5)接着力
樹脂シートを20mm×100mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。このテストサンプルの一方の面に厚み50μmのアルミ箔を貼り付けた後、テストサンプルの他方の面に、アルミ製テストピースを貼り付けた。次に、23℃及び圧力4MPaで10分間プレスし、で30分間静置し、積層体を得た。引っ張り試験機(エー・アンド・デイ社製、万能試験機テンシロンRTF)を用いて、積層体の樹脂及びアルミ箔をアルミ製テストピースから剥離して、90°剥離力を測定し、得られた測定値を樹脂シートの接着力とした。
(6)絶縁破壊電圧
樹脂シートを100mm×100mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。耐電圧試験器(MODEL7473、EXTECH Electronics社製)を用いて、樹脂シート間に、1kV/秒の速度で電圧が上昇するように、交流電圧を印加した。樹脂シートが破壊した電圧を、絶縁破壊電圧とした。
結果を下記の表1〜4に示す。
Figure 2011127053
Figure 2011127053
Figure 2011127053
Figure 2011127053
1…積層体
2…樹脂シート
2a…一方の面
2b…他方の面
3…発熱部品
4…放熱部品

Claims (6)

  1. 熱可塑性エラストマー(A)と、
    熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、
    有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、
    前記第1の無機フィラー(B)の含有量が20〜60体積%であり、かつ前記物質(C)の含有量が1〜40体積%である、樹脂シート。
  2. 前記物質(C)が前記第2の無機フィラー(C2)であり、
    前記第1の無機フィラー(B)及び前記第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たす、請求項1に記載の樹脂シート。
    [{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)
  3. 前記物質(C)が前記第2の無機フィラー(C2)であり、
    前記第2の無機フィラー(C2)が、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の樹脂シート。
  4. 前記第1の無機フィラー(B)が、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂シート。
  5. 前記熱可塑性エラストマー(A)のガラス転移温度が25℃以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂シート。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂シートと、
    前記樹脂シートの一方の面に積層された発熱部品と、
    前記樹脂シートの他方の面に積層された金属筐体又は放熱部品とを備える、積層体。
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