JP2011119212A - 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子基板31上の陽極24R上に赤色を発光する発光層63Rを塗布法によって形成する工程と、素子基板31上の陽極24G上に緑色を発光する発光層63Gを塗布法によって形成する工程と、発光層63R,63G上に電子注入性を有する中間層64R,64Gを形成する工程と、中間層64R,64G上及び素子基板31上の陽極24B上を含む領域に、青色を発光する発光層63Bを蒸着法によって形成する工程と、発光層63B上に陰極25を形成する工程と、を有する。
【選択図】図9
Description
<有機EL装置の構成>
図1は、有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、有機EL装置の構成を、図1を参照しながら説明する。なお、本実施形態の有機EL装置は、一例としてボトムエミッション構造で説明するが、トップエミッション構造にも適用可能である。
図4〜図9は、有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図4〜図9を参照しながら説明する。なお、各種配線や電極、駆動用TFT等を形成する製造工程については、周知の工程と同様なので、ここではそれらの説明を省略又は簡略化し、これ以降の工程について詳しく説明する。また、図面についても同様に、省略又は簡略化する。
<有機EL装置の構成>
図10は、第2実施形態の有機EL装置の構造を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構造を、図10を参照しながら説明する。
図11〜図13は、第2実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図11〜図13を参照しながら説明する。なお、第1実施形態と同じ部分については同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
<有機EL装置の構成>
図14は、第3実施形態の有機EL装置の構造を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構造を、図14を参照しながら説明する。
図15〜図17は、第3実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図15〜図17を参照しながら説明する。なお、第1実施形態と同じ部分については同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
<有機EL装置の構成>
図18は、第4実施形態の有機EL装置の構造を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構造を、図18を参照しながら説明する。
図19〜図21は、第4実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図19〜図21を参照しながら説明する。なお、第1実施形態と同じ部分については同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
<有機EL装置の構成>
図22は、第5実施形態の有機EL装置の構造を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構造を、図22を参照しながら説明する。
図23〜図25は、第5実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図23〜図25を参照しながら説明する。なお、第4実施形態と同じ部分については同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
図26は、本発明に係る有機EL装置を備える電子機器の一例としてテレビの構成を模式的に示す概略斜視図である。以下、テレビの構成を、図26を参照しながら説明する。
上記した有機EL装置11,71,81,91は、カラーフィルターを設けていないが、図27に示すように、カラーフィルターを含む構成にしてもよい。図27は、有機EL装置の変形例の構造を示す模式断面図である。図27に示す有機EL装置211は、例えば、第1実施形態の有機EL装置11にカラーフィルター(色変換層)213を配置したものである。詳しくは、陽極24(24R,24G,24B)の下側に光遮光層212を形成し、更に、陰極25に透過性の材料を用いることにより、トップエミッション構造としたものである。
上記したように、青色の発光層63Bを、正孔輸送性のα−NPD、青色の発光層であるDPVBi、及び電子輸送性のAlq3の3層で構成していることに限定されず、例えば、DPVBiとAlq3との間に、BAlqのような正孔ブロッキング層を設けるようにしてもよい。これによれば、選択する発光層63Bの材料にもよるが、発光層に正孔を留めておくことが可能となり、正孔と電子とを効率よく結合させることができる。
上記した第3実施形態及び第4実施形態の中間層84は、炭酸セシウムの単層であることに限定されず、例えば、炭酸セシウムと酸化モリブデン(MoO3)との積層構造としてもよい。膜厚は、例えば、炭酸セシウムが1nmであり、酸化モリブデンが1nmである。これによれば、特に、青色発光領域における正孔の注入性を向上させることができる。
上記したように、第2実施形態及び第4実施形態のように、陽極24上に正孔注入層61及び正孔輸送層62の2層を積層することに限定されず、例えば、発光層への正孔注入性や正孔輸送性をみて、どちらか一方を設けるようにしてもよい。
上記したように、赤色の発光層63R及び緑色の発光層63Gを高分子の材料を用いて塗布していることに限定されず、低分子の材料を塗布するようにしてもよい。
上記した第3実施形態及び第4実施形態のように、素子基板31上の全体に蒸着法を用いて中間層84を形成することに限定されず、例えば、表示領域のみに中間層を形成するようにしてもよい。また、マスク蒸着を用いて、発光領域42のみに選択的に中間層を形成するようにしてもよい。
Claims (15)
- 基板上の第1陽極上に第1色を発光する第1発光層を塗布法によって形成する第1発光層塗布工程と、
前記基板上の第2陽極上に第2色を発光する第2発光層を塗布法によって形成する第2発光層塗布工程と、
前記第1発光層上及び前記第2発光層上に電子注入性を有する中間層を形成する中間層形成工程と、
前記中間層上及び前記基板上の第3陽極上に、第3色を発光する第3発光層を蒸着法によって形成する第3発光層蒸着工程と、
前記第3発光層上に陰極を形成する陰極形成工程と、
を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記第1発光層は、赤色発光層であり、
前記第2発光層は、緑色発光層であり、
前記第3発光層は、青色発光層であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記第3発光層は、少なくとも正孔輸送性を有する層と、電子輸送性を有する層とを含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記第1陽極と前記第1発光層との間、及び、前記第2陽極と前記第2発光層との間に、少なくとも正孔注入層及び正孔輸送層のどちらか一方を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記第3陽極と前記第3発光層との間に、正孔注入層及び正孔輸送層の少なくともどちらか一方を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項5に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記中間層形成工程は、前記正孔注入層または前記正孔輸送層と前記第3発光層との間に前記中間層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記中間層形成工程は、前記第3陽極と前記第3発光層との間を含む領域に前記中間層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記中間層形成工程は、塗布法によって前記中間層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記中間層形成工程は、蒸着法によって前記中間層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項8に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記塗布法は、インクジェット法であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記中間層は炭酸セシウムであることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
色変換層を形成する色変換層形成工程を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 基板上の第1陽極上に塗布法によって形成された第1色を発光する第1発光層と、
前記基板上の第2陽極上に塗布法によって形成された第2色を発光する第2発光層と、
前記第1発光層上、前記第2発光層上、前記基板上の第3陽極上を含む領域に蒸着法によって形成された第3色を発光する第3発光層と、
前記第3発光層上に設けられた陰極と、を有し、
少なくとも前記第1発光層と前記第3発光層との間、及び、前記第2発光層と前記第3発光層との間に、電子注入性を有する中間層が設けられていることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項13に記載の有機EL装置であって、
前記第1発光層は、赤色発光層であり、
前記第2発光層は、緑色発光層であり、
前記第3発光層は、青色発光層であることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法を用いて製造された有機EL装置、又は請求項13又は請求項14に記載の有機EL装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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