JP2011117669A

JP2011117669A - Burning sheath and method for manufacturing ceramic electronic component using the sheath

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Publication number: JP2011117669A
Application number: JP2009275638A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Hayashi; 善明林; Makoto Tanaka; 田中　　誠; Hikari Matsubara; 光松原; Mitsuaki Sato; 光明佐藤; Tatsuo Shinozaki; 達夫篠崎; Mikio Kibo; 幹雄木保
Original assignee: MOTOYAMA KK
Current assignee: MOTOYAMA KK
Priority date: 2009-12-03
Filing date: 2009-12-03
Publication date: 2011-06-16
Anticipated expiration: 2029-12-03
Also published as: JP5431891B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a burning sheath which can be stably carried within a burning furnace at high temperatures on a carrying roller and endure repeated use. <P>SOLUTION: The sheath for burning includes: a sheath body comprising a nickel net and having a bottom plate and an erected part provided in the entire circumference of the bottom plate; a plurality of ceramic bars or pipes arranged in parallel with one another on the bottom face of the sheath body; and a nickel net covering the bars or pipes and welded to the bottom face of the sheath body to support the bars or pipes with respect to the sheath body. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品の製造に用いられる焼成用さやおよびこれを用いたセラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a firing sheath used for manufacturing a ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, and a method for manufacturing a ceramic electronic component using the same.

積層セラミックコンデンサは、例えば次のようにして製造される。まず、チタン酸バリウムとバインダーを主成分とする誘電体セラミックグリーンシートを作り、その表面に、ニッケルを主成分とする内部電極ペーストを所定のパターンとなるようにスクリーン印刷する。こうして異なるパターンの内部電極を有する２種のセラミックグリーンシートを作製する。そしてこれら２種のセラミックグリーンシートを交互に積層し、加熱、加圧して一体化する。これを所定寸法に切断して積層セラミックコンデンサのグリーンチップを作製する。 The multilayer ceramic capacitor is manufactured, for example, as follows. First, a dielectric ceramic green sheet mainly composed of barium titanate and a binder is prepared, and an internal electrode paste mainly composed of nickel is screen-printed on the surface so as to form a predetermined pattern. In this way, two types of ceramic green sheets having different patterns of internal electrodes are produced. These two types of ceramic green sheets are alternately laminated and integrated by heating and pressing. This is cut to a predetermined size to produce a multilayer ceramic capacitor green chip.

次に、上記のグリーンチップの表面に融着防止材のジルコニア粉末を付着させ、焼成用さやに載せて焼成炉中に投入し、脱脂、焼成を行う。 Next, the anti-fusing material zirconia powder is attached to the surface of the green chip, placed on a firing sheath, put into a firing furnace, and degreased and fired.

この焼成においては、窒素と水素の混合ガスを含む露点数十度の雰囲気の炉内に、焼成室と再酸化室とを作り、グリーンチップを載せた焼成用さやを焼成室から再酸化室へ連続的に搬送しながら焼成する連続焼成が効率の面から好ましい。
しかしながら、焼成室と再酸化室とは、雰囲気が異なるため、連続焼成は困難であった。 In this firing, a firing chamber and a reoxidation chamber are formed in a furnace having an atmosphere with a dew point of several tens of degrees containing a mixed gas of nitrogen and hydrogen, and the sheath for the green chip is placed from the firing chamber to the reoxidation chamber From the standpoint of efficiency, continuous firing is preferred in which firing is carried out continuously.
However, since the firing chamber and the reoxidation chamber have different atmospheres, continuous firing has been difficult.

この困難を解消するために、焼成室と再酸化室との中間に間仕切り板を設けるとともに、間仕切り板の前後において、上下にセラミックからなるガスノズルを設け、それらのノズルからガスを噴射してガスカーテンを形成する方式が考案された。 In order to eliminate this difficulty, a partition plate is provided between the firing chamber and the reoxidation chamber, and gas nozzles made of ceramic are provided on the top and bottom of the partition plate before and after the partition plate. A method of forming was devised.

しかし、グリーンチップを載せる焼成用さやは、セラミック製の板であるため、通気性が無く、ガスカーテンのところでは、下から噴射されるガスカーテンは効果を果たさない。
一方、連続焼成用ではないが、焼成用さやとして、ニッケルによりトレイ状に形成され、内外間に多数の通気部を有するさやが知られている（特許文献１）。 However, since the sheath for the green chip is a ceramic plate, there is no air permeability, and the gas curtain sprayed from below does not work at the gas curtain.
On the other hand, although not for continuous firing, a sheath that is formed in a tray shape with nickel and has a large number of ventilation portions between the inside and outside is known (Patent Document 1).

特開２０００−１６９２４３号公報JP 2000-169243 A

特許文献１の焼成用さやは、連続焼成用ではなく、バッチ式焼成に利用されるものであるため、搬送用ローラに載せるような構成にはなっていない。そのようなさやを搬送用ローラに載せると、ローラ上を直進させるのは難しい。また、グリーンチップが例えば１．６×０．３ｍｍ（１６０８）のような超小型のものでは、メッシュの細かなニッケルの網でさやを構成することとなる。そのようなニッケル網は、１３００℃前後に繰り返し長時間曝されると、腰が弱くなり、初期の形状を維持できなくなる。したがって、そのような焼成用さやは、搬送用ローラ上を安定して移動することができないから、連続焼成には適用できない。特に、焼成中にさやが変形すると、ローラ搬送ができなくなり、製品の歩留まりが著しく低下する。 Since the sheath sheath of Patent Document 1 is used not for continuous firing but for batch-type firing, it is not configured to be placed on a conveying roller. When such a sheath is placed on the transport roller, it is difficult to go straight on the roller. In addition, when the green chip is ultra-small such as 1.6 × 0.3 mm (1608), the sheath is constituted by a fine mesh of nickel. When such a nickel net is repeatedly exposed to around 1300 ° C. for a long time, the waist becomes weak and the initial shape cannot be maintained. Therefore, such a sheath sheath cannot be applied to continuous firing because it cannot stably move on the transport roller. In particular, if the sheath is deformed during firing, the roller cannot be conveyed, and the yield of the product is significantly reduced.

そこで、本発明は、高温度の焼成炉内を搬送ローラにより安定して搬送できるとともに繰り返し使用に耐える焼成用さやを提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a sheath for firing that can be stably transported in a high-temperature firing furnace by a transport roller and can withstand repeated use.

本発明の焼成用さやは、ニッケル網からなり、全周に立ち上がり部を有するさや本体、前記さや本体の底面に互いに平行に配置された複数のセラミック製の棒または管、および前記棒または管を覆うとともに前記さや本体の底面に溶接されて前記棒または管をさや本体に支持させるニッケル網を備える。 The firing sheath of the present invention is made of a nickel net, and has a sheath body having a rising portion on the entire circumference, a plurality of ceramic rods or tubes arranged in parallel to each other on the bottom surface of the sheath body, and the rods or tubes. A nickel net is provided that covers and is welded to the bottom surface of the sheath body to support the rod or tube on the sheath body.

また、本発明は、第１の炉、第１の炉とは異なる雰囲気の第２の炉、第１の炉と第２の炉との間にあり、焼成用さやの通過する開口を有する隔壁、前記焼成用さやを搬送して第１の炉から第２の炉を通過させる搬送用ローラ、および前記隔壁の前後において前記焼成用さやの上方および下方からガスを吹きつけてガスカーテンを形成するガス噴射装置を備える焼成装置によりセラミック電子部品を焼成する方法であって、上記の焼成用さやにセラミック電子部品のグリーンチップを収容し、前記焼成用さやの前記棒または管の長手方向を進行方向として前記搬送用ローラ上に載せて、前記セラミック電子部品を焼成することを特徴とするセラミック電子部品の製造方法を提供する。 Further, the present invention provides a first furnace, a second furnace having an atmosphere different from that of the first furnace, a partition between the first furnace and the second furnace, and having an opening through which a sheath for firing passes. A conveying roller that conveys the firing sheath and passes the second furnace from the first furnace, and a gas curtain is formed by blowing gas from above and below the firing sheath before and after the partition. A ceramic electronic component is fired by a firing device provided with a gas injection device, wherein a green chip of the ceramic electronic component is accommodated in the firing sheath, and a longitudinal direction of the rod or tube of the firing sheath is a traveling direction. The ceramic electronic component is fired by placing the ceramic electronic component on the transporting roller.

本発明の焼成用さやは、ニッケル網からなるさや本体の底面に、セラミック製の棒または管の複数が互いに平行に、ニッケル網により支持されているから、前記棒または管の長手方向を進行方向として搬送用ローラ上に載せて搬送させることができる。したがって、高温度に繰り返し長時間曝されることにより、ニッケル網からなるさや本体が変形することがあっても、セラミック製の棒または管により、搬送用ローラに載る部分の形状は維持され、搬送用ローラ上を安定して走行することができる。 Since the firing sheath of the present invention is made of a nickel mesh, a plurality of ceramic rods or tubes are supported by the nickel mesh in parallel with each other on the bottom surface of the main body, so that the longitudinal direction of the rod or tube is the traveling direction. Can be carried on a carrying roller. Therefore, even if the sheath made of nickel net is deformed by repeated exposure to high temperature for a long time, the shape of the part placed on the transport roller is maintained by the ceramic rod or tube, It can run stably on the roller.

本発明の焼成用さやを用いると、セラミック電子部品の焼成において、焼成室と再酸化室のように、雰囲気の異なる２つの焼成室ないしは炉間にガスカーテンを形成することにより、連結して、連続焼成が可能となる。したがって、焼成炉を大幅に短縮できるとともに、熱エネルギーおよび雰囲気ガスの量を減少することができる。 Using the firing sheath of the present invention, in firing ceramic electronic components, like a firing chamber and a reoxidation chamber, connected by forming a gas curtain between two firing chambers or furnaces having different atmospheres, Continuous firing is possible. Accordingly, the firing furnace can be greatly shortened, and the amount of thermal energy and atmospheric gas can be reduced.

本発明の一実施の形態に係る焼成用さやの斜視図である。It is a perspective view of the sheath for baking which concerns on one embodiment of this invention. さや本体の展開図である。It is an expanded view of a sheath body. さや本体の組み立て過程における要部の斜視図である。It is a perspective view of the principal part in the assembly process of a sheath main body. 本発明の他の実施の形態における焼成用さやの裏面側から見た斜視図である。It is the perspective view seen from the back surface side of the sheath for baking in other embodiment of this invention. セラミック電子部品の焼成装置の概略構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows schematic structure of the baking apparatus of a ceramic electronic component.

本発明の焼成用さやは、ニッケル網からなり、底板とその全周に設けられた立ち上がり部とを有するさや本体、前記さや本体の底面に互いに平行に配置された複数のセラミック製の棒または管、および前記棒または管を覆うとともに前記さや本体の底面に溶接されて前記棒または管をさや本体に支持させるニッケル網を備える。 The firing sheath of the present invention is made of a nickel net, and has a bottom plate and a rising portion provided on the entire circumference thereof, and a plurality of ceramic bars or tubes arranged in parallel to each other on the bottom surface of the sheath body. And a nickel net that covers the rod or tube and is welded to the bottom surface of the sheath body to support the rod or tube on the sheath body.

この焼成用さやは、前記棒または管の長手方向を進行方向として、搬送用ローラ上に載せて使用する。この焼成用さやが高温度に繰り返し長時間曝されてニッケル網からなるさや本体の腰が弱くなっても、セラミック製の棒または管により、搬送用ローラに載る部分の形状は維持される。したがって、搬送用ローラ上を安定して走行させることができる。 This firing sheath is used by being placed on a conveying roller with the longitudinal direction of the rod or tube as the traveling direction. Even when the firing sheath is repeatedly exposed to a high temperature for a long time and the sheath of the nickel net becomes weak, the shape of the portion placed on the conveying roller is maintained by the ceramic rod or tube. Accordingly, it is possible to stably run on the conveying roller.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記立ち上がり部が、前記底板の周縁部と一体に連なる複数の立ち上がり片、および前記立ち上がり片の端部に一体に連なる連結片を有し、１つの立ち上がり片の連結片が隣接する連結片の側面に溶接により一体に連結されている。この構成によると、さや本体は、他の材料を用いることなく、ニッケル網の加工により作製することができる。 In a preferred embodiment of the present invention, the rising portion includes a plurality of rising pieces integrally connected to the peripheral edge portion of the bottom plate, and a connecting piece integrally connected to an end portion of the rising piece. The connecting pieces are integrally connected to the side surfaces of the adjacent connecting pieces by welding. According to this configuration, the sheath body can be produced by processing a nickel net without using other materials.

本発明の好ましい他の実施の形態においては、前記立ち上がり部が、ニッケル網の折り曲げにより二重になっている。この構成によると、立ち上がり部が補強されので、使用中に腰が弱くなってセラミックグリーンチップがさやから脱落するようなことはない。 In another preferred embodiment of the present invention, the rising portion is doubled by bending a nickel net. According to this configuration, since the rising portion is reinforced, the ceramic green chip does not fall off the sheath due to weakness during use.

本発明の焼成用さやは、第１の炉、第１の炉とは異なる雰囲気の第２の炉、第１の炉と第２の炉との間にあり、焼成用さやの通過する開口を有する隔壁、前記焼成用さやを搬送して第１の炉から第２の炉を通過させる搬送用ローラ、および前記隔壁の前後において前記焼成用さやの上方および下方からガスを吹きつけてガスカーテンを形成するガス噴射装置を備える焼成装置によりセラミック電子部品を焼成する方法に利用して特徴を発揮する。すなわち、本発明の焼成用さやにセラミック電子部品のグリーンチップを収容し、この焼成用さやを、その前記棒または管の長手方向を進行方向として前記搬送用ローラ上に載せて、前記セラミック電子部品を焼成するのである。 The firing sheath of the present invention has a first furnace, a second furnace in an atmosphere different from the first furnace, an opening between the first furnace and the second furnace, and an opening through which the firing sheath passes. A partition wall, a transport roller for transporting the firing sheath through the second furnace from the first furnace, and a gas curtain by blowing gas from above and below the firing sheath before and after the partition wall The present invention is characterized by being used in a method for firing ceramic electronic components by a firing device including a gas injection device to be formed. That is, the ceramic electronic component green chip is accommodated in the firing sheath of the present invention, and the firing sheath is placed on the transporting roller with the longitudinal direction of the rod or tube as the traveling direction. Is fired.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本実施の形態に係る焼成用さやの斜視図、図２は焼成用さやの展開図、図３は焼成用さやの組立途中の要部の斜視図、図４は他の実施の形態における焼成用さやの裏面側の斜視図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 is a perspective view of a sheath for firing according to the present embodiment, FIG. 2 is a development view of the sheath for firing, FIG. 3 is a perspective view of the main part during assembly of the sheath for firing, and FIG. 4 is another embodiment. It is a perspective view of the back surface side of the sheath for baking in.

ここに示す焼成用さや１０は、さや本体１１、セラミック製の管１２および管支持体１３から構成されている。さや本体１１は、ニッケル網からなり、長方形の底板部２およびその周縁部に連設された立ち上がり部４を有する。このさや本体１１の裏面には、セラミック製の４本の管１２がニッケル網からなる管支持体１３により支持されている。管支持体１３は、管１２の上からさや本体１１の底板２の裏面に固定されて管１２をさや本体１１に固定している。４本の管１２は、ほぼ等間隔で平行に配列されている。この管１２の長手方向が、焼成用さや１０の搬送方向となる。 The firing sheath 10 shown here is composed of a sheath body 11, a ceramic tube 12 and a tube support 13. The sheath body 11 is made of a nickel net, and has a rectangular bottom plate portion 2 and a rising portion 4 connected to the peripheral portion thereof. On the back surface of the sheath body 11, four ceramic pipes 12 are supported by a pipe support 13 made of nickel net. The tube support 13 is fixed from the top of the tube 12 to the back surface of the bottom plate 2 of the sheath body 11 to secure the tube 12 to the sheath body 11. The four tubes 12 are arranged in parallel at substantially equal intervals. The longitudinal direction of the tube 12 is the conveying direction of the sheath for firing 10.

管支持体１３は、複数箇所において、さや本体とスポット溶接することによりさや本体に固定されている。１４はその溶接部を示す。管支持体１３は、管１２を覆う部分は、底板２との間に、管１２を出し入れできる程度の略円筒形の筒部を有するように成形されている。そして、その円筒形の筒部は、管１２の長さより若干長くし、その筒部の両端部を筒部の開口を狭くするように変形させることにより、管１２の脱落を防止するようにするのがよい。このような構成によれば、管１２が破損した場合には容易に交換することができる。 The pipe support 13 is fixed to the sheath main body by spot welding with the sheath main body at a plurality of locations. Reference numeral 14 denotes the welded portion. The portion of the tube support 13 that covers the tube 12 is formed so as to have a substantially cylindrical tube portion with which the tube 12 can be inserted and removed between the tube support 13 and the bottom plate 2. The cylindrical cylindrical portion is slightly longer than the length of the tube 12, and both ends of the cylindrical portion are deformed so as to narrow the opening of the cylindrical portion, thereby preventing the tube 12 from falling off. It is good. According to such a structure, when the pipe | tube 12 is damaged, it can replace | exchange easily.

さや本体１１は、１枚の長方形のニッケル網１から成形したものである。ニッケル網１は、その中央の長方形の底板部２、その４辺に折り目部３を介して連なっている前面部４ａ、後面部４ｂ、右側面部４ｃ、および左側面部４ｄを有する。ニッケル網１は、さらに、前面部４ａと折り目部７を介して連なり、かつ右側面部４ｃとは切り込み５により分離されている連結片８ａを有する。連結片８ａと同様に、右側面部４ｃ、後面部４ｂ、および左側面部４ｄは、それぞれ連結片８ｃ、８ｂ、および８ｄを有する。 The sheath body 11 is formed from one rectangular nickel net 1. The nickel net 1 has a rectangular bottom plate portion 2 in the center, a front surface portion 4a, a rear surface portion 4b, a right surface portion 4c, and a left surface portion 4d that are connected to the four sides via a crease portion 3. The nickel net 1 further includes a connecting piece 8a that is continuous with the front surface portion 4a and the fold portion 7 and separated from the right side surface portion 4c by a notch 5. Similarly to the connecting piece 8a, the right side surface portion 4c, the rear surface portion 4b, and the left side surface portion 4d have connecting pieces 8c, 8b, and 8d, respectively.

このニッケル網１からさや本体１１を組み立てるには、折り目部３が内側となるように前面部４ａ、後面部４ｂ、右側面部４ｃ、および左側面部４ｄを底板部２から起こすとともに、折り目部６が外側となるように前面部４ａ、後面部４ｂ、右側面部４ｃ、および左側面部４ｄの縁側を外側に折り曲げて各部片を二重にする。次に、連結片８ａ、８ｂ、８ｃ、および８ｄを折り目部７で内側に折り曲げることによりこれら連結片を、それぞれ隣接する右側面部４ｃ、左側面部４ｄ、後面部４ｂ、および前面部４ａの外側に沿わせ、スポット溶接により接続する。９はその溶接部を示す。こうして図１に示すようなさや本体１１が形成される。
さや本体１１に管支持体１３により管１２を取り付けるのは、上記のようにさや本体を組み立てる前の段階で、ニッケル網１の底板部２の裏面に取り付けるのが好ましい。 To assemble the sheath body 11 from the nickel net 1, the front surface portion 4a, the rear surface portion 4b, the right side surface portion 4c, and the left side surface portion 4d are raised from the bottom plate portion 2 so that the fold portion 3 is inside, and the fold portion 6 is The edge portions of the front surface portion 4a, the rear surface portion 4b, the right side surface portion 4c, and the left side surface portion 4d are bent outward so as to be on the outer side, and each piece is doubled. Next, the connecting pieces 8a, 8b, 8c, and 8d are folded inward at the crease portion 7 so that the connecting pieces are placed outside the adjacent right side surface portion 4c, left side surface portion 4d, rear surface portion 4b, and front surface portion 4a, respectively. Connect by spot welding. 9 shows the welded portion. Thus, the sheath body 11 as shown in FIG. 1 is formed.
The pipe 12 is attached to the sheath main body 11 by the pipe support 13 at the stage before the sheath main body is assembled as described above, and is preferably attached to the back surface of the bottom plate portion 2 of the nickel net 1.

図４は他の実施の形態における焼成用さや１０Ａを示す。さや本体１１は前記の例と同じであり、管を支持する管支持体を１３Ａと１３Ｂの２つに分け、それぞれの支持体により２本の管１２を支持するように構成している。管支持体は、それぞれ１本ずつ支持するようにしてもよい。その場合は、管支持体に利用するニッケル網の量は、上記に比べて少なくできる利点がある。 FIG. 4 shows a sheath sheath 10A according to another embodiment. The sheath body 11 is the same as the above example, and the tube support body that supports the tube is divided into two parts 13A and 13B, and the two tubes 12 are supported by each support body. You may make it support one pipe | tube support body one each. In that case, there is an advantage that the amount of nickel net used for the tube support can be reduced as compared with the above.

ここに用いるニッケル網は、焼成するセラミックグリーンチップのサイズにより適宜選択する。例えば、チップのサイズが１．６×０．８ｍｍ（１６０８）の場合、直径０．９４ｍｍのニッケル線を３０メッシュに編んだ網を用いるのが適当である。また、さらにサイズの小さなチップには、例えば、０．２５ｍｍのニッケル線を４０メッシュに編んだ網や直径０．１２２ｍｍのニッケル線を８０メッシュに編んだ網を用いる。また、網を構成するニッケル線は、ニッケル製として汎用されているものでよく、ニッケルを主体とする合金も用いうる。好ましくは、純ニッケル線である。 The nickel net used here is appropriately selected depending on the size of the ceramic green chip to be fired. For example, when the size of the chip is 1.6 × 0.8 mm (1608), it is appropriate to use a net in which nickel wire having a diameter of 0.94 mm is knitted to 30 mesh. Further, for a chip having a smaller size, for example, a net obtained by knitting a 0.25 mm nickel wire to 40 mesh or a net obtained by knitting a nickel wire having a diameter of 0.122 mm to 80 mesh is used. Further, the nickel wire constituting the net may be widely used as nickel, and an alloy mainly composed of nickel can also be used. Preferably, it is a pure nickel wire.

上記の実施の形態においては、さや本体は長方形とした。例えば、長さ（進行方向の長さ）が７５ｍｍ、幅１５０ｍｍの長方形である。また、セラミックの管は、例えば、外径４ｍｍ、内径１ｍｍである。さや本体の形状は、長方形に限らず、正方形、台形、正三角形、円形など種々の形状をとりうる。ただし、搬送用ローラの進行方向を向いた中心線に対して左右対称であることが好ましい。 In the above embodiment, the sheath body is rectangular. For example, it is a rectangle having a length (length in the traveling direction) of 75 mm and a width of 150 mm. The ceramic tube has, for example, an outer diameter of 4 mm and an inner diameter of 1 mm. The shape of the sheath is not limited to a rectangle, and may take various shapes such as a square, a trapezoid, a regular triangle, and a circle. However, it is preferable that it is bilaterally symmetrical with respect to the center line that faces the traveling direction of the conveying roller.

次に、この焼成用さやを使用するセラミックコンデンサの製造工程における焼成工程を図５を参照して説明する。
図５は連続焼成炉を用いた焼成装置の概略構成を示している。この焼成装置２０は、搬入部２１、焼成炉３０、および搬出部４０を有し、これらを貫通するように搬送用ローラが設けられている。搬送用ローラは、搬入部２１に設けられたローラ５１、搬入部２１の末端から搬出部４１の始端にかけて設けられたローラ５２、および搬出部４１に設けられたローラ５３からなる。ローラ５１および５３は間欠的に駆動され、ローラ５２は連続的に低速で駆動される。 Next, a firing process in the manufacturing process of the ceramic capacitor using the firing sheath will be described with reference to FIG.
FIG. 5 shows a schematic configuration of a firing apparatus using a continuous firing furnace. The baking apparatus 20 includes a carry-in unit 21, a baking furnace 30, and a carry-out unit 40, and a conveyance roller is provided so as to penetrate these. The conveyance roller includes a roller 51 provided in the carry-in unit 21, a roller 52 provided from the end of the carry-in unit 21 to the start end of the carry-out unit 41, and a roller 53 provided in the carry-out unit 41. The rollers 51 and 53 are intermittently driven, and the roller 52 is continuously driven at a low speed.

搬入部２１には、シャッター２２および２３が設けられている。シャッター２３を閉じ、シャッター２２を開けた状態で、ローラ５１により、焼成すべき脱脂済みグリーンチップを収容した焼成用さや１０を、両シャッターで区画された室２４内に、早送りで導入する。次いで、シャッター２２が閉じる。この室２４内にはガス導入管Ｇ１から窒素ガスが導入され、置換される空気はガス排出管Ｇ０１より排出される。所定時間後に室内が窒素ガスに置換され、シャッター２３が開き、焼成用さや１０は、ローラ５１により早送りで、次の室２５に送られる。このときシャッター２３は閉じる。焼成用さやは、続いてローラ５２へ移動される。ガス導入管Ｇ２は、窒素と水素の混合ガスを導入する。これらローラ５１の駆動、並びにシャッター２２および２３の開閉は、図示しないセンサーおよびタイマーを含む制御装置により制御される。 The carry-in unit 21 is provided with shutters 22 and 23. With the shutter 23 closed and the shutter 22 opened, the firing sheath 10 containing the degreased green chip to be fired is introduced by the roller 51 into the chamber 24 partitioned by both shutters by fast-forwarding. Next, the shutter 22 is closed. Nitrogen gas is introduced into the chamber 24 from the gas introduction pipe G1, and the air to be replaced is discharged from the gas discharge pipe G01. After a predetermined time, the interior of the room is replaced with nitrogen gas, the shutter 23 is opened, and the firing sheath 10 is fast-forwarded by the roller 51 and sent to the next room 25. At this time, the shutter 23 is closed. The firing sheath is then moved to the roller 52. The gas introduction pipe G2 introduces a mixed gas of nitrogen and hydrogen. The driving of the rollers 51 and the opening and closing of the shutters 22 and 23 are controlled by a control device including a sensor and a timer (not shown).

焼成用さや１０は、ローラ５２に移されると、焼成炉３０内を低速度で移動する。焼成炉３０は、さやを通過させる開口を有する隔壁３３、３４、および３５により４つの室３１ａ、３１ｂ、３２ａ、および３２ｂに区画されている。焼成炉３０内には、搬送用ローラの上下に図示しない電熱ヒータが設置されている。
焼成室３１を構成する室３１ａおよび３１ｂには、ガス導入管Ｇ３およびＧ４により、窒素と水素の混合ガスが供給され、弁付き管Ｇ０２およびＧ０４により外部へ排出される。一方、再酸化室を構成する室３２ａおよび３２ｂには、ガス導入管Ｇ５およびＧ６により、窒素ガスが導入され、弁付き管Ｇ０４およびＧ０５により外部へ排出される。 When the sheath sheath 10 is transferred to the roller 52, it moves in the firing furnace 30 at a low speed. The firing furnace 30 is divided into four chambers 31a, 31b, 32a, and 32b by partition walls 33, 34, and 35 having openings through which the sheath passes. In the firing furnace 30, electric heaters (not shown) are installed above and below the conveying rollers.
The chambers 31a and 31b constituting the firing chamber 31 are supplied with a mixed gas of nitrogen and hydrogen through gas introduction pipes G3 and G4, and discharged to the outside through valved pipes G02 and G04. On the other hand, nitrogen gas is introduced into the chambers 32a and 32b constituting the reoxidation chamber through the gas introduction pipes G5 and G6 and discharged to the outside through the valved pipes G04 and G05.

隔壁３４の前後には、さや１０に向けて上方から窒素ガスを吹きつけるノズル３６と、さや１０に向けて下方から窒素ガスを吹きつけるノズル３７とを設けることにより、ガスカーテンを形成するようにしている。同様のノズル３８と３９とを隔壁３５の前後に設けている。このようにガスカーテンを設けることにより、焼成用さやは、異なった雰囲気の室間を、雰囲気を変更させることなく移動することができる。 A gas curtain is formed by providing a nozzle 36 for blowing nitrogen gas from above toward the sheath 10 and a nozzle 37 for blowing nitrogen gas from below toward the sheath 10 before and after the partition wall 34. ing. Similar nozzles 38 and 39 are provided before and after the partition wall 35. By providing the gas curtain in this way, the scab for firing can be moved between chambers having different atmospheres without changing the atmosphere.

焼成炉３０を通過した焼成用さや１０は、次に、搬出部４０のシャッター４２の手前に達すると、シャッター４２が開き、ローラ５３が早送りで焼成用さやをシャッター４３の手前まで移動させる。ここでローラ５３が止まり、シャッター４２が閉まる。数秒後シャッター４３が開き、ローラ５３が早送りで焼成用さやを外部へ搬出する。これらシャッターの開閉およびローラ５３の駆動は、図示しないセンサーおよびタイマーを含む制御装置により制御される。Ｇ７およびＧ８は、窒素ガスを導入する管であり、Ｇ０６はガス排出管である。 Next, when the burning sheath 10 that has passed through the firing furnace 30 reaches the front of the shutter 42 of the carry-out unit 40, the shutter 42 is opened, and the roller 53 is moved forward to move the firing sheath to the front of the shutter 43. Here, the roller 53 stops and the shutter 42 closes. After a few seconds, the shutter 43 is opened, and the roller 53 carries out the sheath for firing to the outside by fast-forwarding. The opening / closing of the shutter and the driving of the roller 53 are controlled by a control device including a sensor and a timer (not shown). G7 and G8 are pipes for introducing nitrogen gas, and G06 is a gas discharge pipe.

図５では、焼成用さや１０は、２本の搬送用ローラ上に載るように示されているが、実際にはローラは図より密に配されており、４本程度の搬送用ローラに載るように設計されている。 In FIG. 5, the firing sheath 10 is shown to be placed on two transport rollers, but in reality, the rollers are more densely arranged than the figure, and are placed on about four transport rollers. Designed to be

上記の実施の形態では、焼成炉は、積層セラミックコンデンサのグリーンチップを焼成するための焼成室と再酸化室とを備える装置により説明した。
本発明の焼成用さやを用いると、焼成炉において、下部から炉内へガスを導入することができる。したがって、焼成対象物にガスが直接触れるから、ガスカーテンと相俟って炉内の雰囲気作りが良好となる。従来この種の搬送用ローラに載せていたセラミック製の板をさやに用いると、炉内の雰囲気作りが難しい上に、熱ショックによる破損が生じるため、焼成炉における昇温速度は５〜１０℃／分が限界であった。本発明のさやを用いると、５０℃／分程度の昇温速度が可能であり、焼成時間を大幅に短縮することができる。また、炉内の雰囲気を維持するために導入するガスの量を１／３程度削減することができる。
本発明の焼成用さやは、上記の例に限らず、特にサイズの小さなセラミック電子部品を異なる雰囲気の隣接する２つの炉を連続して通過させるセラミック電子部品の製造に適用できることはいうまでもない。 In the above-described embodiment, the firing furnace has been described by the apparatus including the firing chamber and the reoxidation chamber for firing the green chip of the multilayer ceramic capacitor.
When the sheath sheath of the present invention is used, gas can be introduced into the furnace from the bottom in the firing furnace. Therefore, since the gas directly touches the object to be fired, the atmosphere creation in the furnace is improved in combination with the gas curtain. Conventionally, when a ceramic plate placed on this type of conveying roller is used as a sheath, it is difficult to create an atmosphere in the furnace and damage due to a heat shock occurs. / Min was the limit. When the sheath of the present invention is used, a heating rate of about 50 ° C./min is possible, and the firing time can be greatly shortened. Further, the amount of gas introduced to maintain the atmosphere in the furnace can be reduced by about 1/3.
The firing sheath of the present invention is not limited to the above example, and it is needless to say that the present invention can be applied to the manufacture of ceramic electronic components in which small-sized ceramic electronic components are successively passed through two adjacent furnaces in different atmospheres. .

本発明は、特に、サイズの小さなセラミック電子部品を異なる雰囲気の隣接する２つの炉を連続して通過させるセラミック電子部品の製造に有用である。 The present invention is particularly useful for manufacturing ceramic electronic components in which small-sized ceramic electronic components are successively passed through two adjacent furnaces having different atmospheres.

２底板
４立ち上がり部
８ａ連結片
１０焼成用さや
１１さや本体
１２セラミック製管
１３管支持体
３０焼成装置
３１焼成室
３２再酸化室
３３、３４、３５、３６隔壁
３６、３７ガスカーテン用ノズル
５１、５２、５３搬送用ローラ 2 Bottom plate 4 Rising part 8a Connecting piece 10 Sheath sheath 11 Saddle body 12 Ceramic tube 13 Tube support 30 Firing device 31 Firing chamber 32 Reoxidation chamber 33, 34, 35, 36 Partition 36, 37 Gas curtain nozzle 51, 52, 53 Transport rollers

Claims

ニッケル網からなり、底板とその全周に設けられた立ち上がり部とを有するさや本体、前記さや本体の底面に互いに平行に配置された複数のセラミック製の棒または管、および前記棒または管を覆うとともに前記さや本体の底面に溶接されて前記棒または管をさや本体に支持させるニッケル網を備えることを特徴とする焼成用さや。 A sheath body made of nickel net and having a bottom plate and a rising portion provided on the entire circumference thereof, a plurality of ceramic rods or pipes arranged parallel to each other on the bottom surface of the sheath body, and covering the rods or tubes A firing sheath characterized by comprising a nickel mesh welded to the bottom surface of the sheath body to support the rod or tube on the sheath body.

前記立ち上がり部が、前記底板の周縁部と一体に連なる複数の立ち上がり片、および前記立ち上がり片の端部に一体に連なる連結片を有し、１つの立ち上がり片の連結片が隣接する連結片の側面に溶接により一体に連結されている、請求項１記載の焼成用さや。 The rising portion has a plurality of rising pieces that are integrally connected to the peripheral edge of the bottom plate, and a connecting piece that is integrally connected to an end portion of the rising piece, and one connecting piece of the rising pieces is adjacent to the side surface of the connecting piece. The sheathing sheath according to claim 1, which is integrally connected to each other by welding.

前記立ち上がり部が、ニッケル網の折り曲げにより二重になっている請求項１記載の焼成用さや。 The scabbard according to claim 1, wherein the rising portion is doubled by bending a nickel net.

第１の炉、第１の炉とは異なる雰囲気の第２の炉、第１の炉と第２の炉との間にあり、焼成用さやの通過する開口を有する隔壁、前記焼成用さやを搬送して第１の炉から第２の炉を通過させる搬送用ローラ、および前記隔壁の前後において前記焼成用さやの上方および下方からガスを吹きつけてガスカーテンを形成するガス噴射装置を備える焼成装置によりセラミック電子部品を焼成する方法であって、請求項１〜３のいずれか１項に記載の焼成用さやにセラミック電子部品のグリーンチップを収容し、前記焼成用さやの前記棒または管の長手方向を進行方向として前記搬送用ローラ上に載せて、前記セラミック電子部品を焼成することを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。 A first furnace, a second furnace having an atmosphere different from that of the first furnace, a partition between the first furnace and the second furnace, and having an opening through which the sheath for sheathing passes, the sheath for firing A firing roller comprising a transport roller that transports the first furnace through the second furnace, and a gas injection device that blows gas from above and below the firing sheath before and after the partition to form a gas curtain. A method of firing a ceramic electronic component using an apparatus, wherein the green chip of the ceramic electronic component is accommodated in the firing sheath according to any one of claims 1 to 3, and the rod or tube of the firing sheath is accommodated. A method of manufacturing a ceramic electronic component, comprising placing the ceramic electronic component on a conveying roller with a longitudinal direction as a traveling direction, and firing the ceramic electronic component.