JP2011110443A - 液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 - Google Patents
液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011110443A JP2011110443A JP2009266087A JP2009266087A JP2011110443A JP 2011110443 A JP2011110443 A JP 2011110443A JP 2009266087 A JP2009266087 A JP 2009266087A JP 2009266087 A JP2009266087 A JP 2009266087A JP 2011110443 A JP2011110443 A JP 2011110443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- landing
- nozzle
- amount
- droplet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【課題】複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる。
【解決手段】ワークW上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、1以上の吐出ノズル21により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル21に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の1の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル21を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド1の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル21を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。
【選択図】図7
【解決手段】ワークW上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、1以上の吐出ノズル21により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル21に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の1の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル21を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド1の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル21を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。
【選択図】図7
Description
本発明は、例えば、液晶表示装置のカラーフィルターや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルに対し、適正駆動電圧を設定する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置に関するものである。
従来、この種の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法として、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、吐出した液滴の各吐出量を測定する吐出量測定工程と、各吐出ノズルの吐出量が所定の適正量に近づくように、4種の適正駆動電圧から1の適正駆動電圧を各吐出ノズルに割り付けるノズル割付工程と、を備えたものが知られている(特許文献1参照)。この駆動電圧設定方法では、吐出量を基準としてノズル割り付けを行うことで、複数の吐出ノズルの各吐出量をほぼ均一化することができる。
ところで、液滴吐出ヘッドを用いる液滴吐出装置では、複数の着弾領域が画成されたワークを描画対象とし、ワークの各着弾領域に対し、対応する特定の1以上の吐出ノズルから液滴を吐出して描画処理を実施する。かかる際、各着弾領域に吐出着弾する液滴の着弾量を、複数の着弾領域の相互間で均一化することが求められている。しかしながら、上記のような方法では、吐出量個々を基準としているため、着弾領域単位では着弾量にバラツキが生じてしまい、精度良く均一化することができないという問題があった。例えば、着弾領域に対応する1以上の吐出ノズルの各吐出量が、平均吐出量よりわずかに少ない場合、1以上の吐出ノズルの吐出量を合わせた着弾量では、個々の誤差が累積し大きな誤差になってしまう。これが着弾量におけるバラツキの原因となってしまう。
本発明は、複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置を提供することを課題としている。
本発明の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法は、ワーク上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、1以上の吐出ノズルにより液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の1の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズルを適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法であって、グループ毎の適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズルを複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量が、相互間で均一になるように、各適正駆動電圧のグループに対するノズル割り付けを行うことにより、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる。なお、各着弾領域の着弾量として、各着弾領域に対応する上記1以上の吐出ノズルの平均吐出量や合計吐出量を用いることが好ましい。
この場合、適正電圧設定工程は、標準駆動電圧により複数の吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、吐出工程により吐出された複数の吐出ノズルの各吐出量を測定する吐出量測定工程と、測定した各吐出量に基づき、吐出量の大小を加味して、複数のグループに複数の吐出ノズルを割り付ける仮割付工程と、割り付けた複数の吐出ノズルの各吐出量に基づいて、グループ毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程と、グループ毎の平均吐出量に基づいて、グループ毎の適正駆動電圧を設定する実適正電圧設定工程と、を有し、ノズル割付工程は、複数の吐出ノズルをグループ毎の適正駆動電圧で駆動したときの着弾領域毎の着弾量に基づいて、当該着弾量が複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、複数のグループに対する吐出ノズルの割り付けを入れ替えるノズル入替工程を有することが好ましい。
この構成によれば、容易で且つ大まかな吐出ノズルの割り付け(仮割り付け工程)を行った後、吐出ノズルの所属グループを入れ替えて本割り付け(ノズル入替工程)を行うことにより、各着弾量を均一にするノズル割り付け(ノズル割付工程)を、容易に且つ効率良く実施することができる。
この場合、ノズル入替工程は、複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出する平均着弾量算出工程と、平均着弾量から最も離れた着弾量を有する着弾領域を、交換対象領域として抽出する対象領域抽出工程と、交換対象領域の着弾量に対し平均着弾量を超えて離れた着弾量を有する着弾領域を、被交換対象領域として抽出する被対象領域抽出工程と、交換対象領域の少なくとも1の吐出ノズルと被交換対象領域の少なくとも1の吐出ノズルとの、グループを交換するノズル交換工程と、を有することが好ましい。
この構成によれば、平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域の吐出ノズルと、当該着弾領域の着弾量から乖離した着弾量を有する着弾領域の吐出ノズルと、の所属グループを交換することで、着弾領域の着弾量を確実に均一化することができる。ゆえに、ノズル入替工程を容易に且つ効率良く実施することができる。
この場合、ノズル割付工程では、着弾量の所定の均一化が達成されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
この構成によれば、ノズル入替工程を繰り返し行うことで、着弾量をより均一にすることができる。
上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法において、ノズル割付工程は、ノズル入替工程の実施回数が、所定数に達したか否かを判断する回数判断工程を、更に有し、回数判断工程において、実施回数が所定数に達したと判定されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
この構成によれば、ノズル入替工程の実施回数が所定数に達したか否かを判断基準として、ノズル入替工程の反復動作を終了することにより、上記所定数に応じた特定の所要時間で反復動作を終了することができる。
上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法において、ノズル割付工程は、複数の着弾領域の着弾量におけるバラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を更に有し、バラツキ判断工程において、バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
この場合、バラツキ評価値は、複数の着弾領域の着弾量における標準偏差の3倍の値であることが好ましい。
これらの構成によれば、複数の着弾領域における着弾量のバラツキ評価値が許容範囲内であるか否かを判断基準として、ノズル入替工程の反復動作を終了することにより、複数の着弾領域の着弾量を、所定のバラツキ範囲内に確実に均一化することができる。
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドを駆動して、ワークに対し描画処理を実施する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドを制御する制御手段を備え、制御手段は、上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法により設定した適正駆動電圧に基づいて、液滴吐出ヘッドの駆動を制御することを特徴とする。
この構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法を用いることで、液滴吐出装置による製造品質を向上することができる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法を適用した液滴吐出ヘッドの吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、後述する液滴吐出装置に搭載する前の液滴吐出ヘッドの単体検査を行うものであり、1の液滴吐出ヘッドに対し、吐出の有無を判定する吐出検査をはじめ、飛行検査、飛行速度、吐出量測定等を実施する。また、検査シート上に液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して、複数の着弾ドットを形成すると共に、その各着弾ドットを撮像して、各吐出ノズルの吐出量を測定する。特に本吐出検査装置では、ワーク上の各着弾領域に対し均一に吐出着弾することができるよう、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルに対し適切な適正駆動電圧を設定する。そこで先ず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となる液滴吐出ヘッドについて説明する。
図1ないし図3に示すように、液滴吐出ヘッド1は、いわゆるピエゾ方式を採用したいわゆる2連のインクジェットヘッド(インクジェット方式の液滴吐出ヘッド1)であり、2連の接続針5を有する機能液導入部2と、機能液導入部2に連なる2連のヘッド基板3と、ヘッド基板3の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体4と、を備えている(図1(a)参照)。
機能液導入部2は、一対の接続針5を有しており、配管アダプタ(図示省略)を介して機能液供給ユニット56(図4参照)から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板3には、2連のコネクタ6,6が設けられており、各コネクタ6はフレキシブルフラットケーブル(図示省略)を介して吐出検査装置31の制御装置36(図5参照)に接続されている。そして、この制御装置36(後述するヘッドドライバー88)から出力された駆動電圧(駆動波形)が各コネクタ6を介して各圧電素子(ピエゾ素子)17に印加されることで、各吐出ノズル21から機能液が吐出される。なお、当該液滴吐出ヘッド1は、機能液として特殊なインクや発光性の樹脂液を吐出し、液晶表示装置のカラーフィルターや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するのに用いられる。
図2および図3に示すように、ヘッド本体4は、圧電素子17等で構成される2連のポンプ部11と、複数の吐出ノズル21が形成されたノズル面25を有するノズルプレート12と、を有している。各ポンプ部11は、吐出ノズル21の数に対応する圧電素子17を収容した機構部13と、機能液を貯留する貯留部14と、から構成されている。貯留部14は、圧電素子17の数に対応し、機能液を一時的に貯めるキャビティ15と、各キャビティ15に供給する機能液を溜めると共に上記の機能液導入部2に連通する共通室16と、から構成されている。機能液供給ユニット56から供給された機能液は、機能液導入部2を介して共通室16に流れ込む。そして、圧電素子17に電圧を印加して変形させることで、キャビティ15の体積変化を利用して共通室16からキャビティ15に機能液を導入すると共に、吐出ノズル21から機能液を吐出する。
ノズルプレート12は、キャビティ15に貯留された機能液を吐出する吐出ノズル21が多数形成されている。多数の吐出ノズル21は、相互に平行、且つ半ピッチ位置ズレして列設された第1ノズル列22aおよび第2ノズル列22bを構成しており、各ノズル列22は、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル21で構成されている(図1(b)参照)。この場合、180個の吐出ノズル21のうち、両外端に位置する各10個の吐出ノズル21は、無効吐出ノズル23であり、実際の描画には使用しない。そのため、吐出検査では、無効吐出ノズル23(計20個)を除く有効吐出ノズル24(計160個)によって吐出検査を実施する。
次に、図4を参照して、上記した液滴吐出ヘッド1の吐出性能を検査する吐出検査装置31について説明する。吐出検査装置31は、機台32と、機台32上に載置され、液滴吐出ヘッド1の吐出性能を検査するヘッド検査装置33と、同様に機台32上に載置され、液滴吐出ヘッド1の機能維持および回復を行うメンテナンス装置34と、を有しており、これら各部はチャンバー35内に収容されている。また、チャンバー35外には、制御装置36(図5参照)が備えられており、液滴吐出ヘッド1、ヘッド検査装置33およびメンテナンス装置34を統括的に制御する。吐出検査装置31は、液滴吐出ヘッド1を1つずつ検査すべく、メンテナンス装置34により液滴吐出ヘッド1の機能維持・回復を行いながら、ヘッド検査装置33により機能液を吐出して、液滴吐出ヘッド1の吐出性能を検査する。
メンテナンス装置34は、吐出ノズル21における機能液の増粘や目詰まりによる吐出不良を解消する吸引装置37と、吸引装置37と並ぶように配設され、液滴吐出ヘッド1のノズル面25を払拭するワイピング装置38と、を有している。
吸引装置37は、液滴吐出ヘッド1のノズル面25に密接すると共に、R・G・B色に対応した3つのキャップ41と、各キャップ41を昇降させて、液滴吐出ヘッド1に対し離接するキャップ昇降機構40(図5参照)と、吸引チューブ(図示省略)を介して3つのキャップ41に接続されたイジェクター(図示省略)と、を有している。吸引装置37は、各キャップ41を液滴吐出ヘッド1のノズル面25に密接させ、イジェクターにより吸引を行うことで、吐出ノズル21の目詰まり等による吐出不良を解消する。
ワイピング装置38は、ノズル面25に当接するワイピングシート42と、ワイピングシート42を繰り出すと共に巻き取るワイプシート送り機構43(図5参照)と、を有している。ワイピング装置38は、ワイピングシート42を吐出ノズル21のノズル面25に押し当て、吐出ノズル21を第1Y軸テーブル52によりY軸方向に前後させることで、吸引処理後の液滴吐出ヘッド1のノズル面25を払拭する。
ヘッド検査装置33は、単一の液滴吐出ヘッド1を工具レスでセットするヘッドホルダ51と、ヘッドホルダ51を支持し、ヘッドホルダ51を介して液滴吐出ヘッド1をY軸方向に移動させる第1Y軸テーブル52と、後述する検査シート71上に形成された着弾ドットを撮像する撮像カメラ53と、撮像カメラ53を支持し、Y軸方向に移動させる第2Y軸テーブル54と、第1Y軸テーブル52を支持し、第1Y軸テーブル52およびヘッドホルダ51を介して液滴吐出ヘッド1をX軸方向に移動させると共に、第2Y軸テーブル54を支持し、第2Y軸テーブル54を介して撮像カメラ53をX軸方向に移動させるX軸テーブル55と、供給チューブ(図示省略)を介して液滴吐出ヘッド1に機能液を供給する機能液供給ユニット56と、吐出された機能液の飛行曲がりや飛行速度を検査する飛行検査ユニット57と、吐出された機能液の吐出重量を測定する重量測定ユニット58と、検査シート71を有する被着弾ユニット59と、を備えている。機能液供給ユニット56は、X軸テーブル55に付設され、飛行検査ユニット57、重量測定ユニット58および被着弾ユニット59は、X軸テーブル55によりX軸方向に移動する液滴吐出ヘッド1の移動軌跡の鉛直方向下方に臨むよう、機台32上に並べて配設されている。
ヘッド検査装置33により液滴吐出ヘッド1の吐出性能を検査する場合は、機能液供給ユニット56から液滴吐出ヘッド1に機能液を供給しつつ、X軸テーブル55および第1Y軸テーブル52により、液滴吐出ヘッド1をX軸方向およびY軸方向に移動させ、飛行検査ユニット57、重量測定ユニット58および被着弾ユニット59にそれぞれ臨ませて、各検査および検査シート71への検査吐出を行う。また、X軸テーブル55および第2Y軸テーブル54により、撮像カメラ53をX軸方向およびY軸方向に移動させて、被着弾ユニット59の検査シート71上に形成した各着弾ドットを撮像する。
機能液供給ユニット56は、R・G・B色の機能液をそれぞれ貯留する3つの機能液タンク61を有しており、各機能液タンク61は、液滴吐出ヘッド1より上方に配設され、セットした液滴吐出ヘッド1に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、自然水頭により各機能液タンク61から各供給チューブを介して液滴吐出ヘッド1へ供給される。
飛行検査ユニット57は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部65と、照明部65に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ66と、液滴吐出ヘッド1から吐出された機能液を受ける機能液受け部67と、を備えている。飛行速度の測定や飛行曲がりの検査を行う場合、照明部65と顕微鏡カメラ66を駆動させた状態で機能液を吐出する。吐出された機能液は、照明部65と顕微鏡カメラ66との間のパルスレーザを遮って、機能液受け部67に着弾する。そして、飛行検査ユニット57により高速度撮影された撮影結果に基づいて、飛行速度が計測されると共に、飛行曲がりがあるか否か、また吐出抜けがあるか否かを検査する。
重量測定ユニット58は、液滴吐出ヘッド1から吐出された機能液を受ける容器62と、容器62内の機能液の重量を測定する電子天秤63と、を備えている。重量測定ユニット58により機能液の吐出重量を測定する場合は、ノズル列22単位で数万発の機能液を吐出し、電子天秤63によりその機能液の吐出重量を測定する。
被着弾ユニット59は、液滴吐出ヘッド1からの検査吐出を受ける長尺状の検査シート71と、検査シート71が載置される測定ステージ72と、検査シート71の検査済み部分を測定ステージ72から送り出し、かつ未使用部分を測定ステージ72に送り込むように検査シート71を送る検査シート送り機構73と、を備えている。被着弾ユニット59は、検査吐出により検査シート71上に形成された着弾ドットが、撮像カメラ53によって撮像されると、その撮像済み部分を検査シート送り機構73により送り、未使用部分と差し替えることで、未使用部分にて検査吐出を受けることになる。なお、測定ステージ72は、吸着機構(図示省略)を有し、検査シート71を吸着セットすることが好ましい。
長尺状の検査シート71は、吐出ノズル21から吐出された機能液を吸収する材質で形成されており、例えば、フィルム材や紙等で形成されている。吐出ノズル21から吐出された機能液が検査シート71上に着弾すると、機能液が検査シート71に吸収されて、円形の着弾ドットが描画(形成)される。なお、本実施形態では、検査シート71として、機能液を吸収する材質のものを用いたが、機能液を吸収せず、立体形状(ドーム状)の着弾ドットが形成されるものを使用しても良い。
図5に示すように、制御装置36は、各種ドライバーを有する駆動制御部81と、各部に接続され、吐出検査装置31全体の統括制御を行う統括制御部82と、を備えている。駆動制御部81には、液滴吐出ドライバー83と、カメラドライバー84と、XY移動ドライバー85と、ワイプシート送りドライバー86と、キャップドライバー87と、を備えている。カメラドライバー84は、撮像カメラ53を駆動して着弾ドットの撮像を行う。XY移動ドライバー85は、X軸テーブル55、第1Y軸テーブル52および第2Y軸テーブル54を駆動して、液滴吐出ヘッド1および撮像カメラ53のXY方向移動を行う。ワイプシート送りドライバー86は、ワイピング装置38のワイプシート送り機構43を駆動して、ワイピングシート42のシート送りを行う。キャップドライバー87は、吸引装置37のキャップ昇降機構40を駆動して、キャップ41をノズル面25に対して離接させる。
液滴吐出ドライバー83は、ノズル列22毎に4つのヘッドドライバー88を有し、液滴吐出ヘッド1の各吐出ノズル21を駆動して液滴を吐出する。各ヘッドドライバー88は、それぞれDAコンバーター(Digital to Analog Converter)(図示省略)を有し、それぞれ異なる駆動電圧(駆動波形)を出力可能に構成されている。すなわち、各ノズル列22の各圧電素子17に対し、各ヘッドドライバー88からの4種の駆動電圧を選択的に入力することで、各吐出ノズル21に各駆動電圧を選択的に印加することができる。以下、共通のヘッドドライバー88から駆動電圧が印加される1以上の吐出ノズル21のグループを「COM」と呼称し、4つのヘッドドライバー88のCOMをそれぞれ、「COM1」、「COM2」、「COM3」、「COM4」と呼称する。複数の吐出ノズル21に対し、各COMを割り付けて駆動することで、液滴吐出(液滴着弾)を実施する。
統括制御部82には、各手段を接続するためのインタフェース91と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるRAM92と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するROM93と、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク94と、ROM93やハードディスク94に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するCPU95と、これらを互いに接続するバス96と、が備えられている。なお、後述する吐出量データ、着弾量データおよび評価記録データは、ハードディスク94内に記憶される。
そして、統括制御部82は、各部からの各種データを、インタフェース91を介して入力すると共に、ハードディスク94に記憶された(または、CD−ROMドライブ等により順次読み出される)プログラムに従ってCPU95に演算処理させ、その処理結果を、駆動制御部81(各種ドライバ)を介して各部に出力する。これにより、吐出検査装置31全体が制御され、各種処理が行われる。
ここで図6を参照して、吐出検査装置31における液滴吐出ヘッド1の吐出検査動作および適正電圧決定動作について説明する。図6に示すように、吐出検査装置31では、液滴吐出ヘッド1に対する吐出検査動作(S1〜S8)を実施した後、吐出性能検査で得られたデータ(吐出量データ)に基づいて、各吐出ノズル21の適正駆動電圧を設定する適正電圧設定動作(S9〜S14)を実施する。まず、吐出検査動作について説明する。なお、この吐出検査動作は、液滴吐出ヘッド1が、ヘッドホルダ51に予めセットされている状態にて行われるものとする。
図6に示すように、吐出検査動作において、まず、統括制御部82は、液滴吐出ヘッド1、および液滴吐出ヘッド1に接続した供給チューブ内に機能液を充填する初期充填工程を実施する(S1)。すなわち、X軸テーブル55により、液滴吐出ヘッド1を吸引装置37に臨ませて、吸引装置37により液滴吐出ヘッド1を吸引し、機能液を充填する。その後、液滴吐出ヘッド1を駆動して、ウォームアップ(液滴吐出ヘッド1の温度上昇)を実施すると共に、液滴吐出ヘッド1をワイピング装置38に臨ませて、ワイピング装置38によりノズル面25を拭き取って初期充填を終了する。
初期充填が終了したら、トリートメントフラッシング工程を実施する(S2)。すなわち、液滴吐出ヘッド1を重量測定ユニット58に臨ませて、予備吐出を実施する。これにより、クリーニング後に、機能液が一定量捨て吐出されるため、一定量吐出した状態から検査を行うことができる。例えば、クリーニング後の初期段階では、異常吐出が発現せず、一定量吐出すると異常吐出が発現する場合があり、トリートメントフラッシングを実施することで、このような検査不備を防止することができる。
次に、液滴吐出ヘッド1を飛行検査ユニット57に臨ませて、各有効吐出ノズル24の飛行速度の測定工程を実施する(S3)。吐出された機能液滴を、飛行検査ユニット57により高速度撮影し、その撮影結果に基づいて、飛行速度を計測する。かかる際、飛行曲がり、吐出抜け、および異常吐出の検査も同時に行い、これらの検査により液滴吐出ヘッド1が不良と判断された場合、本動作(吐出検査動作および適正電圧設定動作)を終了する。
その後、再度、液滴吐出ヘッド1を重量測定ユニット58に臨ませて、吐出重量の重量測定工程を実施する(S4)。重量測定工程では、液滴吐出ヘッド1からノズル列22単位で重量測定ユニット58に液滴吐出を実施し、ノズル列22単位での吐出重量を測定する。この測定結果に基づいて、ノズル列22単位での、基準の適正駆動電圧(標準駆動電圧)を決定する。この基準の適正駆動電圧は、検査吐出の際に用いる駆動電圧であると共に、後述するCOM毎の適正駆動電圧を決定する際に、基準となる駆動電圧である。具体的な決定方法としては、目標吐出重量(1ノズル列22当りの目標吐出重量)を吐出するための、およその電圧値があり、各ノズル列22において、その電圧値に前後する2つの電圧値で、重量測定を実施する。その後、当該測定結果(2つの電圧値での各吐出重量)に基づいて、電圧値と1ノズル列22当りの吐出重量との一次関数を求め、目標吐出重量をその一次関数に代入することで、目標吐出重量に対する電圧値を算出する。ここで求めた電圧値を基準の適正駆動電圧として決定する。
次に、液滴吐出ヘッド1を被着弾ユニット59に臨ませて、被着弾ユニット59の検査シート71に対し検査吐出を実施することで、ノズル列22毎の着弾ドット列を形成するドット列形成工程(吐出工程)を実施する(S5)。ドット列形成工程では、検査吐出パターンに基づいて、検査シート71上に各着弾ドット列を形成する。検査吐出パターンは、各ノズル列22における各有効吐出ノズル24の吐出の有無を示すデータであり、ここでは検査吐出パターンとして、各ノズル列22において、複数の有効吐出ノズル24の検査吐出を間引いて行う検査吐出パターンを用いる。ここでは、検査吐出する有効吐出ノズル21を駆動吐出ノズルと呼称する。駆動吐出ノズルに対し各ヘッドドライバー88から基準の適正駆動電圧を印加して、液滴を吐出着弾する。なお、各駆動吐出ノズルからの検査吐出は、1回を複数ショット(例えば、4ショット)で構成し、各着弾ドットを複数ショットで構成する。
ノズル列22毎の着弾ドット列を形成したら、統括制御部82は、X軸テーブル55により、液滴吐出ヘッド1を退避しつつ、撮像カメラ53を被着弾ユニット59に臨ませて、各着弾ドットの面積を測定する面積測定工程を実施する(S6)。すなわち、検査シート71上に形成された着弾ドット列の各着弾ドットをそれぞれ、撮像カメラ53により撮像し、その撮像結果に基づいて、各着弾ドットの面積を測定する。
各着弾ドットの面積を測定したら、この測定結果に基づいて各駆動吐出ノズルの吐出量を算出する吐出量算出工程を実施する(S7)。具体的には、予め実験で得られた着弾ドットの面積と駆動吐出ノズルの吐出量との相関関係を表す回帰式に、各駆動吐出ノズルの面積を代入して、各駆動吐出ノズルの吐出量を算出する。これにより、基準の適正駆動電圧に対する各駆動吐出ノズルの吐出量から成る吐出量データを取得する。なお、各駆動吐出ノズルの吐出量を全体の平均値で正規化した各値を、吐出量データとして記憶する。なお、請求項にいう吐出量測定工程は、面積測定工程および吐出量算出工程により構成されている。
最後に、液滴吐出ヘッド1を吸引装置37に臨ませて、キャップ41により、液滴吐出ヘッド1をキャッピングするキャッピング工程を実施する(S8)。これにより、液滴吐出ヘッド1の保湿状態が維持され、吐出検査動作を終了する。
次に、適正電圧設定動作について説明する。適正電圧設定動作は、各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定するものであり、具体的には、吐出検査動作で得られた吐出量データに基づいて、COM毎の適正駆動電圧の設定と、各駆動吐出ノズルに対するCOMの割り付けとを行い、これにより各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定するものである。すなわち、各駆動吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の1の適正駆動電圧を設定することにより、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の駆動吐出ノズルを適正駆動電圧毎にグループ化して、各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定する。適正駆動電圧とは、描画処理の際に、各駆動吐出ノズルの圧電素子17に印加される駆動電圧である。
図6に示すように、適正電圧決定動作では、まず、統括制御部82は、取得した各ノズル列22の吐出量データに基づいて、各ノズル列22内の複数の駆動吐出ノズルを各COMに割り付ける仮割付工程を実施する(S9)。仮割付工程では、各駆動吐出ノズルの吐出量の大小によって、ノズル列22毎に複数の駆動吐出ノズルを各COMに割り付ける。例えば、1のノズル列22の駆動吐出ノズルの数を49個とした場合、吐出量の順位として上位12個の駆動吐出ノズルをCOM1とし、13番目から24番目の駆動吐出ノズルをCOM2、25番目から36番目までの駆動吐出ノズルをCOM3とし、残りの駆動吐出ノズルをCOM4とする。
次に、統括制御部82は、吐出量データに基づいて、ノズル列22毎の且つCOM毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程(S10)を実施する。すなわち、各COMにおいて、所属する駆動吐出ノズルの合計吐出量から、当該COMの駆動吐出ノズルの数を徐算する。これにより、ノズル列22毎の且つ仮割付したCOM毎の平均吐出量を算出する。
次に、算出したCOM毎の平均吐出量に基づいて、COM毎の電圧比率を算出する電圧比率算出工程(実適正電圧算出工程)を実施する(S11)。電圧比率は、各COM間の適正駆動電圧の比率であり、係数として各COMの適正駆動電圧を決定するものである。電圧比率算出工程では、まず、吐出量データから、ノズル列22毎の平均吐出量(以下、ノズル列平均吐出量)を算出する。次に、ノズル列22毎に、各COMの平均吐出量とノズル列平均吐出量との比率(以下、吐出量比率)をそれぞれ算出する。各COMの吐出量比率を算出したら、これに基づいて、各COMの電圧比率を算出する。すなわち、予め取得した吐出量比率と電圧比率との変換係数を用い、各COMの吐出量比率から各COMの電圧比率を算出する。なお、仮割付工程において、吐出量の大小によってノズルを割り付けたため、平均吐出量は、COM1が一番大きく、COM2、COM3、COM4の順に小さくなる値となる。そのため、電圧比率は、COM4が一番大きく、COM3、COM2、COM1の順に小さくなる値となる。また、電圧比率は、COM1を基準とするため、ノズル列22単位でCOM1の電圧比率で正規化した値を用いる。なお、請求項にいう適正電圧設定工程は、吐出検査動作、平均吐出量算出工程および電圧比率算出工程により構成されている。
次に着弾量データを取得する着弾量データ取得工程(S12)を実施する。液滴吐出ヘッド1は、その複数の駆動吐出ノズルを駆動して、複数の着弾領域が画成されたワークW(図8参照)に対し描画処理を実施するものであり、複数の駆動吐出ノズルのうち、特定の5つの駆動吐出ノズルから1の着弾領域に液滴を吐出する。すなわち、2つのノズル列22を合わせた全駆動吐出ノズルは、複数の着弾領域に割り当てられており、1つの着弾領域に対し、5つの駆動吐出ノズルが対応している。より具体的には、1つの着弾領域に対し、両ノズル列22を合わせた際のノズル列22方向に隣接する5つの駆動吐出ノズルが対応し、例えば第1ノズル列22aの2つの駆動吐出ノズルと第2ノズル列22bの3つの駆動吐出ノズルとが対応している。着弾量データは、各着弾領域に対応した5つの駆動吐出ノズルの各吐出量と、各着弾領域における5つの駆動吐出ノズルの着弾量(具体的には平均吐出量)とを記憶したデータである。
着弾量データ取得工程では、着弾領域毎に、対応する5つの駆動吐出ノズルの各吐出量と、当該5つの駆動吐出ノズルから吐出される着弾量と、を取得し、これらを着弾量データとして記憶する。厳密には、吐出量データから標準適正電圧に対する各吐出量を抽出し、当該各吐出量を、設定したCOM毎の電圧比率に応じた値だけ補正する。これにより、各COMの電圧比率で成る適正駆動電圧によって吐出した際の、各吐出量を取得する。また、この各吐出量を用いて、着弾領域毎の着弾量(平均吐出量)を算出する。なお、各吐出量として、両ノズル列22を含む全駆動吐出ノズルの平均吐出量で正規化した各値を、また各着弾量として、全着弾量の平均値で正規化した各値を、着弾量データとして取得する。
着弾量データを取得したら、電圧設定パターンを決定する電圧設定パターン決定工程(ノズル割付工程)(S13)を実施する。図7に示すように、電圧設定パターンとは、駆動吐出ノズルに対するCOMの割り付けと、各COMの適正駆動電圧との組み合せたものである。電圧設定パターン決定工程では、電圧設定パターンを変更するパターン変更工程(S21〜S29)と、変更した電圧設定パターンを評価するパターン評価工程(S30)とを繰り返し実施し、最も評価の高かった電圧設定パターンを本決定する。
パターン変更工程は、1回の実施において、対の駆動吐出ノズルのCOMを交換するノズル交換と、1以上のCOMの適正駆動電圧の変更するCOMの適正電圧変更とのいずれか実施して電圧設定パターンを変更する。パターン変更工程では、準備工程として、まず、着弾量データにおける各着弾領域のデータを並び替えるデータ並替工程(S21)を実施する。データ並替工程では、着弾量データ上において、各着弾領域のデータを、その着弾量で降順になるように付番し並び替える。
次に、複数の着弾領域から対象領域を選別する対象領域選出工程(S22)を実施する。対象領域選出工程では、複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出し(平均着弾量算出工程)、複数の着弾領域のうち、複数の着弾領域の平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域を対象領域(交換対象領域)として選出する(対象領域抽出工程)。
対象領域を選出したら、選出した対象領域に対するノズル交換の有効性を判定する第1有効性判定工程(S23)を実施する。第1有効性判定工程では、対象領域に対応する5つの駆動吐出ノズルの中に、ノズル交換が有効な駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。具体的には、まず、対象領域が、最大の着弾量を有する最大対象領域であるか、最小の着弾量を有する最小対象領域であるかを判定する。最大対象領域であれば、着弾量を小さくする必要があるが、最小の適正駆動電圧を有するCOM1の駆動吐出ノズルのCOMを、他のCOMに変更したとしても効果は得られない。よって、対象領域が最大対象領域である場合には、5つの駆動吐出ノズルのうち、COM1以外の駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。一方、逆に対象領域が最小対象領域である場合には、同様の理由で、COM4以外の駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。最大対象領域でCOM1以外の駆動吐出ノズルが存在しない場合、もしくは最小対象領域でCOM4以外の吐出ノズルが存在しない場合(S24:No)には、当該対象領域に対しノズル交換が有効でないものとして、COMの適正電圧変更を行う適正電圧変更工程(S29)に移行する。
一方、最大対象領域でCOM1以外の駆動吐出ノズルが存在する場合、もしくは最小対象領域でCOM4以外の駆動吐出ノズルが存在する場合(S24:Yes)には、交換する対の駆動吐出ノズルを仮決定する交換ノズル仮決定工程(S25)を実施する。交換ノズル仮決定工程では、まず、対象領域の5つの駆動吐出ノズルを交換候補ノズルとする。次に、各交換候補ノズルに対し、ノズル交換が有効であるか否かを判定する。具体的には、対象領域が最大対象領域である場合には、各交換候補ノズルがCOM1に属しているか否かを判定し、対象領域が最小対象領域である場合には、各交換候補ノズルがCOM4に属しているか否かを判定する。最大対象領域でCOM1に属している場合や最小対象領域でCOM4に属している場合には、当該駆動吐出ノズルを、交換候補ノズルから除外する。
次に各交換候補ノズルに対し、被交換ノズルをそれぞれ検出する。具体的には、交換候補ノズル毎に、対象領域の着弾量に対し最も離れた着弾量を有する着弾領域から順に複数の着弾領域(ただし、対象領域の着弾量に対し平均着弾量を超えて離れたものに限る)を走査する。走査する各着弾領域内の駆動吐出ノズルのうち、検出条件に当てはまるものを、被交換ノズルとして検出し、またその対象領域を被対象領域(被交換対象領域)として選出する(被対象領域抽出工程)。検出条件は、交換候補ノズルと同一のノズル列22に属し且つ、対象領域が最大対象領域の場合に、交換候補ノズルのCOM番号より、属するCOMのCOM番号が1つ低く(例えば、COM4ならCOM3)、対象領域が最小対象領域の場合に、交換候補ノズルのCOMの番号より、属するCOMのCOM番号が1つ高いというものである。被交換ノズルを検出した段階で走査を終了する。
各交換候補ノズルの被交換ノズルを検出したら、これらの各交換を評価する。具体的には、各交換候補ノズルにおいて、交換候補ノズルと被交換ノズルとのCOMを交換した際の、両ノズルが所属する着弾領域の着弾量を算出し、両着弾量の差の2乗和を評価値とする。各交換候補ノズルの交換のうち、最も評価値が低い交換候補ノズルの交換を仮決定する。なお、着弾量の算出は、着弾量データ取得工程の際と同様の方法で実施する。
ノズル仮決定工程が終了したら、第1有効性評価工程とは別の観点から、ノズル交換の有効性を評価する第2有効性評価工程(S26)を実施する。第2有効性評価工程では、過去、繰り返し実施されたパターン変更工程およびパターン評価工程においての最も良い評価が、前10回の実施において得られているか否かを判定する。具体的には、後述する評価値記録データから、全ての回のバラツキ評価値のうちの最小値を抽出し、前10回のバラツキ評価値に、当該最小値があるか否かを判定する。当該最小値がない場合(S27:No)には、適正電圧変更工程(S29)に移行する。
一方、前10回のバラツキ評価値に、当該最小値がある場合(S27:Yes)には、対の駆動吐出ノズルのCOMを交換するノズル交換工程(S28)を実施する。ノズル交換工程では、交換ノズル仮決定工程で仮決定した駆動吐出ノズルのCOM同士を交換して、着弾量データを更新する。このように、当該ノズル仮決定工程およびノズル交換工程により、着弾量が複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、駆動吐出ノズルに対するCOMの入れ替えが実施される(ノズル入替工程)。なお、着弾量データの更新の際の各吐出量および各着弾量の算出は、上記着弾量データ取得工程と同様の方法で実施する。
次に、適正電圧変更工程(S29)について説明する。適正電圧変更工程は、上記したように、第1有効性判定工程および第2有効性判定工程において、ノズル交換が有効でないと判断された場合に、ノズル交換に代えて、COMの適正電圧変更を行うものである。具体的には、まず、対象領域の着弾量に基づいて、電圧比率を変更(補正)する補正係数を算出する。なお、着弾領域に対する駆動吐出ノズルの数が、複数の着弾領域間に異なる場合には、この駆動吐出ノズルの数に応じた補正値で、補正係数を補正することが好ましい。
補正係数を算出したら、対象領域が最大対象領域か最小対象領域かを判定する。最大対象領域と判定された場合には、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するCOMを対象とし、当該各COMの電圧比率に対し上記補正係数を乗算して、電圧比率を降下させる。一方、最小対象領域と判定された場合には、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するCOMを対象とし、当該各COMの電圧比率に対し補正値を徐算して、電圧比率を上昇させる。これら補正した電圧比率によって、着弾量データを更新する。なお、電圧比率は、COM1が基準となるため、COM1の電圧比率を補正する場合、これに代えて他のCOMを補正する。また、電圧比率は、比率であるため、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するCOMの電圧比率を補正する場合、これに代えて、対象領域の駆動吐出ノズルが所属しないCOMの電圧比率を補正する構成であっても良い。
ノズル交換工程もしくは適正電圧変更工程が終了し、電圧設定パターン変更工程が終了したら、上記パターン評価工程(S30)に移行する。パターン評価工程では、着弾量(平均吐出量)の標準偏差の3倍の数値を算出し、バラツキ評価値として取得する。取得したバラツキ評価値および現時点の電圧設定パターンは、パターン変更工程およびパターン評価工程(以下、反復動作)の実施回数に対応付けて、評価記録データとして記憶される。
評価工程が終了したら、反復動作の実施回数が所定数に達しているか否かを判断する回数判断工程(S31)を実施する。所定数に達していないと判定された場合(S32:No)には、電圧設定パターン変更工程に移行し、反復動作を再度実施する。すなわち、実施回数を基準として、着弾量の所定の均一化が達成されるまで、反復動作を繰り返し実施する。
一方、規定数に達していると判定された場合(S32:Yes)には、電圧設定パターンを本決定するパターン本決定工程(S33)を実施する。パターン決定工程では、評価記録データにから、バラツキ評価値が最も低い、すなわち最も評価の高い電圧設定パターンを抽出し本決定する。これにより、電圧設定パターン決定工程を終了する。このように、電圧設定パターン決定工程によって、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の駆動吐出ノズルを複数のCOMに割り付ける。
図6に示すように、最後に、本決定した各COMの電圧比率から各COMの適正駆動電圧を算出する適正電圧算出工程(S14)を実施する。適正電圧算出工程では、ノズル列毎の各COMの電圧比率とノズル列毎の上記基準の適正駆動電圧とを乗算して、各COMの適正駆動電圧を算出し設定する。これによって本適正電圧設定動作を終了する。
以上のような構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量が、相互間で均一になるように、各適正駆動電圧のグループに対するノズル割り付けを行うことにより、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる。
また、容易で且つ大まかな吐出ノズルの割り付け(仮割付工程)を行った後、吐出ノズルの所属グループを入れ替えて本割り付け(ノズル仮決定工程およびノズル交換工程)を行うことにより、各着弾量を均一にするノズル割り付けを、容易に且つ効率良く実施することができる。
さらに、平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域の駆動吐出ノズルと、当該着弾領域の着弾量から乖離した着弾量を有する着弾領域との駆動吐出ノズルとの所属COMを交換することで、着弾領域の着弾量を確実に均一化することができる。
またさらに、ノズル入替工程(ノズル仮決定工程およびノズル交換工程)を繰り返し行うことで、着弾量をより均一にすることができる。
また、反復動作の実施回数が所定数に達したか否かを判断基準として、反復動作を終了することにより、上記所定数に応じた特定の所要時間で反復動作を終了することができる。
なお、本実施形態においては、反復動作の実施回数を判断基準として、反復動作を終了したが、バラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を有し、バラツキ判断工程において、バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、反復動作を繰り返し実施する構成であっても良い。かかる場合、複数の着弾領域における着弾量のバラツキ評価値が許容範囲内であるか否かを判断基準として、反復動作を終了することにより、複数の着弾領域の着弾量を、所定のバラツキ範囲内に確実に均一化することができる。
ここで図8を参照して、上記検査後の液滴吐出ヘッド1を用いた液滴吐出装置201について説明する。この液滴吐出装置201は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した液滴吐出ヘッド1を用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
図8に示すように、液滴吐出装置201は、石定盤に支持されたX軸支持ベース202上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークWをX軸方向に移動させるX軸移動テーブル203と、複数本の支柱204を介してX軸移動テーブル203を跨ぐように架け渡された1対のY軸支持ベース205上に配設され、主走査方向(X軸方向)に直交した副走査方向となるY軸方向に延在するY軸移動テーブル206と、Y軸移動テーブル206に移動自在に吊設され、複数個(12個)の液滴吐出ヘッド1が個々にキャリッジに搭載された10個のキャリッジユニット207と、複数個の液滴吐出ヘッド1の機能維持・機能回復処理を行うメンテナンス機構208と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置201は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー機構209と、チャンバー機構209を貫通して、液滴吐出ヘッド1に機能液を供給する機能液供給機構210と、液滴吐出装置201の各構成要素を制御する制御コンピューター(制御手段)(図示省略)と、を備えている。
液滴吐出装置201は、X軸移動テーブル203およびY軸移動テーブル206の駆動と同期して液滴吐出ヘッド1を吐出駆動させることにより、機能液供給機構210から供給された3色の機能液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンが描画される。すなわち、各液滴吐出ヘッド1に対しワークWを移動させながら、各液滴吐出ヘッド1を駆動することで、描画処理を行う。なお、かかる際、制御コンピューターは、吐出検査装置31で設定したCOM毎の適正駆動電圧によって、各液滴吐出ヘッド1(厳密には駆動吐出ノズル)を駆動する。
このように、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッド1の駆動電圧設定方法を用いることで、液滴吐出装置201による製造品質を向上することができる。
なお、本実施形態においては、液滴吐出ヘッド1を固定とし、ワークWを移動して描画処理を実施したが、ワークWに対し液滴吐出ヘッド1を相対的に移動して描画処理を実施するものであれば、ワークWを固定とし、液滴吐出ヘッド1を移動して描画処理を実施するものであっても良い。
1:液滴吐出ヘッド、 21:吐出ノズル、 201:液滴吐出装置、 W:ワーク
Claims (8)
- ワーク上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、1以上の吐出ノズルにより液滴を吐出着弾させると共に、
前記各吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の1の前記適正駆動電圧を設定して、前記複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズルを前記適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法であって、
前記グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、
前記着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、前記複数の吐出ノズルを複数の前記グループに割り付けるノズル割付工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。 - 前記適正電圧設定工程は、
標準駆動電圧により前記複数の吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、
前記吐出工程により吐出された前記複数の吐出ノズルの各吐出量を測定する吐出量測定工程と、
測定した前記各吐出量に基づき、吐出量の大小を加味して、前記複数のグループに前記複数の吐出ノズルを割り付ける仮割付工程と、
割り付けた前記複数の吐出ノズルの各吐出量に基づいて、前記グループ毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程と、
前記グループ毎の前記平均吐出量に基づいて、前記グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する実適正電圧設定工程と、を有し、
前記ノズル割付工程は、
前記複数の吐出ノズルを前記グループ毎の適正駆動電圧で駆動したときの前記着弾領域毎の着弾量に基づいて、当該着弾量が前記複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、前記複数のグループに対する前記吐出ノズルの割り付けを入れ替えるノズル入替工程を有することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。 - 前記ノズル入替工程は、
前記複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出する平均着弾量算出工程と、
前記平均着弾量から最も離れた着弾量を有する着弾領域を、交換対象領域として抽出する対象領域抽出工程と、
前記交換対象領域の着弾量に対し前記平均着弾量を超えて離れた着弾量を有する着弾領域を、被交換対象領域として抽出する被対象領域抽出工程と、
前記交換対象領域の少なくとも1の吐出ノズルと前記被交換対象領域の少なくとも1の吐出ノズルとの、前記グループを交換するノズル交換工程と、を有することを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。 - 前記ノズル割付工程では、前記着弾量の所定の均一化が達成されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項2または3に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
- 前記ノズル割付工程は、
前記ノズル入替工程の実施回数が、所定数に達したか否かを判断する回数判断工程を、更に有し、
前記回数判断工程において、前記実施回数が前記所定数に達したと判定されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。 - 前記ノズル割付工程は、
前記複数の着弾領域の着弾量におけるバラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を更に有し、
前記バラツキ判断工程において、前記バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。 - 前記バラツキ評価値は、前記複数の着弾領域の着弾量における標準偏差の3倍の値であることを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
- 前記ワークに対し前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記液滴吐出ヘッドを駆動して、前記ワークに対し描画処理を実施する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドを制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法により設定した前記適正駆動電圧に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009266087A JP2011110443A (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009266087A JP2011110443A (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011110443A true JP2011110443A (ja) | 2011-06-09 |
Family
ID=44233220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009266087A Pending JP2011110443A (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011110443A (ja) |
-
2009
- 2009-11-24 JP JP2009266087A patent/JP2011110443A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100990001B1 (ko) | 액적 토출 방법 및 액적 토출 장치 | |
JP2007256449A (ja) | 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法 | |
JP2006284406A (ja) | ドットずれ検出方法、ドットずれ検出プログラムおよび基準直線取得方法、並びにドットずれ検出装置および液滴吐出装置 | |
JP5131450B2 (ja) | 液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置 | |
JP4529755B2 (ja) | ドット径補正係数取得方法、ドット径測定方法およびドット径異常検出方法、並びにドット径測定装置、ドット径異常検出装置および液滴吐出装置 | |
JP2011110443A (ja) | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置 | |
JP2011101870A (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出量取得方法、適正電圧決定方法および液滴吐出装置 | |
JP5146294B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、駆動電圧決定方法、液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置 | |
JP5218325B2 (ja) | 液滴吐出装置の吐出重量測定方法、及び、液滴吐出装置 | |
JP2010120237A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置 | |
JP2010137125A (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、駆動電圧決定方法、液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置 | |
JP2010119989A (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの駆動電圧決定方法、液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの吐出重量測定装置 | |
JP2010143003A (ja) | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧決定方法、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの駆動電圧決定装置およびキャリッジユニットの吐出検査装置 | |
JP2010142744A (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出性能評価方法、液滴吐出ヘッドのメンテナンス時機決定方法、液滴吐出ヘッドの寿命予測決定方法および液滴吐出ヘッドの吐出性能評価装置 | |
JP2010119985A (ja) | 液滴吐出ヘッドの吐出量特性検査方法、液滴吐出ヘッドの駆動電圧決定方法、液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの吐出量特性検査装置 | |
JP2009045547A (ja) | 吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法 | |
US20230177676A1 (en) | Substrate inspecting unit and substrate treating apparatus including the same | |
KR102256058B1 (ko) | 기판 인쇄 장치 및 방법 | |
US20240075740A1 (en) | Inkjet head unit and substrate treatment apparatus including the same | |
JP2008302637A (ja) | 液滴吐出ヘッドの駆動電圧決定方法 | |
US20240034056A1 (en) | Droplet analysis unit and substrate treatment apparatus including the same | |
JP2008298690A (ja) | 着弾ドットの体積測定方法および体積測定システム | |
JP2009248469A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査装置 | |
CN115891432A (zh) | 控制单元及包括其的基板处理装置 | |
KR20220089440A (ko) | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |