JP2011108763A - Solar cell and method of manufacturing the same, and solar cell device - Google Patents

Solar cell and method of manufacturing the same, and solar cell device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solar cell capable of improving efficiency of energy conversion. <P>SOLUTION: The solar cell 21 includes a metal electrode 2; a p-type semiconductor substrate 3 disposed on the upper surface of the metal electrode 2, and a plurality of carbon nanotubes 4 vertically juxtaposed on the upper surface of the semiconductor substrate 3. Transparent electrodes 5, disposed on sides of the respective carbon nanotubes 4 are located opposite to the metal electrode 2, and respective carbon nanotubes 4 formed as a metal are doped with phosphorus (P) for respective carbon nanotubes 4, and are further varied in diameter of the carbon nanotubes 4, stepwise starting from one side to the other side, as well as, are imparted with a magnetic force on the carbon nanotubes 4 by a magnet body 22. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、カーボンナノチューブを用いた太陽電池およびその製造方法並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置に関するものである。   The present invention relates to a solar cell using carbon nanotubes, a manufacturing method thereof, and a solar cell device using the solar cell.

太陽電池は、単結晶、多結晶、アモルファスシリコンからなるシリコン系のものが主流であり、住宅や事業所などに普及しつつあるが、エネルギーの変換効率が低いという欠点がある。エネルギーの変換効率が低い要因の一つして、通常の太陽電池は、バンドギャップが1つしかなく、バンドギャップ未満のエネルギーを有する長波長光線については光電変換できず、逆に、バンドギャップを超えるエネルギーを有する短波長光線については、バンドギャップ分のエネルギーしか光電変換できなかった。   Solar cells are mainly made of silicon based on single crystal, polycrystal, and amorphous silicon and are becoming popular in homes and offices, but have a drawback of low energy conversion efficiency. One of the causes of low energy conversion efficiency is that a normal solar cell has only one band gap, and can not photoelectrically convert long-wavelength light having energy less than the band gap. About the short wavelength light which has the energy exceeding, only the energy for a band gap was able to be photoelectrically converted.

このような欠点に対処するものとして、2つ以上の異なるバンドギャップを有する太陽電池が提案されている(特許文献1参照)。   As a countermeasure against such a drawback, a solar cell having two or more different band gaps has been proposed (see Patent Document 1).

特開2003−197930号公報JP 2003-197930 A

上述したように、エネルギーの変換効率を向上させるためには、特許文献1に示すように、2つ以上のバンドギャップを有するように、言い換えれば、バンドギャップを細かく調整することが考えられる。   As described above, in order to improve the energy conversion efficiency, it is conceivable to finely adjust the band gap so as to have two or more band gaps, as described in Patent Document 1, in other words.

しかし、シリコン等の結晶を利用した半導体では、化合物半導体も含めて、元素の選択の仕方により、バンドギャップが固定されてしまい、任意のバンドギャップを得ることが困難であり、したがってエネルギーの変換効率の向上を図ることができなかった。また、タンデムタイプおよびそれ以上の重ね合わせタイプでは、上層の太陽電池が太陽光線を吸収および散乱させることになり、下部の太陽電池に必要な光が減衰してしまう。   However, in semiconductors using crystals such as silicon, the band gap is fixed depending on the element selection method, including compound semiconductors, and it is difficult to obtain an arbitrary band gap. It was not possible to improve. In addition, in the tandem type and the superposition type higher than that, the upper solar cell absorbs and scatters solar rays, and the light necessary for the lower solar cell is attenuated.

そこで、本発明は、エネルギーの変換効率の向上を図り得る太陽電池およびその製造方法並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the solar cell which can aim at the improvement of the conversion efficiency of energy, its manufacturing method, and the solar cell apparatus using this solar cell.

上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係る太陽電池は、金属電極と、この金属電極の表面に配置されたn型またはp型の半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるようにしたものである。
In order to solve the above problems, a solar cell according to claim 1 of the present invention includes a metal electrode, an n-type or p-type semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, and a surface perpendicular to the surface of the semiconductor layer. A plurality of juxtaposed carbon nanotubes, and a transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode of each carbon nanotube,
The carbon nanotubes have mainly metallic properties, that is, formed as a metal, and the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is changed stepwise or continuously from one side to the other side. Is.

また、請求項2に係る太陽電池は、金属電極と、この金属電極の表面に配置されたn型またはp型の半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記各カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子(半導体がn型の場合には5価以上の原子、p型の場合には3価以下の原子)をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるとともに、上記並置されたカーボンナノチューブに磁界を付与するように構成したものである。
A solar cell according to claim 2 is a metal electrode, an n-type or p-type semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, and a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicular to the surface of the semiconductor layer, A transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode of each carbon nanotube,
Each of the carbon nanotubes is formed so as to have mainly metallic properties, that is, as a metal, and each carbon nanotube has an atom having a valence different from the carbon valence (if the semiconductor is n-type, the valence of 5 or more) In the case of p-type),
Further, the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is changed stepwise or continuously from one side to the other side, and a magnetic field is applied to the juxtaposed carbon nanotubes.

また、請求項3に係る太陽電池は、金属電極と、この金属電極の表面に配置された半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記各カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるとともに、上記並置されたカーボンナノチューブの直径に応じた、強さが異なる磁界を付与するように構成したものである。
A solar cell according to claim 3 includes a metal electrode, a semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicularly to the surface of the semiconductor layer, and a metal of each of these carbon nanotubes. A transparent electrode disposed on the opposite side of the electrode,
Each of the carbon nanotubes is mainly formed to have metallic properties, that is, as a metal, and each carbon nanotube is doped with an atom having a valence different from the carbon valence,
Further, the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is changed stepwise or continuously from one side to the other side, and a magnetic field having a different strength is applied according to the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes. It is configured.

また、本発明の請求項4に係る太陽電池の製造方法は、金属電極の表面に半導体層を形成し、
次にこの半導体層の表面に且つ当該表面に垂直に、複数のカーボンナノチューブを、その直径が一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化するように並列に且つ主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成し、
次にこれら各カーボンナノチューブの端面に透明電極を形成する方法である。
Moreover, the manufacturing method of the solar cell which concerns on Claim 4 of this invention forms a semiconductor layer in the surface of a metal electrode,
Next, on the surface of the semiconductor layer and perpendicular to the surface, a plurality of carbon nanotubes are arranged in parallel and mainly in a metallic manner so that the diameter changes stepwise or continuously from one side to the other side. That is, as a metal,
Next, a transparent electrode is formed on the end face of each carbon nanotube.

さらに、本発明の請求項5に係る太陽電池装置は、
請求項1乃至3のいずれかに記載の太陽電池を用いた装置であって、
太陽電池の透明電極の表面に、太陽光線を分光させる分光器を配置するとともに、この太陽電池における各カーボンナノチューブにて得られた電気を所定電圧に調整する電圧調整器を具備したものである。
Furthermore, the solar cell device according to claim 5 of the present invention is
A device using the solar cell according to claim 1,
A spectroscope that separates sunlight rays is disposed on the surface of the transparent electrode of the solar cell, and a voltage regulator that adjusts the electricity obtained from each carbon nanotube in the solar cell to a predetermined voltage is provided.

上記太陽電池およびその製造方法並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置の構成によると、透明電極と金属電極との間にカーボンナノチューブを配置するとともに、このカーボンナノチューブの直径を、順次、段階的にまたは連続的に変化させるようにしたので、例えば太陽光線を分光させた際に、それぞれの波長に応じたバンドギャップを有するカーボンナノチューブを形成しておくことができる。したがって、太陽光線の広範囲の波長領域に亘って光電変換を行うことができるので、エネルギーの変換効率が優れた、すなわち光電変換効率が優れた太陽電池および太陽電池装置を提供することができる。   According to the configuration of the solar cell, the manufacturing method thereof, and the solar cell device using the solar cell, the carbon nanotubes are arranged between the transparent electrode and the metal electrode, and the diameters of the carbon nanotubes are sequentially and stepwise. Alternatively, since it is changed continuously, for example, when sunlight is dispersed, carbon nanotubes having band gaps corresponding to the respective wavelengths can be formed. Therefore, since it is possible to perform photoelectric conversion over a wide wavelength range of sunlight, it is possible to provide a solar cell and a solar cell device with excellent energy conversion efficiency, that is, excellent photoelectric conversion efficiency.

そして、カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成したので、大きいバンドギャップが得られ、より短い波長、すなわち広範囲の波長領域に対応することができる。   Since the carbon nanotubes are mainly formed so as to have metallic properties, that is, as a metal, a large band gap can be obtained, and a shorter wavelength, that is, a wide wavelength range can be dealt with.

さらに、このカーボンナノチューブに磁界を付与するようにしたので、より一層、広範囲の波長領域に対応することができ、言い換えれば、通常の半導体としてのカーボンナノチューブに比べると、径が大きいもので対応することができる。すなわち、太陽電池の製作が容易となる。   Furthermore, since a magnetic field is applied to the carbon nanotube, it is possible to cope with a wider range of wavelengths, in other words, with a larger diameter than a carbon nanotube as a normal semiconductor. be able to. That is, the solar cell can be easily manufactured.

本発明の実施例1に係る太陽電池および太陽電池装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the solar cell which concerns on Example 1 of this invention, and a solar cell apparatus. 同太陽電池の製造方法を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the manufacturing method of the solar cell. 同太陽電池における光電変換効率を説明するグラフで、(a)は実施例1に係るものを示し、(b)は従来例に係るタンデム型のものを示す。It is a graph explaining the photoelectric conversion efficiency in the solar cell, (a) shows what concerns on Example 1, (b) shows the tandem type which concerns on a prior art example. 本発明の実施例2に係る太陽電池の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the solar cell which concerns on Example 2 of this invention.

以下、本発明の実施の形態に係る太陽電池およびその製造方法並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置を具体的に示した実施例に基づき説明する。   Hereinafter, a solar cell according to an embodiment of the present invention, a method for manufacturing the solar cell, and a solar cell device using the solar cell will be described based on specific examples.

以下、本実施例1の太陽電池およびその製造方法、並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置について説明するが、まず本実施例1に係る太陽電池の基本的な構成について説明する。   Hereinafter, although the solar cell of this Example 1, its manufacturing method, and the solar cell apparatus using this solar cell are demonstrated, the basic structure of the solar cell which concerns on this Example 1 is demonstrated first.

この太陽電池は、金属電極と、この金属電極の表面に配置された半導体基板(半導体層)と、この半導体基板の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、且つ上記カーボンナノチューブを、主として、金属的性質を有するように形成するとともに、上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的に変化させたものである。   The solar cell includes a metal electrode, a semiconductor substrate (semiconductor layer) disposed on the surface of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicular to the surface of the semiconductor substrate, and a metal electrode of each of these carbon nanotubes. Comprises a transparent electrode disposed on the opposite side, and the carbon nanotubes are mainly formed to have metallic properties, and the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is increased from one side to the other side. It was changed in stages.

この基本的な構成をもう少し詳しく説明すると、上記カーボンナノチューブについては、電極表面に対して垂直(所謂、垂直配向である)に且つ多数(ここでは、3つ以上であり、言い方によっては、「3つ以上の複数」ということもできる)並列に設けられたもので、例えば多数領域に且つ列状に分けられるとともにこれら各領域毎にその直径が段階的に変化されたものである。   This basic structure will be explained in more detail. The carbon nanotubes are perpendicular to the electrode surface (so-called vertical alignment) and many (here, three or more, depending on the phrase, “3 For example, it is divided into a large number of regions and arranged in rows, and the diameter of each region is changed stepwise.

具体的には、多数のカーボンナノチューブからなる領域(以下、チューブ列ともいう)が5つ(3つ以上、すなわち3列以上であればよい)並列に設けられる(並置される)とともに、これらのカーボンナノチューブの直径をチューブ列毎に段階的に変化させたもので、例えば太いものから細いものが順番に設けられている。そして、このカーボンナノチューブについては、主として金属的性質を有するように(金属と同様の自由電子帯を有するように)、つまり金属として形成される。   Specifically, five regions (hereinafter also referred to as tube rows) made of a large number of carbon nanotubes are provided (arranged in parallel) with five (three or more, that is, three or more rows) in parallel. The diameter of the carbon nanotube is changed stepwise for each tube row, and for example, the thickest to the thinner are provided in order. The carbon nanotubes are mainly formed so as to have metallic properties (to have a free electron band similar to that of metals), that is, as a metal.

ここで、カーボンナノチューブの物理的性質について説明しておくと、カーボンナノチューブには、金属としての性質を有するものと半導体としての性質を有するものとがあり、これらの作り分けはカイラリティを制御することにより行われる。具体的には、カーボンナノチューブを形成する際に基板の表面に配置される触媒微粒子の大きさ、クリフの高さなどを制御することにより行うことができる。   Here, the physical properties of carbon nanotubes will be explained. Carbon nanotubes can be classified into metal properties and semiconductor properties, and these can be used to control chirality. Is done. Specifically, the carbon nanotubes can be formed by controlling the size of catalyst fine particles arranged on the surface of the substrate, the height of the cliff, and the like.

例えば、カーボンナノチューブの結晶構造としては、アームチェア型、ジグザグ型などがあるが、アームチェア型については、金属と同様の電気伝導性を有している。したがって、カーボンナノチューブとしては、アームチェア型[カイラル指数の差がゼロ(n−m=0)、またはカイラル指数の差が3の倍数となる]のものが形成される(製造方法は、例えば特開2004−75422号公報に開示されている)。その他、なお、「主として金属的性質を有する」という表現を用いたのは、カーボンナノチューブ全体を金属として形成できない場合、すなわち半導体カーボンナノチューブが混入している場合でも、光は光電変換可能なカーボンナノチューブに吸収されるため、発電は可能である。例えば、40%程度の割合で半導体カーボンナノチューブが混入している場合でも、十分な(実用的な)発電が可能である。   For example, the crystal structure of the carbon nanotube includes an armchair type and a zigzag type, and the armchair type has electric conductivity similar to that of metal. Therefore, as the carbon nanotube, an armchair type (a difference in chiral index is zero (nm = 0) or a difference in chiral index is a multiple of 3) is formed (the manufacturing method is, for example, a special method). No. 2004-75422). In addition, the expression “mainly having metallic properties” is used because carbon nanotubes that can be photoelectrically converted even when the entire carbon nanotubes cannot be formed as metal, that is, when semiconductor carbon nanotubes are mixed. It is possible to generate electricity. For example, even when semiconductor carbon nanotubes are mixed at a rate of about 40%, sufficient (practical) power generation is possible.

ところで、上述したカーボンナノチューブの形成方向である「垂直」には、当然ながら許容範囲があり、カーボンナノチューブの根元と先端とを結ぶ直線が、電極表面の垂線に対して、例えば90±10°の範囲内であればよい。この意味では、「略垂直」と言い換えることもできる。   Incidentally, the above-mentioned “vertical”, which is the formation direction of the carbon nanotube, naturally has an allowable range, and the straight line connecting the root and the tip of the carbon nanotube is, for example, 90 ± 10 ° with respect to the perpendicular to the electrode surface. It may be within the range. In this sense, it can be paraphrased as “substantially vertical”.

ここで、上記基本的構成に係る太陽電池の製造方法を、図1および図2に基づき説明する。
まず、図1に基づき太陽電池の具体的な構成について説明しておく。
Here, the manufacturing method of the solar cell which concerns on the said basic structure is demonstrated based on FIG. 1 and FIG.
First, a specific configuration of the solar cell will be described with reference to FIG.

この太陽電池1は、アルミニウム(Al)[銅(Cu)を用いることもできる]より形成されるとともに長方形の板状にされた金属電極2と、この金属電極2の上面(表面)に配置され且つシリコン(Si)より形成された長方形の基板に元素周期表の第3族元素であるホウ素(B)がドーピングされてなるp型半導体基板(半導体層)3と、このp型半導体基板3の上面(表面)に且つ当該上面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブ4と、これら各カーボンナノチューブ4の上面(端面)に配置された透明電極(FTO,ZnO,ITO,FTO/ITO,GZO,AZOなどが用いられる)5とが具備され、また上記並置されたカーボンナノチューブ4については、主として金属的性質を有するもの、つまり金属として形成されるとともに、その直径が、太いものから細いものへと、順次、変化されたものである。具体的には、カーボンナノチューブ4は3つ以上(多数)の列状でもって、ここでは、5つの列状でもって形成されているものとして説明する。勿論、カーボンナノチューブの配列は、その直径を連続的に変化させるようにしたものでもよい。   The solar cell 1 is formed of aluminum (Al) [copper (Cu) can also be used] and is disposed on a rectangular plate-like metal electrode 2 and an upper surface (surface) of the metal electrode 2. In addition, a p-type semiconductor substrate (semiconductor layer) 3 in which a rectangular substrate formed of silicon (Si) is doped with boron (B) which is a Group 3 element of the periodic table, and the p-type semiconductor substrate 3 A plurality of carbon nanotubes 4 juxtaposed on the upper surface (surface) and perpendicular to the upper surface, and transparent electrodes (FTO, ZnO, ITO, FTO / ITO, GZO, AZO) disposed on the upper surface (end surface) of each carbon nanotube 4 The above-mentioned juxtaposed carbon nanotubes 4 are mainly formed of a metal property, that is, a metal. With a diameter of, a narrow to those from the wide ones, but sequentially, was varied. Specifically, the description will be made assuming that the carbon nanotubes 4 are formed in three or more (many) rows, and here are formed in five rows. Of course, the arrangement of the carbon nanotubes may be such that its diameter is continuously changed.

次に、上記太陽電池1を用いた太陽電池装置11について説明する。
すなわち、図1に示すように、上記太陽電池1のカーボンナノチューブ4のチューブ列(4a〜4e)に太陽光線の分光が照射されるように、分光器(分光素子である)12を配置し、分光された光線が、それぞれの波長に対応するチューブ列(4a〜4e)の透明電極5上に導かれるようにする。
Next, the solar cell device 11 using the solar cell 1 will be described.
That is, as shown in FIG. 1, a spectroscope (which is a spectroscopic element) 12 is arranged so that the spectrum of solar rays is irradiated onto the tube rows (4a to 4e) of the carbon nanotubes 4 of the solar cell 1, The dispersed light beam is guided onto the transparent electrode 5 of the tube row (4a to 4e) corresponding to each wavelength.

そして、各透明電極5に電気配線13を介して電圧調整器14が接続されて、所定の電圧が得られるようにされている。なお、この電圧調整器14は、チューブ列(4a〜4e)に電気配線13を介して接続されたDC/DCコンバータ16と、これらDC/DCコンバータ16に電気配線17を介して接続された電力加算部18とから構成されて、所定電圧の電力が出力される。なお、DC/DCコンバータ16は、各チューブ列(4a〜4e)から取り出される電圧が同一(所定電圧)となるように調整(変換)するためのものである。   And the voltage regulator 14 is connected to each transparent electrode 5 via the electrical wiring 13, and a predetermined voltage is obtained. The voltage regulator 14 includes a DC / DC converter 16 connected to the tube rows (4a to 4e) via the electric wiring 13, and electric power connected to the DC / DC converter 16 via the electric wiring 17. An adder 18 is configured to output power having a predetermined voltage. Note that the DC / DC converter 16 is for adjusting (converting) the voltage extracted from each tube row (4a to 4e) to be the same (predetermined voltage).

次に、図2に基づき、上記太陽電池1の要部であるカーボンナノチューブの部分を主体とした太陽電池の製造方法を概略的に説明しておく。
まず、図2(a)に示すように、p型半導体基板(n型でもよい)3の上面(表面)に、電子ビームを用いて(スパッタ法、真空蒸着法で薄膜形成したものであってもよい)鉄(Fe)の触媒微粒子10(10a〜10e)をチューブ列(4a〜4e)に対応して形成した後、加熱処理を行う。この鉄の触媒微粒子10(10a〜10e)については、各チューブ列(4a〜4e)毎の直径に応じた大きさにされている。例えば、図面の左寄りのチューブ列には直径が大きいものが、また右寄りのチューブ列には直径が小さいものが配置される。すなわち、左側の触媒微粒子10の直径が大きくされて、右側の触媒微粒子10の直径が小さくされている。
Next, based on FIG. 2, the manufacturing method of the solar cell which mainly has the part of the carbon nanotube which is the principal part of the said solar cell 1 is demonstrated roughly.
First, as shown in FIG. 2A, a thin film is formed on the upper surface (surface) of a p-type semiconductor substrate (which may be n-type) 3 by using an electron beam (sputtering or vacuum deposition). Alternatively, iron (Fe) catalyst fine particles 10 (10a to 10e) are formed corresponding to the tube rows (4a to 4e), and then heat treatment is performed. The iron catalyst fine particles 10 (10a to 10e) are sized according to the diameter of each tube row (4a to 4e). For example, the left tube row in the drawing has a large diameter, and the right tube row has a small diameter. That is, the diameter of the left catalyst fine particle 10 is increased, and the diameter of the right catalyst fine particle 10 is decreased.

次に、図2(b)に示すように、熱CVD法により、鉄の触媒微粒子10(10a〜10e)上にカーボンナノチューブ4(4a〜4e)を形成する。このとき、触媒微粒子10の大きさに応じて、その上面に形成されるカーボンナノチューブ4の直径つまり太さが決まるとともに、カイラリティの制御により、主として、金属的性質を有するものが形成される。なお、カーボンナノチューブ4の長さについては時間と濃度とに依存する。   Next, as shown in FIG. 2B, carbon nanotubes 4 (4a to 4e) are formed on the iron catalyst fine particles 10 (10a to 10e) by a thermal CVD method. At this time, the diameter, that is, the thickness of the carbon nanotube 4 formed on the upper surface of the fine catalyst particle 10 is determined according to the size of the catalyst fine particle 10, and those having metallic properties are mainly formed by controlling the chirality. Note that the length of the carbon nanotube 4 depends on time and concentration.

次に、図2(c)に示すように、電極区切り部分にマスクをして、各チューブ列(4a〜4e)の上面(端面)に透明電極5をPVD法により形成する。そして、最後に、底面の半導体の裏にAlなどの金属電極2をスパッタ法、真空蒸着法などにより付ける。   Next, as shown in FIG.2 (c), the electrode partition part is masked and the transparent electrode 5 is formed in the upper surface (end surface) of each tube row | line | column (4a-4e) by PVD method. Finally, a metal electrode 2 made of Al or the like is attached to the bottom of the bottom semiconductor by sputtering or vacuum deposition.

ここで、金属的性質を有するカーボンナノチューブ、すなわち金属のカーボンナノチューブの光電変換能力について説明する。
この金属のカーボンナノチューブにおいても、半導体性質を有するカーボンナノチューブと同様に、光を吸収すると、電子が内側軌道の伝導帯から外側軌道の伝導帯に遷移(M1遷移と呼ばれている)するという性質を有しており、比較的大きいバンドギャップを有している。
Here, the photoelectric conversion ability of carbon nanotubes having metallic properties, that is, metal carbon nanotubes will be described.
In this carbon nanotube of metal, as in the case of carbon nanotubes having semiconductor properties, when light is absorbed, the property is that electrons transition from the conduction band of the inner orbit to the conduction band of the outer orbit (referred to as M1 transition). And has a relatively large band gap.

そして、カーボンナノチューブの直径が異なる場合、それぞれのバンドギャップの値が異なり(直径が小さいほど、バンドギャップが大きくなる)、したがって分光された太陽光線が持っているエネルギーhνと等しいバンドギャップを持った直径のカーボンナノチューブを作っておくことにより、多くの波長に対処することができる。   And when the diameters of the carbon nanotubes are different, the values of the respective band gaps are different (the smaller the diameter, the larger the band gap), and thus the band gap equal to the energy hν of the dispersed sunlight. Many wavelengths can be dealt with by making carbon nanotubes of diameter.

具体的に説明すると、バンドギャップの異なるカーボンナノチューブ(バンドギャップがEg〜Eg、但し、Egn−1<Eg)がn個ある場合、Egより小さくEg以上のエネルギーを持った光はバンドギャップEgの太陽電池で受光されて光電変換が行われる。また、Egより小さくEg以上のエネルギーを持った光については、バンドギャップEgの太陽電池で受光されて光電変換が行われる。以下、同様に、バンドギャップEgを越え、紫外線までの最大エネルギーを有する光については、Egのバンドギャップを持った太陽電池で受光して光電変換が行われる。 More specifically, when there are n carbon nanotubes with different band gaps (band gap is Eg 1 to Eg n , where Eg n-1 <Eg n ), the energy is smaller than Eg 2 and higher than Eg 1 The light is received by the solar cell having the band gap Eg 1 and subjected to photoelectric conversion. Further, light having energy smaller than Eg 3 and greater than or equal to Eg 2 is received by a solar cell having a band gap Eg 2 and subjected to photoelectric conversion. Hereinafter, similarly, beyond the band gap Eg n, for light having a maximum energy of up to ultraviolet, photoelectric conversion is performed is received by the solar cell with a bandgap of Eg n.

このような構成の太陽電池を用いることにより、光電変換し得るエネルギー量を図示すると、図3(a)のグラフのようになる。なお、比較例として、従来技術であるタンデム型の太陽電池の場合を(b)に示しておく。これらのグラフから、カーボンナノチューブの直径を順次段階的に変化させることにより得られる、つまり光電変換し得るエネルギー量が格段に優れていることが分かる。   The amount of energy that can be photoelectrically converted by using the solar cell having such a configuration is shown in the graph of FIG. As a comparative example, the case of a conventional tandem solar cell is shown in FIG. From these graphs, it can be seen that the amount of energy that can be obtained by sequentially changing the diameter of the carbon nanotubes, that is, the amount of energy that can be photoelectrically converted, is remarkably excellent.

すなわち、この太陽電池およびその製造方法、並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置の構成によると、金属電極と透明電極との間にカーボンナノチューブを配置するとともに、このカーボンナノチューブの直径を、順次、段階的に(または連続的に)変化させるようにしたので、例えば太陽光線を分光させた際に、それぞれの波長に応じたバンドギャップを有するカーボンナノチューブを形成しておくことができる。したがって、太陽光線の広範囲の波長領域に亘って光電変換を行うことができるので、エネルギーの変換効率が優れた、すなわち光電変換効率が優れた太陽電池および太陽電池装置を提供することができる。   That is, according to the configuration of the solar cell and the manufacturing method thereof, and the solar cell device using the solar cell, the carbon nanotube is disposed between the metal electrode and the transparent electrode, and the diameter of the carbon nanotube is sequentially changed. Since it is changed stepwise (or continuously), for example, when sunlight is dispersed, carbon nanotubes having a band gap corresponding to each wavelength can be formed. Therefore, since it is possible to perform photoelectric conversion over a wide wavelength range of sunlight, it is possible to provide a solar cell and a solar cell device with excellent energy conversion efficiency, that is, excellent photoelectric conversion efficiency.

そして、カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成したので、大きいバンドギャップが得られ、より短い波長、すなわち広範囲の波長領域に対応することができる。   Since the carbon nanotubes are mainly formed so as to have metallic properties, that is, as a metal, a large band gap can be obtained, and a shorter wavelength, that is, a wide wavelength range can be dealt with.

以下、本発明の実施例2に係る太陽電池およびその製造方法、並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置について説明する。
上記実施例1においては、カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するもの、つまり金属として説明したが、本実施例2においては、この金属として形成されたカーボンナノチューブに磁力付与手段(磁界付与手段)にて磁力(磁界)を付与することにより、半導体的性質を有するように、つまりカーボンナノチューブを半導体にしたものとして説明する。
Hereinafter, a solar cell according to Example 2 of the present invention, a manufacturing method thereof, and a solar cell device using the solar cell will be described.
In the first embodiment, the carbon nanotube is mainly described as having a metallic property, that is, a metal. However, in the second embodiment, a magnetic force applying means (magnetic field applying means) is applied to the carbon nanotube formed as the metal. By applying a magnetic force (magnetic field) at, it will be described as having semiconductor properties, that is, a carbon nanotube as a semiconductor.

以下、本実施例2について説明するが、実施例1と異なる箇所は、金属電極側に磁力付与手段として磁石体を配置するようにしたもので、したがって実施例1と同じ構成部材には同一の部材番号を付すとともにその構成については簡単に説明する。   Hereinafter, the second embodiment will be described. The difference from the first embodiment is that a magnet body is arranged as a magnetic force applying means on the metal electrode side. Therefore, the same components as those of the first embodiment are the same. A member number is given and its configuration will be briefly described.

図4に示すように、この太陽電池21は、カーボンナノチューブ4を主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、金属電極2の下方(下面)に、1個の磁石体(電磁石でもよい)22を配置したものである。なお、このとき、半導体基板(半導体層)3はp型(またはn型)にされるとともに、カーボンナノチューブ4には、炭素原子の原子価と異なる原子価を有する原子がドーピングされて、n型またはp型にされる。例えば、カーボンナノチューブ4をn型にする場合には、元素周期表の第5族元素であるリン(P)がドーピングされ、またp型にする場合には、元素周期表の第3族元素であるホウ素(B)がドーピングされる。勿論、実施例1で説明したように、カーボンナノチューブ4を金属として形成する際には、カイラリティの制御が行われる。   As shown in FIG. 4, this solar cell 21 is formed with the carbon nanotubes 4 mainly having metallic properties, that is, as a metal, and one magnet body (electromagnet) below the metal electrode 2 (lower surface). (It may be.) 22 is arranged. At this time, the semiconductor substrate (semiconductor layer) 3 is made p-type (or n-type), and the carbon nanotubes 4 are doped with atoms having a valence different from the valence of the carbon atoms, so that the n-type Or p-type. For example, when the carbon nanotube 4 is made to be n-type, phosphorus (P), which is a Group 5 element of the periodic table, is doped, and when it is made to be p-type, the group 3 element of the periodic table is used. Some boron (B) is doped. Of course, as described in the first embodiment, chirality is controlled when the carbon nanotubes 4 are formed as a metal.

そして、磁石体22により、カーボンナノチューブ4全体に同一強さの磁力(磁束量子半分磁界)を付与することにより、大きいバンドギャップを有する金属カーボンナノチューブを半導体とすることができ、またドープされている原子により、n型またはp型にすることもできる。半導体化に伴って、バンドギャップの小さな準位も生じるが、入射光の波長が十分短い場合は、この遷移より高い準位への遷移が主体となる。   And, by applying a magnetic force (flux quantum half magnetic field) of the same strength to the entire carbon nanotube 4 by the magnet body 22, a metal carbon nanotube having a large band gap can be used as a semiconductor and is doped. Depending on the atom, it can be n-type or p-type. A level with a small bandgap is also generated with the semiconductor, but when the wavelength of incident light is sufficiently short, a transition to a level higher than this transition is mainly performed.

このように、カーボンナノチューブに磁力(磁界)を付与することにより、金属としてのギャップエネルギー(M1)に変化させ得るとともに、より一層、広範囲の波長領域に対応することができ、言い換えれば、通常の半導体としてのカーボンナノチューブに比べると、径が大きいもので対応することができる。すなわち、太陽電池の製作が容易となる。また、半導体に変化させてpn接合にすることで、金属カーボンナノチューブのままでの接合に比べて、発電効率を向上させることができる。   As described above, by applying a magnetic force (magnetic field) to the carbon nanotube, the gap energy (M1) as a metal can be changed, and a wider wavelength range can be dealt with. Compared with a carbon nanotube as a semiconductor, it can cope with one having a large diameter. That is, the solar cell can be easily manufactured. Further, by changing to a semiconductor to form a pn junction, the power generation efficiency can be improved as compared with the junction using metal carbon nanotubes.

上述したチューブ列(4a〜4e)に対する具体的な数値、すなわち太陽光線の波長と、バンドギャップと、カーボンナノチューブの直径との関係を下記の表1に示す。   Table 1 below shows specific numerical values for the above-described tube rows (4a to 4e), that is, the relationship between the wavelength of sunlight and the band gap and the diameter of the carbon nanotube.

Figure 2011108763
この表1から、直径を細くすることなく、つまり太くした状態で、短い波長のバンドギャップに対応させることができる。すなわち、カーボンナノチューブの製作が容易となる。
Figure 2011108763
From Table 1, it is possible to cope with a band gap of a short wavelength without reducing the diameter, that is, in a thick state. That is, it becomes easy to produce carbon nanotubes.

上述した太陽電池およびその製造方法、並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置の構成によると、実施例1と同様の効果に加えて、カーボンナノチューブが有するバンドギャップを大きくすることができるので、より一層、広範囲の波長の光線に対応することができる。   According to the above-described solar cell and the manufacturing method thereof, and the configuration of the solar cell device using this solar cell, in addition to the same effects as in Example 1, the band gap of the carbon nanotube can be increased. Furthermore, it is possible to deal with light beams in a wide range of wavelengths.

ここで、本実施例2に係る太陽電池の概略構成を示すと、以下のようになる。
この太陽電池は、金属電極2と、この金属電極2の表面に配置された半導体基板(半導体層)3と、この半導体基板3の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブ4と、これら各カーボンナノチューブ4の金属電極2とは反対側に配置された透明電極5とを具備し、
上記各カーボンナノチューブ4を、主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、これら各カーボンナノチューブ4に炭素原子価とは異なる原子価を有する原子、例えばリン(P)またはホウ素(B)をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブ4の直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるとともに、上記並置されたカーボンナノチューブ4に磁石体22により磁力(磁界)を付与するようにしたものである。
Here, it is as follows when the schematic structure of the solar cell which concerns on the present Example 2 is shown.
The solar cell includes a metal electrode 2, a semiconductor substrate (semiconductor layer) 3 disposed on the surface of the metal electrode 2, a plurality of carbon nanotubes 4 juxtaposed vertically on the surface of the semiconductor substrate 3, and each of these carbons A transparent electrode 5 disposed on the opposite side of the nanotube 4 from the metal electrode 2;
Each of the carbon nanotubes 4 is formed so as to have mainly metallic properties, that is, as a metal, and an atom having a valence different from the carbon valence, such as phosphorus (P) or boron (B )
Further, the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes 4 is changed stepwise or continuously from one side to the other side, and a magnetic force (magnetic field) is applied to the juxtaposed carbon nanotubes 4 by the magnet body 22. It is a thing.

また、太陽電池の製造方法についても、簡単に説明すると以下のようになる。
この製造方法は、金属電極2の表面に半導体基板(半導体層)3を形成する工程と、この半導体基板3の上面(表面)に且つ当該上面に垂直に、複数のカーボンナノチューブ4を、その直径が一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化するように並列に且つ主として金属的性質を有するように、つまり金属として形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子、例えばリン(P)またはホウ素(B)をドーピングする工程と、
これら各カーボンナノチューブ4の上面(端面)に透明電極5を形成するとともに、上記金属基板2側に磁石体22を配置して磁力(磁界)を付与する工程とを具備する方法である。
A method for manufacturing a solar cell will be briefly described as follows.
In this manufacturing method, a step of forming a semiconductor substrate (semiconductor layer) 3 on the surface of the metal electrode 2, a plurality of carbon nanotubes 4 having a diameter on the upper surface (surface) of the semiconductor substrate 3 and perpendicular to the upper surface. Are formed in parallel and so as to have mainly metallic properties so as to change stepwise or continuously from one side to the other side, that is, formed as a metal, and the carbon valence of each of these carbon nanotubes is different Doping with atoms having a valence, such as phosphorus (P) or boron (B);
And forming a transparent electrode 5 on the upper surface (end surface) of each carbon nanotube 4 and disposing a magnet body 22 on the metal substrate 2 side to apply a magnetic force (magnetic field).

さらに、この太陽電池を用いた太陽電池装置についても、実施例1に記載したものと同様の構成を有するものであり、その説明については省略する。   Furthermore, the solar cell device using this solar cell also has the same configuration as that described in Example 1, and the description thereof is omitted.

以下、本発明の実施例3に係る太陽電池およびその製造方法、並びにこの太陽電池を用いた太陽電池装置について説明する。
上記実施例2においては、金属的性質を有するつまり金属としてのカーボンナノチューブに、1個の磁石体を配置して同一の磁力つまり均一な強さの磁力(磁界)を付与するように説明したが、本実施例3においては、カーボンナノチューブのチューブ列毎に磁力(磁界)の強さを変化させるようにしたものである。
Hereinafter, a solar cell according to Example 3 of the present invention, a manufacturing method thereof, and a solar cell device using the solar cell will be described.
In the second embodiment, it has been described that one magnet body is disposed on a carbon nanotube having a metallic property, that is, a metal, to apply the same magnetic force, that is, a magnetic force (magnetic field) having a uniform strength. In the third embodiment, the strength of the magnetic force (magnetic field) is changed for each tube row of carbon nanotubes.

以下、本実施例3について説明するが、実施例2と異なる箇所は、それぞれ異なる強さの磁力を有する磁石体を複数個配置したことにあるため、この部分に着目して説明するとともにそれ以外の構成についてはその説明を省略する。   Hereinafter, the third embodiment will be described. The difference from the second embodiment is that a plurality of magnet bodies each having a different magnetic strength are arranged. The description of the configuration is omitted.

この太陽電池は、カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するもの、つまり金属として形成するとともに、金属電極の下方(下面)に、磁石体(電磁石でもよい)を複数個配置するとともに、各磁石体の磁力(磁界)の強さが異なるようにしたものである。磁石体以外の構成については、実施例2で説明した通りである。   In this solar cell, carbon nanotubes are mainly formed of a metal property, that is, as a metal, and a plurality of magnet bodies (or electromagnets) may be disposed below (underside) the metal electrode, and each magnet body The strength of the magnetic force (magnetic field) is different. The configuration other than the magnet body is as described in the second embodiment.

このように、カーボンナノチューブに磁力(磁界)を付与することにより、金属としてのギャップエネルギー(M1)を変化させることができるとともに、それぞれのチューブ列に付与される磁力の強さが異なるようにされているため、カーボンナノチューブにおけるギャップエネルギーの値を細かく変化させることができるため、より広範囲の波長の光線にも対応した太陽電池を得ることができる。   Thus, by applying a magnetic force (magnetic field) to the carbon nanotube, the gap energy (M1) as a metal can be changed, and the strength of the magnetic force applied to each tube row is made different. Therefore, since the gap energy value in the carbon nanotube can be finely changed, it is possible to obtain a solar cell corresponding to a light beam having a wider range of wavelengths.

ここで、本実施例3に係る太陽電池の概略構成を示すと、以下のようになる。
この太陽電池は、金属電極と、この金属電極の上面(表面)に配置された半導体基板(半導体層)と、この半導体基板の上面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記各カーボンナノチューブを、主として、金属的性質を有するように形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子、例えばリン(P)またはホウ素(B)をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的に変化させるとともに、上記直径が段階的に変化されたカーボンナノチューブにおける同一直径のカーボンナノチューブ群毎に、強さが異なる磁力を付与するように構成したものである。この場合も、カーボンナノチューブの直径を連続的に変化させるようにしてもよく、またその磁力付与については、カーボンナノチューブの直径に応じて(に基づき)区分けされた範囲毎に、その強さが異なるようにされる。
Here, it is as follows when the schematic structure of the solar cell which concerns on the present Example 3 is shown.
The solar cell includes a metal electrode, a semiconductor substrate (semiconductor layer) disposed on the upper surface (front surface) of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed vertically on the upper surface of the semiconductor substrate, A transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode,
The carbon nanotubes are mainly formed so as to have metallic properties, and each carbon nanotube is doped with an atom having a valence different from the carbon valence, for example, phosphorus (P) or boron (B),
Further, the diameters of the juxtaposed carbon nanotubes are changed stepwise from one side to the other side, and the strength is different for each carbon nanotube group having the same diameter in the carbon nanotubes having the diameter changed stepwise. It is configured to apply a magnetic force. Also in this case, the diameter of the carbon nanotube may be continuously changed, and the strength of the magnetic force is different for each divided range according to (based on) the diameter of the carbon nanotube. To be done.

また、太陽電池の製造方法についても、簡単に説明すると以下のようになる。
この製造方法は、金属電極の上面(表面)に半導体基板(半導体層)を形成する工程と、この半導体基板の上面(表面)に且つ当該上面に垂直に、複数のカーボンナノチューブを、その直径が一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化するように並列に且つ主として金属的性質を有するように形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子、例えばリン(P)またはホウ素(B)をドーピングする工程と、
次にこれら各カーボンナノチューブの上面(端面)に透明電極を形成するとともに、上記金属基板側に磁石体により磁力(磁界)を付与する工程とを具備する方法である。
A method for manufacturing a solar cell will be briefly described as follows.
In this manufacturing method, a semiconductor substrate (semiconductor layer) is formed on the upper surface (surface) of a metal electrode, and a plurality of carbon nanotubes are formed on the upper surface (surface) of the semiconductor substrate and perpendicular to the upper surface. Atoms having a valence different from the carbon valence in each carbon nanotube while being formed in parallel and mainly having metallic properties so as to change stepwise or continuously from one side to the other side Doping with, for example, phosphorus (P) or boron (B);
Next, a transparent electrode is formed on the upper surface (end surface) of each carbon nanotube, and a magnetic force (magnetic field) is applied to the metal substrate side by a magnet body.

さらに、この太陽電池を用いた太陽電池装置についても、実施例1に記載したものと同様の構成を有するものであり、その説明については省略する。   Furthermore, the solar cell device using this solar cell also has the same configuration as that described in Example 1, and a description thereof will be omitted.

1 太陽電池
2 金属電極
3 p型半導体基板
4 カーボンナノチューブ
5 透明電極
11 太陽電池装置
12 分光器
13 出力調整器
16 DC/DCコンバータ
21 太陽電池
22 磁石体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solar cell 2 Metal electrode 3 P-type semiconductor substrate 4 Carbon nanotube 5 Transparent electrode 11 Solar cell apparatus 12 Spectrometer 13 Output regulator 16 DC / DC converter 21 Solar cell 22 Magnet body

Claims (5)

金属電極と、この金属電極の表面に配置された半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記カーボンナノチューブを、主として、金属的性質を有するように形成するとともに、上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させたことを特徴とする太陽電池。
Metal electrode, semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicular to the surface of the semiconductor layer, and a transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode of each carbon nanotube And
The carbon nanotubes are mainly formed so as to have metallic properties, and the diameters of the juxtaposed carbon nanotubes are changed stepwise or continuously from one side to the other side. Solar cell.
金属電極と、この金属電極の表面に配置された半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記各カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるとともに、上記並置されたカーボンナノチューブに磁界を付与するように構成したことを特徴とする太陽電池。
Metal electrode, semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicular to the surface of the semiconductor layer, and a transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode of each carbon nanotube And
Each carbon nanotube is formed so as to have mainly metallic properties, and each carbon nanotube is doped with an atom having a valence different from the carbon valence,
Furthermore, the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is changed stepwise or continuously from one side to the other side, and a magnetic field is applied to the juxtaposed carbon nanotubes. battery.
金属電極と、この金属電極の表面に配置された半導体層と、この半導体層の表面に垂直に複数並置されたカーボンナノチューブと、これら各カーボンナノチューブの金属電極とは反対側に配置された透明電極とを具備し、
上記各カーボンナノチューブを、主として金属的性質を有するように形成するとともに、これら各カーボンナノチューブに炭素原子価とは異なる原子価を有する原子をドーピングし、
さらに上記並置されたカーボンナノチューブの直径を一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化させるとともに、上記並置されたカーボンナノチューブの直径に応じた、強さが異なる磁界を付与するように構成したことを特徴とする太陽電池。
Metal electrode, semiconductor layer disposed on the surface of the metal electrode, a plurality of carbon nanotubes juxtaposed perpendicular to the surface of the semiconductor layer, and a transparent electrode disposed on the opposite side of the metal electrode of each carbon nanotube And
Each carbon nanotube is formed so as to have mainly metallic properties, and each carbon nanotube is doped with an atom having a valence different from the carbon valence,
Further, the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes is changed stepwise or continuously from one side to the other side, and a magnetic field having a different strength is applied according to the diameter of the juxtaposed carbon nanotubes. A solar cell characterized in that it is configured as follows.
金属電極の表面に半導体層を形成し、
次にこの半導体層の表面に且つ当該表面に垂直に、複数のカーボンナノチューブを、その直径が一方側から他方側に向かって段階的にまたは連続的に変化するように並列に且つ主として金属的性質を有するように形成し、
次にこれら各カーボンナノチューブの端面に透明電極を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
Forming a semiconductor layer on the surface of the metal electrode;
Next, on the surface of the semiconductor layer and perpendicular to the surface, a plurality of carbon nanotubes are arranged in parallel and mainly in a metallic manner so that the diameter changes stepwise or continuously from one side to the other side. Formed to have
Next, a transparent electrode is formed on the end face of each of these carbon nanotubes.
請求項1乃至3のいずれかに記載の太陽電池を用いた太陽電池装置であって、
太陽電池の透明電極の表面に、太陽光線を分光させる分光器を配置するとともに、この太陽電池における各カーボンナノチューブにて得られた電気を所定電圧に調整する電圧調整器を具備したことを特徴とする太陽電池装置。
A solar cell device using the solar cell according to any one of claims 1 to 3,
A spectroscope that disperses sunlight rays is arranged on the surface of the transparent electrode of the solar cell, and a voltage regulator that adjusts the electricity obtained from each carbon nanotube in the solar cell to a predetermined voltage is provided. A solar cell device.
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