JP2011103244A - Substrate for process evaluation of organic electroluminescent device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for process evaluation of an organic electroluminescent device in which evaluation of individual lighting and evaluation of whole lighting can be made using one substrate, and moreover, there is no fear of degradation of measurement accuracy even in case variations in characteristics in units of pixels exist, and man-hour and manufacturing cost for making a test substrate can be reduced. <P>SOLUTION: The substrate for process evaluation 31 has an individual lighting region 33 and whole lighting regions 34, 35 in proximity to both sides of the individual lighting region 33 installed on a substrate 32, and the individual lighting region 33 is connected in parallel with a terminal 44 of an FPC 43 and a terminal 47 of an FPC 46, and the whole lighting regions 34, 35 are connected in parallel with an anode terminal 52 and a cathode terminal 54. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板に関するものである。   The present invention relates to a substrate for process evaluation of an organic electroluminescence device.

近年、自発光型の平面表示型電気光学装置として、有機薄膜により発光層（電気光学層）等を構成した多層構造の有機エレクトロルミネッセンス（Electroluminescence：ＥＬ）装置が開発され、これまでにも様々な提案がなされている（例えば、特許文献１等参照）。
この有機ＥＬ装置には、トップエミッション型と、ボトムエミッション型の２種類のものがあり、薄型、軽量、フレキシブル等の優れた特徴を有することから、ディスプレイパネル、電子ペーパー等、様々な分野への応用が進められている。 2. Description of the Related Art In recent years, organic electroluminescence (EL) devices having a multilayer structure in which a light emitting layer (electrooptic layer) or the like is formed of an organic thin film have been developed as self-luminous flat display type electrooptic devices. Proposals have been made (see, for example, Patent Document 1).
There are two types of organic EL devices, a top emission type and a bottom emission type, and they have excellent features such as thinness, light weight, and flexibility, so they can be used in various fields such as display panels and electronic paper. Application is underway.

この有機ＥＬ装置を作製する方法としては、例えば、インクジェット法が挙げられる（例えば、特許文献２参照）。
インクジェット法を用いて有機ＥＬ装置を作製するには、基板上に設けられた発光領域となるバンク内の被塗布領域に、例えば、有機半導体発光材料またはカラーフィルタ材料を含む液滴を吐出して充填し、この充填した液滴に加熱処理、減圧処理のいずれか一方または双方を施して液滴に含まれる溶媒を除去する。これにより、被塗布領域に発光層またはカラーフィルタ層となる薄膜が形成される。
有機半導体発光材料としては、例えば、赤、緑、青から選択され電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生する発光材料が用いられ、また、カラーフィルタ材料としては、例えば、赤、緑、青から選択された着色材料が用いられる。 As a method for manufacturing this organic EL device, for example, an ink jet method is used (for example, see Patent Document 2).
In order to fabricate an organic EL device using the inkjet method, for example, droplets containing an organic semiconductor light emitting material or a color filter material are ejected onto a coated region in a bank that is a light emitting region provided on a substrate. The filled droplets are subjected to one or both of heat treatment and decompression treatment to remove the solvent contained in the droplets. Thereby, the thin film used as a light emitting layer or a color filter layer is formed in a to-be-coated region.
As the organic semiconductor light emitting material, for example, a light emitting material that is selected from red, green, and blue and generates electroluminescence by applying an electric field is used. As the color filter material, for example, selected from red, green, and blue. Colored materials are used.

この有機ＥＬ装置では、インクジェット法によるインクの液滴の吐出量、この吐出された液滴に加熱処理、減圧処理のいずれか一方または双方を施して得られた画素の厚みや発光特性等を、複数の画素をまとめて駆動させることで評価している。また、１画素の個別点灯の評価と、画素部全体の全面点灯の評価とは、それぞれ別個のテスト基板を用いて評価している。   In this organic EL device, the discharge amount of ink droplets by the inkjet method, the thickness and light emission characteristics of the pixels obtained by subjecting the discharged droplets to one or both of heat treatment and decompression treatment, Evaluation is performed by driving a plurality of pixels together. In addition, evaluation of individual lighting of one pixel and evaluation of full lighting of the entire pixel portion are evaluated using separate test boards.

特開２００５−８５４８８号公報JP 2005-85488 A 特許第３３２８２９７号公報Japanese Patent No. 3328297

ところで、従来の有機ＥＬ装置では、複数の画素をまとめて駆動させることで特性を評価しているので、１画素毎の特性がばらつくと、画素部全体の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）がばらついてしまい、測定精度が低下するという問題点があった。
また、１画素の個別点灯の評価と、画素部全体の全面点灯の評価とを、それぞれ別個のテスト基板を用いて評価しているので、インクジェットプロセスにおける吐出条件等が、個別点灯の評価に用いたテスト基板と、全面点灯の評価に用いたテスト基板とで異なる可能性がある。この場合、個別点灯の評価と全面点灯の評価とで条件等が異なるために、得られた特性の結果についても、これらの条件の違い等を考慮して評価する必要があり、特性評価の簡便性に欠けるという問題点があった。
さらに、個別点灯の評価と全面点灯の評価それぞれに対して個別にテスト基板を作製する必要があり、テスト基板を作製するための余分な工数及び製造コストが掛かるという問題点もあった。 By the way, in the conventional organic EL device, since the characteristics are evaluated by driving a plurality of pixels collectively, if the characteristics of each pixel vary, the current-voltage-luminance evaluation (IVL evaluation) of the entire pixel portion. As a result, the measurement accuracy decreases.
In addition, evaluation of individual lighting of one pixel and evaluation of full lighting of the entire pixel portion are evaluated using separate test substrates, so that the ejection conditions in the inkjet process are used for evaluation of individual lighting. The test board used may be different from the test board used for full lighting evaluation. In this case, since the conditions, etc. are different between the individual lighting evaluation and the full lighting evaluation, it is necessary to evaluate the obtained characteristic results in consideration of the difference in these conditions, etc. There was a problem of lack of sex.
Furthermore, it is necessary to individually prepare a test substrate for each of the evaluation of individual lighting and the evaluation of full lighting, and there is a problem that extra man-hours and manufacturing costs for manufacturing the test substrate are required.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、個別点灯の評価と、全面点灯の評価とを、１つの基板を用いて評価することが可能であり、しかも、１画素毎の特性がばらついた場合においても、測定精度が低下する虞がなく、さらに、テスト基板を作製するための工数及び製造コストを低減することが可能な有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and it is possible to evaluate an individual lighting and an entire lighting using a single substrate, and further, one pixel. Providing a substrate for process evaluation of an organic electroluminescence device that can reduce the man-hours and manufacturing costs for producing a test substrate even when the characteristics vary from one device to another. The purpose is to do.

上記の課題を解決するために、本発明は以下の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板を採用した。
すなわち、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板は、基板上に、インクジェット法により複数個の画素領域をマトリックス状に形成して画素部とする際に用いられる有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板であって、基板上に、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した個別点灯領域と、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した全面点灯領域とを備え、前記個別点灯領域には、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して独立して電流を供給することが可能な複数の画素電極が形成され、前記全面点灯領域には、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して一括して電流を供給することが可能な単一の若しくは互いに配線にて接続された複数の画素電極が形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention employs the following process evaluation substrate for an organic electroluminescence device.
That is, the process evaluation substrate of the organic electroluminescence device of the present invention is a process evaluation of an organic electroluminescence device used when a plurality of pixel regions are formed in a matrix on the substrate by an inkjet method to form a pixel portion. A plurality of application areas arranged in a matrix on the substrate, and an entire illumination area in which a plurality of application areas are arranged in a matrix. A plurality of pixel electrodes capable of supplying a current independently to the organic light emitting layer disposed in each coated region are formed, and the entire lighting region is disposed in each coated region. A plurality of pixel electrodes that are capable of supplying current to the organic light emitting layer in a single operation or that are connected to each other by wiring; That.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板では、基板上に、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した個別点灯領域と、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した全面点灯領域とを備え、個別点灯領域に、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して独立して電流を供給することが可能な複数の画素電極を形成し、全面点灯領域に、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して一括して電流を供給することが可能な単一の若しくは互いに配線にて接続された複数の画素電極を形成したので、インクジェットプロセスにおける吐出条件等が個別点灯と全面点灯とで同一となり、個別点灯と全面点灯とで特性の結果が異なる虞が無くなる。したがって、１つの基板を用いて同一の条件の下で個別点灯の評価と全面点灯の評価とを行うことができる。
また、１つの基板を用いて個別点灯の評価と全面点灯の評価とを行うので、個別点灯領域と全面点灯領域が同一のプロセス履歴を有するものとなり、したがって、プロセス履歴の影響を受けることなく個別点灯の評価及び全面点灯の評価を正確に行うことができ、これらの評価の信頼性を高めることができ、画素毎の特性がばらついた場合においても、測定精度が低下する虞がない。
また、テスト基板を作製するための工数及び製造コストを低減することができる。 In the substrate for process evaluation of the organic electroluminescence device of the present invention, on the substrate, individual lighting areas in which a plurality of coated areas are arranged in a matrix, and a whole lighting area in which a plurality of coated areas are arranged in a matrix A plurality of pixel electrodes capable of supplying a current independently to the organic light emitting layer disposed in each coating region in the individual lighting region, and each coating region in the entire lighting region. Since a plurality of pixel electrodes that can supply current to the organic light emitting layer arranged in the region at once or are connected to each other by wiring are formed, the discharge conditions in the inkjet process are individually It is the same for lighting and full lighting, and there is no possibility that the result of characteristics differs between individual lighting and full lighting. Therefore, the evaluation of individual lighting and the evaluation of full lighting can be performed under the same conditions using one substrate.
Also, since the individual lighting evaluation and the entire lighting evaluation are performed using one substrate, the individual lighting area and the entire lighting area have the same process history, and therefore the individual lighting area and the entire lighting area are not affected by the process history. The evaluation of lighting and the evaluation of full lighting can be performed accurately, and the reliability of these evaluations can be increased. Even when the characteristics of each pixel vary, there is no possibility that the measurement accuracy is lowered.
Moreover, the man-hour and manufacturing cost for producing a test board | substrate can be reduced.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板は、前記全面点灯領域を２つの全面点灯領域により構成し、これらの全面点灯領域を前記個別点灯領域の両側それぞれに隣接して設け、前記個別点灯領域を第１の端子に接続するとともに、２つの前記全面点灯領域を第２の端子に並列接続してなることを特徴とする。   In the process evaluation substrate of the organic electroluminescence device of the present invention, the entire lighting region is configured by two entire lighting regions, and these full lighting regions are provided adjacent to both sides of the individual lighting region, and the individual lighting is performed. The region is connected to the first terminal, and the two full lighting regions are connected in parallel to the second terminal.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板では、全面点灯領域を２つの全面点灯領域により構成し、これらの全面点灯領域を個別点灯領域の両側それぞれに隣接して設けたので、個別点灯領域の両側それぞれに隣接して設けられた２つの全面点灯領域により全面点灯のインクジェットプロセスにおける吐出条件等の経時変化を評価することができる。したがって、１つの基板を用いて、個別点灯の評価と、全面点灯の経時評価とを行うことができる。   In the substrate for process evaluation of the organic electroluminescence device of the present invention, the entire lighting region is constituted by two full lighting regions, and these full lighting regions are provided adjacent to both sides of the individual lighting regions. It is possible to evaluate changes over time in the discharge conditions and the like in the full-on inkjet process using the two full-on regions provided adjacent to both sides of each. Therefore, it is possible to perform individual lighting evaluation and temporal lighting evaluation over time using a single substrate.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板は、前記全面点灯領域を前記個別点灯領域に隣接して設け、前記個別点灯領域を第１の端子に、前記全面点灯領域を第２の端子に、それぞれ接続してなることを特徴とする。   The substrate for process evaluation of the organic electroluminescence device of the present invention is provided with the full lighting region adjacent to the individual lighting region, the individual lighting region as a first terminal, and the full lighting region as a second terminal. These are connected to each other.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板では、全面点灯領域を個別点灯領域に隣接して設け、個別点灯領域を第１の端子に、全面点灯領域を第２の端子に、それぞれ接続したので、１つの基板を用いて同一の条件の下で個別点灯の評価と全面点灯の評価とを行うことができる。
したがって、１つの基板を用いて、個別点灯の評価と全面点灯の評価とを簡便に行うことができる。 In the process evaluation substrate of the organic electroluminescence device of the present invention, the entire lighting area is provided adjacent to the individual lighting area, and the individual lighting area is connected to the first terminal and the entire lighting area is connected to the second terminal. Therefore, the evaluation of individual lighting and the evaluation of whole lighting can be performed under the same conditions using one substrate.
Therefore, the evaluation of individual lighting and the evaluation of full lighting can be easily performed using one substrate.

本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の画素領域を示す平面構成図である。It is a plane block diagram which shows the pixel area | region of the organic electroluminescence display of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図である。It is a figure which shows the wiring structure of the organic electroluminescence display of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態の工程評価用基板を示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate for process evaluation of the 1st Embodiment of this invention. インクジェット法を用いた液滴吐出装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the droplet discharge apparatus using the inkjet method. 本発明の第１の実施形態の工程評価用基板を用いた評価方法を示す過程図である。It is process drawing which shows the evaluation method using the board | substrate for process evaluation of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態の工程評価用基板を示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate for process evaluation of the 2nd Embodiment of this invention.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置の工程評価用基板を実施するための形態について説明する。   The form for implementing the board | substrate for process evaluation of the organic electroluminescent (EL) apparatus of this invention is demonstrated.

「第１の実施形態」
図１は、本実施形態の工程評価用基板が適用される有機ＥＬ表示装置を示す平面図、図２は、この有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図であり、この有機ＥＬ表示装置１は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス型の有機ＥＬ表示装置である。 “First Embodiment”
FIG. 1 is a plan view showing an organic EL display device to which the substrate for process evaluation of this embodiment is applied. FIG. 2 is a diagram showing a wiring structure of the organic EL display device. This is an active matrix type organic EL display device using a thin film transistor (TFT) as a switching element.

この有機ＥＬ表示装置１は、図１に示すように、平面視略矩形状の素子基板２の中央部分に、複数の画素領域３がマトリクス状に配置されて実表示領域４が形成され、この素子基板２上の実表示領域４の外側には、この実表示領域４を囲むように信号線駆動回路５及び一対の走査線駆動回路６が設けられ、これら信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６を含む領域がダミー領域７とされ、この素子基板２上のダミー領域７の外側には、陰極用配線８が設けられ、この実表示領域４及びダミー領域７により画素部９が構成されている。
そして、素子基板２の端部には、陰極用配線８等を外部と接続するための配線基板１０が設けられている。 As shown in FIG. 1, the organic EL display device 1 includes a plurality of pixel regions 3 arranged in a matrix in a central portion of a substantially rectangular element substrate 2 in plan view, and an actual display region 4 is formed. A signal line driving circuit 5 and a pair of scanning line driving circuits 6 are provided outside the actual display area 4 on the element substrate 2 so as to surround the actual display area 4, and these signal line driving circuit 5 and scanning line driving are provided. A region including the circuit 6 is a dummy region 7, and a cathode wiring 8 is provided outside the dummy region 7 on the element substrate 2, and the pixel portion 9 is configured by the actual display region 4 and the dummy region 7. ing.
A wiring substrate 10 for connecting the cathode wiring 8 and the like to the outside is provided at the end of the element substrate 2.

この画素領域３の配列は、図１に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で繰り返されるように配列されている。すなわち、この画素領域３の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域３が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
この画素領域３におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の色は、画素領域３の発光層に発光材料を、または、画素領域３のエレクトロルミネッセンスを発生する発光層上にカラーフィルタを設けることにより可能である。例えば、発光材料としては、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料が挙げられ、また、エレクトロルミネッセンスを発生する発光層上に設けられるカラーフィルタ材料としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の着色材料が挙げられる。 This pixel region 3 is arranged so that each of R (red), G (green), and B (blue) has the same color in the Y-axis direction shown in FIG. 1, and R (red) in the X-axis direction. G (green) and B (blue) are arranged so as to be repeated in this order. In other words, the pixel region 3 is arranged in such a manner that pixel regions 3 of the same color arranged linearly in one direction (Y-axis direction) are arranged in parallel in the other direction (X-axis direction) at a predetermined interval. It has become a stripe type.
Each color of R (red), G (green), and B (blue) in the pixel region 3 is formed on the light emitting layer in the pixel region 3 or on the light emitting layer that generates the electroluminescence in the pixel region 3. This is possible by providing a color filter. For example, examples of the light emitting material include R (red), G (green), and B (blue) organic semiconductor light emitting materials that generate electroluminescence upon application of an electric field, and on the light emitting layer that generates electroluminescence. Examples of the color filter material provided in R include red (R), G (green), and B (blue) coloring materials.

この有機ＥＬ表示装置１の配線構造は、図２に示すように、複数（図示では５本）の走査線１１と、これらの走査線１１に直交して延びる複数（図示では４本）の信号線１２及び電源線１３とが設けられており、走査線１１及び信号線１２に囲まれた領域が画素領域３に対応している。
これらの画素領域３それぞれには、画素電極となる陽極層２１と、陰極層２２と、これら陽極層２１及び陰極層２２により挟まれた発光層２３とにより有機ＥＬ素子が構成されている。
また、これらの画素領域３それぞれには、陽極層２１をスイッチング制御するためのスイッチング用ＴＦＴ２４、２５と保持容量２６とが設けられている。 As shown in FIG. 2, the organic EL display device 1 has a plurality of (five in the figure) scanning lines 11 and a plurality of (four in the figure) signals extending perpendicularly to the scanning lines 11. A line 12 and a power supply line 13 are provided, and a region surrounded by the scanning line 11 and the signal line 12 corresponds to the pixel region 3.
In each of these pixel regions 3, an organic EL element is configured by an anode layer 21 serving as a pixel electrode, a cathode layer 22, and a light emitting layer 23 sandwiched between the anode layer 21 and the cathode layer 22.
Each of these pixel regions 3 is provided with switching TFTs 24 and 25 and a storage capacitor 26 for switching the anode layer 21.

図３は、この有機ＥＬ表示装置１の製造工程の評価に用いられる工程評価用基板３１であり、素子基板２上に、インクジェットにより液滴を吐出することにより複数個の画素領域３をマトリックス状に形成する際の、液滴及びそれにより形成される薄膜の形状及び特性の評価を行うための基板であり、例えば、インクジェットによる液滴の吐出量の調整及び確認、液滴を乾燥して薄膜とした場合の薄膜と液滴の吐出量との相関、液滴の吐出量と薄膜の特性との相関等を評価・確認する場合に用いられる基板である。   FIG. 3 shows a process evaluation substrate 31 used for evaluation of the manufacturing process of the organic EL display device 1. A plurality of pixel regions 3 are arranged in a matrix by ejecting droplets onto the element substrate 2 by ink jetting. Is a substrate for evaluating the shape and characteristics of a droplet and a thin film formed thereby, for example, adjustment and confirmation of the discharge amount of the droplet by inkjet, and drying the droplet to form a thin film In this case, the substrate is used for evaluating and confirming the correlation between the thin film and the droplet discharge amount, the correlation between the droplet discharge amount and the thin film characteristics, and the like.

この工程評価用基板３１は、矩形板状の基板３２の解像度が一律な発光領域の長手方向の中心線上に、この基板３２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って延在する個別点灯領域３３が設けられ、この個別点灯領域３３の両側それぞれに、全面点灯領域３４、３５が設けられている。   This process evaluation substrate 31 has an individual lighting region 33 that extends along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the substrate 32 on the center line in the longitudinal direction of the light emitting region where the resolution of the rectangular substrate 32 is uniform. The full lighting regions 34 and 35 are provided on both sides of the individual lighting region 33, respectively.

この個別点灯領域３３は、バンクにより区画された複数個の被塗布領域４１がマトリックス状に配置されたもので、これらの被塗布領域４１の配列は、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列（図３では１９個）され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で複数回（図３では２回）繰り返されるように配列（図３では計６列）されている。すなわち、これらの被塗布領域４１の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の被塗布領域４１が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。   The individual lighting area 33 is a matrix in which a plurality of application areas 41 partitioned by banks are arranged. The arrangement of the application areas 41 is R (red) in the Y-axis direction shown in FIG. ), G (green), and B (blue) are arranged so as to have the same color (19 in FIG. 3), and R (red), G (green), and B (blue) are arranged in this order in the X-axis direction. Are arranged so as to be repeated a plurality of times (two times in FIG. 3) (total of six rows in FIG. 3). That is, the application areas 41 are arranged such that the application areas 41 of the same color arranged linearly in one direction (Y-axis direction) are parallel to each other in the other direction (X-axis direction) with a predetermined interval. It becomes the stripe type arranged in the.

この個別点灯領域３３では、個々の画素毎の発光特性を評価するためのもので、複数個の被塗布領域４１それぞれの上端部が配線４２を介して基板３２の長手方向の一方の側面に取り付けられたフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）４３のそれぞれの（第１の）端子４４に並列接続され、それぞれの下端部が配線４５を介して基板３２の長手方向の他方の側面に取り付けられたフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）４６のそれぞれの（第１の）端子４７に並列接続されている。   The individual lighting area 33 is used for evaluating the light emission characteristics of each pixel, and the upper end of each of the plurality of application areas 41 is attached to one side surface in the longitudinal direction of the substrate 32 via the wiring 42. Flexible printed circuit board (FPC) 43 connected in parallel to each (first) terminal 44 and having its lower end attached to the other side surface in the longitudinal direction of substrate 32 via wiring 45 Each of the (first) terminals 47 of the wiring board (FPC) 46 is connected in parallel.

また、全面点灯領域３４、３５は、個別点灯領域３３と同様、バンクにより区画された複数個の被塗布領域４１がマトリックス状に配置されたもので、これらの被塗布領域４１の配列は、個別点灯領域３３と同様、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列（図３では１９個）され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で繰り返されるように配列（図３では計６列）されている。   Further, as in the individual lighting area 33, the entire lighting areas 34 and 35 are formed by arranging a plurality of coating areas 41 partitioned by banks in a matrix, and the arrangement of the coating areas 41 is individually set. Similar to the lighting region 33, R (red), G (green), and B (blue) are arranged in the same color in the Y-axis direction shown in FIG. 3 (19 in FIG. 3), and in the X-axis direction, R (red), G (green), and B (blue) are arranged so as to be repeated in this order (6 rows in FIG. 3).

これら全面点灯領域３４、３５では、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の被塗布領域４１それぞれが、配線５１を介して基板３２の長手方向の一方の端部に設けられた陽極端子（第２の端子）５２に並列接続されるとともに、配線５３を介して基板３２の長手方向の他方の端部に設けられた陰極端子（第２の端子）５４に並列接続されている。
例えば、Ｒ（赤）では、Ｙ軸方向に配列された１９個の被塗布領域４１それぞれが配線５１、５３により並列接続されている。Ｇ（緑）及びＢ（青）も同様にＹ軸方向に配列された１９個の被塗布領域４１それぞれが配線５１、５３により並列接続されている。そして、配線５１は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）共通の配線になっている。 In the entire lighting regions 34 and 35, the coated regions 41 of the same color arranged linearly in one direction (Y-axis direction) are provided at one end in the longitudinal direction of the substrate 32 via the wiring 51. The anode terminal (second terminal) 52 is connected in parallel, and is connected in parallel to the cathode terminal (second terminal) 54 provided at the other end in the longitudinal direction of the substrate 32 via the wiring 53. ing.
For example, in R (red), 19 application regions 41 arranged in the Y-axis direction are connected in parallel by wirings 51 and 53, respectively. Similarly, in G (green) and B (blue), 19 coated areas 41 arranged in the Y-axis direction are connected in parallel by wirings 51 and 53, respectively. The wiring 51 is a wiring common to R (red), G (green), and B (blue).

次に、この工程評価用基板３１を用いて、インクジェット法による画素領域３の製造工程を評価する方法について説明する。
ここでは、まず、画素領域３の製造に用いられるインクジェット法を用いた液滴吐出装置について、図４に基づき説明する。
この液滴吐出装置６１は、インクジェット法により素子基板２上の所定領域に液滴を吐出して複数の画素領域３を形成する装置であり、装置架台６２と、ワークステージ６３と、ステージ移動装置６４と、キャリッジ６５と、液滴吐出ヘッド６６と、キャリッジ移動装置６７と、チューブ６８と、第１〜第３タンク６９〜７１と、制御装置７２と、を備えている。 Next, a method for evaluating the manufacturing process of the pixel region 3 by the ink jet method using the process evaluation substrate 31 will be described.
Here, first, a droplet discharge apparatus using an inkjet method used for manufacturing the pixel region 3 will be described with reference to FIG.
The droplet discharge device 61 is a device that forms a plurality of pixel regions 3 by discharging droplets to a predetermined region on the element substrate 2 by an inkjet method. The device mount 62, a work stage 63, and a stage moving device 64, a carriage 65, a droplet discharge head 66, a carriage moving device 67, a tube 68, first to third tanks 69 to 71, and a control device 72.

装置架台６２は、ワークステージ６３及びステージ移動装置６４の支持台である。ワークステージ６３は、装置架台６２上においてステージ移動装置６４により主走査方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送される素子基板２（あるいは工程評価用基板３１）を真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置６４は、リニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備えており、制御装置７２から出力されるワークステージ６３の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ６３をＸ軸方向に移動させる。 The device mount 62 is a support for the work stage 63 and the stage moving device 64. The work stage 63 is installed on the apparatus base 62 so as to be movable in the X-axis direction, which is the main scanning direction, by the stage moving device 64, and is transported from the upstream transport device (not shown). The process evaluation substrate 31) is held on the XY plane by a vacuum suction mechanism.
The stage moving device 64 includes a linear motion mechanism such as a linear guide and a ball screw. The stage moving device 64 moves the work stage 63 based on a stage position control signal indicating the X coordinate of the movement destination of the work stage 63 output from the control device 72. Move in the X-axis direction.

キャリッジ６５は、液滴吐出ヘッド６６を保持しており、キャリッジ移動装置６７により副走査方向であるＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。
液滴吐出ヘッド６６は、複数のノズル（図示略）を備えており、制御装置７２から出力される描画データ信号や駆動信号に基づいて液滴を吐出する。
この液滴吐出ヘッド６６は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各液滴に対応した数だけヘッド（図示略）が設けられており、それぞれキャリッジ６５を介してチューブ６８と接続されている。
そして、Ｒ（赤）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第１タンク６９からＲ（赤）のインク（液体）が供給され、Ｇ（緑）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第２タンク７０からＧ（緑）のインク（液体）が供給され、Ｂ（青）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第３タンク７１からＢ（青）のインク（液体）が供給される。 The carriage 65 holds a droplet discharge head 66 and is provided so as to be movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, which are sub-scanning directions, by a carriage moving device 67.
The droplet discharge head 66 includes a plurality of nozzles (not shown), and discharges droplets based on a drawing data signal and a drive signal output from the control device 72.
The droplet discharge heads 66 are provided with a number of heads (not shown) corresponding to the R (red), G (green), and B (blue) droplets. Connected with.
The head corresponding to R (red) is supplied with ink (liquid) of R (red) from the first tank 69 via the tube 68, and the tube 68 is connected to the head corresponding to G (green). G (green) ink (liquid) is supplied from the second tank 70 to the head corresponding to B (blue), and B (blue) ink (liquid) is supplied from the third tank 71 to the head corresponding to B (blue). Is supplied.

キャリッジ移動装置６７は、装置架台６２をＹ軸方向に沿って跨ぐように設けられた橋梁構造のものであり、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿ってリニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備え、制御装置７２から出力されるキャリッジ６５の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ６５をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。   The carriage moving device 67 has a bridge structure provided so as to straddle the device mount 62 along the Y-axis direction, and includes a linear motion mechanism such as a linear guide and a ball screw along the Y-axis direction and the Z-axis direction. The carriage 65 is moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction based on the carriage position control signal indicating the Y-coordinate and Z-coordinate of the movement destination of the carriage 65 output from the control device 72.

チューブ６８は、第１〜第３タンク６９〜７１からキャリッジ６５にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各インクを供給するための供給用チューブである。
第１タンク６９は、Ｒ（赤）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＲ（赤）に対応するヘッドにＲ（赤）のインクを供給する。また、第２タンク７０は、Ｇ（緑）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＧ（緑）に対応するヘッドにＧ（緑）のインクを供給する。また、第３タンク７１は、Ｂ（青）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＢ（青）に対応するヘッドにＢ（青）のインクを供給する。 The tube 68 is a supply tube for supplying R (red), G (green), and B (blue) inks from the first to third tanks 69 to 71 to the carriage 65.
The first tank 69 stores R (red) ink and supplies R (red) ink to the head corresponding to R (red) of the droplet discharge head 66 via the tube 68. The second tank 70 stores G (green) ink and supplies the G (green) ink to the head corresponding to G (green) of the droplet discharge head 66 via the tube 68. The third tank 71 stores B (blue) ink and supplies B (blue) ink to the head corresponding to B (blue) of the droplet discharge head 66 via the tube 68.

制御装置７２は、ワークステージ６３の移動による素子基板２（あるいは工程評価用基板３１）の位置決め動作と、キャリッジ６５の移動による液滴吐出ヘッド６６の位置決め動作と、液滴吐出ヘッド６６による素子基板２（あるいは工程評価用基板３１）上の所定位置にインクを吐出する液滴吐出動作と、を制御する装置である。この制御装置７２では、ステージ移動装置６４にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６７にキャリッジ位置制御信号を出力し、液滴吐出ヘッド６６に描画データ及び駆動信号を出力する。   The controller 72 positions the element substrate 2 (or the process evaluation substrate 31) by moving the work stage 63, positions the droplet discharge head 66 by moving the carriage 65, and element substrate by the droplet discharge head 66. 2 (or the process evaluation substrate 31) is a device that controls a droplet discharge operation for discharging ink to a predetermined position. The control device 72 outputs a stage position control signal to the stage moving device 64, outputs a carriage position control signal to the carriage moving device 67, and outputs drawing data and a drive signal to the droplet discharge head 66.

次に、上記の工程評価用基板３１を用いて画素領域３の製造工程を評価する方法について、図３〜図５に基づき説明する。
ここでは、液滴吐出ヘッド６６から吐出する液滴として、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料を含むインクを用いる。 Next, a method for evaluating the manufacturing process of the pixel region 3 using the process evaluation substrate 31 will be described with reference to FIGS.
Here, as the liquid droplets ejected from the liquid droplet ejection head 66, an ink containing R (red), G (green), and B (blue) organic semiconductor light emitting materials that generate electroluminescence when an electric field is applied is used.

ここでは、ワークステージ６２上に工程評価用基板３１を載置し、この工程評価用基板３１の上面と液滴吐出ヘッド６６とを対向させ、図５（ａ）に示すように、工程評価用基板３１上の個別点灯領域３３及び全面点灯領域３４、３５それぞれの被塗布領域４１に、上述した液滴吐出装置６１を用いてインク８１を吐出する。
このインク８１は、被塗布領域４１内全体に広がり、塗膜８２となる。 Here, the process evaluation substrate 31 is placed on the work stage 62, and the upper surface of the process evaluation substrate 31 and the droplet discharge head 66 are opposed to each other, as shown in FIG. The ink 81 is ejected to the application areas 41 of the individual lighting areas 33 and the entire lighting areas 34 and 35 on the substrate 31 by using the droplet discharge device 61 described above.
This ink 81 spreads throughout the coated area 41 and becomes a coating film 82.

次いで、この塗膜８２を乾燥させる。
これにより、図５（ｂ）に示すように、基板３１上のそれぞれの被塗布領域４１に薄膜８３が形成された工程評価用のテスト基板８４が得られる。
このようにして、基板３１上の個別点灯領域３３及び全面点灯領域３４、３５それぞれの被塗布領域４１に薄膜８３が形成されることで、Ｙ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で繰り返されるように配列された工程評価用のテスト基板８４が得られる。 Next, the coating film 82 is dried.
As a result, as shown in FIG. 5B, a test substrate 84 for process evaluation in which a thin film 83 is formed in each coated region 41 on the substrate 31 is obtained.
In this way, the thin film 83 is formed in each of the application areas 41 of the individual lighting areas 33 and the entire lighting areas 34 and 35 on the substrate 31, so that R (red), G (green), B (blue) are arranged so that each has the same color, and in the X-axis direction, R (red), G (green), and B (blue) are arranged in this order to be a test board for process evaluation 84 is obtained.

次いで、このテスト基板８４の評価を行う。
例えば、個別点灯領域３３における薄膜８３の膜厚及び特性とインク８１の吐出量との相関を得たい場合、フレキシブルプリント配線板４３の端子４４及びフレキシブルプリント配線板４６の端子４７を用いて所望の位置の薄膜８３に定電圧を印加するか、または定電流を流して点灯させ、この薄膜８３自体の発光特性を測定する。このような動作を個別点灯領域３３内の全ての薄膜８３について行うことにより、個別点灯領域３３における薄膜８３の膜厚分布、薄膜８３の発光特性のばらつきとインク８１の吐出量との相関等が得られる。
なお、端子４４、４６の一方をピンプローブ等の直接接触させる端子に置き換えて測定しても、同様の結果を得ることができる。 Next, the test substrate 84 is evaluated.
For example, when it is desired to obtain a correlation between the film thickness and characteristics of the thin film 83 in the individual lighting region 33 and the ejection amount of the ink 81, the desired value is obtained using the terminal 44 of the flexible printed wiring board 43 and the terminal 47 of the flexible printed wiring board 46. A constant voltage is applied to the thin film 83 at the position, or a constant current is supplied to light the thin film 83, and the light emission characteristics of the thin film 83 itself are measured. By performing such an operation on all the thin films 83 in the individual lighting region 33, the film thickness distribution of the thin film 83 in the individual lighting region 33, the correlation between the variation in the light emission characteristics of the thin film 83 and the ejection amount of the ink 81, and the like can be obtained. can get.
Similar results can be obtained even if one of the terminals 44 and 46 is replaced with a terminal such as a pin probe that is in direct contact.

また、全面点灯領域３４、３５における薄膜８３の膜厚及び特性とインク８１の吐出量との相関を得たい場合、陽極端子５２と陰極端子５４との間に定電圧を印加し、これら全面点灯領域３４、３５内の全ての薄膜８３を点灯させ、これらの薄膜８３それぞれの発光を測定し、発光特性のばらつきを調べる。これにより、全面点灯領域３４、３５における薄膜８３の発光特性のばらつきとインク８１の吐出量との相関が得られる。   In addition, when it is desired to obtain a correlation between the film thickness and characteristics of the thin film 83 in the entire lighting regions 34 and 35 and the discharge amount of the ink 81, a constant voltage is applied between the anode terminal 52 and the cathode terminal 54, and the entire lighting is performed. All the thin films 83 in the regions 34 and 35 are turned on, the light emission of each of these thin films 83 is measured, and the variation in the light emission characteristics is examined. Thereby, the correlation between the variation in the light emission characteristics of the thin film 83 in the entire lighting regions 34 and 35 and the ejection amount of the ink 81 is obtained.

以上説明したように、本実施形態の工程評価用基板３１によれば、基板３２上に、個別点灯領域３３と全面点灯領域３４、３５とを設け、個別点灯領域３３に端子４４、４７を並列接続するとともに、全面点灯領域３４、３５に陽極端子５２及び陰極端子５４を並列接続したので、１つの基板を用いて同一の条件の下で個別点灯の評価と全面点灯の評価とを行うことができる。
また、１つの基板を用いて個別点灯の評価と全面点灯の評価とを行うので、個別点灯領域と全面点灯領域が同一のプロセス履歴を有するものとなり、したがって、プロセス履歴の影響を受けることなく個別点灯の評価及び全面点灯の評価を正確に行うことができる。 As described above, according to the process evaluation substrate 31 of the present embodiment, the individual lighting region 33 and the entire lighting regions 34 and 35 are provided on the substrate 32, and the terminals 44 and 47 are arranged in parallel in the individual lighting region 33. Since the anode terminal 52 and the cathode terminal 54 are connected in parallel to the entire lighting regions 34 and 35, the individual lighting evaluation and the entire lighting evaluation can be performed using the same substrate under the same conditions. it can.
Also, since the individual lighting evaluation and the entire lighting evaluation are performed using one substrate, the individual lighting area and the entire lighting area have the same process history, and therefore the individual lighting area and the entire lighting area are not affected by the process history. It is possible to accurately evaluate the lighting and the entire lighting.

また、１画素の単位で電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことができる。その結果、１画素の単位で膜厚あるいはインクの吐出量等の相関を確認することができる。
また、個別点灯領域３３及び全面点灯領域３４、３５における配線構造を簡単化することができるので、個別点灯領域３３及び全面点灯領域３４、３５のレイアウトを簡単化することができる。
また、画素毎に配線を引き出しているので、画素毎の電流−電圧特性（ＩＶ特性）を得ることができる。また、画素毎の輝度を測定することで、１つの画素の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことができる。 Further, current-voltage-luminance evaluation (IVL evaluation) can be performed in units of one pixel. As a result, a correlation such as a film thickness or an ink discharge amount can be confirmed in units of one pixel.
Moreover, since the wiring structure in the individual lighting region 33 and the entire lighting regions 34 and 35 can be simplified, the layout of the individual lighting region 33 and the entire lighting regions 34 and 35 can be simplified.
Further, since the wiring is drawn for each pixel, the current-voltage characteristic (IV characteristic) for each pixel can be obtained. Further, by measuring the luminance for each pixel, current-voltage-luminance evaluation (IVL evaluation) of one pixel can be performed.

「第２の実施形態」
図６は、本発明の第２の実施形態の工程評価用基板９１を示す平面図であり、本実施形態の工程評価用基板９１が第１の実施形態の工程評価用基板３１と異なる点は、個別点灯領域３３とフレキシブルプリント配線板４６との間の全面点灯領域３５を配線を結線しないダミー領域９２とし、この個別点灯領域３３からの配線を配線４５のみとしてフレキシブルプリント配線板４６のそれぞれの端子４７に並列接続し、さらに、全面点灯領域３４のみを陽極端子５２及び陰極端子５４に並列接続した点であり、これ以外の点については第１の実施形態の工程評価用基板３１と全く同様である。 “Second Embodiment”
FIG. 6 is a plan view showing a process evaluation substrate 91 according to the second embodiment of the present invention. The difference between the process evaluation substrate 91 according to this embodiment and the process evaluation substrate 31 according to the first embodiment is as follows. The entire lighting area 35 between the individual lighting area 33 and the flexible printed wiring board 46 is a dummy area 92 that does not connect the wiring, and the wiring from the individual lighting area 33 is the wiring 45 only. This is in that the entire surface lighting region 34 is connected in parallel to the terminal 47 and in parallel to the anode terminal 52 and the cathode terminal 54. The other points are exactly the same as those of the process evaluation substrate 31 of the first embodiment. It is.

本実施形態の工程評価用基板９１においても、第１の実施形態の工程評価用基板３１と同様の作用、効果を奏することができる。
また、個別点灯領域３３からの配線を配線４５のみとし、全面点灯領域３５を配線を結線しないダミー領域９２とし、さらに、全面点灯領域３４のみを陽極端子５２及び陰極端子５４に並列接続したので、個別点灯領域３３の配線と全面点灯領域３４の配線とが交差する虞が無くなり、したがって、独立して駆動させた場合においても、個別点灯領域３３の配線と全面点灯領域３４の配線とが絶縁破壊により短絡したり、あるいは静電気による破壊により短絡する虞がなくなり、その結果、安定した点灯及び測定を行うことができる。 Also in the process evaluation substrate 91 of the present embodiment, the same operations and effects as the process evaluation substrate 31 of the first embodiment can be achieved.
Further, the wiring from the individual lighting area 33 is only the wiring 45, the whole lighting area 35 is a dummy area 92 not connected to the wiring, and only the whole lighting area 34 is connected in parallel to the anode terminal 52 and the cathode terminal 54. There is no possibility that the wiring of the individual lighting area 33 and the wiring of the entire lighting area 34 intersect each other. Therefore, even when driven independently, the wiring of the individual lighting area 33 and the wiring of the entire lighting area 34 are broken down. Therefore, there is no possibility of short-circuiting or short-circuiting due to breakdown due to static electricity, so that stable lighting and measurement can be performed.

１…有機ＥＬ表示装置、２…素子基板、３…画素領域、４…実表示領域、９…画素部、３１…工程評価用基板、３２…基板、３３…個別点灯領域、３４、３５…全面点灯領域、４１…被塗布領域、４４…（第１の）端子、４７…（第１の）端子、５２…陽極端子（第２の端子）、５４…陰極端子（第２の端子）、６６…液滴吐出ヘッド、８１…インク、８２…塗膜、８３…薄膜、９１…工程評価用基板。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Organic EL display device, 2 ... Element board | substrate, 3 ... Pixel area | region, 4 ... Actual display area, 9 ... Pixel part, 31 ... Process evaluation board | substrate, 32 ... Substrate, 33 ... Individual lighting area | region, 34, 35 ... Whole surface Lighting area 41 .. Application area 44... (First) terminal 47... (First) terminal 52... Anode terminal (second terminal) 54 .. cathode terminal (second terminal) 66 A droplet discharge head, 81 an ink, a 82 coating film, a 83 thin film, a process evaluation substrate.

Claims (3)

基板上に、インクジェット法により複数個の画素領域をマトリックス状に形成して画素部とする際に用いられる有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板であって、
基板上に、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した個別点灯領域と、複数個の被塗布領域をマトリックス状に配置した全面点灯領域とを備え、
前記個別点灯領域には、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して独立して電流を供給することが可能な複数の画素電極が形成され、
前記全面点灯領域には、各被塗布領域に配置される有機発光層に対して一括して電流を供給することが可能な単一の若しくは互いに配線にて接続された複数の画素電極が形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板。 A substrate for evaluating the process of an organic electroluminescence device used when forming a plurality of pixel regions in a matrix by a inkjet method on a substrate to form a pixel portion,
On the substrate, provided with an individual lighting area in which a plurality of coated areas are arranged in a matrix, and a whole lighting area in which a plurality of coated areas are arranged in a matrix,
In the individual lighting region, a plurality of pixel electrodes capable of supplying a current independently to the organic light emitting layer disposed in each coated region are formed,
In the entire lighting region, a single pixel electrode or a plurality of pixel electrodes connected to each other by wiring can be supplied to the organic light emitting layer disposed in each coated region at once. A substrate for evaluating a process of an organic electroluminescence device. 前記全面点灯領域を２つの全面点灯領域により構成し、
これらの全面点灯領域を前記個別点灯領域の両側それぞれに隣接して設け、
前記個別点灯領域を第１の端子に接続するとともに、２つの前記全面点灯領域を第２の端子に並列接続してなることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板。 The full lighting area is composed of two full lighting areas,
These full lighting areas are provided adjacent to both sides of the individual lighting areas,
2. The process evaluation substrate for an organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the individual lighting areas are connected to a first terminal, and the two whole lighting areas are connected in parallel to a second terminal. . 前記全面点灯領域を前記個別点灯領域に隣接して設け、
前記個別点灯領域を第１の端子に、前記全面点灯領域を第２の端子に、それぞれ接続してなることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の工程評価用基板。 Providing the entire lighting area adjacent to the individual lighting area;
2. The process evaluation substrate for an organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the individual lighting region is connected to a first terminal, and the entire lighting region is connected to a second terminal.

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