JP2011086758A - 発光装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】電極に対する発光素子の向きが入れ替わっても正常に発光可能であり、製造コストを抑制可能な発光装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】この発光装置によれば、棒状発光素子5のN型の第2の領域7の両側にP型の第1の領域6とP型の第3の領域8とが配置されている。よって、第1,第3の電極1,3に対する棒状発光素子5の第1,第3の領域6,8の接続が入れ替わっても第1,第3の電極1,3に対するダイオード極性が入れ替わらないから、正常に発光可能になる。したがって、製造工程で第1,第3の電極1,3に対する第1,第3の領域6,8の接続が反対になってもよく、棒状発光素子5の方向性を識別するためのマークや形状も不必要となり、製造工程を簡略化でき製造コストを抑えることができる。
【選択図】図1

Description

この発明は、製造コストを抑制可能な発光装置およびその製造方法に関する。
従来、図7に示すように、半導体ナノワイヤー114を利用した発光ダイオード装置100が提案されている(特許文献1(特開2008−283191号公報)参照)。この発光ダイオード装置100は、半導体基板111、この半導体基板111の上面で互いに対向して配置された第1および第2半導体突出部112,113、上記第1半導体突出部112と第2半導体突出部113との間に懸架された半導体ナノワイヤー114を備えている。また、この発光ダイオード装置100は、上記第1,第2半導体突出部112,113の上面に形成された第1,第2電極115,116を備えている。また、上記第1半導体突出部112とこの第1半導体突出部112から延びた半導体ナノワイヤー114の一部114aとはP型にドーピングされており、第2半導体突出部113と第2半導体突出部113から延びた半導体ナノワイヤー114の残りの一部114bとは、N型にドーピングされている。
ところで、上記従来の発光ダイオード装置100では、第1電極115と第2電極116に対して、半導体ナノワイヤー114のP型ドーピングされた一部114aとN型ドーピングされた一部114bの接続が入れ替わると正常に発光しなくなる。よって、上記発光ダイオード装置100では、製造工程において、上記第1,第2電極115,116に対するP型,N型ドーピングされた一部114a,114bの接続が逆にならないように極性を合わせる必要があるので、特に発光ダイオードのサイズが小さい場合に製造工程を簡略化し難くて製造コストの上昇を招く。
特開2008−283191号公報
そこで、この発明の課題は、電極に対する発光素子の向きが入れ替わっても正常に発光可能であり、製造コストを抑制可能な発光装置およびその製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の発光装置は、
基板上に形成された第1の電極と、
上記基板上に形成された第2の電極と、
上記基板上に形成された第3の電極と、
第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んだ棒状発光素子と
を備え、
上記第1の領域が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続され、上記第2の領域が上記第2の電極に接続され、上記第3の領域が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続され、
さらに、上記第1の電極または第3の電極の一方から上記第1の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第1の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第1の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の一方に電流が流れる第2の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されるか、もしくは、上記第1の電極または第3の電極の他方から上記第3の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第3の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第3の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の他方に電流が流れる第4の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されることを特徴としている。
この発明の発光装置によれば、上記棒状発光素子の第2導電型の第2の領域の両側に第1導電型の第1の領域と第1導電型の第3の領域とが配置されている。よって、上記第1,第3の電極に対する棒状発光素子の第1,第3の領域の接続が入れ替わっても第1,第3の電極に対するダイオード極性が入れ替わらないから、正常に発光可能になる。したがって、製造工程で第1,第3の電極に対する第1,第3の領域の接続が反対になってもよく、棒状発光素子の方向性を識別するためのマークや形状も不必要となり、製造工程を簡略化でき製造コストを抑えることができる。
また、一実施形態の発光装置は、基板上に形成された第1の電極と、
上記基板上に形成された第2の電極と、
上記基板上に形成された第3の電極と、
第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んだ棒状発光素子とを備え、
上記第1の領域が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続され、上記第2の領域が上記第2の電極に接続され、上記第3の領域が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続され、
さらに、上記第1の電極または第3の電極の一方から上記第1の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れると共に上記第1の電極または第3の電極の他方から上記第3の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第1の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第1の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の一方に電流が流れると共に上記第2の電極から上記第2の領域と第3の領域を順に経由して上記1の電極または第3の電極の他方に電流が流れる第2の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されることを特徴としている。
この実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子の第2導電型の第2の領域の両側に第1導電型の第1の領域と第1導電型の第3の領域とが配置されている。よって、上記第1,第3の電極に対する棒状発光素子の第1,第3の領域の接続が入れ替わっても第1,第3の電極に対するダイオード極性が入れ替わらないから、正常に発光可能になる。したがって、製造工程で第1,第3の電極に対する第1,第3の領域の接続が反対になってもよく、棒状発光素子の方向性を識別するためのマークや形状も不必要となり、製造工程を簡略化でき製造コストを抑えることができる。
また、一実施形態の発光装置では、上記第1の領域の一端部と上記第2の領域の他端部とが接合されていると共に上記第2の領域の一端部と上記第3の領域の他端部とが接合されており、
上記第1の領域の他端部が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続されていると共に上記第3の領域の一端部が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続されている。
この実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子を、第1,第2,第3の領域が順に接合された棒状として、棒状発光素子の構造を簡略化できる。
また、一実施形態の発光装置では、上記棒状発光素子は、
上記第1の領域と上記第3の領域とが棒状に連なって構成されていると共に上記第2の領域を貫通しているコア部と、
上記第2の領域から構成されていると共に上記コア部の外周面を被覆するシェル部とを備え、
上記シェル部の両端から上記コア部の上記第1の領域と第3の領域が露出している。
この実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子は、第1導電型の第1,第3の領域によるコア部の外周面と第2導電型の第2の領域によるシェル部の内周面との接合面(PN接合面)が発光面になるので、発光面積を大きく取ることができ、大きな発光強度を得ることができる。
また、一実施形態の発光装置では、上記棒状発光素子の最大寸法が100μm以下である。
この実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子の最大寸法が100μm以下である。このような微細サイズの物体である棒状発光素子を向きも考慮して配置するには、この微細サイズの棒状発光素子を予め向きを揃えて準備しておくことが必要になる。もしくは、上記微細なサイズの棒状発光素子を掴んでから向きを揃える作業が必要になる。よって、この実施形態のように、棒状発光素子の最大寸法が100μm以下の微細な場合は、棒状発光素子の向きを揃える必要のない本発明に好適となる。また、棒状発光素子のサイズが100μm以下の小さいサイズであることで、熱が発光領域に篭らず、熱による出力低下や寿命低下を防ぐことができる。
また、一実施形態の発光装置の製造方法では、第1の電極と第2の電極および第3の電極を有する基板を用意する工程と、
上記基板に、第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んでいて最大寸法が100μm以下の複数の棒状発光素子を含んだ溶液を塗布する工程と、
上記第1の電極と第3の電極に電圧を印加して上記複数の棒状発光素子を上記第1,第2,第3の電極によって規定される位置に配列させる工程とを備える。
この実施形態の発光装置の製造方法によれば、いわゆる誘電泳動を用いて、上記第1,第2,第3の電極によって規定される位置に最大寸法が100μm以下の微細な上記棒状発光素子を配置できる。この製造方法では、上記棒状発光素子の向きを一方に決めることが困難なので、上記棒状発光素子の向きを一方に定める必要がない本発明の発光装置の製造方法として好適である。
また、一実施形態のディスプレイ用バックライトでは、上記発光装置を有するので、製造が容易であり製造コストが抑えられる。
また、一実施形態の照明装置は、上記発光装置を有するので、製造が容易であり製造コストが抑えられる。
また、一実施形態のLEDディスプレイは、上記発光装置を有するので、製造が容易であり製造コストが抑えられる。
この発明の発光装置によれば、棒状発光素子の第2導電型の第2の領域の両側に第1導電型の第1の領域と第1導電型の第3の領域とが配置されている。よって、第1,第3の電極に対する棒状発光素子の第1,第3の領域の向きが入れ替わっても極性が入れ替わらないから、正常に発光可能になる。したがって、製造工程で第1,第3の電極に対する第1,第3の領域の接続が反対になってもよく、製造工程を簡略化でき製造コストを抑えることができる。
この発明の発光装置の第1実施形態を示す平面図である。 この発明の発光装置の第2実施形態を示す平面図である。 上記第2実施形態が備える棒状発光素子の側面図である。 上記棒状発光素子の断面図である。 この発明の発光装置の第3実施形態を示す平面図である。 棒状構造の発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図5Aに続く棒状構造発光素子の製造方法の工程図である。 図5Bに続く棒状構造発光素子の製造方法の工程図である。 図5Cに続く棒状構造発光素子の製造方法の工程図である。 図5Dに続く棒状構造発光素子の製造方法の工程図である。 この発明の第5実施形態としてのLEDディスプレイの1画素の回路を示す図である。 従来の発光装置を示す斜視図である。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1を参照して、この発明の発光装置の第1実施形態を説明する。図1は、この第1実施形態を示す模式的な平面図である。
この第1実施形態の発光装置は、第1の電極1と第2の電極2と第3の電極3および棒状発光素子5を備え、上記第1〜第3の電極1〜3は基板4上に形成されている。上記第1〜第3の電極1〜3は、上記基板4上に順に配列されており、第1の電極1は、上記配列の方向と直交する方向に延びている基部1Aとこの基部1Aの略中央から上記第2の電極2に向かって突出している突出部1Bとを有する。また、上記第3の電極3は、上記配列の方向と直交する方向に延びている基部3Aとこの基部3Aの略中央から上記第2の電極2に向かって突出している突出部3Bとを有する。そして、上記第2の電極2は、上記第1の電極1と第3の電極3との間で上記配列の方向と直交する方向に延びている。
また、上記棒状発光素子5は、第1導電型の第1の領域としてのP型の第1領域6と、第2導電型の第2の領域としてのN型の第2領域7と、第3導電型の第3の領域としてのP型の第3領域8とを有する。上記P型の第1領域6とN型の第2領域7とP型の第3領域8とは第1の電極1から第3の電極3に向かって順に並んでいる。上記P型の第1領域6は上記第1の電極1の突出部1Bに接続され、上記N型の第2領域7は上記第2の電極2に接続され、上記P型の第3領域8は第3の電極3の突出部3Bに接続されている。
また、上記第1の電極1とグランドとの間に直流電源10が接続され、上記第3の電極3とグランドとの間に直流電源11が接続される。また、第2の電極2はグランドに接続される。上記直流電源10の正極が第1の電極1に接続され、上記直流電源10の負極がグランドに接続される。また、上記直流電源11の正極が第3の電極3に接続され、上記直流電源11の負極がグランドに接続される。
したがって、上記P型の第1領域6からN型の第2領域7に向かって電流が流れて上記P型の第1領域6とN型の第2領域7とのPN接合面S1で発光する。また、上記P型の第3領域8からN型の第2領域7に向かって電流が流れて上記P型の第3領域8とN型の第2領域7との接合面S2で発光する。
この実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子5のN型の第2領域7の両側にP型の第1領域6とP型の第3領域8とが配置されている。よって、棒状発光素子5の向きが図1に示す向きとは逆になり、第1,第3の電極1,3に対する棒状発光素子5の第1,第3領域6,8の接続が逆になって、第1の電極1に対してP型の第3領域8が接続されて第3の電極3に対してP型の第1領域6が接続されても、ダイオード極性が入れ替わらないから、正常に発光することが可能になる。したがって、この実施形態の発光装置によれば、製造工程において、第1,第3の電極1,3に対する第1,第3の領域6,8の接続が反対になってもよく、棒状発光素子5の方向性を識別するためのマークや形状が不必要となり、製造工程を簡略化できて製造コストを抑えることができる。特に、棒状発光素子5の最大寸法が、100μm以下の小さなサイズの場合には、微細サイズの部品となり棒状発光素子5の向きを予め揃える作業が困難であるので、棒状発光素子5の向きを揃えることが不必要な本実施形態により、製造工程を格段に簡略化できる。また、棒状発光素子5のサイズが100μm以下の小さいサイズであることで、熱が発光領域に篭らず、熱による出力低下や寿命低下を防ぐことができる。
尚、上記実施形態では、棒状発光素子5の第1,第3領域6,8をP型とし、第2領域7をN型としたが、第1,第3領域6,8をN型とし、第2領域7をP型としてもよい。この場合、直流電源10の正極をグランドに接続し、直流電源10の負極を第1の電極1に接続すると共に、直流電源11の正極をグランドに接続し、直流電源11の負極を第3の電極3に接続する。
また、直流電源10、11は、必ずしも2つ備えられている必要はなく、どちらか1つでもよい。この場合は、2つの接合面S1、S2のうち1つの接合面のみで発光することになるが、棒状発光素子5の向きが逆になっても、ダイオード極性が入れ替わらないから、やはり正常に発光することが可能になる。例えば、直流電源10のみを備える場合は、上記P型の第1領域6からN型の第2領域7に向かって電流が流れて上記P型の第1領域6とN型の第2領域7とのPN接合面S1で発光する。
(第2の実施の形態)
次に、図2および図3A,図3Bを参照して、この発明の発光装置の第2実施形態を説明する。図2は、この第2実施形態を示す模式的な平面図であり、図3Aは、この第2実施形態が備える棒状発光素子21の側面図であり、図3Bは、上記棒状発光素子21の断面図である。この第2実施形態は、前述の第1実施形態の棒状発光素子5に替えて、図3A,図3Bに示す棒状発光素子21を備えた点だけが、前述の第1実施形態と異なる。よって、この第2実施形態では、前述の第1実施形態と同様の部分には同様の符号を付して、前述の第1実施形態と異なる点を主に説明する。
上記棒状発光素子21は、P型の円柱状のコア部22とN型の円筒状のシェル部23とを有する。上記円筒状のシェル部23は、上記円柱状のコア部22の外周面22Aを被覆している。上記円柱状のコア部22の両端部22B,22Cは上記円筒状のシェル部23の両端から突出し露出している。上記N型の円筒状のシェル部23が第2の領域をなし、上記P型の円柱状のコア部22は第1および第3の領域をなす。この棒状発光素子21のP型の円柱状のコア部22の端部22Bが基板4上の第1の電極1の突出部1Bに接続され、上記コア部22の端部22Cが第3の電極3の突出部3Bに接続されている。また、上記円筒状のシェル部23は第2の電極2に接続されている。
この第2実施形態の発光装置は、第1の電極1とグランドとの間に接続された直流電源10によって、P型のコア部22の端部22BからN型のシェル部23に向かって電流が流れてP型のコア部22とN型のシェル部23とのPN接合面S21で発光する。また、第3の電極3とグランドとの間に接続された直流電源11によって、P型のコア部22の端部22CからN型のシェル部23に向かって電流が流れてP型のコア部22とN型のシェル部23とのPN接合面S21で発光する。この第2実施形態の棒状発光素子21によれば、前述の第1実施形態の棒状発光素子5のPN接合面S1に比べて上記円柱状のコア部22と円筒状のシェル部23とのPN接合面S21を大きくできるので、大きな発光強度を得ることができる。
また、この第2実施形態においても、N型の円筒状のシェル部23の両側にP型のコア部22の端部22Bと端部22Cが配置されている。よって、棒状発光素子21の向きが図2に示す向きとは逆になり、第1,第3の電極1,3に対する棒状発光素子21のコア部22の端部22B,22Cの接続が逆になっても、ダイオード極性が入れ替わらないので、正常に発光することが可能になる。したがって、この実施形態の発光装置によれば、製造工程において、第1,第3の電極1,3に対するコア部の端部22B,22Cの接続が反対になってもよく、棒状発光素子21の方向性を識別するためのマークや形状が不必要となり、製造工程を簡略化できて製造コストを抑えることができる。特に、棒状発光素子21の最大寸法が、100μm以下の小さなサイズの場合には、微細サイズの部品となり棒状発光素子21の向きを予め揃える作業が困難になるので、本実施形態により、製造工程を格段に簡略化できる。また、棒状発光素子21のサイズが100μm以下の小さいサイズであることで、熱が発光領域に篭らず、熱による出力低下や寿命低下を防ぐことができる。
尚、上記実施形態では、棒状発光素子21の円柱状のコア部22をP型とし、円筒状のシェル部23をN型としたが、コア部22をN型とし、シェル部23をP型としてもよい。この場合、直流電源10の正極をグランドに接続し、直流電源10の負極を第1の電極1に接続すると共に、直流電源11の正極をグランドに接続し、直流電源11の負極を第3の電極3に接続する。また、上記実施形態では、コア部22を円柱状としシェル部23を円筒状としたが、コア部22を多角柱状としシェル部23を多角筒状としてもよい。例えば、コア部22を三角柱状,四角柱状,五角柱状あるいは六角柱状とし、シェル部23を三角筒状,四角筒状,五角筒状あるいは六角筒状としてもよい。さらに、コア部22を楕円柱状としシェル部23を楕円筒状としてもよい。
また、直流電源10、11は、必ずしも2つ備えられている必要はなく、どちらか1つでもよい。この場合でも、棒状発光素子21の向きが逆になっても、ダイオード極性が入れ替わらないから、やはり正常に発光することが可能になる。例えば、直流電源10のみを備える場合は、上記P型コア部22の端部22BからN型のシェル部23に向かって電流が流れてP型のコア部22とN型のシェル部23とのPN接合面S21で発光する。
次に、図5A〜図5Eを参照して、上記第2実施形態で説明した様な棒状構造の発光素子の製造方法の一例を説明する。まず、図5Aに示すように、n型GaNからなる基板71上に、成長穴72aを有するマスク72を形成する。次に、図5Bに示すように、半導体コア形成工程において、マスク72の成長穴72aにより露出した基板71上に、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属気相成長)装置を用いて、n型GaNを結晶成長させて棒状の半導体コア73を形成する。ここで、n型GaNは、六方晶系の結晶成長となり、基板71表面に対して垂直方向をc軸方向にして成長させることにより、六角柱形状の半導体コアが得られる。
次に、図5Cに示すように、半導体層形成工程において、棒状の半導体コア73を覆うように基板71全面にp型GaNからなる半導体層74を形成する。次に、図5Dに示すように、露出工程において、リフトオフにより半導体コア73を覆う半導体層74aの部分を除く領域とマスク72を除去して、棒状の半導体コア73の基板71側に基板側の外周面を露出させて露出部分73aを形成する。この状態で、上記半導体コア73の基板71と反対の側の端面は、半導体層74aにより覆われている。この実施形態の露出工程では、リフトオフを用いたがエッチングにより半導体コアの一部を露出させてもよい。次に、エッチングにより半導体コア73の基板71と反対側の外周面を露出させてもう一方の露出部分73bを形成する。
次に、切り離し工程において、超音波(例えば数10KHz)を用いて基板71を基板平面に沿って振動させることにより、基板71上に立設する半導体コア73の基板71側に近い根元を折り曲げるように、半導体層74aに覆われた半導体コア73に対して応力が働いて、図5Eに示すように、半導体層74aに覆われた半導体コア73が基板71から切り離される。こうして、基板71から切り離なされた微細な棒状構造発光素子70を製造することができる。この棒状構造の発光素子の製造方法では、棒状構造発光素子70の直径を1μm、長さを10μmとしている。
上記発光素子の製造方法では、基板71と半導体コア73と半導体層74aに、GaNを母材とする半導体を用いたが、GaAs,AlGaAs,GaAsP,InGaN,AlGaN,GaP,ZnSe,AlGaInPなどを母材とする半導体を用いてもよい。また、基板と半導体コアをn型とし、半導体層をp型としたが、導電型が逆の棒状構造発光ダイオードとしてもよい。また、断面が六角柱の半導体コアを有する棒状構造発光ダイオードの製造方法について説明したが、これに限らず、断面が円形または楕円の棒状であってもよいし、断面が三角形などの他の多角形状の棒状の半導体コアを有する棒状構造発光素子も上述と同様の製造方法で作製できる。また、上記発光素子の製造方法では、棒状構造発光素子の直径を1μmとし長さを10μmのマイクロオーダーサイズとしたが、直径または長さのうちの少なくとも直径が1μm未満のナノオーダーサイズの素子としてよい。上記棒状構造発光素子の半導体コアの直径は500nm以上かつ100μm以下が好ましく、数10nm〜数100nmの棒状構造発光素子に比べて半導体コアの直径のばらつきを抑えることができ、発光面積すなわち発光特性のばらつきを低減でき、歩留まりを向上できる。
また、上記発光素子の製造方法では、MOCVD装置を用いて半導体コア73を結晶成長させたが、MBE(分子線エピタキシャル)装置などの他の結晶成長装置を用いて半導体コアを形成してもよい。また、成長穴を有するマスクを用いて半導体コアを基板上に結晶成長させたが、基板上に金属種を配置して、金属種から半導体コアを結晶成長させてもよい。また、上記発光素子の製造方法では、半導体層74aに覆われた半導体コア73を、超音波を用いて基板71から切り離したが、これに限らず、切断工具を用いて半導体コアを基板から機械的に切り離してもよい。この場合、簡単な方法で基板上に設けられた微細な複数の棒状構造発光素子を短時間で切り離すことができる。
(第3の実施の形態)
次に、図4を参照して、この発明の発光装置の第3実施形態を説明する。図4は、この第3実施形態を示す模式的な平面図である。
この第3実施形態は、第1の電極31と第2の電極32と第3の電極33および、前述の第1実施形態の棒状発光素子5と同様の構成の2本の棒状発光素子35,36を備え、上記第1〜第3の電極31〜33は前述の第1実施形態の基板4と同様の基板34上に形成されている。上記第1〜第3の電極31〜33は、上記基板34上に順に配列されており、第1の電極31は、上記配列の方向と直交する方向に延びている基部31Aとこの基部31Aから上記第2の電極32に向かって突出している2つの突出部31B,31Cを有する。また、上記第3の電極33は、上記配列の方向と直交する方向に延びている基部33Aとこの基部33Aから上記第2の電極32に向かって突出している2つの突出部33B,33Cとを有する。そして、上記第2の電極32は、上記第1の電極31と第3の電極33との間で上記配列の方向と直交する方向に延びている。
上記棒状発光素子35は、P型の第1領域35AとN型の第2領域35BとP型の第3領域35Cとを有する。上記P型の第1領域35Aは第1の電極31の突出部31Bに接続され、上記N型の第2領域35Bは第2の電極32に接続され、上記P型の第3領域35Cは第3の電極33の突出部33Bに接続されている。また、上記棒状発光素子36は、P型の第1領域36AとN型の第2領域36BとP型の第3領域36Cとを有する。上記P型の第1領域36Aは第1の電極31の突出部31Cに接続され、N型の第2領域36Bは第2の電極32に接続され、P型の第3領域36Cは第3の電極33に接続されている。
また、上記第1の電極31とグランドとの間に直流電源40が接続され、上記第3の電極33とグランドとの間に直流電源41が接続される。また、第2の電極32はグランドに接続される。上記直流電源40の正極が第1の電極31に接続され、上記直流電源40の負極がグランドに接続される。また、上記直流電源41の正極が第3の電極33に接続され、上記直流電源41の負極がグランドに接続される。
したがって、上記棒状発光素子35のP型の第1領域35AからN型の第2領域35Bに向かって電流が流れて上記P型の第1領域35AとN型の第2領域35BとのPN接合面S31で発光する。また、上記P型の第3領域35CからN型の第2領域35Bに向かって電流が流れて上記P型の第3領域35CとN型の第2領域35Bとの接合面S32で発光する。また、上記棒状発光素子36のP型の第1領域36AからN型の第2領域36Bに向かって電流が流れて上記P型の第1領域36AとN型の第2領域36BとのPN接合面S33で発光する。また、上記P型の第3領域36CからN型の第2領域36Bに向かって電流が流れて上記P型の第3領域36CとN型の第2領域36Bとの接合面S34で発光する。
この第3実施形態の発光装置によれば、上記棒状発光素子35のN型の第2領域35Bの両側にP型の第1領域35AとP型の第3領域35Cとが配置され、上記棒状発光素子36のN型の第2領域36Bの両側にP型の第1領域36AとP型の第3領域36Cとが配置されている。したがって、上記棒状発光素子35の向きが図4に示す向きとは逆になって、第1,第3の電極31,33に対する棒状発光素子35の第1,第3領域35A,35Cの接続が逆になっても、ダイオード極性が入れ替わらないから、正常に発光することが可能になる。これは、もう1つの棒状発光素子36についても同様である。
したがって、この実施形態の発光装置によれば、製造工程において、第1,第3の電極31,33に対する第1,第3の領域35A,35Cの接続が反対になってもよく、第1,第3の電極31,33に対する第1,第3の領域36A,36Cの接続が反対になってもよい。よって、棒状発光素子35,36の向きを揃えることが不必要なので、製造工程を簡略化でき、棒状発光素子35,36の方向性を識別するためのマークや形状も不必要となり、製造コストを抑えることができる。特に、棒状発光素子35,36の最大寸法が、100μm以下の小さなサイズの場合には、微細サイズの部品となり棒状発光素子35,36の向きを予め揃える作業が困難になるので、棒状発光素子35,36の向きを揃えることが不必要な本実施形態により、製造工程を格段に簡略化できる。また、棒状発光素子35,36のサイズが100μm以下の小さいサイズであることで、熱が発光領域に篭らず、熱による出力低下や寿命低下を防ぐことができる。
尚、上記実施形態では、棒状発光素子35,36の第1,第3領域35A,35C,36A,36CをP型とし、第2領域35B,36BをN型としたが、第1,第3領域35A,35C,36A,36CをN型とし、第2領域35B,36BをP型としてもよい。この場合、直流電源40の正極をグランドに接続し、直流電源40の負極を第1の電極31に接続すると共に、直流電源41の正極をグランドに接続し、直流電源41の負極を第3の電極33に接続する。
また、直流電源40、41は、必ずしも2つ備えられている必要はなく、どちらか1つでもよい。この場合は、4つの接合面S31〜S34のうち2つ接合面のみで発光することになるが、棒状発光素子35、36の一方、又は両方の向きが逆になっても、ダイオード極性が入れ替わらないから、やはり正常に発光することが可能になる。例えば、直流電源10のみを備える場合は、上記P型の第1領域35AからN型の第2領域35Bに向かって、上記P型の第1領域36AからN型の第2領域36Bに向かって、それぞれ電流が流れて、PN接合面S31及びS33で発光する。
また、上記実施形態では、第1,第3の電極31,33がそれぞれ2つの突出部31B,31C,33B,33Cを有したが、第1,第3の電極31,33がそれぞれ3つ以上の突出部を有し、第1の電極の3つ以上の突出部と第3の突出部の3つ以上の突出部との間に上記棒状発光素子35,36と同様の構成の3つ以上の棒状発光素子を接続してもよい。一例として、上記第1の電極の100個以上の突出部と第3の突出部の100個以上の突出部との間に上記棒状発光素子35,36と同様の構成の100個以上の棒状発光素子を接続してもよい。
(第4の実施の形態)
次に、この発明の第4実施形態としての発光装置の製造方法を説明する。この第4実施形態では、図4を参照して前述の第3実施形態で説明されたような発光装置を製造する方法を説明する。
この第4実施形態では、まず、表面34Aに第1の電極31と第2の電極32と第3の電極33が形成された基板34を用意する。この基板34は絶縁基板とし、第1,第2,第3の電極31,32,33は金属電極とする。一例として、印刷技術を利用して絶縁基板34の表面34Aに所望の電極形状の金属電極31,32,33を形成することができる。また、絶縁基板34の表面34Aに金属膜及び感光体膜を一様に積層し、この感光体膜を所望の電極パターンに露光・現像し、パターニングされた感光体膜をマスクとして金属膜をエッチングして第1〜第3の電極31〜33を形成することができる。なお、上記金属電極31〜33を作製する金属の材料としては、金、銀、銅、鉄、タングステン、タングステンナイトライド、アルミニウム、タンタルやそれらの合金などを用いることができる。また、絶縁基板34はガラス、セラミック、アルミナ、樹脂のような絶縁体、またはシリコンのような半導体表面にシリコン酸化膜を形成し、表面が絶縁性を有するような基板である。ガラス基板を用いる場合は、表面にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜のような下地絶縁膜を形成するのが望ましい。
また、上記第1の電極31の突出部31B,31Cと第3の電極33の突出部33B,33Cとの間の距離は、棒状発光素子35,36の長さよりもやや短いことが好ましい。一例として、上記距離は、棒状発光素子35,36の長さが10μmである場合は、6〜9μmとすることが望ましい。すなわち、上記距離は、棒状発光素子35,36の長さの60〜90%程度、より好ましくは上記長さの80〜90%とすることが望ましい。
次に、上記絶縁基板34上に棒状発光素子35,36を配列する手順を説明する。まず、上記絶縁基板34上に発光ダイオード35,36を含んだ溶液としてのイソプロピルアルコール(IPA)を薄く塗布する。なお、上記溶液としては、IPAのほかに、エチレングリコール、プロピレングリコール、メタノール、エタノール、アセトン、またはそれらの混合物でもよく、他の有機物からなる液体、水などを用いることができる。ただし、液体を通じて金属電極31,32,33間に大きな電流が流れてしまうと、金属電極31,32,33間に所望の電圧差を印加できなくなってしまう。そのような場合には、金属電極31,32,33を覆うように、絶縁基板34表面全体に、10nm〜30nm程度の絶縁膜をコーティングすればよい。
上記棒状発光素子35,36を含むIPAを塗布する厚さは、次に棒状発光素子35,36を配列する工程で、棒状発光素子35,36が配列できるよう、液体中で棒状発光素子35,36が移動できる厚さである。したがって、棒状発光素子35,36の太さ以上であり、例えば、数μm〜数mmである。塗布する厚さは薄すぎると、棒状発光素子35,36が移動し難くなり、厚すぎると、液体を乾燥する時間が長くなる。好ましくは、100μm〜500μmである。また、IPAの量に対して、棒状発光素子の個数は、 1×10個/cm 〜 1×10個/cm が好ましい。
上記棒状発光素子35,36を含むIPAを絶縁基板34に塗布するために、棒状発光素子35,36を配列させる金属電極31〜33の外周囲に枠(図示せず)を形成し、その枠内に上記棒状発光素子35,36を含むIPAを所望の厚さになるよう充填するとよい。しかし、上記棒状発光素子35,36を含むIPAが粘性を有する場合は、枠を必要とせずに、所望の厚さに塗布することが可能である。上記IPAやエチレングリコール、プロピレングリコール、メタノール、エタノール、アセトン、またはそれらの混合物、或いは、他の有機物からなる液体、または水などの液体は、上記棒状発光素子35,36の配列工程のためには粘性が低いほど望ましく、また加熱により蒸発しやすい方が望ましい。
次に、金属電極31,33間に電位差を与える。また、金属電極32には、一例として上記金属電極31の電位と上記金属電極33の電位の中間の電位を与える。また、上記金属電極31と33との間の電位差は、例えば、0.5Vもしくは1Vの電位差とする。なお、この金属電極31と33の電位差は、0.1〜10Vを印加することができるが、0.1V以下では棒状発光素子35,36の配列姿勢が乱れ始め、10V以上では金属電極間の絶縁が問題になり始める。したがって、上記電位差は0.5V〜5Vが好ましく、さらには、0.5V程度とするのが好ましい。金属電極31に電位VLを与え、金属電極33に上記電位VLよりも高い電位VH(VL<VH)を与えると、金属電極31には負電荷が誘起され、金属電極33には正電荷が誘起される。この金属電極31,33に上記棒状発光素子35,36が接近すると、棒状発光素子35,36のうち金属電極31に近い側に正電荷が誘起され、金属電極33に近い側に負電荷が誘起される。上記棒状発光素子35,36に電荷が誘起されるのは静電誘導による。よって、上記棒状発光素子35,36は、金属電極31,32,33間に生じる電気力線に沿った姿勢になると共に、各棒状発光素子35,36に誘起された電荷がほぼ等しいので、電荷による反発力により、ほぼ等間隔に一定方向に規則正しく配列する。このとき、金属電極31、32、33の表面に絶縁膜がコーティングされており、かつ、金属電極31、33間に与える電位差が一定(DC)であると、金属電極31、33上にコーティングされた絶縁膜表面に、金属電極31、33の電位と反対極性のイオンが誘起されて溶液中の電界が非常に弱くなってしまう。そのような場合は、金属電極31,33間に交流電圧を印加することが好ましい。一例として、電極32には基準電位(接地電位)を与え、電極31と33には互いに位相が180度異なる交流電源を印加する。これにより、金属電極31、33の電位と反対極性のイオンが誘起されるのを防ぎ、棒状発光素子35、36を正常に配列することができる。なお、金属電極31,33間に印加する交流電圧の周波数は、10Hz〜1MHzとするのが好ましいが、交流電圧の周波数が10Hz未満のときは、棒状発光素子35、36が激しく振動し、配列が乱される可能性がある。一方、金属電極31,33間に印加する交流電圧の周波数が1MHzを超える場合は、棒状発光素子35、36が金属電極31,33に吸着される力が弱くなり、外部の擾乱により配列が乱されることがある。このため、棒状発光素子35、36の配列の安定のためには、上記交流電圧の周波数を50Hz〜1kHzとすることがより好ましい。さらに、上記交流電圧の波形は、正弦波に限らず、矩形波、三角波、ノコギリ波など、周期的に変動するものであればよい。なお、上記交流電圧の振幅は一例として0.5V程度とすることが好ましい。
このように、本実施形態では、金属電極31,32,33間に発生した外部電場により、各棒状発光素子35,36に電荷を発生させ、電荷の引力により金属電極31,32,33に棒状発光素子35,36を吸着させるので、棒状発光素子35,36の大きさは、液体中で移動可能な大きさであることが必要である。したがって、棒状発光素子35,36の大きさ(最大寸法)の許容値は、液体の塗布量(塗布厚さ)により変化する。上記液体の塗布量が少ない場合は、各棒状発光素子35,36の大きさ(最大寸法)はナノスケールでなければならないが、液体の塗布量が多い場合は、各棒状発光素子35,36の大きさがミクロンオーダーであってもかまわない。
また、各棒状発光素子35,36が電気的に中性ではなく、正味として正または負に帯電している場合は、金属電極31,33間に静的な電位差(DC)を与えるだけでは、各棒状発光素子35,36を安定して配列することができない。例えば、棒状発光素子35が正味として正に帯電した場合は、正電荷が誘起されている電極33との引力が相対的に弱くなるために、棒状発光素子35の金属電極31,33に対する配列が非対称になってしまう。そのような場合は、金属電極31,33に交流電圧を印加することが好ましい。一例として、電極32には基準電位(接地電位)を与え、電極31と33には互いに位相が180度異なる交流電源を印加する。これにより、棒状発光素子35が正味として帯電している場合でも、配列を対象に保つことができる。なお、金属電極31,33に印加する交流電圧の周波数は、10Hz〜1MHzとするのが好ましいが、交流電圧の周波数が10Hz未満のときは、棒状発光素子が激しく振動し、配列が乱される可能性がある。一方、金属電極31,33に印加する交流電圧の周波数が1MHzを超える場合は、棒状発光素子35,36が金属電極31,33に吸着される力が弱くなり、外部の擾乱により配列が乱されることがある。このため、棒状発光素子35,36の配列の安定のためには、上記交流電圧の周波数を50Hz〜1kHzとすることがより好ましい。さらに、上記交流電圧の波形は、正弦波に限らず、矩形波、三角波、ノコギリ波など、周期的に変動するものであればよい。なお、上記交流電圧の振幅は一例として0.5V程度とすることが好ましい。
上記棒状発光素子35,36が配列を始めてしばらくすると、図4に模式的に示すように、第1電極31の突出部31B,31Cと第3電極33の突出部33B,33Cとの間に棒状発光素子35,36が配列する。各棒状発光素子35,36は、第1,第2,第3電極31,32,33が延在している方向とは垂直な姿勢に整列して上記延在の方向にほぼ等間隔で配列した。上記突出部31B,31Cと突出部33B,33Cとの間に電界が集中すると共に棒状発光素子35,36に誘起された電荷により棒状発光素子35,36間に反発力が働いて、棒状発光素子35,36がほぼ等間隔に並ぶ。
なお、図4に仮想線で示すように、上記溶液に含まれるが上記棒状発光素子35,36以外の棒状発光素子Zが、第1電極31の基部31Aや第3電極33の基部33Aに吸着する場合もある。この場合には、上記第1,第3電極31,33に交流電圧を印加しつつ、上記第1,第3電極31,33の基部31A,33Aの周囲にIPA等の溶液を流すことによって、上記第1電極31や第3電極33に吸着した棒状発光素子Zを除去できる。これにより、歩留まりの向上を図れる。
こうして、第1電極31の突出部31B,31Cと第3電極33の突出部33B,33Cとの間に、棒状発光素子35,36を配列させた後、基板34を加熱または一定時間放置することにより、上記溶液の液体を蒸発させて乾燥させ、棒状発光素子35,36を金属電極22と23との間の電気力線に沿って、等間隔に配列させ固着させる。
以上のように、本実施形態の発光装置の製造方法によれば、いわゆる誘電泳動を用いて、上記第1,第2,第3の電極31,32,33によって規定される位置に最大寸法が100μm以下の微細な棒状発光素子35,36を配置できる。この製造方法では、棒状発光素子35,36の向きを一方に決めることが困難なので、第1,第3の電極31,33に対する棒状発光素子35,36の第1,第3の領域35A,35Cの接続が入れ替わることがあるが、この場合でも、前述の第3実施形態は正常に発光するので、第3実施形態の発光装置の製造方法として好適である。
また、本実施形態の製造方法では、一例として2個の棒状発光素子を配列する場合を説明したが、本発明の発光装置の製造方法は、多数の微細な棒状発光素子を一度に第1,第2,第3電極間に配列,接続可能になるので、棒状発光ダイオードのサイズが小さく(一例として100μm以下)であり、第1の電極31と第3の電極33との間に接続する棒状発光素子の個数が多数個(例えば100個以上)である場合に特に有利である。
(第5の実施の形態)
次に、図6に、本発明の第5実施形態としてのLEDディスプレイの1画素の回路を示す。この第5実施形態は、前述の第1〜第3実施形態で説明した発光装置のうちの1つを備え、図5に示すように、上記発光装置が有する棒状発光素子の1つを1画素の画素LED51,52として備える。図5において、符号W1,W3で示す箇所が第1,第3の電極に対応し、符号W2で示す箇所が第2の電極に対応している。
この第5実施形態のLEDディスプレイは、アクティブマトリックスアドレス方式であり、選択電圧パルスが行アドレス線X1に供給され、データ信号が列アドレス線Y1に送られる。上記選択電圧パルスがトランジスタT1のゲートに入力されて、トランジスタT1がオンすると、上記データ信号は、トランジスタT1のソースからドレインに伝達され、データ信号はキャパシタCに電圧として記憶される。トランジスタT2は画素LED51,52の駆動用である。上記トランジスタT1からのデータ信号でトランジスタT2がオンすることにより、画素LED51,52は、上記直流電源Vsによって駆動される。
この実施形態のLEDディスプレイは、図6に示す1画素がマトリックス状に配列されている。このマトリックス状に配列された各画素の画素LED51,52とトランジスタT1,T2が基板上に形成されている。この基板上において、各画素の画素LED51,52は、前述の第4実施形態で説明した製造方法でもって第1〜第3の電極に対して配列でき、上記画素LED51,52をなす棒状発光素子が各画素に複数配列された発光装置を製造できる。よって、本実施形態のLEDディスプレイを容易に製造できて製造コストを抑えることができる。
なお、ディスプレイ用バックライトや照明装置に用いる発光装置を、上述の第1,第2,第3実施形態で説明した発光装置のうちの1つとすることによって、製造を容易にでき製造コストを抑えることができる。また、上記各実施形態で説明した各棒状発光素子を作製する半導体としては、例えば、GaN、GaAs、GaP、AlGaAs、GaAsP、InGaN、AlGaN、ZnSe、AlGaInP等の半導体を採用できる。また、上記各棒状発光素子を量子井戸構造を有するものとして発光効率を向上させてもよい。
1,31 第1の電極
1A,31A 基部
1B,31B,31C 突出部
2,32 第2の電極
3,33 第3の電極
3A,33A 基部
3B,33B,33C 突出部
4,34 基板
5,21,35,36 棒状発光素子
6,35A,36A P型の第1領域
7,35B,36B N型の第2領域
8,35C,36C P型の第3領域
10,11,40,41 直流電源
S1,S2,S21,S31,S32,S33,S34 PN接合面
22 P型の円柱状のコア部
22A 外周面
22B,22C 端部
23 N型の円筒状のシェル部
51,52 画素LED

Claims (9)

  1. 基板上に形成された第1の電極と、
    上記基板上に形成された第2の電極と、
    上記基板上に形成された第3の電極と、
    第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んだ棒状発光素子と
    を備え、
    上記第1の領域が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続され、上記第2の領域が上記第2の電極に接続され、上記第3の領域が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続され、
    さらに、上記第1の電極または第3の電極の一方から上記第1の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第1の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第1の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の一方に電流が流れる第2の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されるか、もしくは、上記第1の電極または第3の電極の他方から上記第3の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第3の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第3の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の他方に電流が流れる第4の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されることを特徴とする発光装置。
  2. 基板上に形成された第1の電極と、
    上記基板上に形成された第2の電極と、
    上記基板上に形成された第3の電極と、
    第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んだ棒状発光素子と
    を備え、
    上記第1の領域が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続され、上記第2の領域が上記第2の電極に接続され、上記第3の領域が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続され、
    さらに、上記第1の電極または第3の電極の一方から上記第1の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れると共に上記第1の電極または第3の電極の他方から上記第3の領域と第2の領域を順に経由して上記第2の電極に電流が流れる第1の通電方向と、上記第2の電極から上記第2の領域と第1の領域を順に経由して上記第1の電極または第3の電極の一方に電流が流れると共に上記第2の電極から上記第2の領域と第3の領域を順に経由して上記1の電極または第3の電極の他方に電流が流れる第2の通電方向とのうちのいずれか一方の通電方向に通電されることを特徴とする発光装置。
  3. 請求項1または2に記載の発光装置において、
    上記第1の領域の一端部と上記第2の領域の他端部とが接合されていると共に上記第2の領域の一端部と上記第3の領域の他端部とが接合されており、
    上記第1の領域の他端部が上記第1の電極または第3の電極の一方に接続されていると共に上記第3の領域の一端部が上記第1の電極または第3の電極の他方に接続されていることを特徴とする発光装置。
  4. 請求項1または2に記載の発光装置において、
    上記棒状発光素子は、
    上記第1の領域と上記第3の領域とが棒状に連なって構成されていると共に上記第2の領域を貫通しているコア部と、
    上記第2の領域から構成されていると共に上記コア部の外周面を被覆するシェル部とを備え、
    上記シェル部の両端から上記コア部の上記第1の領域と第3の領域が露出していることを特徴とする発光装置。
  5. 請求項1から4のいずれか1つに記載の発光装置において、
    上記棒状発光素子の最大寸法が100μm以下であることを特徴とする発光装置。
  6. 第1の電極と第2の電極および第3の電極を有する基板を用意する工程と、
    上記基板に、第1導電型の第1の領域と第2導電型の第2の領域と第1導電型の第3の領域とを有すると共に上記第1,第2,第3の領域が上記第1,第2,第3の領域の順に並んでいて最大寸法が100μm以下の複数の棒状発光素子を含んだ溶液を塗布する工程と、
    上記第1の電極と第3の電極に電圧を印加して上記複数の棒状発光素子を上記第1,第2,第3の電極によって規定される位置に配列させる工程とを備えることを特徴とする発光装置の製造方法。
  7. 請求項1から5のいずれか1つに記載の発光装置を有するディスプレイ用バックライト。
  8. 請求項1から5のいずれか1つに記載の発光装置を有する照明装置。
  9. 請求項1から5のいずれか1つに記載の発光装置を有するLEDディスプレイ。
JP2009238224A 2009-10-15 2009-10-15 発光装置およびその製造方法 Active JP4996660B2 (ja)

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