JP2011069671A - 距離測定装置 - Google Patents
距離測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011069671A JP2011069671A JP2009219710A JP2009219710A JP2011069671A JP 2011069671 A JP2011069671 A JP 2011069671A JP 2009219710 A JP2009219710 A JP 2009219710A JP 2009219710 A JP2009219710 A JP 2009219710A JP 2011069671 A JP2011069671 A JP 2011069671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- distance
- unit
- reflected light
- traveling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 90
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 39
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 22
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000002366 time-of-flight method Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
【解決手段】軌道に沿って走行する搬送台車の前部に、変調された測定光を平面状に走査する走査部と、走査部で走査された測定光と検出物からの反射光との時間遅れから検出物までの距離を算出する距離演算部とからなる測距装置を配置し、測距装置により前方を走行する搬送台車の後部に配置された再帰性反射部材からの反射光に基づいて搬送台車間の車間距離を検知する距離測定装置であって、走査部により走査された測定光の複数の走査角度と、距離演算部により算出された各走査角度に対応する距離と、各走査角度に対応する反射光の強度のうち、何れか二つの相関関係に基づいて、再帰性反射部材からの反射光であるか否かを識別する識別部を備える。
【選択図】図4
Description
L=(1/2)×C/ΔT
L=(1/2)×(φ/2π)×C/F
2(2a〜2l):製造装置
3:ロードポート
4:ウェハキャリア装置
4a:被掴持部
5:ストッカ
6,7:ベイ
21:走行部
27:走行車輪
10:走行レール
10a:工程間レール
10b:工程内レール
10c:分岐レール
10d:退避レール
10e:バイパスレール
11:支持部
12:カバー部材
13:支持部材
14:給電線ホルダ
15:給電線
20:搬送台車
21:走行部
22:物品収容部
23:チャック機構
24:昇降体
25:昇降用モータ
26:インフレーム
27:走行車輪
28:走行用モータ
29:ベルト
30:給電ユニット
31:コア
32:コイル
33:掴持用モータ
40:測距装置
60:再帰性反射部材
61,62,63:反射面
50:ハウジング
41:投光部
41a:光源
42:受光部
43:光軸
44:第一ミラー
45:第二ミラー
46:回転機構
47:走査部
48:第一偏光素子
49:第二偏光素子
50:ハウジング
51:段差部
52:周壁部
53:透光窓
54:光学レンズ
56:スリット板
55:受光レンズ
57:フォトインタラプタ
58:走査角度検知部
59:中空軸
L1:第一方向の光
L2:第二方向の光
70:走行部制御部
71:指令信号
72:走行部制御部
73:チャック機構制御部
74:信号線
75:通信部
80:制御回路
81:距離演算部
82:識別部
83:補正演算部
84:発光制御部
Claims (5)
- 軌道に沿って走行する搬送台車の前部に、変調された測定光を平面状に走査する走査部と、走査部で走査された測定光と検出物からの反射光との時間遅れから検出物までの距離を算出する距離演算部とからなる測距装置を配置し、前記測距装置により前方を走行する搬送台車の後部に配置された再帰性反射部材からの反射光に基づいて搬送台車間の車間距離を検知する距離測定装置であって、
前記走査部により走査された測定光の複数の走査角度と、前記距離演算部により算出された各走査角度に対応する距離と、各走査角度に対応する反射光の強度のうち、少なくとも何れか二つの相関関係に基づいて、前記再帰性反射部材からの反射光であるか否かを識別する識別部を備えている距離測定装置。 - 前記識別部は、前記走査部により走査された測定光に対して得られた相関関係と、前記走査部により過去に走査された測定光に対して得られた相関関係に基づいてその連続性を評価して、前記再帰性反射部材からの反射光であるか否かを識別する請求項1記載の距離測定装置。
- 前記再帰性反射部材はマイクロプリズム方式の再帰性反射部材であり、
前記測距装置は、単一モードで発光するレーザダイオードでなる測定光用の光源と、反射光を受光する受光部とが光軸上に対向配置され、前記光源からの光を検出物に向けて反射する第一ミラーと、検出物からの反射光を前記受光部に向けて反射する第二ミラーを、前記光軸を軸心として回転する回転機構により構成される走査部と、前記第一ミラーから検出物に向けて反射する光路に備えた第一方向に偏光する第一偏光素子と、検知対象物から前記第二ミラーに入射する反射光の光路に備えた第一方向と異なる第二方向に偏光する第二偏光素子により構成されている請求項1または2記載の距離測定装置。 - 走査角度に応じて前記第一偏光素子から出力される測定光の減衰特性に基づいて、前記受光部で受光された反射光の強度を補正する補正演算部を備えている請求項3記載の距離測定装置。
- 前記搬送台車は、前記軌道に沿って走行する走行部と、走行部に支持される物品収容部で構成され、前記軌道は、前記走行部に備えた走行車輪を支持する支持部と前記支持部と連接され、前記走行部を囲むカバー部材で構成され、前記測距装置及び前記再帰性反射部材が、前記軌道の内部に位置するように前記走行部に配置されている請求項1から4の何れかに記載の距離測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219710A JP4461199B1 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219710A JP4461199B1 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 距離測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4461199B1 JP4461199B1 (ja) | 2010-05-12 |
JP2011069671A true JP2011069671A (ja) | 2011-04-07 |
Family
ID=42299095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009219710A Active JP4461199B1 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 距離測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4461199B1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2902812A1 (de) * | 2014-02-03 | 2015-08-05 | Leuze electronic GmbH + Co KG | Sensor zur Abstandsmessung |
WO2018150999A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
WO2018150998A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置、捕捉対象物及び物体捕捉システム |
JP2019211437A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | ファナック株式会社 | 偏光フィルタを備える測距装置 |
WO2020195128A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 北陽電機株式会社 | 物体検出システム、搬送台車及び物体検出装置 |
JPWO2020090254A1 (ja) * | 2018-10-29 | 2021-09-30 | 村田機械株式会社 | 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法 |
JPWO2022107449A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57196173A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Nagoya Denki Kogyo Kk | Device to detect specified object |
JPS5984172A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 光ビ−ムを利用した移動体の追尾式誘導ならびに情報伝達装置 |
JPH03267784A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-28 | Yamaha Motor Co Ltd | 遠隔情報伝達装置 |
JPH04158293A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-06-01 | Nissan Motor Co Ltd | 車両用光レーダ装置 |
JPH0666942A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-03-11 | Mazda Motor Corp | 自律走行車の位置認識装置 |
JPH07225276A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Mitsubishi Electric Corp | 車両用光レーダ装置 |
JPH10254543A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-25 | Toshihiro Tsumura | 移動体の誘導設備 |
JP2001222320A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 移動体の走行制御装置および前方監視方法 |
JP2002066631A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-03-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コイル搬送台車の位置検出装置 |
JP2007114831A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Omron Corp | 物体検出装置 |
JP2008063032A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Daifuku Co Ltd | 移動体の走行設備 |
-
2009
- 2009-09-24 JP JP2009219710A patent/JP4461199B1/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57196173A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Nagoya Denki Kogyo Kk | Device to detect specified object |
JPS5984172A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 光ビ−ムを利用した移動体の追尾式誘導ならびに情報伝達装置 |
JPH03267784A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-28 | Yamaha Motor Co Ltd | 遠隔情報伝達装置 |
JPH04158293A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-06-01 | Nissan Motor Co Ltd | 車両用光レーダ装置 |
JPH0666942A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-03-11 | Mazda Motor Corp | 自律走行車の位置認識装置 |
JPH07225276A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Mitsubishi Electric Corp | 車両用光レーダ装置 |
JPH10254543A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-25 | Toshihiro Tsumura | 移動体の誘導設備 |
JP2001222320A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 移動体の走行制御装置および前方監視方法 |
JP2002066631A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-03-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コイル搬送台車の位置検出装置 |
JP2007114831A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Omron Corp | 物体検出装置 |
JP2008063032A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Daifuku Co Ltd | 移動体の走行設備 |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2902812A1 (de) * | 2014-02-03 | 2015-08-05 | Leuze electronic GmbH + Co KG | Sensor zur Abstandsmessung |
TWI752168B (zh) * | 2017-02-17 | 2022-01-11 | 日商北陽電機股份有限公司 | 物體捕捉裝置 |
US20190383939A1 (en) * | 2017-02-17 | 2019-12-19 | Hokuyo Automatic Co., Ltd. | Object capturing device, capture target, and object capturing system |
US10823828B2 (en) | 2017-02-17 | 2020-11-03 | Hokuyo Automatic Co., Ltd. | Object capturing device |
KR102235227B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2021-04-02 | 호쿠요덴키 가부시키가이샤 | 물체 포착 장치, 포착 대상물, 및 물체 포착 시스템 |
JPWO2018150998A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2019-12-12 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置、捕捉対象物及び物体捕捉システム |
JPWO2018150999A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2019-12-12 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
KR102162047B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2020-10-06 | 호쿠요덴키 가부시키가이샤 | 물체 포착 장치 |
WO2018150998A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置、捕捉対象物及び物体捕捉システム |
US11592556B2 (en) | 2017-02-17 | 2023-02-28 | Hokuyo Automatic Co., Ltd. | Object capturing device, capture target, and object capturing system |
WO2018150999A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
JP7214195B2 (ja) | 2017-02-17 | 2023-01-30 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置、捕捉対象物及び物体捕捉システム |
JP2022159559A (ja) * | 2017-02-17 | 2022-10-17 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
JP7425510B2 (ja) | 2017-02-17 | 2024-01-31 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
KR20190113935A (ko) | 2017-02-17 | 2019-10-08 | 호쿠요덴키 가부시키가이샤 | 물체 포착 장치, 포착 대상물, 및 물체 포착 시스템 |
KR20190113936A (ko) | 2017-02-17 | 2019-10-08 | 호쿠요덴키 가부시키가이샤 | 물체 포착 장치 |
TWI736741B (zh) * | 2017-02-17 | 2021-08-21 | 日商北陽電機股份有限公司 | 物體捕捉裝置、捕捉對象物及物體捕捉系統 |
JP7133220B2 (ja) | 2017-02-17 | 2022-09-08 | 北陽電機株式会社 | 物体捕捉装置 |
US20190377073A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Fanuc Corporation | Distance-measuring apparatus with polarizing filter |
CN110579202A (zh) * | 2018-06-08 | 2019-12-17 | 发那科株式会社 | 具备偏振滤镜的测距装置 |
US11733362B2 (en) | 2018-06-08 | 2023-08-22 | Fanuc Corporation | Distance measuring apparatus comprising deterioration determination of polarizing filters based on a reflected polarized intensity from a reference reflector |
JP2019211437A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | ファナック株式会社 | 偏光フィルタを備える測距装置 |
JPWO2020090254A1 (ja) * | 2018-10-29 | 2021-09-30 | 村田機械株式会社 | 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法 |
JP2020160511A (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 北陽電機株式会社 | 物体検出システム、搬送台車及び物体検出装置 |
WO2020195128A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 北陽電機株式会社 | 物体検出システム、搬送台車及び物体検出装置 |
JPWO2022107449A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | ||
WO2022107449A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車及び搬送車システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4461199B1 (ja) | 2010-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4461199B1 (ja) | 距離測定装置 | |
KR102235227B1 (ko) | 물체 포착 장치, 포착 대상물, 및 물체 포착 시스템 | |
KR102162047B1 (ko) | 물체 포착 장치 | |
KR20010067411A (ko) | 자동반송시스템 | |
JP5388045B2 (ja) | 搬送台車及び光測距装置 | |
JP2009029529A5 (ja) | ||
KR20190028318A (ko) | 검사 시스템 | |
WO2012098761A1 (ja) | 有軌道台車システム | |
KR101309345B1 (ko) | 수하물 운송장치 | |
US7665403B2 (en) | Carrying system | |
CN113597588B (zh) | 物体检测***、输送台车以及物体检测装置 | |
JP4352925B2 (ja) | 無人搬送車のセンサ制御装置及び無人搬送システム | |
JP3244642B2 (ja) | 移動体の誘導設備 | |
KR102432276B1 (ko) | 특정 위치 표식이 가능한 다중 광원 주사 및 검출을 이용한 고속 상대위치 측정방법 | |
JPH1159818A (ja) | 有軌道台車システム | |
JP2523305Y2 (ja) | キャリヤの車間距離自動調整装置 | |
JP2023035305A (ja) | 搬送システム | |
JPH11231938A (ja) | 無人搬送車の走行制御装置 | |
JPS58134315A (ja) | 移動車制御装置 | |
JPH0444963B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4461199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160219 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |