JP2011061049A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャック1は、セラミック絶縁板10及び金属ベース30を備える。金属ベース30は、接着剤層20を介してセラミック絶縁板10に接合される。静電チャック1は、吸着用電極層51に電圧を印加させた際に生じる静電引力を用いて被吸着物をセラミック絶縁板10の第1主面11に吸着させる。また、接着剤層20内には、セラミック絶縁板10の第2主面12と金属ベース30の第1面31とに接触して接着剤層20の厚さを保持する複数のセラミック球21が配置される。
【選択図】図2
Description
2…被吸着物としての半導体ウェハ
10…セラミック絶縁板
11…第1主面としての吸着面
12…第2主面としての接合面
20…接着剤層
21…セラミック球
30…金属ベース
31…第1面
32…第2面
51…吸着用電極層
Claims (8)
- 第1主面及び第2主面を有するとともに内部に吸着用電極層を有するセラミック絶縁板と、第1面及び第2面を有するとともに前記第1面が前記セラミック絶縁板の前記第2主面側に接着剤層を介して接合される金属ベースとを備え、前記吸着用電極層に電圧を印加させた際に生じる静電引力を用いて被吸着物を前記第1主面に吸着させる静電チャックにおいて、
前記接着剤層内に、前記セラミック絶縁板の前記第2主面と前記金属ベースの前記第1面とに接触して前記接着剤層の厚さを保持する粒径の揃った複数のセラミック球が配置されていることを特徴とする静電チャック。 - 前記接着剤層の厚さは、25μm以上700μm以下であり、前記複数のセラミック球の平均粒径と等しいことを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記接着剤層がシリコーン樹脂からなる接着剤であることを特徴とする請求項1または2に記載の静電チャック。
- 前記セラミック球は、前記接着剤層における20mm角以上60mm角以下の領域ごとに1個の割合で配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記セラミック球の200℃以下における熱伝導率は、2W/(m・K)以上200W/(m・K)以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記セラミック球の熱膨張係数は、1.0×10−6/K以上15×10−6/K以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記複数のセラミック球は、前記セラミック絶縁板及び前記金属ベースよりも硬い材料からなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記セラミック球の真球度は2μm以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の静電チャック。
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