JP2011053204A - 光学検査装置、及びこれを利用した検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット100には検査対象物10が載置される。第1照明ユニット400は、短波長を有する第1光を生成して検査対象物10に向けて照射する。撮像ユニット200は、第1光が照射される検査対象物10を撮像する。これと共に、光学検査装置1000は、短波長の光を照射して検査対象物10を撮像するので、検査対象物10に形成された透明パターンの不良検査が可能である。
【選択図】図1
【解決手段】支持ユニット100には検査対象物10が載置される。第1照明ユニット400は、短波長を有する第1光を生成して検査対象物10に向けて照射する。撮像ユニット200は、第1光が照射される検査対象物10を撮像する。これと共に、光学検査装置1000は、短波長の光を照射して検査対象物10を撮像するので、検査対象物10に形成された透明パターンの不良検査が可能である。
【選択図】図1
Description
本発明は、検査対象物を検査する検査装置に関し、より詳細には、検査対象物を撮像して得られたイメージにより検査対象物を検査する光学検査装置、及びこれを利用した検査方法に関する。
映像を表示する平板表示装置は、コンピュータや携帯用端末機等、多様な分野で使われている。このような平板表示装置は、使用者の操作により、これに対応する情報を映像として表示する。
最近、平板表示装置の操作を容易にするために、平板表示装置にタッチパネルを適用して使用者の便利性を向上させている。
タッチパネルは、使用者が加圧した地点の位置値を生成するための座標シートを含む。このような、タッチパネルは、平板表示パネルの上面に設置されるので、平板表示パネルの映像が表示される表示領域と対応する部分が全て透明な材質でなければならない。したがって、座標シートは、透明なベースフィルムを含み、ベースフィルムの上面には使用者が加圧した部分の位置値を生成するための導電性透明パターンと銀メッキパターンとが形成される。
透明パターンは、平板表示パネルの表示領域と対応する領域に形成され、酸化インジウム錫、又は酸化インジウム亜鉛と同じ材質からなる。銀メッキパターンは、表示領域を囲む周辺領域と対応する領域に形成され、使用者が加圧した部分の位置値を生成する外部装置と、透明パターン及び回路基板と連結される。
特に、座標シートは、ベースフィルムと透明パターンとが全て透明なので、プローブ検査装置のような電気信号を利用した検査装置では検査が可能であるが、肉眼、又はカメラを利用した場合は、検査を実施することが出来ない。
最近、平板表示装置の操作を容易にするために、平板表示装置にタッチパネルを適用して使用者の便利性を向上させている。
タッチパネルは、使用者が加圧した地点の位置値を生成するための座標シートを含む。このような、タッチパネルは、平板表示パネルの上面に設置されるので、平板表示パネルの映像が表示される表示領域と対応する部分が全て透明な材質でなければならない。したがって、座標シートは、透明なベースフィルムを含み、ベースフィルムの上面には使用者が加圧した部分の位置値を生成するための導電性透明パターンと銀メッキパターンとが形成される。
透明パターンは、平板表示パネルの表示領域と対応する領域に形成され、酸化インジウム錫、又は酸化インジウム亜鉛と同じ材質からなる。銀メッキパターンは、表示領域を囲む周辺領域と対応する領域に形成され、使用者が加圧した部分の位置値を生成する外部装置と、透明パターン及び回路基板と連結される。
特に、座標シートは、ベースフィルムと透明パターンとが全て透明なので、プローブ検査装置のような電気信号を利用した検査装置では検査が可能であるが、肉眼、又はカメラを利用した場合は、検査を実施することが出来ない。
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、検査効率を向上させることができる光学検査装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、光学検査装置を利用した検査方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、光学検査装置を利用した検査方法を提供することにある。
前記本発明の目的を実現するための第1の態様による光学検査装置は、支持ユニット、第1照明ユニット、及び撮像ユニットで構成される。
支持ユニットには、検査対象物が載置される。第1照明ユニットは、支持ユニットの上部に設置されて、短波長を有する第1光を生成して支持ユニットに載置された検査対象物に向けて照射する。撮像ユニットは、第1光が照射される検査対象物を撮像する。
また、前記本発明の目的を実現するための第2の態様による光学検査装置は、支持ユニット、垂直照明ユニット、第1及び第2傾斜照明ユニット及び撮像ユニットで構成される。
支持ユニットには、検査対象物が載置される。第1照明ユニットは、支持ユニットの上部に設置されて、短波長を有する第1光を生成して支持ユニットに載置された検査対象物に向けて照射する。撮像ユニットは、第1光が照射される検査対象物を撮像する。
また、前記本発明の目的を実現するための第2の態様による光学検査装置は、支持ユニット、垂直照明ユニット、第1及び第2傾斜照明ユニット及び撮像ユニットで構成される。
支持ユニットには、上面に透明パターンが形成された検査対象物が載置される。垂直照明ユニットは、支持ユニットの上部に設置されて、長さ方向の軸が支持ユニットの上面に対して垂直に配置されて、短波長を有する第1光を生成して支持ユニットに載置された検査対象物に向けて第1光を線形態に照射する。第1及び第2傾斜照明ユニットは、垂直照明ユニットの下に設置されて、第2光を生成して支持ユニットに載置された検査対象物に向けて第2光を線形態に照射する。第2光を出射する第1傾斜照明ユニットの出射面と前記第2傾斜照明ユニットの出射面とは、検査対象物の検査面に対して互いに反対方向に傾くように配置される。撮像ユニットは、第1照明ユニットの上部に設置されて、第1及び第2光が照射される検査対象物を撮像する。
また、前記本発明の目的を実現するための第3の態様による光学検査方法は、次の通りである。まず、透明パターンが形成された検査対象物に向けて短波長を有する第1光を照射しながら検査対象物を撮像する。次に、撮像されたイメージを通じて検査対象物を検査する。
このような光学検査方法は、第2光を検査対象物に向けて出射しながら検査対象物を撮像し、第2光を照射して撮像されたイメージを通じて検査対象物に形成された有色パターンを検査する工程をさらに含むことができる。
更に、前記本発明の目的を実現するための第4の態様による光学検査方法は、次の通りである。まず、透明パターン、及び有色パターンが形成された検査対象物に向けて短波長を有する第1光と第2光を同時に出射しながら検査対象物を撮像する。撮像されたイメージを通じて検査対象物を検査する。
このような光学検査方法は、第2光を検査対象物に向けて出射しながら検査対象物を撮像し、第2光を照射して撮像されたイメージを通じて検査対象物に形成された有色パターンを検査する工程をさらに含むことができる。
更に、前記本発明の目的を実現するための第4の態様による光学検査方法は、次の通りである。まず、透明パターン、及び有色パターンが形成された検査対象物に向けて短波長を有する第1光と第2光を同時に出射しながら検査対象物を撮像する。撮像されたイメージを通じて検査対象物を検査する。
本発明によれば、光学検査装置は、短波長の光を照射して検査対象物を撮像するので、撮像されたイメージを利用して検査対象物に形成された透明パターンの検査が可能であり、検査効率を向上させることができる。
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施形態をより詳細に説明する。以下、本発明の光学検査装置が検査する検査対象物として映像表示装置に使われるタッチパネル用座標シートを一例にして説明するが、本発明の技術的思想と範囲とは、これに限定されない。
図1は、本発明の一実施形態による光学検査装置を概略的に示した側面図である。
図1を参照すると、光学検査装置1000は、検査対象物10が載置される支持ユニット100、検査対象物10を撮像する撮像ユニット200、撮像ユニット200を移動させる移動部材310、検査対象物10に向けて光を照射する垂直照明ユニット400、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502、及び制御ユニット700を含む。
この実施形態において、光学検査装置1000が検査する検査対象物10は、タッチパネルに使われるITOフィルム10である。
図1を参照すると、光学検査装置1000は、検査対象物10が載置される支持ユニット100、検査対象物10を撮像する撮像ユニット200、撮像ユニット200を移動させる移動部材310、検査対象物10に向けて光を照射する垂直照明ユニット400、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502、及び制御ユニット700を含む。
この実施形態において、光学検査装置1000が検査する検査対象物10は、タッチパネルに使われるITOフィルム10である。
以下、図面を参照してタッチパネルが適用された平板表示装置及び酸化インジウム錫(Indum Tin Oxide:以下、ITO)フィルム10の構成について簡略に説明する。
図2は、タッチパネルを具備する平板表示装置を示した断面図であり、図3は、図2に示した座標シートを示した平面図である。
図2及び図3を参照すると、平板表示装置は、タッチパネル30、タッチパネル30の下に配置された液晶表示パネル40及びタッチパネル30と連結した位置感知部50を含む。タッチパネル30は、ITOフィルム10、及びITOフィルム10の上部に配置された上部シート20を含む。ITOフィルム10には、使用者が加圧した加圧地点の位置値を生成するための座標シートとして、透明なベースプレート11の上面に導電性透明パターン12及び有色パターンである銀メッキパターン13が形成される。
この実施形態において、タッチパネル30は、透明パターン12がITOで形成されたITOフィルム10を座標シートとして提供されるが、ITO以外に酸化インジウム亜鉛(Indum Zinc Oxide:IZO)等多様な種類の透明な導電性金属材質の透明パターン12を具備できる。
図2は、タッチパネルを具備する平板表示装置を示した断面図であり、図3は、図2に示した座標シートを示した平面図である。
図2及び図3を参照すると、平板表示装置は、タッチパネル30、タッチパネル30の下に配置された液晶表示パネル40及びタッチパネル30と連結した位置感知部50を含む。タッチパネル30は、ITOフィルム10、及びITOフィルム10の上部に配置された上部シート20を含む。ITOフィルム10には、使用者が加圧した加圧地点の位置値を生成するための座標シートとして、透明なベースプレート11の上面に導電性透明パターン12及び有色パターンである銀メッキパターン13が形成される。
この実施形態において、タッチパネル30は、透明パターン12がITOで形成されたITOフィルム10を座標シートとして提供されるが、ITO以外に酸化インジウム亜鉛(Indum Zinc Oxide:IZO)等多様な種類の透明な導電性金属材質の透明パターン12を具備できる。
透明パターン12、すなわち、ITOパターン12は、液晶表示パネル40の映像が表示される表示領域と対応する領域に位置する。この実施形態において、ITOパターン12は、ジグザグ形状を有するが、格子形状等多様な形状でも良い。
銀メッキパターン13は、液晶表示パネル40の表示領域を囲む周辺領域と対応する領域に位置する。銀メッキパターン13は、導電性材質で形成され、使用者が加圧した部分の位置値を生成する位置感知部50及び透明パターン12と連結するか、或いは外部の回路基板と連結する。
タッチパネル30の下に備えた液晶表示パネル40は、薄膜トランジスターがアレイ形態に形成された薄膜トランジスター基板41、カラーフィルターが形成されたカラーフィルター基板42及び薄膜トランジスター基板41とカラーフィルター基板42との間に介在された液晶層43を含む。タッチパネル30は、このような液晶表示パネル40以外に多様な種類の平板表示パネルに適用することができる。
図1及び図2を参照すると、光学検査装置1000は、このようなITOフィルム110を撮像して撮像されたイメージを通じてITOパターン12及び銀メッキパターン13を検査する。
具体的には、外観検査の時、ITOフィルム10は、支持ユニット100の上面に載置され、支持ユニット100は、ITOフィルム10が載置される支持プレート110を備える。
銀メッキパターン13は、液晶表示パネル40の表示領域を囲む周辺領域と対応する領域に位置する。銀メッキパターン13は、導電性材質で形成され、使用者が加圧した部分の位置値を生成する位置感知部50及び透明パターン12と連結するか、或いは外部の回路基板と連結する。
タッチパネル30の下に備えた液晶表示パネル40は、薄膜トランジスターがアレイ形態に形成された薄膜トランジスター基板41、カラーフィルターが形成されたカラーフィルター基板42及び薄膜トランジスター基板41とカラーフィルター基板42との間に介在された液晶層43を含む。タッチパネル30は、このような液晶表示パネル40以外に多様な種類の平板表示パネルに適用することができる。
図1及び図2を参照すると、光学検査装置1000は、このようなITOフィルム110を撮像して撮像されたイメージを通じてITOパターン12及び銀メッキパターン13を検査する。
具体的には、外観検査の時、ITOフィルム10は、支持ユニット100の上面に載置され、支持ユニット100は、ITOフィルム10が載置される支持プレート110を備える。
図4は、図1に示した支持プレートを示した平面図であり、図5は、図4の切断線I−I’による断面図である。
図4及び図5を参照すると、支持プレート110は、ベースプレート111、及びベースプレート111の上面に形成されたコーティング層112を含む。具体的には、ベースプレート111は、ITOフィルム10より大きい面積を有する。コーティング層112は、上部からITOフィルム10を透過してコーティング層12の上面に入射された光の反射率を最小化するために無光処理される。
本発明の一例として、ベースプレート111は、アルミニウム材で形成される。また、コーティング層112は、ベースプレート111を錬磨した後、軽質陽極酸化処理(Anodizing)して、以後、黒い色で無光陽極酸化処理して形成される。
また、支持プレート110は、上面に載置されたITOフィルム10を固定させるために、ITOフィルム10を真空吸着する多数の真空ホール113を具備する。
図4及び図5を参照すると、支持プレート110は、ベースプレート111、及びベースプレート111の上面に形成されたコーティング層112を含む。具体的には、ベースプレート111は、ITOフィルム10より大きい面積を有する。コーティング層112は、上部からITOフィルム10を透過してコーティング層12の上面に入射された光の反射率を最小化するために無光処理される。
本発明の一例として、ベースプレート111は、アルミニウム材で形成される。また、コーティング層112は、ベースプレート111を錬磨した後、軽質陽極酸化処理(Anodizing)して、以後、黒い色で無光陽極酸化処理して形成される。
また、支持プレート110は、上面に載置されたITOフィルム10を固定させるために、ITOフィルム10を真空吸着する多数の真空ホール113を具備する。
図1及び図3を参照すると、支持ユニット100の上部には撮像ユニット200が設置される。撮像ユニット200は、支持ユニット100に載置された検査対象物、すなわち、ITOフィルム10を撮像する。本発明の一例として、撮像ユニット200にラインスキャンカメラを適用する。
撮像ユニット200は、撮像されたイメージを制御ユニット700へ提供して、制御ユニット700は、撮像ユニット200から受信したイメージを表示する。これにより、前記表示されたイメージを通じてITOフィルム10に形成されたパターン、すなわち、ITOパターン12と銀メッキパターン13の短絡可否のような電気的特性検査と、各パターンの定位置可否、各パターンの形状不良及びITOフィルム10に異質物付着可否等を検査する外観検査がなされる。
一方、撮像ユニット200は、移動部材310に固定結合される。移動部材310は、支持ユニット100の上部に設置され、水平移動が可能である。これにより、撮像ユニット200は、移動部材310によって、水平位置を継続的に変更しながらITOフィルム10を撮像できる。
撮像ユニット200の下には、垂直照明ユニット400、及び第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が設置される。
撮像ユニット200は、撮像されたイメージを制御ユニット700へ提供して、制御ユニット700は、撮像ユニット200から受信したイメージを表示する。これにより、前記表示されたイメージを通じてITOフィルム10に形成されたパターン、すなわち、ITOパターン12と銀メッキパターン13の短絡可否のような電気的特性検査と、各パターンの定位置可否、各パターンの形状不良及びITOフィルム10に異質物付着可否等を検査する外観検査がなされる。
一方、撮像ユニット200は、移動部材310に固定結合される。移動部材310は、支持ユニット100の上部に設置され、水平移動が可能である。これにより、撮像ユニット200は、移動部材310によって、水平位置を継続的に変更しながらITOフィルム10を撮像できる。
撮像ユニット200の下には、垂直照明ユニット400、及び第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が設置される。
以下、図面を参照して、垂直照明ユニット400と、第1及び第2傾斜照明ユニット501、520の構成に対して具体的に説明する。
図6は、図1に示した垂直照明ユニットと、第1及び第2傾斜照明ユニットとを示した側面図であり、図7は、図6に示した垂直照明ユニットと、第1及び第2傾斜照明ユニットとを示した正面図である。
図3、図6及び図7を参照すると、垂直照明ユニット400は、支持ユニット100の上部に位置し、第1光BLを生成して支持ユニット100に載置された検査対象物10に第1光BL照射する。垂直照明ユニット400は、支持プレート110の一辺に沿って延び、前記第1光BLを線形態に出射する。
図8は、図6に示した垂直照明ユニットを示した側面図であり、図9は、図8に示した第1照明本体を示した断面図であり、図10は、図9に示した第1照明本体の他の一例を示した断面図である。
図7、図8及び図9を参照すると、垂直照明ユニット400は、外部から冷却エアーが提供される第1冷却本体410、及び第1光BLを生成する第1光発生部420を含む。
具体的には、第1冷却本体410は、垂直照明ユニット400の横方向に延長され、第1照明本体420を冷却する。これにより、垂直照明ユニット400は、第1光BLを発生させる工程で発生された熱によって、第1照明本体420が過熱されることを防止できる。第1冷却本体410は、移動部材310の下端部に設置された固定部材320に固定結合される。固定部材320は、移動部材310に結合されて、移動部材310により水平移動し、これに伴い、固定部材320に固定された垂直照明ユニット400は、水平移動する。
図6は、図1に示した垂直照明ユニットと、第1及び第2傾斜照明ユニットとを示した側面図であり、図7は、図6に示した垂直照明ユニットと、第1及び第2傾斜照明ユニットとを示した正面図である。
図3、図6及び図7を参照すると、垂直照明ユニット400は、支持ユニット100の上部に位置し、第1光BLを生成して支持ユニット100に載置された検査対象物10に第1光BL照射する。垂直照明ユニット400は、支持プレート110の一辺に沿って延び、前記第1光BLを線形態に出射する。
図8は、図6に示した垂直照明ユニットを示した側面図であり、図9は、図8に示した第1照明本体を示した断面図であり、図10は、図9に示した第1照明本体の他の一例を示した断面図である。
図7、図8及び図9を参照すると、垂直照明ユニット400は、外部から冷却エアーが提供される第1冷却本体410、及び第1光BLを生成する第1光発生部420を含む。
具体的には、第1冷却本体410は、垂直照明ユニット400の横方向に延長され、第1照明本体420を冷却する。これにより、垂直照明ユニット400は、第1光BLを発生させる工程で発生された熱によって、第1照明本体420が過熱されることを防止できる。第1冷却本体410は、移動部材310の下端部に設置された固定部材320に固定結合される。固定部材320は、移動部材310に結合されて、移動部材310により水平移動し、これに伴い、固定部材320に固定された垂直照明ユニット400は、水平移動する。
第1冷却本体410の前方には第1照明本体420が設置され、第1照明本体420は、撮像ユニット200の真下に設置される。第1照明本体420は、第1冷却本体410の横方向に延長され、支持ユニット100に安着されたITOフィルム10に向けて第1光BLを出射する。第1照明本体420は、ハウジング421、多数の第1光源422、光分離部材424及び第1集光部材425を含む。
具体的には、ハウジング421は、略六面体形状を有し、四角形形状の下部壁421a、下部壁421aに対向する上部壁421d、下部壁421aと上部壁421dを連結する側壁421b、421cを含む。ハウジング421の中には複数の第1光源422、光分離部材424、及び集光部材425が設置される。
複数の第1光源422は、ハウジング421の第1冷却本体410と隣接した側壁421cである第1側壁421cに固定設置され、前記第1光BLを生成する。この実施形態において、前記第1光源422には、発光ダイオードを利用するが、発光ダイオード以外に光を発生させる多様な光源を使用しても良い。
具体的には、ハウジング421は、略六面体形状を有し、四角形形状の下部壁421a、下部壁421aに対向する上部壁421d、下部壁421aと上部壁421dを連結する側壁421b、421cを含む。ハウジング421の中には複数の第1光源422、光分離部材424、及び集光部材425が設置される。
複数の第1光源422は、ハウジング421の第1冷却本体410と隣接した側壁421cである第1側壁421cに固定設置され、前記第1光BLを生成する。この実施形態において、前記第1光源422には、発光ダイオードを利用するが、発光ダイオード以外に光を発生させる多様な光源を使用しても良い。
複数の第1光源422は、ハウジング421の横方向に沿って支持ユニット100の上面に対して水平方向に互いに平行に配置される。第1光源から出射された第1光BLは、撮像ユニット200により撮像されたイメージでITOパターン12の形状を容易に認知するように短波長を有する光である。この実施形態において、第1光BLは、青色光である。
すなわち、ITOフィルム10は、座標パターンであるITOパターン12が肉眼で認知しやすい色を持たない透明であるために、白色光を照射してITOフィルム10を撮像する場合、撮像されたイメージ上でITOパターン12を識別することが難しい。特に、ITOフィルム10は、ベースプレート110が透明なために、イメージの上でその識別がより難しい。しかし、垂直照明ユニット400で出射できた第1光BLは、白色でない青色を有するために、第1光BLを出射し撮像されたイメージでは、ITOパターン12の形状が肉眼で確認可能に表示される。これにより、光学検査装置1000は、撮像されたイメージを通じて透明な材質で形成されたパターンの外観検査が可能なので、タッチパネル30用ITOパターン12の光学検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
また、この実施形態において、支持ユニット100の対面は、ITOフィルム10を透過して支持ユニット100の上面に入射された光の反射率を最小化するために黒い色に無光処理されるので、これにより、撮像ユニット200のイメージ品質が向上することができる。
すなわち、ITOフィルム10は、座標パターンであるITOパターン12が肉眼で認知しやすい色を持たない透明であるために、白色光を照射してITOフィルム10を撮像する場合、撮像されたイメージ上でITOパターン12を識別することが難しい。特に、ITOフィルム10は、ベースプレート110が透明なために、イメージの上でその識別がより難しい。しかし、垂直照明ユニット400で出射できた第1光BLは、白色でない青色を有するために、第1光BLを出射し撮像されたイメージでは、ITOパターン12の形状が肉眼で確認可能に表示される。これにより、光学検査装置1000は、撮像されたイメージを通じて透明な材質で形成されたパターンの外観検査が可能なので、タッチパネル30用ITOパターン12の光学検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
また、この実施形態において、支持ユニット100の対面は、ITOフィルム10を透過して支持ユニット100の上面に入射された光の反射率を最小化するために黒い色に無光処理されるので、これにより、撮像ユニット200のイメージ品質が向上することができる。
一方、光分離部材424は、ハウジング421の第1側壁421cに対向するように配置され、第1光源422と離隔されて位置する。光分離部材424は、第1光源422から出射された第1光BLを反射して、支持ユニット100が位置する下に向かい進行するように、第1光BLの進行方向を変更させる。
具体的には、光分離部材424は、光分離部材424に入射された光の方向によって光を反射したり透過させたりすることができる。すなわち、光分離部材424は、第1光源422から入射された第1光BLを、第1集光部材425に入射するように反射し、第1集光部材425側から入射された反射光RLは、透過させる。光分離部材424を透過した反射光RLは、ハウジング421の上部壁421dに形成されたホール421eを通じて外部に出射され、第1照明本体420の真上に位置する撮像ユニット200に入射する。
この実施形態において、光分離部材424には、対角線方向にミラー424aが備わったビームスプリッター(Beam Splitter)が適用され、第1光源422から出射された第1光BLは、光分離部材424のミラー424aに入射する。
具体的には、光分離部材424は、光分離部材424に入射された光の方向によって光を反射したり透過させたりすることができる。すなわち、光分離部材424は、第1光源422から入射された第1光BLを、第1集光部材425に入射するように反射し、第1集光部材425側から入射された反射光RLは、透過させる。光分離部材424を透過した反射光RLは、ハウジング421の上部壁421dに形成されたホール421eを通じて外部に出射され、第1照明本体420の真上に位置する撮像ユニット200に入射する。
この実施形態において、光分離部材424には、対角線方向にミラー424aが備わったビームスプリッター(Beam Splitter)が適用され、第1光源422から出射された第1光BLは、光分離部材424のミラー424aに入射する。
図9に示した第1照明本体420は、ビームスプリッターからなる光分離部材424を具備するが、図10に示す通り、第1照明本体430は、光分離部材431にハーフミラー(Half Mirror)を具備する。
第1照明本体420は、第1光源422から出射された第1光BLを平行光に変換させる第1平行光変換部材423をさらに含む。第1平行光変換部材423は、第1光源422と光分離部材424との間に介在され、平行光に変換させた第1光BLを光分離部材424側に出射する。
また、第1照明本体420は、第1平行光変換部材423から出射された第1光BLを拡散させる拡散部材426をさらに含む。拡散部材426は、第1平行光変換部材423と光分離部材424との間に介在され、第1平行光変換部材423から入射された第1光BLを拡散させて光分離部材424へ提供する。
一方、光分離部材424の下には第1集光部材425が備わって、第1集光部材425は、支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に対向するように配置される。第1集光部材425は、光分離部材424で反射された第1光BLを屈折させてITOフィルム10に集光させる。
第1集光部材425には、光分離部材424と隣接した上面に多数のプリズムパターン425aが形成される。また、第1集光部材425の中央部には、ITO10から入射された反射光RLを透過させて光分離部材424へ提供するための透過ホール425bが形成される。第1集光部材425のプリズムパターン425aは、透過ホール425bを基準に互いに対称となるように形成され、各プリズムパターン425aは、透過ホール425bに向けて上に傾斜した傾斜面を有する。
ハウジング421の下部壁421aには、第1集光部材425によって集光された第1光BLがITOフィルム10へ提供されるように、出射ホール421fが提供される。出射ホール421fは、第1集光部材425の下に位置し、ITOフィルム10で反射された光RLが出射ホール421fを通じて第1集光部材425に入射される。
第1照明本体420は、第1光源422から出射された第1光BLを平行光に変換させる第1平行光変換部材423をさらに含む。第1平行光変換部材423は、第1光源422と光分離部材424との間に介在され、平行光に変換させた第1光BLを光分離部材424側に出射する。
また、第1照明本体420は、第1平行光変換部材423から出射された第1光BLを拡散させる拡散部材426をさらに含む。拡散部材426は、第1平行光変換部材423と光分離部材424との間に介在され、第1平行光変換部材423から入射された第1光BLを拡散させて光分離部材424へ提供する。
一方、光分離部材424の下には第1集光部材425が備わって、第1集光部材425は、支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に対向するように配置される。第1集光部材425は、光分離部材424で反射された第1光BLを屈折させてITOフィルム10に集光させる。
第1集光部材425には、光分離部材424と隣接した上面に多数のプリズムパターン425aが形成される。また、第1集光部材425の中央部には、ITO10から入射された反射光RLを透過させて光分離部材424へ提供するための透過ホール425bが形成される。第1集光部材425のプリズムパターン425aは、透過ホール425bを基準に互いに対称となるように形成され、各プリズムパターン425aは、透過ホール425bに向けて上に傾斜した傾斜面を有する。
ハウジング421の下部壁421aには、第1集光部材425によって集光された第1光BLがITOフィルム10へ提供されるように、出射ホール421fが提供される。出射ホール421fは、第1集光部材425の下に位置し、ITOフィルム10で反射された光RLが出射ホール421fを通じて第1集光部材425に入射される。
図6及び図7を参照すると、垂直照明ユニット400の下には第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が設置され、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、互いに対向するように配置される。第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、第2光WLを生成して支持ユニット100に載置された検査対象物10に第2光WLを照射する。
この実施形態において、光学検査装置1000は、2つの傾斜照明ユニット501、502を具備するが、傾斜照明ユニット501、502の個数は、検査効率によって増加させたり減少させたりしても良い。
側面で見る時、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502の縦方向に延長された中心軸が互いに反対方向に傾くように配置される。この実施形態において、ITOフィルム10で垂直照明ユニット400から出射された第1光BLが入射される領域と、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502から出射された第2光WLが入射される領域とは、互いに重なる。すなわち、垂直照明ユニット400と第1及び第2傾斜照明ユニット501、502とは、互いに同じ領域に向けて光BL、WLを照射する。
この実施形態において、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、互いに同じ構成を有する。したがって、以下、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502の構成に対する具体的な説明において、第1傾斜照明ユニット501に対して具体的に説明し、第2傾斜照明ユニット502の構成に対する説明は、省略する。
この実施形態において、光学検査装置1000は、2つの傾斜照明ユニット501、502を具備するが、傾斜照明ユニット501、502の個数は、検査効率によって増加させたり減少させたりしても良い。
側面で見る時、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502の縦方向に延長された中心軸が互いに反対方向に傾くように配置される。この実施形態において、ITOフィルム10で垂直照明ユニット400から出射された第1光BLが入射される領域と、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502から出射された第2光WLが入射される領域とは、互いに重なる。すなわち、垂直照明ユニット400と第1及び第2傾斜照明ユニット501、502とは、互いに同じ領域に向けて光BL、WLを照射する。
この実施形態において、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、互いに同じ構成を有する。したがって、以下、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502の構成に対する具体的な説明において、第1傾斜照明ユニット501に対して具体的に説明し、第2傾斜照明ユニット502の構成に対する説明は、省略する。
図11は、図6に示した第1傾斜照明ユニットを示した側面図である。
図6、図7及び図11を参照すると、第1傾斜照明ユニット501は、外部から冷却エアーが提供される第2冷却本体510、及び第2光WLを生成する第2光発生部520を含む。
具体的には、第2冷却本体510は、第1傾斜照明ユニット501の横方向に延長し、第2照明本体520を冷却させる。これにより、第1傾斜照明ユニット501は、第2光WLを発生させる過程で発生された熱によって第2照明本体520が過熱されるのを防止できる。
第2冷却本体510の前方には第2照明本体520が設置される。第2照明本体520は、第2冷却本体510の横方向に延長し、支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて第2光WLを出射する。第2照明本体520は、ケース521、複数の第2光源522、第2平行光変換部材523、及び第2集光部材524を含む。
具体的には、ケース521は、略六面体形状を有し、中には複数の第2光源522及び第2平行光変換部材523が設置される。ケース521は、内部で生成された第2光WLが支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて出射可能に、一側壁が開口される。
図6、図7及び図11を参照すると、第1傾斜照明ユニット501は、外部から冷却エアーが提供される第2冷却本体510、及び第2光WLを生成する第2光発生部520を含む。
具体的には、第2冷却本体510は、第1傾斜照明ユニット501の横方向に延長し、第2照明本体520を冷却させる。これにより、第1傾斜照明ユニット501は、第2光WLを発生させる過程で発生された熱によって第2照明本体520が過熱されるのを防止できる。
第2冷却本体510の前方には第2照明本体520が設置される。第2照明本体520は、第2冷却本体510の横方向に延長し、支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて第2光WLを出射する。第2照明本体520は、ケース521、複数の第2光源522、第2平行光変換部材523、及び第2集光部材524を含む。
具体的には、ケース521は、略六面体形状を有し、中には複数の第2光源522及び第2平行光変換部材523が設置される。ケース521は、内部で生成された第2光WLが支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて出射可能に、一側壁が開口される。
複数の第2光源522は、ケース521の内側壁に設置され、第2光WLを生成する。この実施形態において、第2光源522には、発光ダイオードが利用されるが、発光ダイオード以外に光を発生させる多様な光源が使われることができる。
複数の第2光源522は、ケース521の横方向に沿って支持ユニット100の上面に対して水平方向に互いに平行となるように配置される。第2光源522から出射された第2光WLは、撮像ユニット200により撮像されたイメージで有色パターン13人銀メッキパターン13の形状を容易に認知できるように第1光BLと異なる色を有し、本発明の一例として、第2光WLは、白色光である。
この実施形態において、第2光WLは、第1光BLと異なる色を有するが、第1光BLと同じ色を有する光の場合もある。
第2平行光変換部材523は、第2光源522に対向するように配置され、第2光源522から入射された第2光WLを平行光に変換し、第2集光部材524側に出射する。
第2集光部材524は、第2平行光変換部材523に対向するように配置され、ケース521の開口された側壁に、支持ユニット100の上面に対して傾くように配置される。第2集光部材524は、第2平行光変換部材523から出射された第2光WLを屈折させてITOフィルム10に集光させる。
複数の第2光源522は、ケース521の横方向に沿って支持ユニット100の上面に対して水平方向に互いに平行となるように配置される。第2光源522から出射された第2光WLは、撮像ユニット200により撮像されたイメージで有色パターン13人銀メッキパターン13の形状を容易に認知できるように第1光BLと異なる色を有し、本発明の一例として、第2光WLは、白色光である。
この実施形態において、第2光WLは、第1光BLと異なる色を有するが、第1光BLと同じ色を有する光の場合もある。
第2平行光変換部材523は、第2光源522に対向するように配置され、第2光源522から入射された第2光WLを平行光に変換し、第2集光部材524側に出射する。
第2集光部材524は、第2平行光変換部材523に対向するように配置され、ケース521の開口された側壁に、支持ユニット100の上面に対して傾くように配置される。第2集光部材524は、第2平行光変換部材523から出射された第2光WLを屈折させてITOフィルム10に集光させる。
第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、ブラケット610によって、垂直照明ユニット400と連結する。ブラケット610の上端部は、垂直照明ユニット400の側壁に結合され、下端部には、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が結合される。第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、ブラケット610との結合角度を調節することで、支持ユニット100の上面に対する傾斜角を調節できる。
この実施形態において、光学検査装置1000は、検査対象物10を検査するための照明ユニットとして、垂直照明ユニット400と2つの傾斜照明ユニット501、502を具備するが、垂直照明ユニット400だけを具備しても良い。
上述した通り、光学検査装置1000は、撮像されたイメージを通じて有色パターン13だけでなく透明パターン12の外観検査が全て可能なので、検査効率を向上させることができる。
この実施形態において、光学検査装置1000は、検査対象物10を検査するための照明ユニットとして、垂直照明ユニット400と2つの傾斜照明ユニット501、502を具備するが、垂直照明ユニット400だけを具備しても良い。
上述した通り、光学検査装置1000は、撮像されたイメージを通じて有色パターン13だけでなく透明パターン12の外観検査が全て可能なので、検査効率を向上させることができる。
図12は、図1に示した光学検査装置を利用してITOフィルムを検査する方法を示したフローチャートである。
図1、図6及び図12を参照すると、まず、検査するITOフィルム10を支持ユニット100の上面に載置させる(ステップS110)。
次に、垂直照明ユニット400が移動部材310によって、水平移動しながら青色光BLをITOフィルム10に向けて出射し、これと共に、撮像ユニット200が垂直照明ユニット400と共に水平移動しながらITOフィルム10を撮像する。制御ユニット700は、撮像ユニット200から青色光BLを利用して撮像された第1検査イメージを受信し、受信された第1検査イメージを通じてITOフィルム10に形成されたITOパターン12を検査する(ステップS120)。
図1、図6及び図12を参照すると、まず、検査するITOフィルム10を支持ユニット100の上面に載置させる(ステップS110)。
次に、垂直照明ユニット400が移動部材310によって、水平移動しながら青色光BLをITOフィルム10に向けて出射し、これと共に、撮像ユニット200が垂直照明ユニット400と共に水平移動しながらITOフィルム10を撮像する。制御ユニット700は、撮像ユニット200から青色光BLを利用して撮像された第1検査イメージを受信し、受信された第1検査イメージを通じてITOフィルム10に形成されたITOパターン12を検査する(ステップS120)。
また、光学検査装置1000がITOフィルム10を検査する方法は、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が白色光WLを出射して銀メッキパターン13を検査する工程をさらに含む(ステップS130)。
光学検査装置1000が銀メッキパターン13を検査する工程を注意深く見ると、次の通りである。まず、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が移動部材310によって、水平移動しながら白色光WLを支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて出射し、これと共に、撮像ユニット200が第1及び第2傾斜照明ユニット501、502と共に水平移動しながらITOフィルム10を撮像する。制御ユニット700は、撮像ユニット200から白色光WLを利用して撮像された第2検査イメージを受信し、受信された第2検査イメージを通じてITOフィルム10に形成された銀メッキパターン13を検査する(ステップS130)。
この実施形態において、光学検査装置1000は、銀メッキパターン13を検査するために第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が白色光WLを出射したり、青色光BLを出射したりすることができる。
また、この実施形態において、光学検査装置1000は、ITOパターン12検査のためのイメージと銀メッキパターン13を検査するためのイメージとを別個に形成するが、ステップS120で生成されたITOパターン12検査用イメージを利用して銀メッキパターン13を検査することができる。
上述した通り、光学検査装置1000は、短波長の光を照射してITOパターン12を撮像するので、撮像されたイメージ上でITOパターン12の形状を認知できる。したがって、撮像されたイメージを利用して短絡のようなITOパターン12と銀メッキパターン13との電気的特性検査だけでなく、ITOパターン12及び銀メッキパターン13の形状及びITOフィルム10の異物付着等と同じ外観検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
光学検査装置1000が銀メッキパターン13を検査する工程を注意深く見ると、次の通りである。まず、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が移動部材310によって、水平移動しながら白色光WLを支持ユニット100に載置されたITOフィルム10に向けて出射し、これと共に、撮像ユニット200が第1及び第2傾斜照明ユニット501、502と共に水平移動しながらITOフィルム10を撮像する。制御ユニット700は、撮像ユニット200から白色光WLを利用して撮像された第2検査イメージを受信し、受信された第2検査イメージを通じてITOフィルム10に形成された銀メッキパターン13を検査する(ステップS130)。
この実施形態において、光学検査装置1000は、銀メッキパターン13を検査するために第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が白色光WLを出射したり、青色光BLを出射したりすることができる。
また、この実施形態において、光学検査装置1000は、ITOパターン12検査のためのイメージと銀メッキパターン13を検査するためのイメージとを別個に形成するが、ステップS120で生成されたITOパターン12検査用イメージを利用して銀メッキパターン13を検査することができる。
上述した通り、光学検査装置1000は、短波長の光を照射してITOパターン12を撮像するので、撮像されたイメージ上でITOパターン12の形状を認知できる。したがって、撮像されたイメージを利用して短絡のようなITOパターン12と銀メッキパターン13との電気的特性検査だけでなく、ITOパターン12及び銀メッキパターン13の形状及びITOフィルム10の異物付着等と同じ外観検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
図13(a)は、図1に示した垂直照明ユニットに青色光を照射して生成されたITOフィルムの検査イメージの一部分を示した図面であり、図13(b)は、図1に示した第1及び第2傾斜照明ユニットで白色光を照射して生成されたITOフィルムの検査イメージの一部分を示した図面である。
図13(a)及び図13(b)を参照すると、図13(a)に示した青色光を照射して撮像された検査イメージでは、ITOパターン(I_ITO)が肉眼で認知できるように表示され、銀メッキパターン(I_ML)又は、黒い色に表示されて肉眼で認知できる。反面、図13(b)に示した白色光を照射して撮像された検査イメージでは、銀メッキパターン(I_ML)のみの認知ができ、銀メッキパターン(I_ML)を除外した残りの部分は、全て黒い色に表示されてITOパターンの形状を把握することができない。
図13(a)及び図13(b)を参照すると、図13(a)に示した青色光を照射して撮像された検査イメージでは、ITOパターン(I_ITO)が肉眼で認知できるように表示され、銀メッキパターン(I_ML)又は、黒い色に表示されて肉眼で認知できる。反面、図13(b)に示した白色光を照射して撮像された検査イメージでは、銀メッキパターン(I_ML)のみの認知ができ、銀メッキパターン(I_ML)を除外した残りの部分は、全て黒い色に表示されてITOパターンの形状を把握することができない。
図14は、図12に示したITOフィルム検査方法の他の実施形態を示したフローチャートである。
図1、図6及び図14を参照すると、まず、検査するITOフィルム10を支持ユニット100の上面に載置させる(ステップS210)。
次に、垂直照明ユニット400と第1及び第2傾斜照明ユニット501、502とは、移動部材310によって水平移動しながらITOフィルム10に向けて同時に光BL、WLを出射し、これと共に、撮像ユニット200は、移動部材310によって水平移動しながらITOフィルム10を撮像する(ステップS220)。ここで、垂直照明ユニット400は、青色光BLを出射し、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、白色光WLを出射する。
次に、制御ユニット700は、撮像ユニット200から撮像された検査イメージを受信し、受信された検査イメージを通じてITOフィルム10に形成されたITOパターン12と銀メッキパターン13とを検査する(ステップS230)。
この実施形態において、光学検査装置1000は、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が白色光WLを出射したり、青色光BLを出射したりすることができる。
上述した通り、光学検査装置1000は、短波長の光を照射してITOパターン12を撮像するので、撮像されたイメージの上でITOパターン12の形状を認知できる。したがって、撮像されたイメージを利用して短絡のようなITOパターン12と銀メッキパターン13との電気的特性検査だけでなく、ITOパターン12及び銀メッキパターン13の形状及びITOフィルム10の異物付着等と同じ外観検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
図1、図6及び図14を参照すると、まず、検査するITOフィルム10を支持ユニット100の上面に載置させる(ステップS210)。
次に、垂直照明ユニット400と第1及び第2傾斜照明ユニット501、502とは、移動部材310によって水平移動しながらITOフィルム10に向けて同時に光BL、WLを出射し、これと共に、撮像ユニット200は、移動部材310によって水平移動しながらITOフィルム10を撮像する(ステップS220)。ここで、垂直照明ユニット400は、青色光BLを出射し、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502は、白色光WLを出射する。
次に、制御ユニット700は、撮像ユニット200から撮像された検査イメージを受信し、受信された検査イメージを通じてITOフィルム10に形成されたITOパターン12と銀メッキパターン13とを検査する(ステップS230)。
この実施形態において、光学検査装置1000は、第1及び第2傾斜照明ユニット501、502が白色光WLを出射したり、青色光BLを出射したりすることができる。
上述した通り、光学検査装置1000は、短波長の光を照射してITOパターン12を撮像するので、撮像されたイメージの上でITOパターン12の形状を認知できる。したがって、撮像されたイメージを利用して短絡のようなITOパターン12と銀メッキパターン13との電気的特性検査だけでなく、ITOパターン12及び銀メッキパターン13の形状及びITOフィルム10の異物付着等と同じ外観検査が可能で、検査効率を向上させることができる。
図15は、青色光と白色光とを同時に出射して生成されたITOフィルムの検査イメージの一部分を示した図面である。
図15を参照すると、青色光と白色光とを同時に出射して生成したITOフィルムの検査イメージでは、ITOパターン(I_ITO)と銀メッキパターン(I_ML)とが肉眼で可能に表示されるので、これを通じてITOパターン(I_ITO)と銀メッキパターン(I_ML)との検査が可能である。
以上、実施形態を参照して説明したが、当該技術分野の熟練された当業者は、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想、及び領域から抜け出さない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更させることができる。
図15を参照すると、青色光と白色光とを同時に出射して生成したITOフィルムの検査イメージでは、ITOパターン(I_ITO)と銀メッキパターン(I_ML)とが肉眼で可能に表示されるので、これを通じてITOパターン(I_ITO)と銀メッキパターン(I_ML)との検査が可能である。
以上、実施形態を参照して説明したが、当該技術分野の熟練された当業者は、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想、及び領域から抜け出さない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更させることができる。
100 支持ユニット
200 撮像ユニット
310 移動部材
400 垂直照明ユニット
501、502 傾斜照明ユニット
610 ブラケット
700 制御ユニット
1000 光学検査装置
200 撮像ユニット
310 移動部材
400 垂直照明ユニット
501、502 傾斜照明ユニット
610 ブラケット
700 制御ユニット
1000 光学検査装置
Claims (47)
- 検査対象物が載置される支持ユニットと、
前記支持ユニットの上部に設置され、短波長を有する第1光を生成して前記支持ユニットに載置された検査対象物に向けて照射する第1照明ユニットと、
前記第1光が照射される前記検査対象物を撮像する撮像ユニットと、
を含むことを特徴とする光学検査装置。 - 前記第1光は、青色光であることを特徴とする請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記第1照明ユニットは、
前記第1光を生成する第1光源と、
前記第1光源の出射面に対向するように配置され、入射する光の方向に沿って透過、或いは反射させる光分離部材と、
前記光分離部材によって、反射された光を集光して前記検査対象物へ提供し、前記支持ユニットに載置された前記検査対象物から反射された光を前記光分離部材へ提供する第1集光部材と、を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学検査装置。 - 前記支持ユニットの上部に設置され、第2光を生成して前記支持ユニットに載置された検査対象物に向けて照射する少なくとも1つの第2照明ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学検査装置。
- 前記第2光は、前記第1光と同じ色を有することを特徴とする請求項4に記載の光学検査装置。
- 前記第2光は、前記第1光と異なる色を有することを特徴とする請求項4に記載の光学検査装置。
- 前記第2光は、白色光であることを特徴とする請求項6に記載の光学検査装置。
- 前記第1及び第2照明ユニットは、前記検査対象物で前記第1光が照射された領域と前記第2光が照射された領域とが互いに重なるように配置されることを特徴とする請求項4に記載の光学検査装置。
- 前記第2照明ユニットは、
前記第2光を生成する第2光源と、
前記第2光源の出射面に対向するように配置され、前記第2光源から出射された前記第2光を平行光に変換して出射する平行光変換部材と、
前記平行光変換部材を介して前記第2光源に対向するように設置され、前記平行光変換部材から出射された前記第2光を集光して前記支持ユニットに載置された前記検査対象物へ提供する第2集光部材と、を含むことを特徴とする請求項4に記載の光学検査装置。 - 前記第2照明ユニットを結合し、かつ、前記第1照明ユニットに固定されるブラケットをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の光学検査装置。
- 前記第1照明ユニットは、前記ブラケットの上端部に結合設置され、前記第1光が出射される出射面が前記検査対象物の検査面に対して水平に対向するように配置され、
前記第2照明ユニットは、前記ブラケットの下端部に結合設置され、前記第2光が出射される出射面が前記検査対象物の検査面に対して傾くように配置されることを特徴とする請求項10に記載の光学検査装置。 - 前記撮像ユニット及び前記第1照明ユニットと連結し、前記支持ユニット上部で水平移動して前記撮像ユニットと前記第1照明ユニットの水平位置を変更させる水平移動部をさらに含むことを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学検査装置。
- 前記撮像ユニットは、ラインスキャン方式カメラであることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の光学検査装置。
- 前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が無光コーティング処理されたことを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学検査装置。
- 前記支持ユニットの前記検査対象物が載置される面は、黒い色を有することを特徴とする請求項14に記載の光学検査装置。
- 前記支持ユニットの前記検査対象物が載置される面は、黒い色に陽極酸化(Anodizing)処理されたことを特徴とする請求項15に記載の光学検査装置。
- 上面に透明パターンが形成された検査対象物が載置される支持ユニットと、
前記支持ユニットの上部に設置され、長さ方向の軸が前記支持ユニットのの上面に対して垂直に配置され、短波長を有する第1光を生成して前記支持ユニットに載置された検査対象物に向けて前記第1光を線形態に照射する垂直照明ユニットと、
前記垂直照明ユニットの下に設置され、第2光を生成して前記支持ユニットに載置された検査対象物に向けて前記第2光を線形態で照射する第1及び第2傾斜照明ユニットと、
前記第1照明ユニットの上部に設置され、前記第1及び第2光が照射される前記検査対象物を撮像する撮像ユニットと、を含み、
前記第2光を出射する前記第1傾斜照明ユニットの出射面と前記第2傾斜照明ユニットの出射面とは、前記検査対象物の検査面に対して互いに反対方向に傾くように配置されることを特徴とする光学検査装置。 - 前記第1光は、青色光であることを特徴とする請求項17に記載の光学検査装置。
- 前記第2光は、白色光であることを特徴とする請求項17に記載の光学検査装置。
- 前記第1及び第2傾斜照明ユニットは、前記検査対象物で、前記第1傾斜照明ユニットから出射された第2光が入射された領域と、前記第2傾斜照明ユニットから出射された第2光が入射された領域とが互いに重なるように配置され、
前記垂直照明ユニットは、前記第1光が前記第1及び第2傾斜照明ユニットとの間を通過して前記検査対象物に入射されるように配置されることを特徴とする請求項17〜19のいずれか1項に記載の光学検査装置。 - 前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が黒い色で無光コーティング処理されたことを特徴とする請求項17〜20のいずれか1項に記載の光学検査装置。
- 透明パターンが形成された検査対象物に向けて、短波長を有する第1光を照射しながら前記検査対象物を撮像し、前記撮像されたイメージを通じて前記検査対象物を検査することを特徴とする光学検査方法。
- 前記第1光は、青色光であることを特徴とする請求項22に記載の光学検査方法。
- 前記透明パターンは、透明な導電性金属材質で形成されることを特徴とする請求項22に記載の光学検査方法。
- 前記導電性金属材質は、酸化インジウム錫(Indum Tin Oxide:ITO)、又は酸化インジウム亜鉛(Indum Zinc Oxide:IZO)であることを特徴とする請求項24に記載の光学検査方法。
- 前記撮像されたイメージを利用した前記検査対象物に対する検査は、電気的特性検査を含むことを特徴とする請求項24に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物に向けて第2光を照射しながら前記検査対象物を撮像し、前記第2光を照射して撮像されたイメージを通じて前記検査対象物に形成された有色パターンを検査する工程をさらに含むことを特徴とする請求項22〜26のいずれか1項に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、前記第1光と同じ色を有することを特徴とする請求項27に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、前記第1光と異なる色を有することを特徴とする請求項27に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、白色光であることを特徴とする請求項29に記載の光学検査方法。
- 前記有色パターンは、導電性金属材質で形成されることを特徴とする請求項27に記載の光学検査方法。
- 前記第1光、又は前記第2光を照射して撮像されたイメージを通じて行われる前記検査対象物に対する検査は、前記検査対象物の異物質の付着可否、及び前記検査対象物に形成されたパターンの形状に対する検査を含むことを特徴とする請求項27に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物は、透明なベースプレートの上に前記透明パターンが形成されることを特徴とする請求項22〜32のいずれか1項に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物は、支持ユニットに載置された状態で前記第1光が照射され、
前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が無光コーティング処理されて提供されることを特徴とする請求項33に記載の光学検査方法。 - 前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が黒い色に処理されることを特徴とする請求項34に記載の光学検査方法。
- 透明パターン、及び有色パターンが形成された検査対象物に向けて短波長を有する第1光と第2光を同時に出射しながら前記検査対象物を撮像する工程と、
前記撮像されたイメージを通じて前記検査対象物を検査する工程と、
を含むことを特徴とする光学検査方法。 - 前記第1光は、青色光であることを特徴とする請求項36に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、前記第1光と同じ色を有する光であることを特徴とする請求項36に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、前記第1光と異なる色を有する光であることを特徴とする請求項36に記載の光学検査方法。
- 前記第2光は、白色光であることを特徴とする請求項39に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物で前記第1光が照射される領域と、前記第2光が照射される領域がと互いに重なることを特徴とする請求項36に記載の光学検査方法。
- 前記透明パターンは、透明な導電性金属材質で形成されることを特徴とする請求項36に記載の光学検査方法。
- 前記撮像されたイメージを通じてなされる前記検査対象物に対する検査は、電気的特性検査を含むことを特徴とする請求項42に記載の光学検査方法。
- 前記撮像されたイメージを通じて行われる前記検査対象物に対する検査は、前記検査対象物の異物質の付着可否及び前記透明パターン及び前記有色パターンの形状に対する検査を含むことを特徴とする請求項36〜43のいずれか1項に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物は、透明なベースプレートの上に前記透明パターン及び前記有色パターンが形成されることを特徴とする請求項44に記載の光学検査方法。
- 前記検査対象物は、支持ユニットに載置された状態で前記第1及び第2光が照射され、
前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が無光コーティング処理されて提供されることを特徴とする請求項45に記載の光学検査方法。 - 前記支持ユニットは、前記検査対象物が載置される面が黒い色に処理されることを特徴とする請求項46に記載の光学検査方法。
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