JP2011053148A - 角速度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】角速度を検出する角速度検出装置であって、光源部から射出された光が入射する第1の振動子を備える振動部材と、前記第1の振動子を介した前記光のうち分岐された第1の光と第2の光とを干渉させる光学部材と、前記第1の光および前記第2の光に基づく干渉光を受光する受光部と、前記第1の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第1の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
振動部材12は、光源部11から射出された光が入射する第1の振動子12aと第2の振動子12bとを備える。また、振動部材12は、制御部20と接続されており、制御部20によって制御されることで振動される。これにより、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、周期的に振動する。つまり、振動部材12は、入射した光の位相を変調する。
制御部20は、振動部材12を周期的に振動させる制御信号を振動部材12に出力し、振動部材12の振動を制御する。なお、制御部20は、例えば高調波な信号を供給することによって、後で詳細に説明する捩れ振動モードで振動部材12を振動させる。
コリメータレンズ13は、振動部材12で反射された光を透過して平行光に偏向する。ここで、コリメータレンズ13は、第1の振動子12aで反射された光を第1の平行光に偏向し、第2の振動子12bで反射された光を第2の平行光に偏向する。なお、第1の平行光と第2の平行光は、互いに光路が異なる。
なお、光学部材14は、入射した光を複数の光に分離する構成であればよく、回折格子(回折型の位相格子)のほか、ブレーズ型の位相格子、またはビームスプリッタ等が利用できる。また、振動部材12によって変調された第1の平行光(あるいは第2の平行光)は、光学部材14の異なる位置に入射して、後述の通り、第1の光L1と第2の光L2(あるいは、第3の光L3と第4の光L4)とが干渉用光学部材16に重なりあって入射する。
偏向部15Aは、光学部材14によって分離された第1の光L1と第2の光L2とをそれぞれ偏向して、干渉用光学部材16の干渉領域で第1の光L1と第2の光L2とが重なるように干渉用光学部材16に入射させる。また、偏向部15Aは、光学部材14によって分離された第3の光L3と第4の光L4とをそれぞれ偏向して、干渉用光学部材16の干渉領域で第3の光L3と第4の光L4とが重なるように干渉用光学部材16に入射させる。
この干渉用光学部材16には、光学部材14と同様に、X軸方向に回折パターンが形成されている回折格子が利用可能であって、ブレーズ型の位相格子やビームスプリッタ等も利用可能である。さらに、干渉用光学部材16は、例えば、光学部材14と平行に配置されている。
また、これらの位置関係としては、光学部材14を射出されてから干渉用光学部材16に入射されるまでの第1の光L1と第2の光L2とが通過する光路長とが同一となり、同様に、光学部材14を射出されてから干渉用光学部材16に入射されるまでの第3の光L3と第4の光L4との光路長が同一となるように配置されている。さらに、振動部材12が振動していない状態において、光源部11を射出した光が第1の振動子12aで反射されガラスブロック15等を透過し干渉用光学部材16に入射するまでの第1の光L1の光路長と、光源部11を射出した光が第2の振動子12bで反射されガラスブロック15等を透過し干渉用光学部材16に入射するまでの光路長とが、それぞれ同値となるように配置されている。
第2の受光素子18は、干渉用光学部材16から射出された干渉光L34を受光し、この干渉光L34を光電変換して干渉強度を示す光電変換信号(検出信号)を生成し、検出部19に出力する。
例えば、振動部材12が回転していない状態における、第1の振動子12aの振動による干渉光L12の干渉強度の変化に基づき、米国特許6639986号公報に示されている信号処理によって得られる出力信号を、基準として予め決めておく。そして、振動部材12が回転することにより第1の振動子12aにコリオリ力が生じた際に検出される干渉光L12の干渉強度に基づき、米国特許6639986号公報に示されている信号処理によって得られる出力信号と、上述の基準として予め決めておいた出力信号とを検出部19が比較して、同期検波を行うことで、コリオリ力により生じた干渉光の位相差を検出する。
これにより、検出部19は、記憶部を参照して、位相差に基づき、角速度検出装置1が回転運動した際の角速度Ωを得ることができる。
なお、ここでは、位相差と角速度Ωとを対応付ける例について説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、後述する位置情報X1や、後述する位相同期検波により得られる位相を加算平均の結果であってもよい。
図2に示す通り、振動部材12は、例えば音叉型の水晶振動子であって、一方のアームに第1の振動子12aを、他方のアームに第2の振動子12bを、それぞれ備える弾性体である。また、振動部材12は、第1の振動子12aと第2の振動子12bとの中心を通る中心軸CZ(Z軸方向に平行な仮想線)を含むY−Z面に対して面対称な形状である。
第1の振動子12aと第2の振動子12bは、結合部12cによってZ軸の負方向にある一端で結合されており、Z軸の正方向の他端にそれぞれ反射部を備える。この反射部は、振動部材12が振動していない状態でX−Y面と平行に配置されており、光源部11から射出された光をコリメータレンズ13に向けて反射する位置に設けられている。
はじめに、図3を用いて、振動部材12が回転しておらず、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bに対してコリオリ力が発生していない場合の振動子の動きについて説明する。
図3に示す通り、第1の振動子12aと第2の振動子12bは、角速度検出装置1の回転軸(すなわち、Z軸に平行な軸)と直交するY軸方向に振動している。
詳細に説明すると、高調波による捩れ振動モードで制御部20により振動されている振動部材12は、第1の振動子12aと第2の振動子12bの反射部が、蝶が羽ばたくように左右対称に振動される。つまり、第1の振動子12aと第2の振動子12bは、互いの中央にある中心軸CZと直交するY軸と平行な仮想線CYに対しても対称に振動している。また、第1の振動子12aと第2の振動子12bの振動中心は、それぞれ、仮想線CY上に位置している。
また、第1の振動子12aと第2の振動子12bのそれぞれの質量中心MCはY軸方向に振動している。
なお、上述の通り、第2の振動子12bは、第1の振動子12aと対称に振動しているため、詳細な説明は省略する。
また、捩れ振動モードによって振動部材12が振動されることによって、第1の振動子12aで反射された光は位相が変調され、干渉光L12に基づく干渉強度が変化する。また、第2の振動子12bは、第1の振動子12aと中心軸CZを含むY−Z面に対して面対称となる動きで振動している。
図4(a)は、図2と同様に、Y軸の正方向から振動部材12を見た状態を示す概略図である。
上述した通り、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bが捩れ振動モードによって振動されている状態において、振動部材2がZ軸周りの角速度Ωで回転すると、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、コリオリ力を受けて、図4(a)に示すように、それぞれY軸の逆方向に変位する。詳細に説明すると、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、図3を用いて説明したようにY軸方向に振動しながら、Z軸を中心軸として軸対称に変位している。また、Z軸周りの角速度Ωで振動部材2が回転し、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bが速度vで運動しているとすると、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bはac=v×Ωのコリオリ力を受ける。
なお、振動部材12がZ軸を軸中心とする右回りの回転により、角速度Ωが発生する例を用いて、以下説明する。
図4(b)に示す通り、コリオリ力を受けていない場合、第1の振動子12aは点線で示すP位置とQ位置との間を振動している。一方、コリオリ力を受けることで、第1の振動子12aは、実線で示すように、P位置からX軸の負方向に変位したP´位置と、Q位置からX軸から正方向に変位したQ´位置との間を振動する。このように、Y軸方向に振動している第1の振動子12aは、コリオリ力を受けることでX軸方向に変位する。
図4(c)に示す通り、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、コリオリ力を受けていない場合、点線で示すP位置とQ位置との間を振動している。一方、コリオリ力を受けることで、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、実線で示すように、P位置からX軸の負方向に変位したP´位置と、Q位置からX軸から正方向に変位したQ´位置との間を振動する。
また、第1の振動子12aは、P位置において中心軸CZから遠くなるP´位置に変位した場合に捩れ角度が小さくなり、Q位置において中心軸CZに近づくQ´位置に変位した場合に捩れ角度が大きくなる。これとは反対に、第2の振動子12bは、P位置において中心軸CZに近づくP´位置に変位した場合に捩れ角度が大きくなり、Q位置において中心軸CZから遠ざかるQ´位置に変位した場合に捩れ角度が小さくなる。
なお、捩れ角度とは、振動部材12が捩れ制御モードによって振動されている場合、振動していない状態において第1の振動子12aおよび第2の振動子12bが位置される仮想線CXと、振動している状態において第1の振動子12aおよび第2の振動子12bの振幅の一番外側(図示しているP´位置、Q´位置)とがなす角度のことをいう。
また、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bの振動中心が、Y軸方向の回転軸と直交するX−Z平面方向に変位する。
さらに、図4(c)に示す通り、第1の振動子12aと第2の振動子12bとは、中心軸CZに対して軸対称に変位する。
これを、図5を用いて詳細に説明すると、第1の振動子12aは、コリオリ力を受けると、図4(c)で説明した通り、回転による角速度Ωに応じて、P´位置とQ´位置における捩れ角度がそれぞれ異なる大きさとなるように変位する。このため、反射する光の反射角度は、反射される光の反射角度が、角速度Ωの方向と逆方向にシフトされる。
また、第1の振動子12aは常に振動しているため、実際には、反射した光の振動中心が、図示の通り、左回りに回転する角速度Ωと逆方向の右回りに回転したようにみえる。
なお、第2の振動子12bも角速度Ωの影響を受けて、第1の振動子12aと中心軸CZに対して軸対称に変位する。このため、第2の振動子12bを反射した光の反射角度が、角速度Ωの方向と逆方向に変化する。
まず、コリオリ力を受けていない場合、第1の振動子12aで反射された光の反射角度は図6(a)に示す通りである。この第1の振動子12aの質量中心の位置の加速度をa1=Asin(ωt)とする。
一方、振動部材2がZ軸周りの角速度Ωで回転し、第1の振動子12aがコリオリ力を受けると、第1の振動子12aで反射された光の反射角度が、図6(b)に示す通り角速度Ωだけ、振動部材12の回転方向と反対方向に回転する。これにより、第1の振動子12aの見かけの加速度は、回転加速度Asin(ωt)−Ωに変化する。
なお、これらの第1の振動子12aに与えられる変位の効果の大きさや比率は、振動部材12の形状や材質剛性によって決まる。
次いで、第1の振動子12aで変調された光がコリメータレンズ13によって第1の平行光に偏向され、光学部材14に入射し、第1の平行光が第1の光L1と第2の光L2に分離される。この第1の光L1と第2の光L2は、偏向部15Aを介して干渉用光学部材16の干渉領域に重なるように入射し、干渉光L12として第1の受光素子17に入射する。
よって、検出部19は、この干渉光L12、L34に基づく干渉強度I1、I2を、例えば米国特許6639986号公報に示されている信号処理の技術を利用して、位相同期検波を行うことにより、位置情報X1、X2を高感度に算出することができる。
ここで、第1の振動子12aおよび第2の振動子12bは、中心軸CZに対して軸対称に振動しているため、光源部11を射出してから第1の受光素子17に入射するまでの干渉光L12の光路長と、光源部11を射出してから第2の受光素子18に入射するまでの干渉光L34の光路長とは、同一となる。
よって、検出部19によって得られた位置情報X1、X2が、コリオリ力を受けていない状態で得られる値として予め決められた値であれば、角速度検出装置1は回転していないと判断することもできる。
また、検出部19によって得られた位置情報X1、X2が、コリオリ力を受けていない状態で得られる値として予め決められた値でないなら、角速度検出装置1は、その位置情報X1、X2に基づいて、角速度を算出することができる。
つまり、図4(a)および図4(c)に示すように、第1の振動子12aと第2の振動子12bが、それぞれY軸の逆方向に変位する。これにより、光源部11を射出して第1の振動子12aとコリメータレンズ13を介して光学部材14に入射される第1の平行光の光路長と、光源部11を射出して第2の振動子12bとコリメータレンズ13を介して光学部材14に入射される第2の平行光の光路長とが変化する。このため、光源部11を射出して第1の振動子12aで反射された第1の光L1と第2の光L2とに基づく干渉光L12の光路長と、光源部11を射出して第2の振動子12bで反射された第3の光L3と第4の光L4とに基づく干渉光L34の光路長との間に光路差が生じる。
よって、検出部19が、コリオリ力が発生した場合に干渉光L12と干渉光L34とに生じる位相差を検出することによって、干渉縞の変化を高感度に検出することができる。
例えば、Z軸周りの回転運動によって角速度Ωが振動部材12に加えられた場合、第1の振動子12aと第2の振動子12bの反射部で反射された光の振動中心は、角速度Ωの方向と反対方向に回転する。例えば、振動部材12が回転していない状態の位置情報をX1、X2とすると、次式が得られる。
また、本実施形態における角速度検出装置1は、振動部材12の左右のアーム(第1の振動子12aと第2の振動子12b)に等しく加わる外乱振動や、環境温度の変化、光源波長の変化等の要素を低減する又はキャンセルすることができる。従って、安定して高精度な角速度を測定することができる角速度検出装置1を実現することができる。
このように、本実施の形態は、捩れ振動モードによって振動部材12を振動させることにより、コリオリ力が働いた場合に得られる位置情報の加算平均の値を通常の値に比べて、Δxだけ、大きくすることができる。よって、角速度検出装置1の回転が微小であった場合でも、検出部19によって得られる加算平均の値を、通常よりも大きくすることができるため、高精度に角速度を検出することができる。
また、本実施形態における式は、一例であって、上述の式に限定されるものではない。
12 振動部材
12a 第1の振動子
12b 第2の振動子
13 コリメータレンズ
14 光学部材
15 カラスブロック
16 干渉用光学部材
17 第1の受光素子
18 第2の受光素子
19 検出部
20 制御部
Claims (24)
- 角速度を検出する角速度検出装置であって、
光源部から射出された光が入射する第1の振動子を備える振動部材と、
前記第1の振動子を介した前記光のうち分岐された第1の光と第2の光とを干渉させる光学部材と、
前記第1の光および前記第2の光に基づく干渉光を受光する受光部と、
前記第1の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第1の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする角速度検出装置。 - 前記第1の振動子は、捩れ振動モードで振動することを特徴とする請求項1に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、前記回転運動によって生じる前記第1の光と前記第2の光とにおける光路長の相対的な変化をもとに、前記第1の振動子の変位を検出することを特徴とする請求項1あるいは2に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、前記第1の振動子の回転運動のコリオリ力で生じる前記第1の振動子の変位を検出することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記第1の振動子は、
前記コリオリ力によって振動中心が変位することを特徴とする請求項4に記載の角速度検出装置。 - 前記第1の振動子は、
自角速度検出装置によって検出される回転の回転軸と直交する方向に前記振動中心が変位することを特徴とする請求項5に記載の角速度検出装置。 - 前記第1の振動子は、
自角速度検出装置によって検出される回転の回転軸と直交する方向に振動することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の角速度検出装置。 - 前記第1の光の光路長と前記第2の光の光路長とが同一であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、
前記第1の振動子が回転していない状態で前記第1の振動子を介した光に基づき得られる前記干渉光の干渉強度の変化を基本周波数として同期検波を行い、前記第1の振動子の振動中心の変位による前記光の光路長の変化を検出することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の角速度検出装置。 - 前記光学部材は、前記第1の光と前記第2の光とに分岐させる分岐部材を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記分岐部材は、位相格子又はビームスプリッタを含むことを特徴とする請求項10に記載の角速度検出装置。
- 前記光学部材は、前記第1の光と前記第2の光とを位相部材上において干渉させることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記振動部材は、
前記第1の振動子と一対に構成された第2振動子を備え、
前記光学部材は、
前記第2振動子を介した前記光のうち分岐された第3の光と第4の光とを干渉させる
ことを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の角速度検出装置。 - 前記第3の光と前記第4の光とに基づく第2干渉光を受光する第2受光部を備えることを特徴とする請求項13に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、前記第1の振動子と前記第2振動子との回転運動によってそれぞれ生じる前記干渉光の干渉縞の変化及び前記第2干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第1の振動子の変位及び前記第2の振動子の変位を検出することを特徴とする請求項14に記載の角速度検出装置。
- 前記第2の振動子は、捩れ振動モードで振動することを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、前記第2の振動子の回転運動によって生じる前記第3の光と前記第4の光とにおける光路長の相対的な変化をもとに、前記第2の振動子の変位を検出することを特徴とする請求項13から16のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記検出部は、前記第2の振動子の回転運動のコリオリ力で生じる前記第2の振動子の変位を検出することを特徴とする請求項13から17のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記光学部材は、前記第1の光と前記第2の光とを干渉させる領域とは異なる領域において前記第3の光と前記第4の光とを干渉させることを特徴とする請求項13から18のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記第2の振動子は、自角速度検出装置によって検出される回転の回転軸と直交する方向に振動することを特徴とする請求項13から19のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記振動子および前記第2の振動子は、
自角速度検出装置によって検出される回転の回転軸と直交する方向にそれぞれ反対側に向かって各々の振動中心が変位することを特徴とする請求項13から20のいずれか一項に記載の角速度検出装置。 - 前記第3の光と前記第4の光の光路長が同一であることを特徴とする請求項13から21のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記振動部材は、音叉型であることを特徴とする請求項1から22のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
- 前記光源部、前記振動部材、前記光学部材および前記受光部は、互いに位置関係が固定されていることを特徴とする請求項1から23のいずれか一項に記載の角速度検出装置。
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