JP2011049501A - 熱電モジュール - Google Patents

熱電モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2011049501A
JP2011049501A JP2009198979A JP2009198979A JP2011049501A JP 2011049501 A JP2011049501 A JP 2011049501A JP 2009198979 A JP2009198979 A JP 2009198979A JP 2009198979 A JP2009198979 A JP 2009198979A JP 2011049501 A JP2011049501 A JP 2011049501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
thermoelectric
thermoelectric elements
substrate
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009198979A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5523769B2 (ja
Inventor
Osamu Sensui
修 泉水
Akio Konishi
明夫 小西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kelk Ltd
Original Assignee
Kelk Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kelk Ltd filed Critical Kelk Ltd
Priority to JP2009198979A priority Critical patent/JP5523769B2/ja
Priority to US12/862,937 priority patent/US20110048486A1/en
Publication of JP2011049501A publication Critical patent/JP2011049501A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5523769B2 publication Critical patent/JP5523769B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/80Constructional details
    • H10N10/81Structural details of the junction
    • H10N10/817Structural details of the junction the junction being non-separable, e.g. being cemented, sintered or soldered
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/10Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
    • H10N10/17Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】基板の反りに起因する応力発生を抑制しつつ、製造コストを低減できる熱電モジュールを提供すること。
【解決手段】複数の電極51〜54を介して電気的に直列接続される複数の熱電素子2,3と、複数の電極51〜54が互いに対向面に形成されるとともに、複数の熱電素子2,3を挟んで送熱方向に対して垂直に配置される一対の基板4A,4Bとを備えた熱電モジュール1であって、上基板4Aの電極としては、隣接し合う一対の熱電素子2,3に相当する領域分離間して配置された熱電素子2,3を電気的に接続する大きさの第1電極51を含み、下基板4Bの電極としては、基板4A,4B間に挟持される熱電素子2,3の最大配置数に対応して設けられ、かつ隣接する一対の熱電素子2,3を電気的に接続する大きさである。
【選択図】図2

Description

本発明は、ペルチェ効果を利用した熱電モジュールに関する。
従来、複数の熱電素子(P型熱電素子及びN型熱電素子)を一対の基板で挟んで接合するとともに、熱電素子間に電流を供給することで冷却または加熱する熱電モジュールが知られている。各熱電素子は、各基板に設けられた電極を介して電気的に直列接続されるように配置され、各熱電素子に電流を供給すると、ペルチェ効果によって基板間で一方向の熱輸送が発生する。
そして、一方の基板では、吸熱作用が発生し、他方の基板では放熱作用が発生する。これにより、吸熱側の基板に冷却対象を取り付け、放熱側にヒートシンクを取り付けて、冷却対象の温度制御を行っている。この際、アルミナ等から形成される基板には、冷却対象を直接半田付けし易くするため、一般的に、基板の表面に予めメタライズ層が形成される。冷却対象やヒートシンクは、メタライズ層の表面にさらに半田層または接着剤を介して実装される。
ところで、基板の熱膨張係数と、半田層の熱膨張係数とを比較すると、半田層の熱膨張係数が基板の熱膨張係数の3倍以上であるため、基板及び半田層の温度がともに低下すると、基板よりも半田層の方がより収縮することとなり、基板には反りが発生する。このとき基板は、中央に配置された熱電素子の部分を基点として反ることから、中央から遠ざかるほど反りの変位量が大きくなるとともに、外周部の素子に生じる応力が大きくなり、熱電素子がこの変位や応力により損傷するおそれがある。
そこで、基板中央の所定領域に位置する熱電素子を省き、基板に発生する反りによる応力を抑制することで、熱電素子の損傷を防止することが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2009−129968号公報
特許文献1では、基板中央の所定領域に位置する熱電素子が省かれるため、熱電素子を挟む各基板には、熱電素子の除去された領域を跨ぐ長い異形の電極が形成され、互いに大きく離間した一対の熱電素子を接続することになる。
しかしながら、熱電素子の除かれる領域の大きさや形状、すなわち基板間に配置される熱電素子の対数(ここで、「対数」とは、一つの電極に接合されるP型熱電素子及びN型熱電素子を一つの対と数え、その総数をいう)や配置形態は、熱電モジュールの仕様によって異なるため、仕様が異なる毎に様々な電極パターンを持つ基板を上基板、下基板共に用意する必要があり、製造コストがかかるという問題がある。
本発明の目的は、基板の反りに起因する応力発生を抑制しつつ、製造コストを低減できる熱電モジュールを提供することにある。
本発明の熱電モジュールは、複数の電極を介して電気的に接続される複数の熱電素子と、前記複数の電極が互いに対向面に形成されるとともに、前記複数の熱電素子を挟んで送熱方向に対して垂直に配置される一対の基板とを備えた熱電モジュールであって、前記一対の基板のうち、一方の基板に形成される前記複数の電極は、熱電素子1つ分の領域以上に離間して配置された一対の熱電素子を電気的に接続するバイパス電極を含み、他方の基板に形成される前記複数の電極は、前記一対の基板間に挟持される前記複数の熱電素子の最大配置数に対応して設けられ、かつ隣接する一対の熱電素子を電気的に接続することを特徴とする。
ここで「隣接」とは、熱電素子が最大配置数配置された場合において、隣り同士に並んで位置していることをいい、並び方向は問わない。従って、本発明において、最大配置数で熱電素子が配置された場合の一対の熱電素子を電気的に接続する電極は、最も小さな形状の電極となる。
本発明の熱電モジュールでは、隣接する複数の前記バイパス電極からなるバイパス電極集約部分は、隣接する一対の熱電素子を電気的に接続する電極で囲まれていることを特徴とする。
ここで、「バイパス電極集約部分」とは、複数のバイパス電極が集約して設けられている部分のことであり、複数のバイパス電極自身のそれぞれの大きさや形状は問わない。
本発明の熱電モジュールでは、前記一方の基板または前記他方の基板での複数の電極が形成される側とは反対側には冷却対象が実装され、前記複数の熱電素子は、前記冷却対象の実装形態に応じて粗密に配置され、前記バイパス電極は、粗部分を跨いで配置された密部分の一対の熱電素子を接続することを特徴とする。
本発明によれば、一方の基板にのみバイパス電極が設けられており、他方の基板には、熱電素子の最大配置数に対応した数の電極が設けられるので、熱電素子の配置形態として、基板の反りや吸熱効率等を勘案した様々な仕様が存在する場合には、バイパス電極の形状などを変更させることで対応すればよく、このバイパス電極が形成される一方の基板のみを変更すればよい。
従って、熱電素子の最大配置数に対応した数の電極が設けられる他方の基板については、異なる仕様の熱電モジュールに共通に使用でき、部品の種類を低減させて製造コストを削減できる。そして、バイパス電極の数や形状、設ける位置、つまり熱電素子の省く数や位置によっては、基板の反りによる応力の発生を抑制できるという効果もある。
また、本発明において、バイパス電極を一方の基板の所定領域に複数集約して設けるなどし、バイパス電極集約部分の周囲を他の小さな電極で囲んだ場合には、基板の反りの基点となる例えば略中央付近の熱電素子が不要となる。従って、中央からずれた位置に配置された熱電素子を基点として基板が反ったとしても、反りの基点位置から基板の外周縁との距離は、反りの基点位置が基板の中央にあるときよりも短くなるから、反りの変位量や応力をより一層小さくできる。
ところで、本発明の熱電モジュールを、ペルチェ効果によって一方の基板から他方の基板へ熱を輸送するものにでき、一方の基板に発熱する冷却対象を実装することで、冷却対象の温度制御が可能である。このような熱電モジュールにおいて、冷却対象の発熱量が多い領域には熱電素子を密に配置し、発熱量が少ない領域には熱電素子を粗に配置し、この粗部分に対応させてバイパス電極を配置すれば、必要領域に必要な数の熱電素子を配置でき、吸熱効率を向上させることができる。
本発明の第1実施形態に係る熱電モジュール及び半導体レーザーユニットの断面図。 図1のII-II線から見た平面図。 図1のIII-III線から見た平面図。 半導体レーザーユニットの全体平面図。 基板間に熱電素子を最大数配置した場合の平面図。 第2実施形態に係る熱電モジュールの断面図。 図6のVII-VII線から見た平面図。 第3実施形態に係る熱電モジュールの断面図。 図8のIX-IX線から見た平面図。 第4実施形態に係る熱電モジュールの断面図。 図10のXI-XI線から見た平面図。 第5実施形態に係る熱電モジュールの断面図。 図12のXIII-XIII線から見た平面図。
[第1実施形態]
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、熱電モジュール1及び半導体レーザーユニット10の断面図である。図2は、図1の矢印II-IIから見た平面図であり、図1の示す熱電モジュール1から後述する上基板4A、メタライズ層6を除いた状態での平面図である。図3は、図1の矢印III-IIIから見た平面図である。図4は、半導体レーザーユニット10の全体平面図である。
熱電モジュール1は、図1、2に示すように、複数のP型熱電素子2及びN型熱電素子3と、これら熱電素子2,3を挟んで送熱方向(後述)に対して垂直に配置される一対の基板4とを備えて概略構成される。
P型熱電素子2は、ビスマス(Bi)及びテルル(Te)を含むP型熱電材料と、P型熱電材料の表面に形成されたモリブデン(Mo)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)のいずれかを含む拡散防止層等で構成される。
N型熱電素子3は、ビスマス(Bi)及びテルル(Te)を含むN型熱電材料と、P型熱電素子2と同様な拡散防止層等で構成される。
基板4は、図1に示すように、図中の上側に位置する一方の基板としての上基板4A及び下側に位置する他方の基板としての下基板4Bで構成される。この基板4は、通常、絶縁性部材であるセラミックス製であり、アルミナ(Al)、窒化アルミナ(AlN)、炭化珪素(SiC)等により形成される。基板4としてはその他、ポリイミド等の樹脂製の場合もある。
上基板4Aの上面側及び下基板4Bの下面側には、メタライズ層6が形成される。メタライズ層6は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、金(Au)が積層された構成である。上基板4A側のメタライズ層6には、後述する半導体レーザーユニット10が半田層(図示略)を介して接合され、下基板4B側のメタライズ層6には、複数の放熱フィンを備えたヒートシンク(図示略)またはパッケージ等の金属部材が半田層(図示略)または接着剤を介して略全面にわたって接合される。
このような熱電モジュール1では、各熱電素子2,3に電流を供給すると、ペルチェ効果によって基板4間で一方向への熱輸送が発生し、上基板4Aでは吸熱作用が、下基板4Bでは放熱作用がそれぞれ発生する。なお、各熱電素子2,3に電流を供給する方向によっては、上基板4Aで放熱作用、下基板4Bで吸熱作用がそれぞれ発生する。
従って、熱電素子2,3をその送熱方向から基板4A,4Bで挟持した本実施形態では、半導体レーザーユニット10を吸熱側の上基板4Aに取り付けることで、上基板4Aを介して半導体レーザーユニット10からの熱を吸熱するとともに、吸熱した熱を各熱電素子2,3を通して下基板4Bに送熱し、ヒートシンク等により外部に放熱し、半導体レーザーユニット10を冷却する。
上基板4Aの下面側には、各熱電素子2,3の上端が接合される複数の第1〜第3電極51〜53が設けられ、下基板4Bの上面側には、各熱電素子2,3の下端が接合される複数の第4電極54が設けられる。これら第1〜第4電極51〜54のうち、上基板4Aに設けられた第1電極51が本発明に係るバイパス電極である。
第1〜第4電極51〜54は、例えば、銅メッキ法によりニッケル(Ni)メッキまたは、ニッケル(Ni)及び金(Au)メッキされた銅(Cu)製である。この第1〜第4電極51〜54は全て矩形状であるが、第1電極51と第2〜第4電極52〜54とでは、長手方向の大きさが異なる。第2〜第4電極52〜54は、同一形状で同じ大きさである。但し、第2、第4電極52,54と第3電極53とでは向きが90度異なって設けられている。
なお、図2、3では、第1〜第3電極51〜53に対して、第4電極54の位置を分かり易くするため、第4電極54の大きさを第2、第3電極52,53よりも一回り小さく描いてある。
さらに、第1、第2、第4電極51,52,54の長手方向及び短手方向は、基板4の長手方向及び短手方向と一致している。第1電極51の長手方向の寸法は、隣接する電極との隙間を含めるとP´である。第2、第4電極52,54の長手方向の寸法は、隣接する電極との隙間を含めると2Pであり、第1、第2、第4電極51,52,54の短手方向の寸法は同様に、Pである。
第3電極53の長手方向の寸法は、隣接する電極との隙間を含めると2Pであり、短手方向の寸法は同様に、Pである。第1電極51の長手方向の寸法P´は、第2、第4電極52,54の長手方向の寸法よりも大きい。
なお、上述したように、本実施形態では、第2〜第4電極52〜54は、同一形状で同じ大きさであるが、PまたはPの寸法が変更された場合では、第2、第4電極52,54と第3電極53とは大きさが異なるものとなる。
以上の熱電モジュール1では、図1に示すように、上基板4A(図1では図示略)の第1〜第3電極51〜53と下基板4Bの第4電極54とが互い違いに配置され、これにより、各熱電素子2,3は、第1〜第4電極51〜54を介して電気的に直列接続される。接続方向の両端に配置された第4電極54には、リード線Lが接続される。本実施形態でのリード線Lの他、電極パッドやポスト電極を用いてワイヤボンディングにより接続する構成としてもよい。
ところで、図2に記載された数字W1〜W14、L1〜L6は、熱電素子2,3の配置位置の列数(W1〜W14)及び行数(L1〜L6)を示している。以下の各実施形態を説明する際に用いる図面に記載されている数字も同様である。また、上下の基板間には本来、図5に示すように、全ての列数及び行数を利用することで、最大84個、つまり最大42対熱電素子を配置することが可能である。図5では、リード線を用いて電力供給を行う関係で、実際には41対の熱電素子が用いられているが、基板が有する最大配置数としては42対分である。
しかし、本実施形態では、図2に示すように、熱電素子2,3は、中央部分の6対分(W7、W8列分)、及び右側部分の6対分(W11、W12列分)の合計12対分が除去されている。この結果、基板4間には29対の熱電素子2,3が配置されている。一方、下基板4Bの第4電極54は、図3に示すように、図5の41対の熱電素子2,3が配置される場合と同様に最大配置数に対応して設けられている。
そして、上基板4Aにおいて、熱電素子2,3の除去された12箇所に対応して第1電極51が設けられている。第1電極51は、除去された熱電素子2,3に相当する領域を跨いで設けられ、上基板4Aの長手方向に沿って第2電極52よりも長く形成されている。すなわちバイパス電極である第1電極51は、W7,W8列分だけ離間したW6,W9列の熱電素子2,3を電気的に接続し、また、W11,W12列分だけ離間したW10,W14列の熱電素子2,3を電気的に接続している。
他の電極について具体的に説明すると、上基板4Aでは先ず、図2中の左端において、3つの第3電極53がその長手方向を上基板4Aの短手方向に沿わせた形で1列に配置されている。つまり、第3電極はW1列において、L1行及びL2行の熱電素子2,3、L3行及びL4行の熱電素子2,3、L5行及びL6行の熱電素子2,3をそれぞれ電気的に接続している。
第3電極53の内側(右側)には、第2電極52がその長手方向を上基板4Aの長手方向に沿わせた6行2列の形で、合計12個配置されている。従って、第2電極はL1〜L6行において、W2列及びW3列の熱電素子2,3を接続している。
第2電極52のさらに右側には、前述したように、第1電極51が同様に6行2列の形で、合計12個配置されている。上基板4Aの右端において、2つの第3電極53がその長手方向を上基板4Aの短手方向に沿わせた形で1列に配置されている。これら2つの第3電極53は、上基板4Aの短手方向の中央に寄せて配置され、W14列において、L2行とL3行、及びL4行とL5行の熱電素子2,3を接続している。このため、上基板4Aの右端では、隅部に対応した電極が設けられておらず、下基板4B側の第4電極54の半分がリード線Lの結線用に露出している。
これに対して下基板4Bでは、図3に示すように、第4電極54がその長手方向を下基板4Bの長手方向に沿わせた形で6行7列、つまり熱電素子2,3の最大配置数に対応して設けられている。
このような下基板4Bは、熱電素子2,3の実配置数が29対よりも変更された他仕様の熱電モジュールに対しても、最大配置数が変わらない場合には、該熱電モジュールの下基板4Bとして共通に用いられる。加えて下基板4Bは、熱電素子2,3の実配置数は29対と変わらないが、その配置形態が異なる第2実施形態以降の下基板4Bとしても(図6〜図13参照)、共通に用いられる。
図1、図4において、半導体レーザーユニット10は、図示された構成に特に限定されないが、例えば上基板4Aの上面に形成されたサブマウント13上に、それぞれ冷却対象としての半導体レーザーダイオード(LD)11、光変調器12、及び図示しないその他の部品を半田付け等により実装したものである。
LD11は、主に光通信用に用いられる他、光ディスクプレーヤー等に用いられる。LD11で発振されて出力された光は、光変調器12で強度変調され、図示しない発光部から出力される。LD11の発熱量は、光変調器12と比べて多く、このLD11は、熱電モジュール1のW1〜W6列に対応した領域の中央に実装される。LD11よりも発熱量の少ない光変調器12は、熱電モジュール1のW9〜W14列に対応して実装されている。
このように、LD11自身の実装面積は小さいが、発熱量が大きいため、W1〜W6列に相当する領域に18対の熱電素子2,3を密に配置することで、LD11からの熱を熱電素子2,3にて確実に吸熱し、LD11を良好に冷却可能である。
これに対し、光変調器12の実装面積としては、W9〜W14列の大きな領域を用いているが、光変調器12の発熱量が小さいために、W11列,W12列に熱電素子2,3が存在しない粗の配置状態になっていても、光変調器12からの熱を十分に吸熱できる。さらに、LD11及び光変調器12の間には冷却対象が存在しないことから、このような領域に対応したW7列、W8列にもやはり、熱電素子2,3が設けられておらず、粗の配置状態が適用される。
以上のように本実施形態の熱電モジュール1では、熱電素子2,3が冷却対象であるLD11及び光変調器12の実装形態に応じて粗密に配置されているので、配置された熱電素子2,3による吸熱効率を向上させることができ、余分な熱電素子2,3を省いて熱電モジュール1のコストを削減できる。
また、基板4A,4B中央のW7,W8列には熱電素子2,3が存在しないことから、基板4A,4Bが反ろうとする場合には、その中央から長手方向の外方にずれた位置を起点として反ることになるので、中央を起点して反る場合と比較して、両端側での変位量や中央での応力を低減でき、基板4A,4Bの損傷を抑制できる。
さらに、本実施形態では、熱電素子2,3の配置が粗とされた部分を跨ぐように第1電極51が適用されているが、このような第1電極51を有した電極パターンは、上基板4Aにのみ適用されており、下基板4Bには熱電素子2,3の最大配置数に対応した第4電極54が設けられている。
つまり、そのような異形の第1電極41を上基板4Aにのみ設けることで、第2実施形態以降に説明するように、基板4の反り等を勘案して熱電素子2,3を配置した他仕様の熱電モジュールでは、上基板4Aの電極パターンのみを仕様に応じて異ならせればよく、下基板4Bとしては常に同じ電極パターンのものを用いればよい。従って、熱電モジュールの仕様が異なっても、基板4Aを変更するだけで基板4Bを共通に使用でき、製造コストを一層削減できる。
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態を図6、図7に基づいて説明する。
以下の説明では、前記第1実施形態と同様の構造及び同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。また、下基板4Bに形成される第4電極54の電極パターンは、前記第1実施形態と同じである。後述する他の実施形態でも同様である。
前記第1実施形態では、上基板4Aにおいて、一対分の熱電素子2,3に対応した領域を跨ぐ第1電極51が12箇所に設けられていたが、本実施形態では、図6、7に示すように、3対分の領域を跨ぐバイパス電極として第5電極55が4箇所に形成されている点で相違する。
具体的に本実施形態では、熱電素子2,3は、12対分(W7〜W12列のL2〜L5行分)が除去されており、基板4A,4B間には、29対の熱電素子2,3が配置されている。熱電素子2,3の除去された領域は、基板4A,4Bよりも光変調器12寄りに位置しており、吸熱要求が比較的ゆるい部分である。
また、熱電素子2,3の除去された領域は、4つの第5電極55が集約して設けられたバイパス電極集約部分55Aになっており、これら第5電極55の周囲が第2電極で囲まれている。つまり粗の領域の周囲は、熱電素子2,3によって囲まれているのである。第5電極55は、L2〜L5行において、W6列及びW13列に配置された熱電素子2,3を電気的に接続している。
本実施形態の熱電モジュール1によれば、前記第1実施形態と同様の効果を奏する他、以下の効果がある。
本実施形態では、複数の異形の第5電極55が吸熱要求のゆるい所定領域に集約され、これに合わせて熱電素子2,3の除去された領域が形成されている。また、このような領域やこの領域に対応したバイパス電極集約部分55Aの周囲は、第2電極52や熱電素子2,3で囲まれている。従って、用いられる熱電素子2,3の対数は第1実施形態と同じであるが、第1実施形態に比して基板4A,4Bの反りによる応力増大をより確実に防止できるという効果がある。
すなわち本実施形態では、基板4A,4Bが反ろうとした場合の基点位置は、W6列及びW13列であり、当該基点位置から基板4A,4Bの外周縁までの距離は、中央位置から基板4の外周縁までの距離よりも特に右側で短くなり、右側での反りの変位量を確実に小さくでき、中央側での応力も小さくできる。しかも、基板4A,4Bの反りに対しては、L1行のW6〜W13列に設けられた第2電極52、及びL6行のW6〜W13列に設けられた第2電極52で良好に対抗でき、反りの変位量を格段に小さくできるのである。
[第3実施形態]
本発明の第3実施形態を図8、図9に基づいて説明する。
本実施形態では、バイパス電極として2対分の熱電素子2,3に対応した領域を跨ぐ第6電極56が6箇所に設けられている。
従って、本実施形態では、12対分(W7〜W10列分)の熱電素子2,3が除去され、基板4A,4B間には、29対の熱電素子2,3が配置されている。熱電素子2,3の除去された領域に対応してバイパス電極が設けられるのは、第1、第2実施形態と同じである。
第6電極56は、除去された熱電素子2,3を跨いで配置された一対の熱電素子2,3、具体的には、L1〜L6行において、W6列及びW11列に配置された熱電素子2,3を電気的に接続している。
本実施形態の熱電モジュール1では、前記第2実施形態に比して、光変調器12に対応したW11〜W14列の領域に密に熱電素子2,3が配置される構成であるから、光変調器12側での吸熱効率を向上させることができる。また、第2実施形態程ではないが、光変調器12側において、基板の反りを小さくでき、反りを有効に防止できるという効果もある。
[第4実施形態]
本発明の第4実施形態を図10、図11に基づいて説明する。
本実施形態では、前記第1実施形態と同じ第1電極51が6箇所、及び前記第2実施形態と同じ第5電極55が2箇所に設けられている点が特徴である。
本実施形態でも、12対分(W7、W8列のL1〜L6行分、W11、W12列のL2〜L5行分、W9、W10列のL3、L4行分)の熱電素子2,3が除去されており、やはり29対の熱電素子2,3が用いられている。そして、熱電素子2,3の除去された領域に対応して第1電極51及び第5電極55が設けられている。
上述した本実施形態の熱電モジュール1によれば、上基板4Aに適用されている電極パターンにより、前記第2、第3実施形態の略中間の吸熱特性と反り防止特性とを有する。
[第5実施形態]
本発明の第5実施形態を図12、図13に基づいて説明する。
本実施形態では、前記第1実施形態の第1電極51が2箇所、前記第3実施形態の第6電極56が4箇所、及び1対分を跨ぐL字状のバイパス電極として第7電極57が2箇所に形成されている点で相違する。
本実施形態でも、12対分(W9、W10列のL1、L3、L4、L6行分、W7、W8列のL1〜L6行分、W13、W14列のL2、L5行分)の熱電素子2,3が除去されている。すなわち、基板4間には、第1〜第4実施形態と同様に、29対の熱電素子2,3が配置されている。
第7電極57は、L2行、W12列とL3行、W14列の熱電素子2,3、及びL5行、W12列とL4行、W14列の熱電素子2,3を接続する電極であり、熱電素子2,3の除去された領域を跨いでL字状に形成されている。
このような本実施形態の熱電モジュール1によれば、上基板4Aの電極パターンは異なるが、前記第4実施形態と略同様の効果を奏する。
なお、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
例えば、前記各実施形態では、吸熱効率や反り特性の違いに係わらず、熱電素子2,3の最大配置数に対して12対分の熱電素子2,3が省かれ、よって29対の熱電素子2,3が配置されていたが、熱電素子2,3の最大配置数や、省略数(実配置数)などは任意であり、各実施形態に限定されない。そして、熱電素子2,3の最大配置数に対応した電極が設けられる基板を、各仕様の異なる熱電モジュールに共通に用いればよい。
前記各実施形態では、各電極51〜57を介して熱電素子2,3を電気的に直列接続していたが、並列接続してもよい。
前記各実施形態では、バイパス電極である第1、第5、第6、第7電極51,55,56,57は、複数の熱電素子2,3を跨ぐ構成であったが、1つの熱電素子2,3のみを跨いだ構成としてもよい。
前記各実施形態では、上基板4Aにはバイパス電極が形成され、下基板4Bには最大配置数の第4電極54が形成されていたが、これらを逆にして、下基板4Bにバイパス電極を形成し、上基板4Aに最大配置数の第4電極54を形成する構成としてよい。
前記第2実施形態では、図7に示すように、バイパス電極である第5電極55が複数(第2実施形態では4つ)集約して設けられ、これら複数の第5電極55全体を囲むように第2、第3電極52,53が設けられていたが、第2、第3電極52,53で囲まれるバイパス電極の数は任意であり、集約して設けられた複数個のバイパス電極の全体が囲まれる他、1つのバイパス電極が囲まれている場合でも、本発明に含まれる。
本発明は、冷却対象の冷却を目的とした熱電モジュールの他、熱源に取り付けられることで発電させる熱電モジュールにも好適に利用できる。
1…熱電モジュール、2…熱電素子であるP型熱電素子、3…熱電素子であるN型熱電素子、4A…一方の基板である上基板、4B…他方の基板である下基板、11…冷却対象である半導体レーザーダイオード(LD)、12…冷却対象である光変調器、51,55,56,57…バイパス電極である第1、第5、第6、第7電極、52,53,54…隣接する一対の熱電素子を接続する電極である第2、第3、第4電極、55A…バイパス電極集約部分。

Claims (3)

  1. 複数の電極を介して電気的に接続される複数の熱電素子と、前記複数の電極が互いに対向面に形成されるとともに、前記複数の熱電素子を挟んで送熱方向に対して垂直に配置される一対の基板とを備えた熱電モジュールであって、
    前記一対の基板のうち、一方の基板に形成される前記複数の電極は、熱電素子1つ分の領域以上に離間して配置された一対の熱電素子を電気的に接続する大きさのバイパス電極を含み、
    他方の基板に形成される前記複数の電極は、前記一対の基板間に挟持される前記複数の熱電素子の最大配置数に対応して設けられ、かつ隣接する一対の熱電素子を電気的に接続する大きさである
    ことを特徴とする熱電モジュール。
  2. 請求項1に記載の熱電モジュールにおいて、
    隣接する複数の前記バイパス電極からなるバイパス電極集約部分は、隣接する一対の熱電素子を電気的に接続する大きさの電極で囲まれている
    ことを特徴とする熱電モジュール。
  3. 請求項1または請求項2に記載の熱電モジュールにおいて、
    前記一方の基板または前記他方の基板での複数の電極が形成される側とは反対側には冷却対象が実装され、
    前記複数の熱電素子は、前記冷却対象の実装形態に応じて粗密に配置され、
    前記バイパス電極は、粗部分を跨いで配置された密部分の一対の熱電素子を接続する大きさである
    ことを特徴とする熱電モジュール。
JP2009198979A 2009-08-28 2009-08-28 熱電モジュール Active JP5523769B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009198979A JP5523769B2 (ja) 2009-08-28 2009-08-28 熱電モジュール
US12/862,937 US20110048486A1 (en) 2009-08-28 2010-08-25 Thermoelectric module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009198979A JP5523769B2 (ja) 2009-08-28 2009-08-28 熱電モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011049501A true JP2011049501A (ja) 2011-03-10
JP5523769B2 JP5523769B2 (ja) 2014-06-18

Family

ID=43623029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009198979A Active JP5523769B2 (ja) 2009-08-28 2009-08-28 熱電モジュール

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20110048486A1 (ja)
JP (1) JP5523769B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014094410A (ja) * 2012-10-12 2014-05-22 Jfe Steel Corp 鋳造および圧延を行う鋼板製造設備列およびそれを用いた熱電発電方法
JP2015079839A (ja) * 2013-10-16 2015-04-23 ヤマハ株式会社 熱電モジュール
JPWO2014050126A1 (ja) * 2012-09-27 2016-08-22 Jfeスチール株式会社 製造設備列および熱電発電方法
JP2018107424A (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 三菱マテリアル株式会社 ケース付熱電変換モジュール
CN109841725A (zh) * 2017-11-29 2019-06-04 现代自动车株式会社 热电模块板和包括它的热电模块组件
JP2021118197A (ja) * 2020-01-22 2021-08-10 古河電気工業株式会社 光学装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8847382B2 (en) * 2010-12-06 2014-09-30 Stmicroelectronics Pte. Ltd. Thermoelectric cooler system, method and device
CA2854543A1 (en) 2011-11-02 2013-05-10 Cardinal Solar Technologies Company Thermoelectric device technology
GB2521353A (en) * 2013-12-17 2015-06-24 Ibm Thermoelectric device
CN106482385B (zh) * 2015-08-31 2019-05-28 华为技术有限公司 一种热电制冷模组、光器件及光模组

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08139370A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Sharp Corp 熱電変換装置の製造方法
JP2007294864A (ja) * 2006-03-31 2007-11-08 Kyocera Corp 熱電モジュール
JP2009129968A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Kelk Ltd 熱電モジュール

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050257821A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Shriram Ramanathan Thermoelectric nano-wire devices
US8039726B2 (en) * 2005-05-26 2011-10-18 General Electric Company Thermal transfer and power generation devices and methods of making the same
US9391255B2 (en) * 2007-01-30 2016-07-12 Massachusetts Institute Of Technology Multistage thick film thermoelectric devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08139370A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Sharp Corp 熱電変換装置の製造方法
JP2007294864A (ja) * 2006-03-31 2007-11-08 Kyocera Corp 熱電モジュール
JP2009129968A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Kelk Ltd 熱電モジュール

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2014050126A1 (ja) * 2012-09-27 2016-08-22 Jfeスチール株式会社 製造設備列および熱電発電方法
JP2014094410A (ja) * 2012-10-12 2014-05-22 Jfe Steel Corp 鋳造および圧延を行う鋼板製造設備列およびそれを用いた熱電発電方法
JP2015079839A (ja) * 2013-10-16 2015-04-23 ヤマハ株式会社 熱電モジュール
JP2018107424A (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 三菱マテリアル株式会社 ケース付熱電変換モジュール
JP7151068B2 (ja) 2016-12-26 2022-10-12 三菱マテリアル株式会社 ケース付熱電変換モジュール
CN109841725A (zh) * 2017-11-29 2019-06-04 现代自动车株式会社 热电模块板和包括它的热电模块组件
CN109841725B (zh) * 2017-11-29 2023-11-10 现代自动车株式会社 热电模块板和包括它的热电模块组件
JP2021118197A (ja) * 2020-01-22 2021-08-10 古河電気工業株式会社 光学装置
JP7370878B2 (ja) 2020-01-22 2023-10-30 古河電気工業株式会社 光学装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20110048486A1 (en) 2011-03-03
JP5523769B2 (ja) 2014-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5523769B2 (ja) 熱電モジュール
JP4688526B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
US6650006B2 (en) Semiconductor package with stacked chips
JP4626517B2 (ja) 半導体レーザアセンブリ
JP5067140B2 (ja) 光源装置
US20100264520A1 (en) Semiconductor module
JP5528900B2 (ja) 発光素子モジュール
EP0619604B1 (en) Heat sink for a semiconductor device
US20170070028A1 (en) Laser Light Modules
US20120279760A1 (en) Package carrier and manufacturing method thereof
JP2007281146A (ja) 半導体発光装置
WO2018146933A1 (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
US8716830B2 (en) Thermally efficient integrated circuit package
WO2018168591A1 (ja) モジュール
JP2019071412A (ja) チップパッケージ
JP2006295119A (ja) 積層型半導体装置
US11171072B2 (en) Heat dissipation substrate and manufacturing method thereof
JP5357706B2 (ja) 半導体実装構造体
US10546988B2 (en) Light emitting device and solder bond structure
JP5607092B2 (ja) パッケージ構造およびその製造方法
JP4927571B2 (ja) 半導体素子、半導体モジュールおよび電子機器
WO2014136735A1 (ja) 半導体装置
JP2017152606A (ja) 放熱基板およびそれを用いた半導体パッケージならびに半導体モジュール
JP2010034137A (ja) 半導体レーザ装置
JP6540587B2 (ja) パワーモジュール

Legal Events

Date Code Title Description
A625 Written request for application examination (by other person)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625

Effective date: 20120418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130813

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130815

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131015

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140311

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140409

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5523769

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250