JP2011047698A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物10の検査対象面を撮像するカメラ3と、カメラ3に接続され、カメラ3からの映像信号に基づいて検査対象物10の良否判定を行う画像処理装置1と、画像処理装置1に接続されたシミュレート装置2とを備える。画像処理装置1は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出し、欠陥画素数または位置の何れか一方に基づいて設定された第1の検査条件C1によって、検査対象物の良否判定を行う。シミュレート装置2は、画像処理装置1から画像データを受信し、検査条件C1とは異なる検査条件C2に基づいて検査対象物の良否判定をシミュレートする。
【選択図】図1
Description
2 シミュレート装置(シミュレート部)
3 カメラ(撮像手段)
4 ランプ
5 LANケーブル
6 接続用ケーブル
10 検査対象物
C1 第1検査条件
C2 第2検査条件
Claims (5)
- 検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により前記検査対象物を撮像して得られた画像データを用いて、前記対象物に存在する欠陥箇所を検出する欠陥箇所検出部と、
前記欠陥箇所検出部が検出した欠陥箇所と、欠陥箇所の数または位置の少なくとも何れか一方に関する第1検査条件とをもとに前記検査対象物の良否判定を行う検査部と、
前記画像データを用いて検出した欠陥箇所と、欠陥箇所の数または位置の少なくとも何れか一方に関して、第1検査条件とは異なる一乃至複数の第2検査条件とをもとに、前記検査対象物の良否判定を、前記検査部による良否判定と同時に行うシミュレート部とを有することを特徴とする外観検査装置。 - 前記第1検査条件による良否判定と、前記第2検査条件による良否判定とが異なる結果を示した検査対象物を抽出して、双方の良否判定結果を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記表示部には、前記欠陥箇所検出部が検出した欠陥箇所の数及び位置、又は、前記検査対象物の映像のうち少なくとも何れか一方を表示することを特徴とする請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記検査部による不良品の判定数と、前記シミュレート部による不良品の判定数とを比較する比較手段を備え、前記比較手段による比較結果に基づいて、不良品の判定数が所定数となるような第2検査条件を、第1検査条件として検査部に設定することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の外観検査装置。
- 前記検査部による不良品の判定数と、前記シミュレート部による不良品の判定数とを比較する比較手段を備え、前記比較手段による比較結果に基づいて、不良品の判定数が最も多い、あるいは、最も少ない第2検査条件を、第1検査条件として検査部に設定することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の外観検査装置。
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