JP2011046573A - 化合物半導体結晶の製造方法 - Google Patents
化合物半導体結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011046573A JP2011046573A JP2009197756A JP2009197756A JP2011046573A JP 2011046573 A JP2011046573 A JP 2011046573A JP 2009197756 A JP2009197756 A JP 2009197756A JP 2009197756 A JP2009197756 A JP 2009197756A JP 2011046573 A JP2011046573 A JP 2011046573A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- compound semiconductor
- crystal
- semiconductor crystal
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】サセプタ4によって支持されるルツボ3内に原料6及び液体封止剤7を収容する収容工程と、前記ルツボ3を加熱し、前記原料6及び液体封止剤7を融解する融解工程と、前記ルツボ3内の原料融液6に種結晶2を接触させ、前記種結晶2を引き上げて結晶成長させて化合物半導体結晶10を得る結晶成長工程と、前記結晶成長工程の前に前記ルツボ3と前記サセプタ4との間に予め設けておいた熱量調整部11の肉厚を、原料6及び液体封止剤7と接触していたルツボ3内周面の損耗量に応じて補正する補正工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
位置が変動することにより、熱伝導性以外にも、熱流も変動することになる。これらの変動により、原料融液内の温度分布の再現性が得られなくなるおそれがある。
る。
その結果、発明者らは、サセプタとルツボとの間に前もって熱量調整部を設けておき、ルツボの肉厚が薄くなっても、ルツボ内周面の損耗量に応じて前記熱量調整部の肉厚を補正すればルツボの熱伝導性を維持することができることを見出した。
図1に示すように、圧力容器からなる成長炉100には、単結晶を引上げる為の引上げ軸1が設けられ、引上げ軸1の先端に、種結晶2が取り付けられる。
筒形状であってもよいし、複数のプレートを組み合わせたものからなる形状であっても良い。前記底部33の形状としては、所定の曲率を有する球面形状であってもよいし、平面形状であってもよいが、温度分布を均一にするという観点から球面形状であることが好ましい。さらに、前記底部33において、原料6と液体封止剤7とを収容する内周面(以降、ルツボ底部上面331ともいう)と、サセプタ4によって支持される外周面(以降、ルツボ底部下面332ともいう)とが相似形状または同一形状であってもよいし、異なる形状であっても良い。例えば、ルツボ底部上面331が球面形状で、ルツボ底部下面332が平面形状であってもよいし、その逆であってもよい。
また、前記ペデスタル5および前記引上げ軸1は、それぞれ別個に設けられた回転装置(図示せず)により回転され、昇降装置(図示せず)により昇降される。
まず、サセプタ4によって支持されるルツボ3内に原料6及び液体封止剤7を収容する。このとき、炉内を所定圧の不活性ガス雰囲気に保持する。この不活性ガスの圧力は、原料6としてIII族、V族原料をルツボ3内に収容した場合に、原料6からV族原料が解
離するのを防止する程度の圧力に設定される。
次に、温度コントローラによりヒータ8が加熱される。このヒータ8の加熱によりルツボ3を加熱し、ルツボ内の原料6及び液体封止剤7を融解する。
具体的には、まず、ルツボ3の温度をヒータ8の加熱により液体封止材7の溶融温度に到達させ、液体封止材7を融解する。原料の融解前に液体封止剤が融解することで、液体封止剤がルツボ内周面の底部側に接触する。さらに、ヒータ8の温度を原料6の溶融温度に到達させ、原料6を融解する。このとき、液体封止材7の比重よりも原料6の融液の比重が大きいので、液体封止材7により原料融液の表面が覆われる。これにより、原料6の融液からのV族元素の解離を防止することができる。
原料6および液体封止剤7を融解した後、引上げ軸1の先端に固定された種結晶2を前記昇降装置により降ろし、液体封止剤7を貫いて原料6の融液に接触させる。そして、温度コントローラのフィードバック制御によってヒータ8の温度を徐々に低下させつつ、この状態のまま引上げ軸1を種結晶2とともに前記昇降装置によりゆっくりと引上げていく。こうすることで結晶が成長し、単結晶である成長結晶10が液体封止材7を貫いて引上げられていく。
前記結晶成長工程の後、必要があれば、液体封止剤7と接触していたルツボ内周面31の損耗量を測定する。
先にも述べたように、液体封止剤7がルツボ内周面31に固着することにより、ルツボ内周面31が損耗してしまう。この損耗に起因してルツボ3の肉厚が薄くなることにより、原料6を融解するためのヒータ8の熱に対する熱伝導性が大きくなり、原料融液内の温度分布の再現性が崩れ、ルツボ3を使用する度に結晶成長条件が変動することになる。その結果、単結晶を再現性良く得ることが難しくなってしまう。また、この損耗に起因する再現性の崩れは、特に、ルツボ底部での損耗が影響する。
なお本工程は、ルツボ内周面31の損耗量が予測できる手法を用いる場合は行わなくともよい。例えば炉内圧力、原料融液量、ヒータ8の設定温度、結晶成長工程に費やす時間
、ルツボの材質、外径・内径および肉厚等から損耗量を予め計算してもよい。
そして、本実施形態においては、結晶成長工程の前にルツボ3とサセプタ4との間に予め設けておいた熱量調整部11の肉厚を、予測された損耗量または前記損耗測定工程で得られた損耗量に応じて補正する。つまり、結晶成長工程によるルツボ3の損耗分を補うように、熱量調整部11の肉厚を補正する。これにより、結晶成長工程前すなわちルツボ3が損耗する前の熱伝導性と、化合物半導体結晶を製造した後に新たに化合物半導体結晶を製造する際の結晶成長工程における熱伝導性とを同等とすることができ、ひいては原料融液内の温度分布の再現性を確保することができる。その結果、化学半導体結晶の製造工程において、安定した単結晶歩留まりを得ることができる。
量調整部11に、予測された損耗量または前記損耗測定工程で得られた損耗量に応じた肉厚を有する円板形状をなした熱量調整部の一部112を、置換するのではなく、加えることにより、新たな熱量調整部として補正する方法が挙げられる。図4に示すように、熱量調整部11においてルツボ3及びサセプタ4と接する部分11a,11bをルツボ3,サセプタ4に対して着脱自在とし、これらの部分以外の部分111,112を本実施形態においては円板形状の部分とする。この方法ならば、補正工程の際に、損耗量に応じた肉厚を有する円板形状の部分112を、ルツボ側熱量調整部11aとサセプタ側熱量調整部11bとの間に挟み込むことにより、熱量調整部11を容易に補正することができる。
なお、この方法を、上述の具体的な一つ目の補正方法と組み合わせてもよい。つまり、熱量調整部11の一部を置換しつつ、所定の肉厚を有する円板形状の部分を、ルツボ側熱量調整部11aとサセプタ側熱量調整部11bとの間に挟み込んでもよい。
部11とルツボ3及びサセプタ4間に隙間がほとんどなくなるため、熱伝導性をより一定に維持することができるためである。
また、熱量調整部11全体としての肉厚は、上下方向に一定でなくとも良いが、熱伝導性を一定に保ち、かつ補正工程を容易にするという観点からは一定である方が好ましい。
直径300mmかつ底肉厚4mmのpBN製のルツボ3内に、GaAs多結晶原料40kgと、液体封止材7である三酸化硼素を3kg充填し、圧力容器である成長炉100内に設置した。
し、ルツボ底部33の肉厚4mmと合計して、pBNの合計肉厚を9mmとした。
なお、このpBN製の熱量調整部11はルツボ3の外径および底部形状と同一とし、さらにその上面においてはルツボ底部下面332との曲面形状を同一とし、下面においてはサセプタ上面41との曲面形状を同一とした。
・ルツボ底部の肉厚と熱量調整部の肉厚との合計が5mm以上とする。
・ルツボ底部の肉厚を1mm以上とし、結晶成長を連続して行う場合、ルツボ底部の肉厚が1mmを下回ったらルツボを交換する。
・ルツボ底部の肉厚に対する熱量調整部の肉厚を1〜10倍の範囲内とする。
以下、図5に示すように、熱量調整部を設けずに、LEC法成長炉100を用いてGaAsの結晶成長を行った比較例について説明する。
比較例においては、成長炉100を図5に示したものに変えた以外、すなわち本実施例における熱量調整部を設けなかったこと以外は、前述の実施例と全く同じ条件で結晶成長を10回行った。最初の4回の結晶成長では単結晶が得られたものの、5〜6回日では直胴部の途中から多結晶が発生してしまっており、単結晶を得ることができなかった。
さらに、7〜10回目の成長では、肩部を形成する段階で多結晶が発生してしまい、全長に亘って単結晶を得ることができなかった。結果として、全10回の結晶成長のうち、単結晶は4本しか得られなかった。
2 種結晶
3 pBNルツボ
31 ルツボ内周面
32 ルツボ外周面
33 ルツボ底部
331 ルツボ底部上面
332 ルツボ底部下面
34 ルツボ側部
4 サセプタ
41 サセプタ上面
5 ペデスタル
6 原料
7 液体封止剤
8 ヒータ
9 熱電対
10 成長結晶
11 熱量調整部
11a ルツボ側熱量調整部
11b サセプタ側熱量調整部
111 着脱可能な熱量調整部の一部
112 加えられる熱量調整部の一部
Claims (9)
- サセプタによって支持されるルツボ内に原料及び液体封止剤を収容する収容工程と、
前記ルツボを加熱し、前記原料及び液体封止剤を融解する融解工程と、
前記ルツボ内の原料融液に種結晶を接触させ、前記種結晶を引き上げて結晶成長させて化合物半導体結晶を得る結晶成長工程と、
前記結晶成長工程の前に前記ルツボと前記サセプタとの間に予め設けておいた熱量調整部の肉厚を、ルツボ内周面の損耗量に応じて補正する補正工程と、
を有することを特徴とする化合物半導体結晶の製造方法。 - 前記補正工程では、前記結晶成長工程の前に予め設けておいた熱量調整部の少なくとも一部を、前記損耗量に応じた肉厚が加えられた熱量調整部の少なくとも一部と置換して新たな熱量調整部とすることにより補正することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部を前記ルツボと同じ材質とすることを特徴とする請求項1または2に記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部を前記ルツボに対して密着自在な形状とすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部を前記サセプタに対して密着自在な形状とすることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部を前記ルツボ底部形状と相似し、または同一形状とすることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかにに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部を円筒形状としたとき、前記補正工程前後の熱量調整部の外径を、前記ルツボの外径と同じとすることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 前記補正工程前後の熱量調整部の肉厚を、前記ルツボ底部の肉厚よりも厚くすることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法を繰り返すことにより複数の化合物半導体結晶を製造するとき、前記熱量調整部の肉厚と前記ルツボ底部の肉厚との和を、少なくとも各々の補正工程において一定とすることを特徴とする化合物半導体結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009197756A JP5152128B2 (ja) | 2009-08-28 | 2009-08-28 | 化合物半導体結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009197756A JP5152128B2 (ja) | 2009-08-28 | 2009-08-28 | 化合物半導体結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011046573A true JP2011046573A (ja) | 2011-03-10 |
JP5152128B2 JP5152128B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=43833316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009197756A Expired - Fee Related JP5152128B2 (ja) | 2009-08-28 | 2009-08-28 | 化合物半導体結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5152128B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017124972A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-20 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ方法 |
JP2017128507A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-27 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0266680U (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-21 | ||
JP2006327879A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
JP2009023867A (ja) * | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Hitachi Cable Ltd | 半導体結晶の製造方法及びその製造装置 |
-
2009
- 2009-08-28 JP JP2009197756A patent/JP5152128B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0266680U (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-21 | ||
JP2006327879A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
JP2009023867A (ja) * | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Hitachi Cable Ltd | 半導体結晶の製造方法及びその製造装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017124972A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-20 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ方法 |
JP2017128507A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-27 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5152128B2 (ja) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20110009622A (ko) | 사파이어 단결정 제조 방법 및 장치 | |
CN110408988A (zh) | SiC单晶生长装置和SiC单晶的生长方法 | |
JP2006232574A (ja) | 化合物半導体単結晶とその製造方法 | |
US20060260536A1 (en) | Vessel for growing a compound semiconductor single crystal, compound semiconductor single crystal, and process for fabricating the same | |
CN104651938A (zh) | SiC单晶的制造方法 | |
JP5152128B2 (ja) | 化合物半導体結晶の製造方法 | |
JP5761264B2 (ja) | SiC基板の製造方法 | |
TWI287592B (en) | InP single crystal wafer and InP single crystal manufacturing method | |
JP2010260747A (ja) | 半導体結晶の製造方法 | |
US20190301050A1 (en) | Single-Crystal Production Equipment and Single-Crystal Production Method | |
JP2011079693A (ja) | 半導体単結晶の製造装置 | |
JP7398702B2 (ja) | 単結晶育成装置及び単結晶育成装置保護方法 | |
JP2010064936A (ja) | 半導体結晶の製造方法 | |
JP2008280206A (ja) | 単結晶成長装置 | |
KR101571958B1 (ko) | 잉곳성장장치 및 잉곳성장방법 | |
JP2013256424A (ja) | サファイア単結晶育成装置 | |
JP2009190914A (ja) | 半導体結晶製造方法 | |
JP5029184B2 (ja) | 半導体結晶の製造方法及びその製造装置 | |
JP2704032B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP5172881B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造装置及びその製造方法 | |
JP2019043787A (ja) | 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 | |
WO2020241541A1 (ja) | SiC単結晶インゴットの製造方法及びSiC改質シードの製造方法 | |
JP2019043788A (ja) | 単結晶育成方法及び単結晶育成装置 | |
JPH01317188A (ja) | 半導体単結晶の製造方法及び装置 | |
JP2009161395A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |