JP2011044471A - ウエーハの研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を有する研削ホイールを回転可能に支持する研削手段とを備えたウエーハの研削装置であって、該チャックテーブルの回転軸心を該研削砥石が通過するように該研削ホイールが位置づけられ、該チャックテーブルを回転するとともに該研削ホイールを回転させて該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する際に、該研削ホイールの外周に現れるウエーハの研削面に作用してウエーハを押圧するように配設された押圧手段、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図7
Description
10 研削ユニット
11 サファイアウエーハ
22 研削ホイール
26 研削砥石
36 チャックテーブル
46 押圧手段
48 押圧部
50 アーム部
56 ロータリーエンコーダ
Claims (3)
- ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を有する研削ホイールを回転可能に支持する研削手段とを備えたウエーハの研削装置であって、
該チャックテーブルの回転軸心を該研削砥石が通過するように該研削ホイールが位置づけられ、該チャックテーブルを回転するとともに該研削ホイールを回転させて該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する際に、該研削ホイールの外周に現れるウエーハの研削面に作用してウエーハを押圧するように配設された押圧手段、
を具備したことを特徴とするウエーハの研削装置。 - 該押圧手段は、ウエーハを押圧する押圧部と、該押圧部を支持し該チャックテーブルの外側に延在するアーム部と、該アーム部を回転可能に支持する支持部とを含み、該アーム部の回転軸周りにはロータリーエンコーダが配設されている請求項1記載のウエーハの研削装置。
- ウエーハはサファイアウエーハから構成される請求項1又は2記載のウエーハの研削装置。
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