JP2011042070A

JP2011042070A - 光記録媒体

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Publication number: JP2011042070A
Application number: JP2009190650A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Miki; 剛三木; Hironori Tauchi; 裕基田内
Original assignee: Kobe Steel Ltd; Sony Corp
Current assignee: Kobe Steel Ltd; Sony Corp
Priority date: 2009-08-20
Filing date: 2009-08-20
Publication date: 2011-03-03
Anticipated expiration: 2029-08-20
Also published as: JP5592621B2; US8361586B2; CN101996653A; US20110044157A1

Abstract

【課題】ＢＤ−Ｒディスク等の製造の大幅な効率化及びコスト低減
【解決手段】光記録媒体の情報記録層を、Ｚｎ又はＡｌと、Ｐｄと、Ｏとを含み、酸素の量が、上記Ｚｎ又は上記Ａｌが完全酸化されてＺｎＯ又はＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜を有するものとする。この場合、非常に良好な記録再生特性を得ることができ、また情報記録層は十分な反射率が得られることで反射膜も不要である。このため単膜構造、もしくは保護膜を加えたのみの複膜構造として、非常にシンプルな層構造とすることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、光ディスク等の光記録媒体に関し、特にその記録層材料に関する。

特開２００８−１１２５５６号公報

近年、光学的な情報記録方式のメディアの一つである光ディスクは、パーソナルコンピュータの普及や、地上波デジタル放送の開始と普及、ハイビジョンテレビの一般家庭への普及の加速に伴い、高密度記録、大容量化が進んでいる。例えばＣＤ（Compact Disc）からＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、そしてブルーレイディスク（Blu-ray Disc（登録商標））と、より多くの情報を記録可能とした光ディスク記録媒体が提供されている。

大容量の光ディスク記録媒体としてのブルーレイディスクは、直径が約１２ｃｍ、厚みは約１．２ｍｍの光ディスクである。その厚み方向の層構造としては、約１．１mmの基板上の凹凸形状に情報記録層を形成する。情報記録層は、例えば反射膜（金属薄膜）、誘電体膜、記録膜、誘電体膜を順に積層するなどして形成される。
そして情報記録層上に、厚み約０．１mmの光透過層（カバー層）が設けられる。
このようなブルーレイディスクは、約２５ＧＢ（Giga Byte）の記録容量を備える。
記録膜の記録材料に関しては、例えば上記特許文献１に開示されたものが知られている。

ブルーレイディスク（ＢＤ）の普及が進むにつれ、ブルーレイディスクの製造工程の効率化やコストダウンは強く求められる。
例えば現行のブルーレイディスクでは、上記のように情報記録層は、記録膜、反射膜、誘電体膜などを有する複膜構造であるが、このため大がかりなスパッタ装置が必要である。即ち多層膜により情報記録層を形成すると、多層膜の成膜に時間を要すると共に、数個の成膜室を備えた高価な成膜装置を必要とする。
製造効率やコストの点を考えると、単膜構造、もしくはより少数の膜によるシンプルな情報記録層が好ましい。
もちろん単純に層構造をシンプルにするのではなく、良好な記録再生特性が得られるものでなければならない。

本発明はこのような点に鑑み、情報記録層をシンプルな層構造としつつ、非常に良好な記録再生特性が得られる光記録媒体の提供を目的とする。

本発明の光記録媒体は、基板と、上記基板上に形成され、Ｚｎ（亜鉛）又はＡｌ（アルミニウム）と、Ｐｄ（パラジウム）と、Ｏ（酸素）とを含み、酸素の量が、上記Ｚｎ又は上記Ａｌが完全酸化されてＺｎＯ又はＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜を有する情報記録層と、上記情報記録層上に形成された光透過層とを有する。
上記情報記録層は、さらにＩｎ又はＳｎを含むようにしてもよい。
また上記情報記録層は、上記記録膜のみの単膜構造で形成されている。
或いは、上記情報記録層は、上記記録膜と保護膜による複膜構造で形成されている。

即ち本発明では、情報記録層を構成する記録膜は、Ｚｎ酸化物（又はＡｌ酸化物）を主成分とするが、これにＰｄを含むと共に、ＺｎＯ又はＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成より酸素を多く含む。つまり、Ｚｎ（又はＡｌ）が完全酸化された上で、少なくとも一部のＰｄ原子には、酸素原子が結合していることになる。例えばＰｄＯ、ＰｄＯ₂となっている。記録のためのレーザ照射によっては、ＰｄＯ、ＰｄＯ₂という不安定なＰｄ酸化物が反応し、周囲とは反射率の異なる記録マークが形成されるものとなる。

本発明の光記録媒体は、情報記録層を、Ｚｎ又はＡｌと、Ｐｄと、Ｏとを含み、酸素の量が、上記Ｚｎ又は上記Ａｌが完全酸化されてＺｎＯ又はＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜を有するものとすることで、非常に良好な記録再生特性を得ることができた。
そして情報記録層は十分な反射率が得られることで、反射膜も不要であり、単膜構造、もしくは保護膜を加えたのみの複膜構造として、非常にシンプルな層構造とすることができ、大幅な製造の効率化、コスト低減が実現できる。

本発明の実施の形態の光ディスクの構造の説明図である。実施の形態の多層ディスクの構造の説明図である。実施の形態のＺｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合の記録再生特性の説明図である。実施の形態のＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合の記録再生特性の説明図である。実施の形態のＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜に保護膜を加えた場合の記録再生特性の説明図である。実施の形態のＡｌ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合の記録再生特性の説明図である。実施の形態のＺｎ−Ａｌ−Ｉｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合の記録再生特性の説明図である。

以下、本発明の実施の形態を次の順序で説明する。
［１．光ディスク構造］
［２．実験例］

［１．光ディスク構造］

図１（ａ）に実施の形態の光ディスクの層構造を模式的に示している。これは例えばシングルレイヤー（情報記録層が１層）のブルーレイディスクとする場合の構造例である。
本例の光ディスクは、厚みが約１．１ｍｍで、外径が約１２０ｍｍの円盤状の基板１の一面側に情報記録層２、及び光透過層（カバー層）３が形成されている。なお図面上、上方が、記録再生時にレーザ光が入射されるレーザ入射面である。

基板１は、例えばポリカーボネート樹脂の射出成形で形成される。このとき、金型内にマスタリング原盤から、トラッキング用のウォブリンググルーブの凹凸形状が転写されたスタンパが配置されていることで、基板１はスタンパの凹凸が転写された状態で形成される。即ち記録トラックとなるウォブリンググルーブが形成された基板１が、射出成形で形成されるものである。

このような基板１の一面、即ちウォブリンググルーブとしての凹凸が形成された面に対し、情報記録層２が成膜される。
本例の場合、情報記録層２は、Ｚｎと、Ｐｄと、酸素とを含み、酸素の量が、Ｚｎが完全酸化されてＺｎＯとなった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜（Ｚｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜）を有する。
或いは、情報記録層２は、Ａｌと、Ｐｄと、酸素とを含み、酸素の量が、Ａｌが完全酸化されてＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜（Ａｌ−Ｐｄ−Ｏ記録膜）を有する。
さらに、Ｉｎ（インジウム）やＳｎ（スズ）を含む場合もある。例えばＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜、Ｚｎ−Ａｌ−Ｉｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜、Ａｌ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜等である。

この情報記録層２は、例えば図１（ｂ）のように記録膜２ａの単膜構造とされる。
なお、場合によっては図１（ｃ）のように、記録膜２ａの上下に誘電体膜等の保護膜２ｂを有する複膜構造とする例も考えられる。
さらに、図１（ｄ）（ｅ）のように記録膜２ａの上面又は下面に誘電体膜等の保護膜２ｂを有する複膜構造とする例も考えられる。

情報記録層２としての記録膜２ａの成膜はスパッタリングにより行う。例えばＺｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜とする場合、ＺｎＯターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、アルゴンガスと酸素ガスを流しながら、スパッタ法により成膜する。

図１（ａ）のように、情報記録層２の上面（レーザ照射面側）は、光透過層３とされる。
光透過層３は光ディスクの保護を目的として形成される。情報信号の記録再生は、例えば、レーザ光が光透過層３を通じて情報記録層２に集光されることによって行われる。
光透過層３は、例えば紫外腺硬化樹脂のスピンコート及び紫外線照射による硬化によって形成する。又は紫外線硬化樹脂とポリカーボネートシートや、接着層とポリカーボネートシート用いて光透過層３を形成することもできる。
光透過層３は、１００μｍ程度の厚みとされ、１．１ｍｍの基板１と合わせて光ディスク全体の厚みが約１．２ｍｍとなる。

なお、図示していないが、光透過層３の表面（レーザ照射面）に、特に光ディスクに対する機械的な衝撃、傷に対する保護、さらには利用者の取り扱い時の指紋の付着などから、情報信号の記録再生品質を保護するためにハードコートを施す場合もある。
ハードコートには、機械的強度を向上させるためにシリカゲルの微粉末を混入したものや、溶剤タイプ、無溶剤タイプなどの紫外線硬化樹脂を用いることが出来る。
機械的強度を有し、指紋などの油脂分をはじくためには、ハードコートは１μｍから数μｍの厚さを有するようにする。

このような本例の光ディスクは、上記図１（ａ）（ｂ）のように、情報記録層２は記録膜２ａのみの単膜構造とされる。
そして記録膜２ａは、Ｚｎ又はＡｌと、Ｐｄと、Ｏとを含み、酸素の量が、Ｚｎ又はＡｌが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多く含有されている。
つまり、Ｚｎ（又はＡｌ）が完全酸化された上で、少なくとも一部のＰｄ原子には、酸素原子が結合してＰｄＯ、ＰｄＯ₂となっている。
これは、ＺｎＯやＡｌ₂Ｏ₃というような安定した酸化物に加えてＰｄ，Ｏが含まれているものであり、レーザ照射を与えた場合、ＺｎＯやＡｌ₂Ｏ₃ではなくＰｄＯ、ＰｄＯ₂が反応するものである。
即ち、レーザ照射によって、ＰｄＯはＰｄとＯ₂に分解し、またＰｄＯ₂はＰｄＯとＯ₂に分解するように反応する。また構造的にも酸素が表れることで膨れが生ずる。これらにより周囲とは反射率の異なる記録マークが形成される。

このような記録膜２ａによれば、後述の実験例において述べるが、非常に良好な記録再生特性を得ることができた。例えば再生信号のＳ／Ｎ、反射率、透過率、記録感度、記録マージンなどの点で、ブルーレイディスクとして十分な特性が得られた。

また構造的には、反射率、透過率の制御に好適である。記録膜は、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
このとき、記録層中のＰｄ原子には、Ｐｄ原子単独で存在して酸素原子と結合していないもの（Ｐｄ）と、１つの酸素原子と結合しているもの（ＰｄＯ）と、２つの酸素原子と結合しているもの（ＰｄＯ₂）の３つの状態がある。そして、酸素の含有量により、これらのうち、１つから３つの状態が存在している。
酸素原子と結合していない状態のＰｄ原子の比率が高いと、金属的な特性が強くなるため、記録層の透過率が低くなり、記録層の反射率が高くなる。一方、酸素原子と結合している状態のＰｄ原子の比率が高いと、酸化物的な特性が強くなるため、記録層の透過率が高くなり、記録層の反射率が低くなる。

換言すれば、図１（ｂ）のような単膜の記録膜２ａでは十分な反射率を得ることができる。例えば１７％程度の反射率を容易に得ることができる。
これは、情報記録層２として反射膜を記録膜２ａとは別に形成する必要がないことを意味する。従って、情報記録層２を単膜構造とすることが可能であり、層構造を著しくシンプルにすることができる。

このように単膜構造によって十分な記録再生特性が得られ、例えばブルーレイディスクとして実用可能であるが、耐久性をより強固に求める場合は、図１（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示したように、誘電体膜等の保護膜２ｂを加えた複膜構造としてもよい。
耐久性をより高くすることができる保護膜２ｂの材料としては、Ｉｎ−Ｏ、Ｚｎ−Ｏ、Ａｌ−Ｏ、Ｓｎ−Ｏ、Ｇａ−Ｏ、Ｓｉ−Ｏ、Ｔｉ−Ｏ、Ｖ−Ｏ、Ｃｒ−Ｏ、Ｎｂ−Ｏ、Ｚｒ−Ｏ、Ｈｆ−Ｏ、Ｔａ−Ｏ、Ｂｉ−Ｏなどの酸化物が考えられる。また、ＳｉＮ、ＡｌＮなどの窒化物、ＳｉＣなどの炭化物も保護膜２ｂの材料として挙げられる。

保護膜２ｂを加えて複膜構造とすることは、製造効率やコストの点で単膜構造の場合より不利であるが、従来の構造（例えば反射膜−誘電体膜−記録膜−誘電体膜）に比べればシンプルである。特に図１（ｄ）（ｅ）のような２層膜であれば、従来の構造に対する製造効率やコストの点での優位性は十分に得られる。

また、上述のように反射率、透過率を酸素量で制御できることは、多層ディスクの場合に非常に好適である。
図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に多層ディスクの場合の構造を模式的に示している。
図２（ａ）は情報記録層２としてＬ０層、Ｌ１層の２つを備えたいわゆるデュアルレイヤーディスクの場合である。
基板１上に第１の情報記録層２（Ｌ０）が形成され、さらに中間層４を介して第２の情報記録層２（Ｌ１）が形成される。そして第２の情報記録層２（Ｌ１）上に光透過層３が形成される。

図２（ｂ）は情報記録層２としてＬ０層、Ｌ１層、Ｌ２層の３つを備える３層ディスクの場合である。この場合も、基板１上に、情報記録層２（Ｌ０）、２（Ｌ１）、２（Ｌ２）がそれぞれ中間層４を介して形成される。
図２（ｃ）は情報記録層２としてＬ０層、Ｌ１層、Ｌ２層、Ｌ３層の４つを備える４層ディスクの場合である。この場合も、基板１上に、情報記録層２（Ｌ０）、２（Ｌ１）、２（Ｌ２）、２（Ｌ３）がそれぞれ中間層４を介して形成される。

図２（ａ）（ｂ）（ｃ）において各中間層４は、例えば紫外線感光性を有する光透過性の材料をスピンコート法で回転塗布され紫外線の照射で硬化して形成される。多層の光ディスク記録媒体から情報信号の記録再生をする場合、この中間層４の配置と膜厚は、層間クロストークを抑制する目的で設定される。

これらの多層ディスクの場合、Ｌ０層よりレーザ照射面側の層（Ｌ１層〜Ｌ３層）は、それぞれ反射率、透過率が適度に設定されていなければならない。
即ち、Ｌ０層，Ｌ１層，Ｌ２層，Ｌ３層のそれぞれにおける記録膜１２は、情報読み取り時の各層からの信号量が同等となるようにされる必要がある。
ここでＬ１層〜Ｌ３層についても、図１で説明したような、Ｚｎ又はＡｌと、Ｐｄと、Ｏとを含み、酸素の量が、Ｚｎ又はＡｌが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜２ａで形成する。
その場合、記録膜２ａの成膜を行うスパッタリングの際に酸素の量をコントロールすることで、所望の反射率／透過率を得ることができる。
この点でも、本実施の形態の記録膜２ａは適切なものとなる。

［２．実験例］

以下、実験例として＜実験１＞〜＜実験５＞について説明する。
なお、各実験例では、図１（ａ）のように情報記録層２が１つのシングルレイヤーディスクの構造の記録可能型ブルーレイディスクを作成し、ブルーレイディスク記録再生装置によりテストデータの記録、再生を行ったものである。

＜実験１＞
実験１のディスクとしては、ポリカーボネートによる基板１上に、図１（ｂ）のような単膜構造で、５０ｎｍ厚のＺｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による情報記録層２を形成し、さらに１００μｍの光透過層３を形成した。
Ｚｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜のスパッタの際のターゲットにはＺｎＯ、Ｐｄを用いた。
各ターゲットのスパッタ電力をコントロールすることで組成を調整した。
組成は、Ｚｎ：Ｐｄ＝６：４となるようにした。
スパッタ時には、ＡｒガスとＯ₂ガスを用いた。
ガスの流量は、Ａｒ：７０ｓｃｃｍ、Ｏ₂：３０ｓｃｃｍとした。
なお、後述の各実験例でも同様であるが、スパッタ時に酸素の量が少ないと、Ｐｄの酸化が足りないものとなるため、或る程度以上の酸素が必要である。

ディスク評価は、１倍速記録（４．９２ｍ／ｓｅｃ）にて、連続５トラックを記録し、中央のトラックのジッター、変調度（モジュレーション）、アシンメトリを測定することで行った。

なお、ここでいうジッター、変調度（モジュレーション）、アシンメトリは信号評価の指標として一般に用いられているものである。
一般に光ディスクの再生は半導体レーザ光をディスクに照射し、その戻り光を検出する方式を取っている。信号特性は記録されたデジタル信号が正確に再生することで評価される。ブルーレイディスクは再生時、線速度４．９２ｍ／ｓｅｃで回転し、１クロック１５．１５ｎｓと規定されており、２Ｔ〜８Ｔ（３０．３０ｎｓ〜１２１．２０ｎｓ）のピットとスペースで成り立っている（Ｔはチャネルクロック周期）。

ジッターは規定クロックからのズレを標準偏差σと１Ｔとを用いて、σ／Ｔで表される。
このジッターの値が大きいほど再生信号は劣化していると言える。
例えばブルーレイディスクでは、ジッターは７％以下であればよいとされているが、もちろん低ければ低いほど良い。
実際の製造では、マージンを考慮して６％以下などとしている。

変調度（モジュレーション）は、（Ｉ８Ｈ−Ｉ８Ｌ）／（Ｉ８Ｈ）で表される。
なお「Ｉ８Ｈ」は８Ｔパターンの再生ＲＦ信号波形のピークレベル、「Ｉ２Ｈ」は２Ｔパターンのピークレベル、「Ｉ２Ｌ」は２Ｔパターンのボトムレベル、「Ｉ８Ｌ」は８Ｔパターンのボトムレベルとする。
上記式で表される変調度は、８Ｔ振幅の大きさであり、８Ｔピットの深さに依存する指標である。この値が大きいほど、Ｃ／Ｎ比がよくなると言える。

アシンメトリは、
｛（Ｉ８Ｈ＋Ｉ８Ｌ）−（Ｉ２Ｈ＋Ｉ２Ｌ）｝／｛２（Ｉ８Ｈ−Ｉ８Ｌ）｝
で表され、８Ｔ信号と２Ｔ信号の中心軸のズレを意味している。
このアシンメトリは、二値化のスレッショルドを決める上で重要になる指標である。ブルーレイディスクの場合、−１０〜１５％と定められている。
このアシンメトリ値は長ピット（例えば８Ｔピット等）と２Ｔピットの大きさが異なることで得られる信号であるが、マークの大きさの微小変化に大きく影響を受けて変動する。

図３（ａ）にジッター特性、図３（ｂ）に変調度及びアシンメトリの特性を示す。
この図３の結果に見られるように、ジッターの値は、例えば記録レーザパワーが４．５ｍＷ前後の場合に、５．１％と極めて良好な結果が得られた。
また記録レーザパワーが３．５ｍＷで変調度は４０％以上で十分であり、また４ｍＷ〜５．５ｍＷで６０％〜９０％と、非常に良好である。
アシンメトリについても、４．２ｍＷ〜５．２ｍＷの範囲で適切な値が得られている。
さらに、これらの結果から記録パワーマージンも広いことがわかる。
即ち、Ｚｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による単膜の情報記録層２を形成した場合、極めて良好な記録再生特性が得られた。

＜実験２＞
実験２のディスクとしては、ポリカーボネートによる基板１上に、単膜構造で、４５ｎｍ厚のＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による情報記録層２を形成し、１００μｍの光透過層３を形成した。
Ｚｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜のスパッタの際のターゲットにはＺｎＯ、Ｉｎ₂Ｏ₃、ＳｎＯ₂、Ｐｄを用いた。
各ターゲットのスパッタ電力をコントロールすることで組成を調整した。
組成は、
Ｚｎ：Ｉｎ＋Ｓｎ＝６：４
Ｉｎ：Ｓｎ＝９：１
Ｚｎ＋Ｉｎ＋Ｓｎ：Ｐｄ＝６：４となるようにした。
スパッタ時には、ＡｒガスとＯ₂ガスを用いた。
ガスの流量は、Ａｒ：７０ｓｃｃｍ、Ｏ₂：３０ｓｃｃｍとした。

ディスク評価は、実験１と同様、１倍速記録（４．９２ｍ／ｓｅｃ）にて、連続５トラックを記録し、中央のトラックのジッター、変調度（モジュレーション）、アシンメトリを測定することで行った。

図４（ａ）にジッター特性、図４（ｂ）に変調度及びアシンメトリの特性を示す。
この図４の結果に見られるように、ジッターの値は、例えば記録レーザパワーが４．２ｍＷ前後の場合に、５．２％と極めて良好な結果が得られた。
また記録レーザパワーが３．５ｍＷ前後で変調度は４０％以上で十分であり、また４ｍＷ〜５ｍＷで７０％〜８０％前後と、非常に良好である。
アシンメトリについても、３．６ｍＷ〜４．８ｍＷの範囲で適切な値が得られている。
さらに、これらの結果から記録パワーマージンも広いことがわかる。
即ち、Ｚｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による単膜の情報記録層２を形成した場合も、極めて良好な記録再生特性が得られた。また実験１と比較すると、このＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合は、Ｚｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜の場合よりも、低いレーザパワー範囲で好適な特性が得られているとも言える。

＜実験３＞
実験３のディスクは、実験２と同様にＺｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜を用いるが、図１（ｃ）のように、その記録膜２ａの上下に保護膜２ｂを形成したものとした。
保護膜２ｂはＩｎ₂Ｏ₃とした。
そして厚みは、Ｚｎ−Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜２ａを６０ｎｍ、上下のＩｎ₂Ｏ₃保護膜２ｂをそれぞれ５ｎｍとした。従って情報記録層２は７０ｎｍ厚となる。
組成は、
Ｚｎ：Ｉｎ＋Ｓｎ＝５：５
Ｉｎ：Ｓｎ＝９：１
Ｚｎ＋Ｉｎ＋Ｓｎ：Ｐｄ＝８：２となるようにした。
その他は実験２と同様である。

図５（ａ）にジッター特性、図４（ｂ）に変調度及びアシンメトリの特性を示す。
組成や膜厚が異なるため、図５に示す結果はそのまま単純に実験１，２と比較はできないが、この場合もジッター値は５．２％が得られ、変調度やアシンメトリも良好な結果が得られている。
つまり、保護膜２ｂを設けることで、情報記録層２の耐久性を向上できるが、その場合も、良好な記録再生特性が得られることがわかった。

＜実験４＞
実験４のディスクとしては、ポリカーボネートによる基板１上に、単膜構造で、４５ｎｍ厚のＡｌ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による情報記録層２を形成し、さらに１００μｍの光透過層３を形成した。
Ａｌ−Ｐｄ−Ｏ記録膜のスパッタの際のターゲットにはＡｌ₂Ｏ₃、Ｐｄを用いた。
各ターゲットのスパッタ電力をコントロールすることで組成を調整した。
組成は、Ａｌ：Ｐｄ＝４：６となるようにした。
スパッタ時には、ＡｒガスとＯ₂ガスを用いた。
ガスの流量は、Ａｒ：７０ｓｃｃｍ、Ｏ₂：３０ｓｃｃｍとした。

図６（ａ）にジッター特性、図６（ｂ）に変調度及びアシンメトリの特性を示す。
この図６の結果に見られるように、ジッターの値は、例えば記録レーザパワーが４．８ｍＷの場合に、５．２％と極めて良好な結果が得られた。
また記録レーザパワーが４ｍＷで変調度は４０％以上で十分であり、また４．５ｍＷ〜６ｍＷまでの範囲で６０〜７５％前後と、非常に良好である。
アシンメトリについても、４．５ｍＷ〜５．４ｍＷの範囲で適切な値が得られている。
さらに、これらの結果から記録パワーマージンも十分であることがわかる。
即ち、Ａｌ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による単膜の情報記録層２を形成した場合も、極めて良好な記録再生特性が得られた。

＜実験５＞
実験５のディスクとしては、ポリカーボネートによる基板１上に、単膜構造で、６０ｎｍ厚のＺｎ−Ａｌ−Ｉｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による情報記録層２を形成し、１００μｍの光透過層３を形成した。
組成は、Ｚｎ：Ａｌ：Ｉｎ＝６７：８：２５とした。
他は実験２と同様である。

図７（ａ）にジッター特性、図７（ｂ）に変調度及びアシンメトリの特性を示す。
この図７の結果に見られるように、ジッターの値は、例えば記録レーザパワーが６．８〜７ｍＷ前後の場合に、５．６％と良好な結果が得られた。
また記録レーザパワーが６．２ｍＷ以上で変調度は４０％以上となり良好である。
アシンメトリについても、５．８ｍＷ〜７．６ｍＷの範囲で適切な値が得られている。
さらに、これらの結果から記録パワーマージンも広いことがわかる。
即ち、Ｚｎ−Ａｌ−Ｉｎ−Ｐｄ−Ｏ記録膜による単膜の情報記録層２を形成した場合も、極めて良好な記録再生特性が得られた。

以上の実験結果からもわかるように、本実施の形態の光ディスクは、非常に良好な記録再生特性を得ることができる。
そして情報記録層は十分な反射率が得られることで、反射膜も不要であり、単膜構造、もしくは保護膜を加えたのみの複膜構造として、非常にシンプルな層構造とすることができる。このため、例えばＢＤ−Ｒディスク（記録可能型ブルーレイディスク）等の製造の大幅な効率化、コスト低減が実現できる。
また情報記録層２の反射率／透過率の制御が容易であるため、シングルレイヤーディスクだけでなく、デュアルレイヤーもしくはそれ以上の多層ディスクにも好適である。

なお、以上の説明は、光ディスクの例で述べてきたが、本発明はディスク形状の光記録媒体に限らず適用できる。例えばカード状の光記録媒体などにも適用できる。

１基板、２情報記録層、２ａ記録膜、２ｂ保護膜、３光透過層、４中間層

Claims

基板と、
上記基板上に形成され、Ｚｎ又はＡｌと、Ｐｄと、酸素とを含み、酸素の量が、上記Ｚｎ又は上記Ａｌが完全酸化されてＺｎＯ又はＡｌ₂Ｏ₃となった場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録膜を有する情報記録層と、
上記情報記録層上に形成された光透過層と、
を有する光記録媒体。
上記情報記録層は、さらにＩｎ又はＳｎを含む請求項１に記載の光記録媒体。
上記情報記録層は、上記記録膜のみの単膜構造で形成されている請求項１に記載の光記録媒体。
上記情報記録層は、上記記録膜と保護膜による複膜構造で形成されている請求項１に記載の光記録媒体。