JP2011027768A - 光導波路シートの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路シートのシート基板100の表面をダイシングテープTの表面に貼着する光導波路シート支持工程と、光導波路シートの光導入・導出部に対応する位置に45度の傾斜面を有する光路変換ミラー116a,116bを形成するミラー形成工程と、ミラー形成工程が実施された光導波路シートを反射板635上に保持し、光路変換ミラー116a,116bに光を導入し反射板635で反射した光が導出される位置を検出し、光の検出位置から側方に設定された所定距離の切断位置において光導波路シートの端部を切断する。
【選択図】図13
Description
該光導波路シートの該シート基板の表面を環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着する光導波路シート支持工程と、
該ダイシングテープに貼着された該光導波路シートを該ダイシングテープを介して切削装置のチャックテーブルに保持し、該第2のクラッド層と該コアパターンおよび該第1のクラッド層における該第1の光導入・導出部および該第2の光導入・導出部に対応する位置に45度の傾斜面を有する切削ブレードによって該光導波路に対して45度の傾斜面を有する第1の光路変換ミラーおよび第2の光路変換ミラーを形成するミラー形成工程と、
該ミラー形成工程が実施された該光導波路シートを該ダイシングテープを介して切削装置のチャックテーブルに配設された反射板上に保持し、該第1の光路変換ミラーまたは第2の光路変換ミラーの一方に光を導入し該反射板で反射した光が該第1の光路変換ミラーまたは該第2の光路変換ミラーと該コアパターンと該第2の光路変換ミラーまたは該第1の光路変換ミラーおよび該反射板を介し該第2の光路変換ミラーまたは該第1の光路変換ミラーから洩れて該第2の光導入・導出部または該第1の光導入・導出部から導出される位置を検出し、該光の検出位置から側方に設定された所定距離の切断位置において光導波路シートの端部を切断する切断工程と、を含む
ことを特徴とする光導波路シートの加工方法が提供される。
図3には、本発明による光導波路シートの加工方法を実施するための切削装置の一実施形態の斜視図が示されている。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2の側面にはカセット載置機構3が配設されている。カセット載置機構3は、静止基台2の側面に上下方向に設けられた2本のガイドレール31、31に摺動可能に配設されたカセット載置台32と、カセット載置台32をガイドレール31、31に沿って上下方向(矢印Zで示す方向)に移動させるための昇降手段33を具備している。そして、カセット載置台32の上面には、被加工物である上記光導波路シート10を収納するカセット4が載置される。このカセット4に収容される光導波路シート10は、後述するように環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着した状態でカセット4に収容される。
切削機構7は、上記静止基台2上に固定された門型の支持台71を具備している。この門型の支持台71は、上記切削領域6bを跨ぐように配設されている。支持台71の側壁にはY軸方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール711、711が設けられているとともに、このガイドレール711、711に沿って第1の基部73aおよび第2の基部73bがそれぞれY軸方向に摺動可能に配設されている。図示の実施形態における切削機構7は、第1の基部73aおよび第2の基部73bをそれぞれガイドレール711、711に沿ってY軸方向に移動するための第1の割り出し送り手段72aおよび第2の割り出し送り手段72bを具備している。第1の割り出し送り手段72aおよび第2の割り出し送り手段72bは、それぞれ2本のガイドレール711、711の間に平行に配設された雄ネジロッド721a、721bと、該雄ネジロッド721aおよび721bを回転駆動するためのパルスモータ722aおよび722bを具備しており、パルスモータ722aおよび722bを駆動して雄ネジロッド721aおよび721bを回動することにより、第1の基部73aおよび第2の基部73bをガイドレール711、711に沿ってY軸方向に移動することができる。
上記図1および図2に示す光導波路シート10に第1の光路変換ミラー116aおよび第2の光路変換ミラー116bを形成するとともに、光導波路シート10を所定位置で切断する加工方法を実施するに際し、光導波路シート10は図8に示すように環状のフレームFに装着されたダイシングテープTの表面にシート基板100の表面100a側を貼着する(光導波路シート支持工程)。従って、ダイシングテープTの表面に貼着された光導波路シート10は、第2のクラッド層113が上側となる。なお、ダイシングテープTは光透過性を有する樹脂シートが用いられる。このように環状のフレームFに装着されたダイシングテープTの表面に貼着された光導波路シート10は、上記カセット4に所定枚数収容される。そして、光導波路シート10が収容されたカセット4をカセット載置台32上に載置する。また、上記図1および図2に示す光導波路シート10を構成する各光導波路デバイス110の第1の光導入・導出部114aと第2の光導入・導出部114bの設計上の位置は、設計値として制御手段20のランダムアクセスメモリ(RAM)203に格納される。そして先ず、光導波路シート10の第2のクラッド層113と光導波路を形成するコアパターン112および第1のクラッド層111における第1の光導入・導出部114aおよび第2の光導入・導出部114bに対応する位置に45度の傾斜面を有する切削ブレードによって光導波路に対して45度の傾斜面を有する第1の光路変換ミラー116aおよび第2の光路変換ミラー116bを形成するミラー形成工程を実施する。なお、このミラー形成工程を実施する際には、第1の回転スピンドル762aおよび第2の回転スピンドル762bに図5の(a)に示す切削ブレード763a1および763b1が装着される。
3:カセット載置機構
4:カセット
5:被加工物搬出入機構
6:チャックテーブル機構
60:チャックテーブル位置検出手段
61:ガイドレール
62:移動基台
63:チャックテーブル
66:チャックテーブル移動手段
7:切削機構
70:切削位置検出手段
71:支持台
711:ガイドレール
73a:第1の基部
73b:第2の基部
74a:第1の懸垂ブラケット
74b:第2の懸垂ブラケット
75a:第1の切り込み送り手段
75b:第2の切り込み送り手段
76a:第1のスピンドルユニット
763a:第1の切削ブレード
76b:第2のスピンドルユニット
763b:第2の切削ブレード
77a:第1の発光兼光検出手段
77b:第2の発光兼光検出手段
8:洗浄機構
9:被加工物搬送機構
10:光導波路シート
20:制御手段
Claims (1)
- シート基板と、該シート基板の裏面に形成された第1のクラッド層と、該第1のクラッド層に形成され光導波路を形成するコアパターンと、該コアパターンを覆うように積層された第2のクラッド層とからなり、該シート基板の表面における該光導波路を形成するコアパターンの一端側に直角方向から光を導入または導出する第1の光導入・導出部と、光導波路を形成するコアパターンの他端側に直角方向から光を導入または導出する第2の光導入・導出部とを有する光導波路デバイスが複数並列に形成された光導波路シートの両端部を所定位置で切断する光導波路シートの加工方法であって、
該光導波路シートの該シート基板の表面を環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着する光導波路シート支持工程と、
該ダイシングテープに貼着された該光導波路シートを該ダイシングテープを介して切削装置のチャックテーブルに保持し、該第2のクラッド層と該コアパターンおよび該第1のクラッド層における該第1の光導入・導出部および該第2の光導入・導出部に対応する位置に45度の傾斜面を有する切削ブレードによって該光導波路に対して45度の傾斜面を有する第1の光路変換ミラーおよび第2の光路変換ミラーを形成するミラー形成工程と、
該ミラー形成工程が実施された該光導波路シートを該ダイシングテープを介して切削装置のチャックテーブルに配設された反射板上に保持し、該第1の光路変換ミラーまたは第2の光路変換ミラーの一方に光を導入し該反射板で反射した光が該第1の光路変換ミラーまたは該第2の光路変換ミラーと該コアパターンと該第2の光路変換ミラーまたは該第1の光路変換ミラーおよび該反射板を介し該第2の光路変換ミラーまたは該第1の光路変換ミラーから洩れて該第2の光導入・導出部または該第1の光導入・導出部から導出される位置を検出し、該光の検出位置から側方に設定された所定距離の切断位置において光導波路シートの端部を切断する切断工程と、を含む
ことを特徴とする光導波路シートの加工方法。
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