JP2011027740A - X-ray inspection device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray inspection device for inspecting a measuring object at various angles, while it is not only moved in the x, y and z axial directions but also rotated, in order to secure reliability of a product, after a component is mounted to a PCB (printed circuit board) and soldered in an electric electronic product manufacturing process. <P>SOLUTION: The X-ray inspection device includes a stage disposed inside a case, an X-ray tube and a detector, makes the measuring object to be mounted on the stage, irradiates it with X-rays using the X-ray tube, images it with the detector, and inspects the measuring object. The stage includes a rotating stage constituted to be rotatable, and a circular rotating stage rotatably disposed in a part punched eccentrically to one side. In the rotating stage, a connecting rod is constituted in the lower part thereof, a rotating motor is attached to the lower level of the connecting rod. The rotating motor is fixed to the stage by a fixing frame, and the rotating stage is rotated by rotation of the rotating motor. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関するもので、より詳しくは、 電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置に関するものである。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus. More specifically, the present invention relates to an object to be measured in order to ensure the reliability of a product after soldering work after mounting parts on a PCB in an electrical and electronic product manufacturing process. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus capable of rotating and inspecting at various angles as well as moving in the y, z axes.

一般的に、電気および電子製品には多様な種類のＰＣＢ(printed circuit board)が内蔵されている。電気製品の製造工程ではＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するためにハンダ付けの状態を検査している。従来は、このような検査手段として、目視検査、または外観検査装置があり、照明装置を用いたり、カメラで映像を撮影し、その形態によって良/不良を判定していた。しかしながら、このような検査手段による外観の検査だけでは限界があることからＸ線を利用したＸ線検査装置が開発された。   Generally, various types of PCBs (printed circuit boards) are built in electrical and electronic products. In the manufacturing process of electrical products, components are mounted on a PCB, and the soldering state is inspected to ensure the reliability of the product after the soldering operation. Conventionally, as such an inspection means, there is a visual inspection or an appearance inspection device, and an illuminating device is used or an image is taken with a camera, and the quality is determined according to the form. However, X-ray inspection apparatuses using X-rays have been developed because there is a limit to the appearance inspection using such inspection means.

この従来のＸ線検査装置は、Ｘ線の物質透過性、つまり、被透過物質の厚さと密度に反比例する特性を有する透過Ｘ線強度による映像形成を利用したもので、結合状態の良/不良を容易に把握することができるという利点がある。   This conventional X-ray inspection apparatus uses image formation based on transmitted X-ray intensity having characteristics that are inversely proportional to the material permeability of X-rays, that is, the thickness and density of the transmitted material. There is an advantage that can be easily grasped.

一般的に、このような従来公知のＸ線検査装置は、ケース内部に設けたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射して前記ディテクターで撮像し、被測定物を検査するように構成されている。   In general, such a conventionally known X-ray inspection apparatus is composed of a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside a case, and an object to be measured is placed on the stage. , The image is picked up by the detector, and the object to be measured is inspected.

この従来公知のＸ線検査装置は、ステージに被測定物を載置し、Ｘ線チューブからＸ線を照射し、Ｘ線の照射範囲内でディテクターを固定させ、被測定物を測定していたので、検査部位に対し立体的で多様な形態の入射角を得るのが難しく、検査精密度が低いという問題点があったし、特に多層構造を有するＰＣＢの内部に形成されたハンダ付け部は、表面に形成されたハンダ付け部によって精密な検測が邪魔されるという問題点があった。   This conventionally known X-ray inspection apparatus places an object to be measured on a stage, emits X-rays from an X-ray tube, fixes a detector within the X-ray irradiation range, and measures the object to be measured. Therefore, there are problems that it is difficult to obtain three-dimensional and various forms of incident angles with respect to the inspection site, and the inspection precision is low. In particular, the soldering portion formed inside the PCB having a multilayer structure is However, there is a problem that precise inspection is obstructed by the soldered portion formed on the surface.

このような問題点を解決すべく、ディテクターを移動可能に構成し、直線の入射角だけでなく斜めの入射角を持つように設置したＸ線検査装置も開発されたが、このような場合にも多様な角度の映像を取得するには限界があったし、検査の精密度も充分とは言えないという問題点があった。   In order to solve such problems, an X-ray inspection apparatus was constructed that was configured so that the detector could be moved and had an oblique incident angle as well as a linear incident angle. However, there was a limit in obtaining images from various angles, and there was a problem that the precision of inspection was not sufficient.

本発明の目的は、以上のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射し、前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは、回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に構成される円形の回転ステージを有し、前記回転ステージの下部に連結棒が取り付けられ、この連結棒の下部に回転モーターが設けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されることにより、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されると共に、前記ステージがｘ軸、ｙ軸水平移動と、ｚ軸垂直移動が可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、電気電子製品の製造工程でＰＣＢに部品を装着した後、ハンダ付け作業後に被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸移動だけでなく回転させて多様な角度の検査が可能にし検査の精密度を高め製品の信頼性を確保できた上で、作業効率を上げることができるＸ線検査装置を提供することにある。   The object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and is composed of a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside the case, and an object to be measured is placed on the stage. In the X-ray inspection apparatus that mounts, irradiates X-rays from the X-ray tube, images with the detector, and inspects the object to be measured, the stage is biased to a rotatable stage configured to be rotatable or to one side. A circular rotary stage that is configured to be freely rotatable in the through-hole, a connecting rod is attached to the lower part of the rotating stage, a rotary motor is provided at the lower part of the connecting rod, and the rotary motor is fixed. The rotary stage is configured to rotate by rotation of the rotary motor by being fixed to the stage by a frame, and the stay The x-axis, y-axis horizontal movement, and z-axis vertical movement are configured to be movable, and the detector is configured to be movable along the guide rail by the support bracket, and the components are mounted on the PCB in the manufacturing process of the electric and electronic products. Later, after soldering work, not only the x, y, and z axes are moved, but also rotation is possible to inspect various angles, increasing the precision of inspection and ensuring product reliability, and work efficiency An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of improving

前記の目的を達成するために本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射し、前記ディテクターで撮像して被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔され通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは下部に連結棒が設けられ、この連結棒の下部に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されて、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されたことを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供する。   In order to achieve the above object, an X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside a case 1, and places an object to be measured on the stage. In an X-ray inspection apparatus that inspects an object to be measured by irradiating X-rays from a tube and inspecting an object to be measured with the detector, the stage is a rotation stage that is configured to be freely rotatable, or a through hole that is biased to one side. The rotary stage is provided with a circular rotary stage that is freely rotatable. A connecting rod is provided at the lower part of the rotary stage, and a rotary motor is attached to the lower part of the connecting bar. The rotary motor is fixed to the stage by a fixed frame. An X-ray inspection apparatus is provided, wherein the rotary stage is rotated by rotation of the rotary motor.

また、前記ステージには、固定フレームに支持されたｙ軸方向に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材、固定フレームに支持されｘ軸方向に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材、固定フレームに支持され垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材が全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクターは、支持ブラケットによって円弧形、直線形、または円弧形の端部に直線形が形成された形態となったもののいずれか一つのガイドレールに沿って移動可能に構成されることを特徴とするＸ線検査装置を提供する。   The stage includes a y-axis horizontal movement member configured to be horizontally movable in the y-axis direction supported by a fixed frame, and an x-axis horizontal movement supported by the fixed frame and configured to be horizontally movable in the x-axis direction. A z-axis horizontal movement member supported by a member and a fixed frame and configured to be vertically movable is attached to the whole or selectively, and the detector is attached to an end of an arc shape, a straight line, or an arc shape by a support bracket. An X-ray inspection apparatus is provided that is configured to be movable along any one of guide rails in a form in which a linear shape is formed.

また、前記Ｘ線チューブは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   In addition, the X-ray tube is configured to be vertically movable along a moving member that moves while being fixed to a guide rail.

また、前記ディテクターは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   Further, the detector is intended to provide an X-ray inspection apparatus configured to be vertically movable along a moving member fixed to the guide rail and moving.

また、前記連結棒は中央に通孔が形成され、前記回転モーターは中央に中空が形成された中空モーターで構成され、前記ディテクターが前記通孔を通して前記回転ステージの被測定物を撮像することができることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   Further, the connecting rod is formed with a through-hole in the center, the rotary motor is constituted by a hollow motor with a hollow formed in the center, and the detector images the object to be measured on the rotary stage through the through-hole. An X-ray inspection apparatus characterized by being capable of being provided.

また、前記ステージの一側に被測定物を固定させるためにバイスグリップが設けられ、このバイスグリップが回転自在となるようにモーターに連結させるグリップ部が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   In addition, an X-ray inspection is provided, wherein a vise grip is provided on one side of the stage to fix the object to be measured, and a grip portion connected to a motor is provided so that the vise grip is rotatable. Try to provide a device.

また、前記ステージの上部に置かれた被測定物の位置を微調整するために、前記ステージの一側にｙ軸移動ユニットとｘ軸移動ユニットから構成された水平移動ユニットがアームの一端に設けられ、他端がシリンダーによって移動する把持部が取り付けられたジグが設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   Further, in order to finely adjust the position of the object to be measured placed on the upper part of the stage, a horizontal moving unit composed of a y-axis moving unit and an x-axis moving unit is provided at one end of the arm on one side of the stage. An X-ray inspection apparatus is provided, which is provided with a jig to which a grip part whose other end is moved by a cylinder is attached.

また、前記ケースの側面の前記Ｘ線チューブの端部側の高さに側面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記Ｘ線チューブとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   A sensing device is provided to prevent the collision with the X-ray tube when the stage is vertically moved while being fixed to a height of the side surface of the case on the side of the end portion of the X-ray tube. The present invention intends to provide an X-ray inspection apparatus.

また、前記ケースの側面に下面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記ディテクター、またはガイドレールとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   An X-ray inspection apparatus, wherein the X-ray inspection apparatus is fixed to a side surface of the case so as to face a lower surface, and a sensing device is provided to prevent a collision with the detector or the guide rail when the stage is vertically moved. Try to provide.

また、前記感知装置は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   In addition, an X-ray inspection apparatus is provided in which the sensing device is a surveillance camera or an optical sensor.

また、前記Ｘ線チューブは、タイマーが設けられ、このタイマーの作動によって一定時間おきに前記Ｘ線チューブが作動するようにし、ワームアップ時間を最小化にすることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   The X-ray tube is provided with a timer, and the X-ray tube is operated at regular intervals by the operation of the timer to minimize the worm-up time. Try to provide.

また、前記ステージを中心として上部にＸ線チューブが位置し、下部にディテクターが位置するように構成し、前記ステージを垂直上方に移動するとき前記Ｘ線チューブに被測定物に最大限に近距離に移動できることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。   In addition, the X-ray tube is positioned at the upper part and the detector is positioned at the lower part with the stage as the center. When moving the stage vertically upward, the X-ray tube is close to the object to be measured at the maximum distance. It is intended to provide an X-ray inspection apparatus characterized by being movable to

本発明は、被測定物がセットされたステージが回転するように構成され、ｘ軸、ｙ軸に水平移動可能に構成され、ｚ軸に垂直移動可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、検査部位に対し多様なＸ線の入射角を得ることができるように構成することによって、立体的な映像情報の確保とともに多様な角度の検査を可能にし、検査の精密度および効率を高めることができる非常に有用な効果がある。   The present invention is configured such that a stage on which an object to be measured is set rotates, is configured to be horizontally movable on the x-axis and the y-axis, and is configured to be vertically movable on the z-axis, and the detector is guided by a support bracket. By being configured to be movable along the rail and being able to obtain various incident angles of X-rays with respect to the inspection site, it is possible to inspect various angles as well as securing stereoscopic image information, There are very useful effects that can increase the accuracy and efficiency of the examination.

本発明のＸ線検査装置の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the X-ray inspection apparatus of this invention. 本発明のＸ線検査装置の正断面図である。It is a front sectional view of the X-ray inspection apparatus of the present invention. 本発明のＸ線検査装置の側断面図である。It is a sectional side view of the X-ray inspection apparatus of this invention. 本発明のＸ線検査装置の作動状態を示すために要部を抜粋した斜視図である。It is the perspective view which extracted the principal part, in order to show the operation state of the X-ray inspection apparatus of this invention. 図４の下部から見上げた状態の斜視図である。It is a perspective view of the state looked up from the lower part of FIG. 本発明のＸ線検査装置の正面図である。It is a front view of the X-ray inspection apparatus of this invention. 本発明のＸ線検査装置の水平移動の作動状態を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the operating state of the horizontal movement of the X-ray inspection apparatus of this invention. 本発明のＸ線検査装置の回転ステージの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the rotation stage of the X-ray inspection apparatus of this invention. 図７のE-E線矢視断面図である。It is the EE arrow directional cross-sectional view of FIG. 本発明のＸ線検査装置のジグの斜視図である。It is a perspective view of the jig of the X-ray inspection apparatus of the present invention. 本発明のＸ線検査装置のディテクターが上部に位置する時の実施例の正断面図である。It is a front sectional view of an Example when the detector of the X-ray inspection apparatus of this invention is located in the upper part. 図１０のディテクターが上部に位置する時に、回転ステージの作動状態と構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the operating state and structure of a rotation stage when the detector of FIG. 10 is located in the upper part. 図１１のF-F線矢視断面図であるFIG. 12 is a cross-sectional view taken along line F-F in FIG. 11. 本発明のガイドレールの実施例のうち、円弧形ガイドレールを示す図面である。It is drawing which shows an arc-shaped guide rail among the Examples of the guide rail of this invention. 本発明のガイドレールの実施例のうち、直線形ガイドレールを示す図面である。It is drawing which shows a linear guide rail among the Examples of the guide rail of this invention. 本発明のガイドレールの実施例のうち、円弧形と直線形の混合構成型ガイドレールを示す図面である。FIG. 3 is a view showing an arcuate and linear mixed structure guide rail in an embodiment of the guide rail of the present invention. FIG. Ｘ線チューブ、ディテクターがガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動可能に構成された実施例を示す図面である。4 is a view showing an embodiment in which an X-ray tube and a detector are configured to be vertically movable along a moving member that moves while being fixed to a guide rail.

以下、添付された図面に依拠して本発明の技術的構成をより詳しく説明する。図１は本発明のＸ線検査装置を概略的に示した斜視図で、図２は本発明のＸ線検査装置の正断面図で、図３は本発明のＸ線検査装置の側断面図で、図４は本発明のＸ線検査装置の作動状態を示すために要部を抜粋して示した斜視図で、図５は前記図４の下部から見上げた状態の斜視図で、図６は水平移動の作動状態を示すための図４の正断面図で、図７は本発明のＸ線検査装置の回転ステージの構成を図示した斜視図で、図８は図７のE-E線矢視断面図で、図９は本発明のＸ線検査装置のジグの斜視図で、図１０は本発明のＸ線検査装置のディテクターが上部に位置する時の実施例の正断面図で、図１１は図１０のディテクターが上部に位置する時、回転ステージの作動状態と構成を示した斜視図で、図１２は図１１のF−F線に沿う断面図で、図１３は本発明のガイドレールの実施例を示した図面で、図１３aは円弧形ガイドレールを示した図面で、図１３bは直線形ガイドレールを示した図面で、図１３cは円弧形と直線形の混合構成形ガイドレールを図示した図面である。   Hereinafter, the technical configuration of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view schematically showing an X-ray inspection apparatus of the present invention, FIG. 2 is a front sectional view of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 3 is a side sectional view of the X-ray inspection apparatus of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing an essential part extracted to show the operating state of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 5 is a perspective view looking up from the lower part of FIG. 4 is a front cross-sectional view of FIG. 4 for showing an operating state of horizontal movement, FIG. 7 is a perspective view illustrating the configuration of the rotary stage of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 8 is a view taken along the line EE in FIG. FIG. 9 is a perspective view of a jig of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 10 is a front sectional view of the embodiment when the detector of the X-ray inspection apparatus according to the present invention is located at the top. Is a perspective view showing the operating state and configuration of the rotary stage when the detector of FIG. 10 is located at the top, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line FF of FIG. 13 is a drawing showing an embodiment of the guide rail of the present invention, FIG. 13a is a drawing showing an arc guide rail, FIG. 13b is a drawing showing a straight guide rail, and FIG. 2 is a diagram illustrating a straight mixed configuration type guide rail.

本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させ、Ｘ線チューブ２００からＸ線を照射し、ディテクター３００で撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、ステージ１００は、回転自在に構成される回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は、下部に連結棒５１０が設けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されて前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成されている。   The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a stage 100, an X-ray tube 200, and a detector 300 provided inside the case 1, and places the object to be measured 10 on the stage 100 so that X-rays are emitted from the X-ray tube 200. In an X-ray inspection apparatus that irradiates, images with a detector 300, and inspects an object to be measured, the stage 100 is rotatably provided on a rotary stage 110 configured to be rotatable or a portion that is biased toward one side. The rotary stage 110 is provided with a connecting rod 510 at the lower portion thereof, and a rotating motor 520 is provided at the lower portion of the connecting rod 510, and is fixed to the stage 100 by a fixed frame 530. Thus, the rotary stage 110 is configured to rotate by the rotation of the rotary motor 520.

また、前記ステージ１００は、固定フレーム４１１に支持されｙ軸に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材４１０と、固定フレーム４２１に支持されてｘ軸に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材４２０と、固定フレーム４３１に支持されて垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材４３０とが、全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクター３００は支持ブラケット３１１によって円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれ一つのガイドレール３１０に沿って移動可能に構成することを特徴とする。本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けられたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させＸ線チューブ２００からＸ線を照射しディテクター３００で撮像し被測定物１０を検査するように構成される。   The stage 100 includes a y-axis horizontal moving member 410 that is supported by the fixed frame 411 and configured to be horizontally movable on the y-axis, and an x-axis that is supported by the fixed frame 421 and configured to be horizontally movable on the x-axis. A horizontal moving member 420 and a z-axis horizontal moving member 430 supported by a fixed frame 431 and configured to be vertically movable are attached in whole or selectively, and the detector 300 is formed in an arc shape or a straight line by a support bracket 311. It is characterized in that it is configured to be movable along any one of the guide rails 310 in which a linear shape is formed at the end of the shape or arc shape. The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a stage 100, an X-ray tube 200, and a detector 300 provided inside the case 1, and the X-ray is emitted from the X-ray tube 200 by placing the DUT 10 on the stage 100. It is configured to irradiate and image with the detector 300 and inspect the device under test 10.

前記ステージ１００は、回転自在に設けられた回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔され、通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は下部に連結棒５１０が設けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、この回転モーター５２０は固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されている。そして、回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成される。   The stage 100 includes a rotary stage 110 that is rotatably provided, or a circular rotary stage 110 that has a through hole that is biased toward one side and that is rotatably provided at the through hole. A connecting rod 510 is provided at the bottom, and a rotating motor 520 is provided below the connecting rod 510, and the rotating motor 520 is fixed to the stage 100 by a fixed frame 530. The rotary stage 110 is configured to rotate by the rotation of the rotary motor 520.

ステージ１００は多角形、円形などの多様な形態として構成することができ、好ましくは、長方形が空間活用度面では一番好ましい。   The stage 100 can be configured in various forms such as a polygon and a circle, and a rectangle is most preferable in terms of space utilization.

ステージ１００は、回転ステージ１１０だけで構成したり、またはステージ１００を多角形、円形などの多様な形態で構成し、ステージ１００の一側に偏って設けた回転ステージ１１０で構成される。前記の通り、ステージ１００の一側に偏って回転ステージ１１０を構成することは、被測定物１０が多様な撮像角度を必要とする場合、回転ステージ１１０に被測定物をセットしたり、回転が必要でない場合には回転ステージ１１０が構成されていない部分に被測定物１０をセットしたりして、ディテクター３００で感知するためであり、回転ステージ１１０と回転ステージ１１０が構成されていないステージ１００部分全部を利用することができるという長所がある。   The stage 100 is configured by only the rotary stage 110, or the stage 100 is configured by various forms such as a polygon and a circle, and is configured by the rotary stage 110 provided on one side of the stage 100. As described above, the rotation stage 110 is configured to be biased to one side of the stage 100. When the DUT 10 requires various imaging angles, the DUT is set on the rotation stage 110 or the rotation stage 110 is rotated. If it is not necessary, the object to be measured 10 is set on a portion where the rotary stage 110 is not configured and is detected by the detector 300, and the stage 100 portion where the rotary stage 110 and the rotary stage 110 are not configured. There is an advantage that you can use everything.

図２と図４に示すように、固定フレーム５３０の一端がステージ１００の一側に固定され、この固定フレーム５３０の他端に回転モーター５２０が取り付けられ、連結棒５１０が前記回転ステージ１１０の中央軸部に連結され、前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するようになっている。   As shown in FIGS. 2 and 4, one end of the fixed frame 530 is fixed to one side of the stage 100, a rotary motor 520 is attached to the other end of the fixed frame 530, and the connecting rod 510 is the center of the rotary stage 110. The rotary stage 110 is rotated by rotation of the rotary motor 520 and is connected to a shaft portion.

図４、図５、図６a、図６bに示すように、ステージ１００は、さらに固定フレーム４１１に支持されるｙ軸水平移動部材４１０によってｙ軸に水平移動できるように構成され、固定フレーム４２１に支持されるｘ軸水平移動部材４２０によってｘ軸水平移動が可能に構成され、固定フレーム４３１に支持されるｚ軸水平移動部材４３０によって垂直移動が可能に構成されている。   As shown in FIGS. 4, 5, 6 a, and 6 b, the stage 100 is further configured to be horizontally moved along the y axis by a y axis horizontal moving member 410 supported by the fixed frame 411. The supported x-axis horizontal moving member 420 is configured to enable x-axis horizontal movement, and the z-axis horizontal moving member 430 supported by the fixed frame 431 is configured to be vertically movable.

固定フレーム４１１は、側部にステージ１００に固定された固定具４１２がｙ軸に水平移動可能にｙ軸水平移動部材４１０に結合され、前記固定フレーム４２１は前記固定フレーム４１１が上部に安着されてｘ軸水平移動ができるように固定された固定具４２２がｘ軸に水平移動できるようｘ軸水平移動部材４２０に結合され、前記固定フレーム４３１は前記固定フレーム４２１の両側面に構成されてｚ軸に水平移動できるように固定された固定具４３２がｚ軸に水平移動できるようにｚ軸水平移動部材４３０に結合されている。このように、水平移動と垂直移動両方とも可能で作業者が希望する正確な位置に被測定物を位置させることができる。   The fixed frame 411 is coupled to a y-axis horizontal movement member 410 so that a fixture 412 fixed to the stage 100 on the side is horizontally movable on the y-axis, and the fixed frame 421 is seated on the top. The fixture 422 fixed so as to be horizontally movable in the x-axis is coupled to the x-axis horizontal moving member 420 so as to be horizontally movable in the x-axis, and the fixed frame 431 is formed on both side surfaces of the fixed frame 421. A fixture 432 fixed so as to be horizontally movable on the shaft is coupled to the z-axis horizontal moving member 430 so as to be horizontally movable on the z-axis. In this way, both horizontal movement and vertical movement are possible, and the object to be measured can be positioned at an accurate position desired by the operator.

前記ｙ軸水平移動部材４１０、ｘ軸水平移動部材４２０、及びｚ軸水平移動部材４３０を全部或いは選択的に採用することができる。つまり、ｙ軸水平移動部材４１０とｘ軸水平移動部材４２０だけを採用したり、ｘ軸水平移動部材４２０とｚ軸水平移動部材４３０だけを採用したり、ｙ軸水平移動部材４１０とｘ軸水平移動部材４２０とｚ軸水平移動部材４３０全部を採用するなど、選択的に構成することができる。例えば、倍率調節が必要ない場合にはｚ軸水平移動部材４３０を除いて構成することができる。   The y-axis horizontal movement member 410, the x-axis horizontal movement member 420, and the z-axis horizontal movement member 430 can be employed in whole or selectively. In other words, only the y-axis horizontal moving member 410 and the x-axis horizontal moving member 420 are employed, only the x-axis horizontal moving member 420 and the z-axis horizontal moving member 430 are employed, or the y-axis horizontal moving member 410 and the x-axis horizontal moving member 430 are employed. For example, the moving member 420 and the entire z-axis horizontal moving member 430 may be adopted. For example, when the magnification adjustment is not necessary, the z-axis horizontal moving member 430 can be omitted.

前記支持ブラケット３１１は、前記ディテクター３００が前記ガイドレール３１０に沿って移動するように前記ディテクター３００を前記支持ブラケット３１１に結合する。   The support bracket 311 couples the detector 300 to the support bracket 311 so that the detector 300 moves along the guide rail 310.

前記ガイドレール３１０は円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれか一つで構成する。   The guide rail 310 may be any one of an arc shape, a linear shape, or a shape in which a linear shape is formed at the end of the arc shape.

ガイドレール３１０は、従来はステージ１００自体を回転させずらく、半円弧形のガイドレールがたびたび使われる場合もあったが、本発明のＸ線検査装置は、回転ステージ１１０が構成され、本発明の円弧形ガイドレール３１０は任意の角度で構成できるし、４分の１の円弧形だけで構成しても充分に多様な撮像角を得ることができるので、設置スペースを大幅に減らすこともできる。   As the guide rail 310, a semi-circular guide rail is conventionally used which is difficult to rotate the stage 100 itself. However, the X-ray inspection apparatus according to the present invention includes the rotary stage 110, The arcuate guide rail 310 of the invention can be configured at an arbitrary angle, and even when it is configured by only a quarter of the arcuate shape, a sufficiently wide variety of imaging angles can be obtained, greatly reducing the installation space. You can also.

また、ステージ１００が回転するので、直線形のガイドレール３１０で構成しても多様な撮像角を得ることができることはもちろんであり、被測定物１０の正確な比率の測定が可能である。図１３aに示すように、ディテクター３００が円弧形ガイドレール３１０aに沿って動くようにすると、L１:L２=L１′:L２′になるが、L１:L２=l１:l２にならなくて被測定物１０の検測対象の正確な比率が出てこなくなる場合が有り得るので、目的により円弧形または、直線形を構成したり、円弧形の端部に直線形が形成された混合型を使うことがある。   In addition, since the stage 100 rotates, various imaging angles can be obtained even if the linear guide rail 310 is used, and the accurate ratio of the DUT 10 can be measured. As shown in FIG. 13a, when the detector 300 moves along the arcuate guide rail 310a, L1: L2 = L1 ′: L2 ′ is obtained, but L1: L2 = l1: l2 is not satisfied, and measurement is performed. Since there is a possibility that an accurate ratio of the inspection object of the object 10 may not come out, an arc shape or a straight shape is formed according to the purpose, or a mixed type in which a straight shape is formed at the end of the arc shape is used. Sometimes.

したがって、図１３bに示すように、ガイドレール３１０を直線形で構成し、ディテクター３００が直線に動くようにすると、L１:L２ =L１′:L２′になって被測定物１０の比率と同一にディテクター３００でも測定することができる。   Therefore, as shown in FIG. 13b, when the guide rail 310 is formed in a straight line shape and the detector 300 is moved in a straight line, L1: L2 = L1 ′: L2 ′ and the ratio of the DUT 10 is the same. It can also be measured by the detector 300.

また、図１３cに示すように、ガイドレール３１０を円弧形と直線形を混合構成すると円弧形の長所と直線形の長所を全部持つようにすることができる。   Further, as shown in FIG. 13c, when the guide rail 310 is configured to have a circular arc shape and a linear shape, it can have all of the advantages of the arc shape and the linear shape.

また、Ｘ線チューブ２００は、ガイドレール２９０に固定されて移動する移動部材２９１に沿って垂直移動可能に構成されても良い。   Further, the X-ray tube 200 may be configured to be vertically movable along a moving member 291 that moves while being fixed to the guide rail 290.

Ｘ線チューブ２００が移動して被測定物１０、またはステージ１００に近く近接したり遠ざかれるようにし、より正確な撮像が可能にされる。   The X-ray tube 200 is moved so as to be close to or away from the object to be measured 10 or the stage 100, thereby enabling more accurate imaging.

また、ディテクター３００は、ガイドレール３９０に固定されて移動する移動部材３９１に沿って垂直移動可能に構成されることもできる。   The detector 300 may be configured to be vertically movable along a moving member 391 that moves while being fixed to the guide rail 390.

ディテクター３００が移動して被測定物１０、またはステージ１００に近接したり遠ざかれるようにし、倍率調整と映像の強度（明るさ）に変化を与えられるようにし、より正確な撮像が可能にすることができる。   The detector 300 is moved so as to be moved closer to or away from the object to be measured 10 or the stage 100 so that the magnification adjustment and the intensity (brightness) of the image can be changed, thereby enabling more accurate imaging. Can do.

また、連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成され、前記回転モーター５２０は中央に中空が形成された中空モーターから構成され、ディテクター３００が通孔５１１を通して回転ステージ１１０の被測定物１０を撮像することができるように構成することができる。   The connecting rod 510 has a through hole 511 formed at the center, and the rotary motor 520 is a hollow motor formed with a hollow at the center. The detector 300 passes the measured object 10 of the rotary stage 110 through the through hole 511. It can comprise so that it can image.

連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成されるが、中央に中空が形成された中空モーターで前記回転モーター５２０を構成し、前記連結棒５１０の下部の外周面に取り付け、前記連結棒５１０が回転するように構成することができる。   The connecting rod 510 is formed with a through hole 511 in the center, and the rotary motor 520 is constituted by a hollow motor having a hollow formed in the center, and is attached to the outer peripheral surface of the lower portion of the connecting rod 510. Can be configured to rotate.

中空モーターから構成された前記回転モーター５２０は、中央に中空が形成されているので、回転モーター５２０の中空に連結棒５１０を差し込む形態として構成される。
ここにおいて、中空モーターを使う理由は、連結棒５１０の下段の外周面にギアを構成し側部にモーターを形成してベルトやギアをかみ合わし連結棒５１０を回転させることができるように構成すると、モーターが側面に偏って、ベルトやギアのかみ合わせが少しずつずれれば連結棒５１０の回転中心軸が歪む場合が発生して正確な検査作業がやりずらくなるからであり、連結棒５１０に直接中空が形成された回転モーター５２０を結合させ連結棒５１０を直接回転させることによって、この不都合を解消できるからである。 The rotary motor 520 constituted by a hollow motor has a hollow formed at the center, and is thus configured to insert the connecting rod 510 into the hollow of the rotary motor 520.
Here, the reason for using the hollow motor is that a gear is formed on the lower outer peripheral surface of the connecting rod 510 and a motor is formed on the side so that the belt and gear can be engaged to rotate the connecting rod 510. This is because if the motor is biased to the side and the meshing of the belt and gear is shifted little by little, the center axis of rotation of the connecting rod 510 may be distorted, making accurate inspection work difficult. This is because this inconvenience can be solved by coupling the rotary motor 520 formed with a hollow directly and directly rotating the connecting rod 510.

また、ステージ１００の一側に被測定物１０を固定させるためにバイスグリップ１２１が設けられ、このバイスグリップ１２１を回転自在にモーター１２２と連結するグリップ部１２０が設けられている。   In addition, a vise grip 121 is provided on one side of the stage 100 to fix the object to be measured 10, and a grip portion 120 that rotatably connects the vise grip 121 to the motor 122 is provided.

グリップ部１２０は、バイスグリップ１２１に被測定物１０を固定させ、モーター１２２によって被測定物１０が固定されたバイスグリップ１２１を回転させ、前記回転ステージ１１０の上部に被測定物１０をのせて回転ステージ１１０を回転させて出る角度以外の他の角度で回転することによって、多様な角度で被測定物１０を検査できるようになる。   The grip unit 120 fixes the device under test 10 to the vise grip 121, rotates the vise grip 121 to which the device under test 10 is fixed by the motor 122, and rotates the device under test 10 placed on the rotary stage 110. By rotating the stage 110 at an angle other than the angle that is output by rotating the stage 110, the device under test 10 can be inspected at various angles.

また、ステージ１００の上部に置かれた被測定物１０の位置を微調整するために、ステージ１００の一側にｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２から構成された水平移動ユニットがアーム１３３の一端に構成され、他端にシリンダー１３４によって移動する把持部１３５が設けられたジグ１３０が設けられることが好ましい。   Further, in order to finely adjust the position of the DUT 10 placed on the upper part of the stage 100, a horizontal movement unit composed of a y-axis movement unit 131 and an x-axis movement unit 132 is provided on one side of the stage 100. It is preferable that a jig 130 provided with a gripping portion 135 that is configured at one end of the head and that is moved by a cylinder 134 is provided at the other end.

ジグ１３０は、ｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２によって水平移動が可能であり、アーム１３３の端部にシリンダー１３４に垂直移動、または対角線移動が可能に把持部１３５が設けられている。   The jig 130 can be moved horizontally by the y-axis moving unit 131 and the x-axis moving unit 132, and a grip part 135 is provided at the end of the arm 133 so that the cylinder 134 can move vertically or diagonally.

図６a、６bと図９に示すように、シリンダー１３４が垂直方向に移動するように構成しても良いし、アーム１３３を対角線に構成してシリンダー１３４も対角線に作動するように構成し対角線に前記把持部１３５が移動するようにすることもできる。   6a, 6b and FIG. 9, the cylinder 134 may be configured to move in the vertical direction, or the arm 133 may be configured as a diagonal line and the cylinder 134 may be configured to operate in a diagonal direction. The grip portion 135 may be moved.

ジグ１３０は、従来のものはステージ１００の上部にセットされた被測定物１０の微調整時にケース１の外部ドアを開いて作業者が直接に手で被測定物１０を移動させなければならなかったために、微調整自体が難しくて検査作業がわずらわしいという問題点があったが、本発明はこの点を解決している。   In the conventional jig 130, when the object 10 set on the stage 100 is fine-adjusted, the external door of the case 1 must be opened and the operator must move the object 10 directly by hand. For this reason, there is a problem that fine adjustment itself is difficult and the inspection work is troublesome, but the present invention solves this problem.

また、ケース１の側面のＸ線チューブ２００の端部側の高さに側面に向かうように固定され、ステージ１００の垂直移動時にＸ線チューブ２００との衝突を防止するために、感知装置６００が設けられることが好ましい。   In addition, in order to prevent the collision with the X-ray tube 200 during the vertical movement of the stage 100, the sensing device 600 is fixed to the height of the side surface of the case 1 at the end portion side of the X-ray tube 200. It is preferable to be provided.

感知装置６００は、外部に設置されたモニター（図示せず）によって作業者が前記ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する機能を持つ。   The sensing device 600 uses a monitor (not shown) installed outside to confirm a safety distance by checking with a monitor when the distance between the worker and the guide rail 310 is narrowed when the operator moves the stage 100 vertically. And has a function to prevent collision.

また、ケース１の側面に下面に向かうように固定され、ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との衝突を防止するために感知装置７００が構成されることが好ましい。   Further, it is preferable that the sensing device 700 is configured to be fixed to the side surface of the case 1 so as to face the lower surface, and to prevent a collision with the detector 300 or the guide rail 310 when the stage 100 moves vertically.

この感知装置７００は、外部に設置されたモニター（図示せず）によって作業者が前記ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する役割をする。   This sensing device 700 is confirmed by a monitor when the distance between the detector 300 or the guide rail 310 is narrowed when an operator moves the stage 100 vertically by a monitor (not shown) installed outside. Secures and prevents collisions.

また、感知装置６００、７００は監視カメラまたは、光センサーとすることができる。図３のごとく、この感知装置６００、７００は、外部に設置されたモニターによって作業者が監視して衝突を防止する機能を持つが、この時、監視カメラまたは、光センサー（レーザーセンサー、赤外線センサー）は、光センサーが一定距離以上間隔が狭まれば移動（水平、垂直、回転移動など)が止まるようにする。   In addition, the sensing devices 600 and 700 can be monitoring cameras or optical sensors. As shown in FIG. 3, each of the sensing devices 600 and 700 has a function of preventing collision by monitoring by an external monitor, and at this time, a monitoring camera or a light sensor (laser sensor, infrared sensor) is used. ) The movement (horizontal, vertical, rotational movement, etc.) stops if the distance of the optical sensor is narrower than a certain distance.

また、Ｘ線チューブ２００には、タイマー８００（図示せず）が設けられ、前記タイマー８００の作動によって一定時間おきにＸ線チューブ２００が作動するようにし、ワームアップ時間を最小化するようにすることが可能にされる。   In addition, the X-ray tube 200 is provided with a timer 800 (not shown) so that the X-ray tube 200 is operated at regular intervals by the operation of the timer 800, thereby minimizing the warm-up time. Is made possible.

Ｘ線チューブ２００は、稼動時にワームアップする時間がかかるが、このワームアップ時間が多少長く連続的な検査作業がある場合、作業時間が長くなるという短所があった。例えば、８時間以上使わない場合、Ｘ線チューブが止まれれば、また再稼働させるために再度ワームアップする時間を経て稼動するようになる。そのため、タイマー８００を附設し一定時間間隔例えば７時間５９分間隔でＸ線チューブ２００が稼動するようにすれば作業者が作業を始める時ワームアップする時間を減らすことができ、作業時間が短縮されるという効果がある。   The X-ray tube 200 takes time to warm up during operation. However, when the worm up time is somewhat long and there is a continuous inspection work, the work time becomes long. For example, if the X-ray tube is not used for more than 8 hours, if the X-ray tube is stopped, it will be operated again after a time for warming up again. Therefore, if the timer 800 is provided so that the X-ray tube 200 is operated at regular time intervals, for example, 7 hours and 59 minutes, the time for the worker to warm up can be reduced and the work time can be shortened. There is an effect that.

また、ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成し、前記ステージ１００を垂直上方に移動するとき、前記Ｘ線チューブ３００に被測定物１０に最大限近距離に移動できるように構成することができる。   In addition, the X-ray tube 200 is positioned at the upper part of the stage 100 and the detector 300 is positioned at the lower part. When the stage 100 is moved vertically upward, the object 10 to be measured is placed on the X-ray tube 300. It can be configured to be able to move as close as possible.

図１乃至図３に示したように、前記ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成すると、常にステージ１００の上部にセットされる被測定物１０がＸ線チューブ２００に最大限に近く近接できるようになる効果がある。   As shown in FIGS. 1 to 3, when the X-ray tube 200 is positioned at the upper part of the stage 100 and the detector 300 is positioned at the lower part, the measurement target is always set at the upper part of the stage 100. There is an effect that the object 10 can be brought close to the X-ray tube 200 as much as possible.

しかし、図１０に示すように、ステージ１００を中心として下部にＸ線チューブ２００が位置し、上部にディテクター３００が位置するように構成しても良いし、図示してはいないが、ステージ１００を中心として両側部に各々Ｘ線チューブ２００とディテクター３００が位置するように構成しても良い。もし、下部にＸ線チューブが構成されるならば、ステージ１００の厚さと固定フレームなどによって近接には限界がある。   However, as shown in FIG. 10, the X-ray tube 200 may be positioned at the lower part and the detector 300 may be positioned at the upper part with the stage 100 as the center. You may comprise so that the X-ray tube 200 and the detector 300 may be located in both sides as a center, respectively. If an X-ray tube is formed in the lower part, the proximity is limited by the thickness of the stage 100 and the fixed frame.

図１０に示すように、ステージ１００を中心として下部にＸ線チューブ２００が位置し、上部にディテクター３００が位置するように構成した場合は、固定フレーム５３０が上部に位置し、連結棒５１０、回転モーター５２０が上部に位置するようになるので、被測定物１０がセットされる空間を確保するために、内部に空間部が形成され、回転ステージ１１０に固定されて回転モーター５１０によって回転するように支持フレーム５４０を構成する。支持フレームは図１１と図１２に示すように、複数の支持骨を連結して支持骨を通してディテクター３００が撮像できるようにする。   As shown in FIG. 10, when the X-ray tube 200 is positioned at the lower portion and the detector 300 is positioned at the upper portion with the stage 100 as the center, the fixed frame 530 is positioned at the upper portion, the connecting rod 510, and the rotation Since the motor 520 is positioned at the upper part, a space is formed inside to secure a space in which the DUT 10 is set, and is fixed to the rotary stage 110 and rotated by the rotary motor 510. A support frame 540 is configured. As shown in FIGS. 11 and 12, the support frame connects a plurality of support bones so that the detector 300 can image through the support bones.

１ ケース
１０ 被測定物
１００ ステージ
１１０ 回転ステージ
１２０ グリップ部
１２１ バイスグリップ
１２２ モーター
１３０ ジグ
１３１ ｙ軸移動ユニット
１３２ ｘ軸移動ユニット
１３３ アーム
１３４ シリンダー
１３５ 把持部
２００ Ｘ線チューブ
２９０ ガイドレール
２９１ 移動部材
３００ ディテクター
３１０ ガイドレール
３９０ ガイドレール
３９１ 移動部材
３１１ 支持ブラケット
４１０ ｙ軸水平移動部材
４１１ 固定フレーム
４２０ ｘ軸水平移動部材
４２１ 固定フレーム
４３０ ｚ軸水平移動部材
４３１ 固定フレーム
５１０ 連結棒
５１１ 通孔
５２０ 回転モーター
５３０ 固定フレーム
５４０ 支持フレーム
６００ 感知装置
７００ 感知装置
８００ タイマー（図示せず) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case 10 Measured object 100 Stage 110 Rotating stage 120 Grip part 121 Vise grip 122 Motor 130 Jig 131 Y-axis moving unit 132 x-axis moving unit 133 Arm 134 Cylinder 135 Gripping part 200 X-ray tube 290 Guide rail 291 Moving member 300 Detector 310 guide rail 390 guide rail 391 moving member 311 support bracket 410 y-axis horizontal moving member 411 fixed frame 420 x-axis horizontal moving member 421 fixed frame 430 z-axis horizontal moving member 431 fixed frame 510 connecting rod 511 through hole 520 rotating motor 530 fixed Frame 540 Support frame 600 Sensing device 700 Sensing device 800 Timer (not shown)

Claims (13)

ケース１の内部に設けられたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させて前記Ｘ線チューブ２００でＸ線を照射し、前記ディテクター３００で撮像して被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージ１００は、回転自在に構成される回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は下部に連結棒５１０が取り付けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、この回転モーターが固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されることにより、前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成したことを特徴とする、Ｘ線検査装置。   A stage 100 provided inside the case 1, an X-ray tube 200, and a detector 300, the object to be measured 10 is positioned on the stage 100, and X-rays are emitted from the X-ray tube 200. In the X-ray inspection apparatus for imaging and inspecting an object to be measured, the stage 100 is a rotary stage 110 that is configured to be rotatable, or a circular rotation that is rotatably provided in a portion that is biased toward one side. The rotating stage 110 has a connecting rod 510 attached to the lower portion thereof, and a rotating motor 520 is provided at the lower portion of the connecting rod 510. The rotating motor is fixed to the stage 100 by a fixed frame 530. Thus, the rotary stage 110 is rotated by the rotation of the rotary motor 520. And wherein the a, X-rays inspection apparatus. 前記ステージ１００には、固定フレーム４１１に支持されｙ軸に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材４１０と、固定フレーム４２１に支持されてｘ軸に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材４２０と、固定フレーム４３１に支持されて垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材４３０とが、全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクター３００は、支持ブラケット３１１によって円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が形成された形態となったもののなかいずれか一つのガイドレール３１０に沿って移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１記載のＸ線検査装置。   The stage 100 includes a y-axis horizontal moving member 410 that is supported by a fixed frame 411 and configured to be horizontally movable on the y-axis, and an x-axis horizontal that is supported by the fixed frame 421 and configured to be horizontally movable on the x-axis. The moving member 420 and the z-axis horizontal moving member 430 supported by the fixed frame 431 and configured to be vertically movable are attached to the whole or selectively, and the detector 300 is formed in an arc shape or a straight line by the support bracket 311. The X-ray according to claim 1, wherein the X-ray is configured to be movable along one of the guide rails 310 having a shape or a shape in which a linear shape is formed at an end of the arc shape. Inspection device. 前記Ｘ線チューブ２００は、ガイドレール２９０に固定されて移動する移動部材２９１に沿って垂直移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１記載のＸ線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the X-ray tube is configured to be vertically movable along a moving member 291 that moves while being fixed to the guide rail 290. 前記ディテクター３００は、ガイドレール３９０に固定されて移動する移動部材３９１に沿って垂直移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１または請求項３記載のＸ線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the detector is configured to be vertically movable along a moving member 391 that moves while being fixed to the guide rail. 前記連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成され、前記回転モーター５２０は中央に中空が形成された中空モーターで構成され、前記ディテクター３００が前記通孔５１１を通して前記回転ステージ１１０の被測定物１０を撮像することができるように構成したことを特徴とする、請求項２記載のＸ線検査装置。   The connecting rod 510 has a through hole 511 formed at the center, the rotary motor 520 is a hollow motor formed with a hollow at the center, and the detector 300 is to be measured on the rotary stage 110 through the through hole 511. The X-ray inspection apparatus according to claim 2, wherein the X-ray inspection apparatus is configured to be able to image 10. 前記ステージ１００の一側に被測定物１０を固定させるためにバイスグリップ１２１が設けられ、前記バイスグリップ１２１を回転自在にモーター１２２に連結するためにグリップ部１２０が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   A vice grip 121 is provided on one side of the stage 100 to fix the object to be measured 10, and a grip portion 120 is provided to connect the vise grip 121 to a motor 122 rotatably. The X-ray inspection apparatus according to claim 2 or 5. 前記ステージ１００の上部に置かれた被測定物１０の位置を微調整するために、前記ステージ１００の一側にｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２のから構成された水平移動ユニットがアーム１３３の一端に設けられ、他端にシリンダー１３４によって移動する把持部１３５が取り付けられたジグ１３０が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   In order to finely adjust the position of the DUT 10 placed on the top of the stage 100, a horizontal movement unit composed of a y-axis movement unit 131 and an x-axis movement unit 132 is provided on one side of the stage 100. The X-ray inspection apparatus according to claim 2, wherein a jig 130 provided at one end of 133 and having a gripping part 135 moved by a cylinder 134 attached at the other end is provided. 前記ケース１の側面の前記Ｘ線チューブ２００の端部側の高さに側面に向かうように固定され、前記ステージ１００の垂直移動時に前記Ｘ線チューブ２００との衝突を防止するために感知装置６００が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   A sensing device 600 is fixed to a side surface of the side surface of the case 1 so as to face the side surface of the X-ray tube 200 and prevents the collision with the X-ray tube 200 when the stage 100 moves vertically. The X-ray inspection apparatus according to claim 2, wherein the X-ray inspection apparatus is provided. 前記ケース１の側面に下面に向かうように固定され、前記ステージ１００の垂直移動時に前記ディテクター３００、またはガイドレール３１０との衝突を防止するために感知装置７００が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   The sensing device 700 is provided to be fixed to a side surface of the case 1 so as to face a lower surface, and to prevent a collision with the detector 300 or the guide rail 310 when the stage 100 moves vertically. The X-ray inspection apparatus according to claim 2 or 5. 前記感知装置６００は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、請求項８記載のＸ線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 8, wherein the sensing device is a surveillance camera or an optical sensor. 前記感知装置７００は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、請求項９記載のＸ線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 9, wherein the sensing device 700 is a surveillance camera or an optical sensor. 前記Ｘ線チューブ２００には、タイマー８００が設けられ、前記タイマー８００の作動によって一定時間おきに前記Ｘ線チューブ２００が作動するようにし、ワームアップ時間を最小化するように構成したことを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   The X-ray tube 200 is provided with a timer 800, and the X-ray tube 200 is operated at regular intervals by the operation of the timer 800, so that the warm-up time is minimized. The X-ray inspection apparatus according to claim 2 or 5. 前記ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成し、前記ステージ１００を垂直上方に移動するとき、前記Ｘ線チューブ３００に被測定物１０が最大限に近距離に移動できるように構成したことを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。   The X-ray tube 200 is positioned at the upper part of the stage 100 and the detector 300 is positioned at the lower part. When the stage 100 is moved vertically upward, the DUT 10 is placed on the X-ray tube 300. The X-ray inspection apparatus according to claim 2, wherein the X-ray inspection apparatus is configured to be able to move to a short distance as much as possible.
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