JP2011014866A - Driving device, and die bonder - Google Patents

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Naiming Gu
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving device which can speedily and precisely move an object, and to provide a die bonder.SOLUTION: The driving device includes a driving device body, a first driving module, a second driving module, and a driving mounting board. The driving mounting board is provided on one side face of the driving device body, and the first driving module and second driving module are provided to the driving device body. Further, the first driving module and second driving module drive the driving mounting board respectively to cause first displacement and second displacement respectively. The moving speed of the first displacement is faster than that of the second displacement speed, and the movement precision of the second displacement is higher than that of the first displacement. Those two kinds of driving source are combined to drive load weight cooperatively, thereby causing displacement in one direction. Consequently, the driving device is improved in moving speed and movement precision.

Description

本発明は、一種の駆動装置およびダイボンダに関し、特に、高速なピックアンドプレイス、精密な位置決め駆動装置に関する。   The present invention relates to a kind of drive device and die bonder, and more particularly to a high-speed pick-and-place and a precise positioning drive device.

現在、発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ，以下ＬＥＤという。）の技術開発の進展が進みつつあるため、ＬＥＤは照明、信号表示など日常生活での応用分野に幅広く拡大している。また、ＬＥＤの量産においてボンディング技術の良否がＬＥＤ製品の品質に大きく影響する。言い換えると、ボンディング技術は、ＬＥＤ製品の品質にとって最も重要な技術の１つである。ＬＥＤのボンディング速度を向上させること並びにＬＥＤのボンディング良品率を向上させるには、高速、かつ精確に位置決めの特長をもつダイボンダの技術開発が、当業界の現在の解決すべき課題である。   Currently, the progress of technological development of light emitting diodes (hereinafter referred to as LEDs) is progressing, so that LEDs are widely expanded to application fields in daily life such as lighting and signal display. In addition, the quality of bonding products greatly affects the quality of LED products in mass production of LEDs. In other words, the bonding technology is one of the most important technologies for the quality of LED products. In order to improve the bonding speed of LEDs and to improve the yield rate of LED bonding, technical development of die bonders having high-speed and accurate positioning features is a current problem to be solved in the industry.

従来のダイボンダにおいて、単軸方向の変位は一般的にはリニアモーター、モーターとボールねじのバックラッシュの組み合わせまたはモーターおよび可撓性伝動装置の組み合わせのいずれかのような１つの駆動装置により、ダイボンダ用ボンディングアームの移動を駆動する。   In conventional die bonders, the uniaxial displacement is typically controlled by a single drive, such as a linear motor, a combination of a motor and ball screw backlash, or a combination of a motor and a flexible transmission. Drives the movement of the bonding arm.

駆動装置にリニアモーターを採用する特長としては、光学スケールと組み合わせられるから、高速、かつ精確に対象物の移動位置を制御することができる。よって、高精度な位置決めが求められているダイボンダに対し、リニアモーターはダイボンダの要求に相応しい。しかし、リニアモーター自身の特性が制限され、ボールねじのバックラッシュと比べて、リニアモーターの負荷できる負荷重量が低く、負荷される状態にて、より高精度な直線運動の要求に応えられないので、ボンディング加工時の移動速度が制限され、より高い生産効率が達成できない。   As a feature of adopting a linear motor for the driving device, since it is combined with an optical scale, the moving position of the object can be controlled accurately at high speed. Therefore, in contrast to die bonders that require high-precision positioning, linear motors meet the requirements of die bonders. However, the characteristics of the linear motor itself are limited, and the load weight that the linear motor can be loaded is lower than the ball screw backlash. The moving speed during the bonding process is limited, and higher production efficiency cannot be achieved.

また、駆動装置にモーターとボールねじのバックラッシュの組み合わせを採用する長所としては、負荷できる負荷重量が高く、精度も高い。しかし、移動速度は、リニアモーターと比べて、モーターとボールねじのバックラッシュの組み合わせのほうが遅いため、その生産効率とリニアモーターを採用した駆動装置のダイボンダと比べれば、理想的ではない。   In addition, as an advantage of using a combination of a motor and a ball screw backlash for the driving device, the load weight that can be loaded is high and the accuracy is high. However, the movement speed is slower than the combination of the motor and ball screw backlash compared to the linear motor, so it is not ideal compared to the production efficiency and the die bonder of the drive unit that uses the linear motor.

また、駆動装置にモーターと可撓性伝動装置の組み合わせを採用する特長としては、移動速度はリニアモーターまたはモーターとボールねじのバックラッシュの組み合わせを採用するダイボンダのいずれも速いものの、精度は前述した両者と比べて最も劣る。   In addition, as a feature of adopting a combination of a motor and a flexible transmission device as a driving device, the moving speed is fast for either a linear motor or a die bonder that employs a combination of a motor and a ball screw backlash, but the accuracy is as described above. Inferior compared to both.

本発明は、上記したような従来技術の問題を鑑みて、対象物を高速かつ精確に移動できる駆動装置およびダイボンダを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a drive device and a die bonder that can move an object at high speed and accurately.

本発明の目的は、一種の駆動装置を提出することである。本発明に係る駆動装置は、駆動装置本体、第１駆動モジュール、第２駆動モジュールおよび駆動載置板を含む。駆動載置板は、駆動装置本体の一側面に取付けられ、第１駆動モジュールおよび第２駆動モジュールは、駆動装置本体に設けられる。また、第１駆動モジュールは、駆動載置板を駆動して、第１変位を生じる。第２駆動モジュールは、駆動載置板を駆動して、第２変位を生じる。第１変位の移動速度を第２変位の移動速度より速く設定する場合には、長距離の位置移動に用いる。第２変位の移動精度を第１変位の移動精度より高く設定する場合には、第１変位が所定の位置に移動した後に、短距離の微小なずれを補正するに用いる。これによって、優れた精度が得られる。   The object of the present invention is to submit a kind of drive device. The drive device according to the present invention includes a drive device body, a first drive module, a second drive module, and a drive mounting plate. The drive mounting plate is attached to one side surface of the drive device body, and the first drive module and the second drive module are provided on the drive device body. Further, the first drive module drives the drive mounting plate to generate a first displacement. The second drive module drives the drive mounting plate to generate a second displacement. When the moving speed of the first displacement is set faster than the moving speed of the second displacement, it is used for long-distance position movement. When the movement accuracy of the second displacement is set higher than the movement accuracy of the first displacement, the second displacement is used to correct a small shift over a short distance after the first displacement has moved to a predetermined position. This provides excellent accuracy.

また、第１駆動モジュールは、駆動ユニットおよび可撓性伝動装置を含み、可撓性伝動装置は駆動ユニットによって第１変位を生じる。   The first drive module includes a drive unit and a flexible transmission, and the flexible transmission causes the first displacement by the drive unit.

また、駆動ユニットは、モーターである。   The drive unit is a motor.

また、第１駆動モジュールは、少なくとも２本の回転軸および１つのベルトコンベヤをさらに含み、ベルトコンベヤは２本の回転軸のうちの１本に貼り付け、２本の回転軸のうちの１本は駆動ユニットに枢接して、駆動ユニットによって回転軸を駆動して回転させると、回転軸と連動するベルトコンベヤを移動させて、第１変位を生じる。   The first drive module further includes at least two rotating shafts and one belt conveyor, and the belt conveyor is attached to one of the two rotating shafts and one of the two rotating shafts. Is pivotally connected to the drive unit, and when the rotary shaft is driven and rotated by the drive unit, the belt conveyor interlocked with the rotary shaft is moved to generate the first displacement.

また、第２駆動モジュールは、リニアモーターであり、そのリニアモーターにおいて固定子ユニットおよび可動子ユニットを含み、可動子ユニットは、固定子ユニットの内側に設けられる。   The second drive module is a linear motor, and includes a stator unit and a mover unit in the linear motor, and the mover unit is provided inside the stator unit.

また、可動子ユニットおよび駆動載置板と連結し、固定子ユニットより可動子ユニットを駆動して移動させると、可動子ユニットと連動する駆動載置板を移動させて、第２変位を生じる。   In addition, when the mover unit is connected to the mover unit and the drive placement plate, and the mover unit is driven and moved from the stator unit, the drive placement plate interlocked with the mover unit is moved to generate the second displacement.

また、固定子ユニットは永久磁石であり、可動子ユニットはコイルである。   The stator unit is a permanent magnet, and the mover unit is a coil.

また、駆動載置板は、接続部を有する。その接続部を介して可撓性伝動装置と連結され、駆動ユニットによって可撓性伝動装置を駆動して移動させると、可撓性伝動装置と連動する駆動載置板を移動させて、第１変位を生じる。   The drive mounting plate has a connection portion. When the flexible transmission device is driven and moved by the drive unit through the connection portion and is moved by the drive unit, the drive mounting plate interlocked with the flexible transmission device is moved, and the first Causes displacement.

第１変位は第２変位と互いに平行である。   The first displacement is parallel to the second displacement.

本発明の別の目的は、一種のダイボンダを提供することである。本発明に係るダイボンダは、平台、駆動装置、ボンディングアームおよび測定ユニットを含む。駆動装置は、平台に設けられ、駆動装置本体、駆動載置板、第１駆動モジュールおよび第２駆動モジュールを含む。駆動載置板は、駆動装置本体の一側面に取付けられ、第１駆動モジュールおよび第２駆動モジュールは駆動装置本体に設けられる。第１駆動モジュールは、駆動載置板を駆動して、第１変位を生じる。第２駆動モジュールは、駆動載置板を駆動して、第２変位を生じる。ボンディングアームは、駆動載置板に設けられる。測定ユニットは、駆動装置本体の一側面に設けられ、測定ユニットは駆動載置板の変位を測定する。また、第１変位の移動速度は、第２変位の移動速度より速く、第２変位の移動精度は、第１変位の移動精度より高い。   Another object of the present invention is to provide a kind of die bonder. The die bonder according to the present invention includes a flat table, a driving device, a bonding arm, and a measurement unit. The drive device is provided on a flat table and includes a drive device body, a drive mounting plate, a first drive module, and a second drive module. The drive mounting plate is attached to one side surface of the drive device body, and the first drive module and the second drive module are provided on the drive device body. The first drive module drives the drive mounting plate to generate a first displacement. The second drive module drives the drive mounting plate to generate a second displacement. The bonding arm is provided on the drive mounting plate. The measurement unit is provided on one side of the drive device body, and the measurement unit measures the displacement of the drive mounting plate. Further, the moving speed of the first displacement is faster than the moving speed of the second displacement, and the moving accuracy of the second displacement is higher than the moving accuracy of the first displacement.

また、測定ユニットは、光学スケールである。   The measurement unit is an optical scale.

前記説明した通り、本発明に係る駆動装置および異なる速度を切り換え可能なダイボンダは、以下の１つまたは複数の長所を有する。   As described above, the drive device and the die bonder capable of switching different speeds according to the present invention have one or more of the following advantages.

イ、本発明によれば、異なる駆動モジュールにより、異なる作業速度を切り換えて、ダイボンダの位置決め精度に影響することなく、駆動装置の加速化およびダイボンダの効率を向上できる。   According to the present invention, it is possible to switch between different working speeds using different drive modules and to accelerate the drive device and improve the efficiency of the die bonder without affecting the positioning accuracy of the die bonder.

ロ、本発明によれば、異なる駆動モジュールを有するため、いずれかの１つの駆動モジュールが故障した時でも、別の駆動モジュールで作業を続けることができるから、ダイボンディング作業の信頼性を向上できる。   (B) According to the present invention, since there are different drive modules, even if one of the drive modules fails, it is possible to continue the work with another drive module, so that the reliability of the die bonding work can be improved. .

本発明の実施態様に係る駆動モジュールを示す図である。It is a figure which shows the drive module which concerns on the embodiment of this invention. 本発明の実施態様に係るダイボンダを示す図である。It is a figure which shows the die bonder which concerns on the embodiment of this invention.

前記した本発明の技術内容、特長および効果については、主に以下の参考図面に沿っての実施形態の詳細説明により明らかになろう。   The technical contents, features, and effects of the present invention described above will be apparent from the detailed description of the embodiments mainly with reference to the following reference drawings.

図１に示すような本発明の実施態様に係る駆動モジュールを参照する。本実施態様において、駆動装置１００は、駆動装置本体１１０、第１駆動モジュール１２０、第２駆動モジュール１３０および駆動載置板１４０を含む。第１駆動モジュール１２０および第２駆動モジュール１３０は駆動装置本体１１０に設けられ、駆動載置板１４０は、駆動装置本体１１０の一側面に設けられる。   Reference is made to a drive module according to an embodiment of the invention as shown in FIG. In this embodiment, the driving device 100 includes a driving device main body 110, a first driving module 120, a second driving module 130, and a driving mounting plate 140. The first drive module 120 and the second drive module 130 are provided on the drive device main body 110, and the drive mounting plate 140 is provided on one side surface of the drive device main body 110.

第１駆動モジュール１２０は、駆動ユニット１２２、可撓性伝動装置１２４および２本の回転軸１２６を含み、駆動ユニット１２２はモーターであってもよい。また、駆動載置板１４０は、接続部１４２を有し、その接続部１４２を介して可撓性伝動装置１２４と連結する。駆動ユニット１２２は、いずれかの１つの回転軸１２６に枢接しているため、駆動ユニット１２２によって、回転軸１２６を駆動して回転させると、回転軸１２６と連動する回転軸１２６に貼り付けられた可撓性伝動装置１２４を移動させて、駆動載置板１４０も連動して移動することにより、第１変位が生じる。   The first drive module 120 includes a drive unit 122, a flexible transmission 124, and two rotating shafts 126. The drive unit 122 may be a motor. In addition, the drive mounting plate 140 has a connection portion 142 and is coupled to the flexible transmission device 124 via the connection portion 142. Since the drive unit 122 is pivotally connected to one of the rotation shafts 126, when the rotation unit 126 is driven and rotated by the drive unit 122, the drive unit 122 is attached to the rotation shaft 126 that is linked to the rotation shaft 126. The first displacement is generated by moving the flexible transmission device 124 and the drive mounting plate 140 in conjunction with the movement.

第２駆動モジュール１３０はリニアモーターであり、固定子ユニット１３２および可動子ユニット１３４を含む。本実施態様において、固定子ユニット１３２は、永久磁石であってもよい、可動子ユニット１３４はコイルであってもよい。駆動載置板１４０は、可動子ユニット１３４と連結する。可動子ユニット１３４に電源を供給すると、その磁界の極性の変化によって、可動子ユニット１３４および固定子ユニット１３２との間に電磁力の発生を利用して可動子ユニット１３４を連動移動させて、可動子ユニット１３４に連結された駆動載置板１４０も連動して移動することにより、第２変位が生じる。   The second drive module 130 is a linear motor and includes a stator unit 132 and a mover unit 134. In this embodiment, the stator unit 132 may be a permanent magnet, and the mover unit 134 may be a coil. The drive placement plate 140 is connected to the mover unit 134. When power is supplied to the mover unit 134, the mover unit 134 is moved in conjunction with the mover unit 134 and the stator unit 132 using the generation of electromagnetic force due to the change in the polarity of the magnetic field. The drive placement plate 140 connected to the child unit 134 also moves in conjunction with each other, thereby generating a second displacement.

特にここで注意すべきのは、可動子ユニット１３４は、コイルであり、固定子ユニット１３２は、永久磁石である。これによって、固定子ユニット１３２は、コイルの極性を変化することにより、可動子ユニット１３４を駆動させることができる。リニアモーター１３０において、固定子ユニット１３２および可動子ユニット１３４互いには磁気伝導であるから、リニアモーター１３０の負荷重量がより低くなる。また、従来のモーターと可撓性伝動装置と組み合わせる場合、可撓性伝動装置が移動している時に、ベルトの剛性が悪いので、可撓性伝動装置の位置決めが不精確である。本発明では、従来のモーターを第１駆動モジュール１２０として使用することにより、速度が速い長所を取り入れ、高速な位置決めを行うに用いる。それに加えて、リニアモーターを第２駆動モジュール１３０として使用することにより、精度を制御することができる。従って、従来のモーターおよびリニアモーターの組み合わせにより、ダイボンダの効率を向上できる。   It should be particularly noted here that the mover unit 134 is a coil, and the stator unit 132 is a permanent magnet. Thus, the stator unit 132 can drive the mover unit 134 by changing the polarity of the coil. In the linear motor 130, since the stator unit 132 and the mover unit 134 are magnetically conductive with each other, the load weight of the linear motor 130 becomes lower. Further, when the conventional motor and the flexible transmission are combined, the positioning of the flexible transmission is inaccurate because the rigidity of the belt is poor when the flexible transmission is moving. In the present invention, a conventional motor is used as the first drive module 120 to take advantage of a high speed and to perform high-speed positioning. In addition, the accuracy can be controlled by using a linear motor as the second drive module 130. Therefore, the efficiency of the die bonder can be improved by the combination of the conventional motor and the linear motor.

図２に示すような本発明の実施態様に係るダイボンダを参照する。図１と図２によれば、本発明に係るダイボンダ１は、駆動装置１００、平台２００、ボンディングアーム３００および測定ユニット４００を含む。駆動装置１００は、平台２００に取付けられ、ボンディングアーム３００は、駆動装置１００の駆動載置板１４０に設けられることにより、駆動載置板１４０と連動して移動する。測定ユニット４００は、駆動装置本体１１０に設けられ、駆動載置板１４０の変位を測定することができる。   Reference is made to a die bonder according to an embodiment of the invention as shown in FIG. 1 and 2, the die bonder 1 according to the present invention includes a driving device 100, a flat table 200, a bonding arm 300, and a measurement unit 400. The driving device 100 is attached to the flat table 200, and the bonding arm 300 is provided on the driving mounting plate 140 of the driving device 100, thereby moving in conjunction with the driving mounting plate 140. The measurement unit 400 is provided in the drive device main body 110 and can measure the displacement of the drive mounting plate 140.

駆動載置板１４０を移動すると、同時にボンディングアーム３００も移動する。駆動装置１００が起動すると、まず、第１駆動モジュール１２０の駆動ユニット１２２より、可撓性伝動装置１２４と連動して、可撓性伝動装置１２４に連結された駆動載置板１４０およびボンディングアーム３００も連動して、第１変位が生じる。ボンディングアーム３００が第１変位を移動した後に、第１駆動モジュール１２０は、ボンディングアーム３００の駆動を中止する。中止した後には、あらかじめ組み込まれたプログラムの制御により、数マイクロ秒ないし数十秒以内に、第２駆動モジュール１３０によって、可動子ユニット１３４に連結された駆動載置板１４０を連動し、駆動載置板１４０およびボンディングアーム３００を作動させ、ボンディングアーム３００が所定位置に移動するまでに、第２変位が生じる。この第２変位は、第１変位と互いに平行しているため、２つの移動経路が互いに干渉することがない。また、ボンディングアーム３００を正確に位置決めすることができる。第１変位の移動速度は、第２変位の移動速度より速いため、ボンディングアーム３００は第１変位を移動している時に、高速な移動を行い、第２変位を移動している時に、所定位置へ精確に移動できる。さらに、リニアモーターは従来のモーターより高精度の位置決め特長を有するため、第２変位の移動精度は、第１変位の移動精度より高い。   When the drive mounting plate 140 is moved, the bonding arm 300 is also moved at the same time. When the drive device 100 is activated, first, the drive mounting plate 140 and the bonding arm 300 coupled to the flexible transmission device 124 are linked with the flexible transmission device 124 from the drive unit 122 of the first drive module 120. In conjunction with each other, the first displacement occurs. After the bonding arm 300 moves the first displacement, the first drive module 120 stops driving the bonding arm 300. After the suspension, the drive mounting plate 140 connected to the mover unit 134 is interlocked by the second drive module 130 within several microseconds to several tens of seconds under the control of a program incorporated in advance. The second displacement occurs until the mounting plate 140 and the bonding arm 300 are operated and the bonding arm 300 moves to a predetermined position. Since the second displacement is parallel to the first displacement, the two movement paths do not interfere with each other. Further, the bonding arm 300 can be accurately positioned. Since the moving speed of the first displacement is faster than the moving speed of the second displacement, the bonding arm 300 moves at a high speed when moving the first displacement, and moves to the predetermined position when moving the second displacement. You can move to precisely. Furthermore, since the linear motor has a positioning feature with higher accuracy than the conventional motor, the movement accuracy of the second displacement is higher than the movement accuracy of the first displacement.

以上の作動方式は、ボンディングアーム３００を効率的に移動できる長所を有する。まず、ボンディングアーム３００を第１駆動モジュール１２０により、高速、かつ大きい範囲の移動を行い、第２駆動モジュール１３０により、ボンディングアーム３００を小さい範囲、かつ精度の高い移動を行う。この場合、測定ユニット４００は、ボンディングアーム３００の変位を測定し、あらかじめ組み込まれたプログラムにより、ボンディングアーム３００の変位および所定位置の距離差に基づいて、第１駆動モジュール１２０または第２駆動モジュール１３０の両者のいずれかの１つにボンディングアーム３００の移動を駆動する。測定ユニット４００は、光学スケールであってもよい、平台２００に取付けられる光学ピックアップヘッド５００と組み合わせて、測定および位置決めを行う。光学ピックアップヘッド５００は、光学スケール４００の目盛を読み取り、ボンディングアーム３００の変位を測定する。よって、第１駆動モジュール１２０および第２駆動モジュール１３０の組み合わせて運用することにより、本発明の高効率、かつ精密な位置決めおよび移動という長所が達成できる。また、上記した第１変位および第２変位の作動方式を含み、片方向移動のほかに、往復の双方向移動で実施しても良い。特に、注意すべきのは、光学スケール４００は、平台２００に設けられ、光学ピックアップヘッド５００は、駆動装置本体１１０に設けられても良い。なお、光学スケール４００および光学ピックアップヘッド５００の位置を逆に設けられても、両者が本発明に係る測定機能を損なわれない。   The above operation method has an advantage that the bonding arm 300 can be moved efficiently. First, the bonding arm 300 is moved at a high speed and in a large range by the first drive module 120, and the bonding arm 300 is moved at a small range and with high accuracy by the second drive module 130. In this case, the measurement unit 400 measures the displacement of the bonding arm 300, and based on the displacement of the bonding arm 300 and the distance difference between the predetermined positions according to a program incorporated in advance, the first drive module 120 or the second drive module 130. The movement of the bonding arm 300 is driven to one of the two. The measurement unit 400 performs measurement and positioning in combination with an optical pickup head 500 attached to the flat table 200, which may be an optical scale. The optical pickup head 500 reads the scale of the optical scale 400 and measures the displacement of the bonding arm 300. Therefore, by using the first drive module 120 and the second drive module 130 in combination, the advantages of high efficiency and precise positioning and movement of the present invention can be achieved. Further, the above-described first displacement and second displacement operation methods are included, and in addition to the one-way movement, the two-way movement may be performed in a reciprocating manner. In particular, it should be noted that the optical scale 400 may be provided on the flat table 200 and the optical pickup head 500 may be provided on the drive device main body 110. Even if the positions of the optical scale 400 and the optical pickup head 500 are reversed, both do not impair the measurement function according to the present invention.

以上に説明した通り、本発明に係る駆動装置およびダイボンダの特長は第１駆動モジュールにより、大きい範囲の移動と第２駆動モジュールにより、小さい範囲、かつ精密な移動との組み合わせことによって、ボンディングアームの移動速度を向上しつつ、従来の移動精度が維持される。   As described above, the features of the drive device and the die bonder according to the present invention are that the first drive module combines the large range of movement and the second drive module with the small range and precise movement, thereby allowing the bonding arm to The conventional movement accuracy is maintained while improving the movement speed.

なお、発明を実施するための形態の項においてなした具体的な実施態様および実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、当業者は、本発明の趣旨の範囲内で添付の特許請求を変更して実施することができる。   It should be noted that the specific embodiments and examples made in the section for carrying out the invention are only to clarify the technical contents of the present invention, and are limited to such specific examples. It should not be construed in a narrow sense, and those skilled in the art can implement the invention by changing the attached claims within the scope of the present invention.

１：ダイボンダ
１００：駆動装置
１１０：駆動装置本体
１２０：第１駆動モジュール
１２２：駆動ユニット
１２４：可撓性伝動装置
１２６：回転軸
１３０：第２駆動モジュール
１３２：固定子ユニット
１３４：可動子ユニット
１４０：駆動載置板
１４２：接続部
２００：平台
３００：ボンディングアーム
４００：測定ユニット
５００：光学ピックアップヘッド 1: die bonder 100: drive device 110: drive device main body 120: first drive module 122: drive unit 124: flexible transmission device 126: rotating shaft 130: second drive module 132: stator unit 134: mover unit 140 : Drive mounting plate 142: Connection part 200: Flat table 300: Bonding arm 400: Measuring unit 500: Optical pickup head

Claims (21)

駆動装置であって、
駆動装置本体と、
前記駆動装置本体の一側面に設けられる駆動載置板と、
前記駆動装置本体に取付けられ、前記駆動載置板を連動し、第１変位を生じる第１駆動モジュールと、
前記駆動装置本体に取付けられ、前記駆動載置板を連動し、第２変位を生じる第２駆動モジュールと、
を含み、
前記第１変位の移動速度は、前記第２変位の移動速度より速く、前記第２変位の移動精度は、前記第１変位の移動精度より高いことを特徴とする駆動装置。 A drive device comprising:
A drive device body;
A drive mounting plate provided on one side surface of the drive device body;
A first drive module attached to the drive device body, interlocking with the drive mounting plate, and generating a first displacement;
A second drive module attached to the drive device body, interlocking with the drive mounting plate, and generating a second displacement;
Including
The driving device according to claim 1, wherein a moving speed of the first displacement is faster than a moving speed of the second displacement, and a moving accuracy of the second displacement is higher than a moving accuracy of the first displacement. 前記第１駆動モジュールは、
駆動ユニットと、
前記駆動ユニットによって前記第１変位を生じる可撓性伝動装置と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。 The first drive module includes:
A drive unit;
A flexible transmission that produces the first displacement by the drive unit;
The drive device according to claim 1, comprising: 前記駆動ユニットは、
モーターであることを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。 The drive unit is
The drive device according to claim 2, wherein the drive device is a motor. 前記第１駆動モジュールは、
少なくとも２本の回転軸と、
前記２本の回転軸のうちの１本に貼り付ける前記可撓性伝動装置であるベルトコンベヤと、
を含み、
前記２本の回転軸のうちの１本は、前記駆動ユニットに枢接して、前記駆動ユニットによって前記回転軸を駆動して回転させると、前記回転軸と連動するベルトコンベヤを移動させて、前記第１変位を生じることを特徴とする請求項２又は請求項３のいずれかに記載の駆動装置。 The first drive module includes:
At least two axes of rotation;
A belt conveyor which is the flexible transmission device attached to one of the two rotating shafts;
Including
One of the two rotating shafts is pivotally connected to the driving unit, and when the rotating shaft is driven and rotated by the driving unit, the belt conveyor interlocked with the rotating shaft is moved, The drive device according to claim 2, wherein the first displacement is generated. 前記第２駆動モジュールは、
リニアモーターであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の駆動装置。 The second drive module includes:
The drive device according to any one of claims 1 to 4, wherein the drive device is a linear motor. 前記第２駆動モジュールは、
固定子ユニットと、
可動子ユニットと、
を含み、
前記可動子ユニットは、
前記固定子ユニットの内側に設けられることを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。 The second drive module includes:
A stator unit;
A mover unit;
Including
The mover unit is
The drive device according to claim 5, wherein the drive device is provided inside the stator unit. 前記可動子ユニットと前記駆動載置板と連結し、前記固定子ユニットより前記可動子ユニットを駆動して移動させると、前記可動子ユニットと連動する前記駆動載置板を移動させて、第２変位を生じることを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。   When the mover unit and the drive mounting plate are connected and the mover unit is driven and moved by the stator unit, the drive placement plate interlocked with the mover unit is moved, and the second The drive device according to claim 6, wherein displacement is generated. 前記固定子ユニットは永久磁石であり、
前記可動子ユニットはコイルであることを特徴とする請求項６又は請求項７のいずれかに記載の駆動装置。 The stator unit is a permanent magnet;
The drive unit according to claim 6, wherein the mover unit is a coil. 前記駆動載置板は、
接続部を有し、
前記接続部を介して、前記可撓性伝動装置と連結され、
前記駆動ユニットによって前記可撓性伝動装置を駆動して移動させると、前記可撓性伝動装置と連動する前記駆動載置板を移動させて、第１変位を生じることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。 The drive mounting plate is
Having a connection,
It is connected to the flexible transmission device via the connection part,
2. The first displacement is generated by moving the drive mounting plate interlocked with the flexible transmission device when the flexible transmission device is driven and moved by the drive unit. The drive device described in 1. 前記第１変位は、前記第２変位と互いに平行であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記載の駆動装置。   The drive device according to claim 1, wherein the first displacement is parallel to the second displacement. ダイボンダであって、
平台と、
前記平台に設けられる駆動装置と、
ボンディングアームと、
測定ユニットと、
を含み、
前記駆動装置は、
駆動装置本体と、
前記駆動装置本体の一側面に設けられる駆動載置板と、
前記駆動装置本体に取付けられ、前記駆動載置板を駆動して、第１変位を生じる第１駆動モジュールと、
前記駆動装置本体に取付けられ、前記駆動載置板を駆動して、第２変位を生じる第２駆動モジュールと、
を含み、
前記ボンディングアームは、
前記駆動載置板に設けられ、
前記測定ユニットは、
前記駆動装置本体の一側面に設けられ、前記駆動載置板の移動量を測定し、
、
前記第１変位の移動速度は、前記第２変位の移動速度より速く、前記第２変位の移動精度は、前記第１変位の移動精度より高いことを特徴するダイボンダ。 A die bonder,
Flatbed,
A driving device provided on the flat table;
A bonding arm,
A measurement unit;
Including
The driving device includes:
A drive device body;
A drive mounting plate provided on one side surface of the drive device body;
A first drive module attached to the drive device body and driving the drive mounting plate to generate a first displacement;
A second drive module attached to the drive device body and driving the drive mounting plate to generate a second displacement;
Including
The bonding arm is
Provided on the drive mounting plate;
The measurement unit is
Provided on one side of the drive device body, measure the amount of movement of the drive mounting plate,
,
The die bonder characterized in that the moving speed of the first displacement is faster than the moving speed of the second displacement, and the moving accuracy of the second displacement is higher than the moving accuracy of the first displacement. 前記第１駆動モジュールは、
駆動ユニットと、
前記駆動ユニットによって前記第１変位を生じる可撓性伝動装置と、
を含むことを特徴とする請求項１１に記載のダイボンダ。 The first drive module includes:
A drive unit;
A flexible transmission that produces the first displacement by the drive unit;
The die bonder according to claim 11, comprising: 前記駆動ユニットは、
モーターであることを特徴とする請求項１２に記載のダイボンダ。 The drive unit is
The die bonder according to claim 12, wherein the die bonder is a motor. 前記第１駆動モジュールは、
少なくとも２本の回転軸をさらに含み、
前記可撓性伝動装置は、
前記２本の回転軸のうちの１本に貼り付け、
前記２本の回転軸のうちの１本は、
前記駆動ユニットに枢接して、前記駆動ユニットによって前記回転軸を駆動して回転させると、前記回転軸と連動する可撓性伝動装置を移動させて、前記第１変位を生じることを特徴とする請求項１２又は請求項１３のいずれかに記載のダイボンダ。 The first drive module includes:
Further comprising at least two axes of rotation;
The flexible transmission is
Affixing to one of the two rotating shafts,
One of the two rotating shafts is
When the rotary shaft is pivoted by the drive unit and driven by the drive unit, the flexible transmission device interlocked with the rotary shaft is moved to generate the first displacement. 14. A die bonder according to claim 12 or claim 13. 前記第２駆動モジュールは、
リニアモーターであることを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれかに記載のダイボンダ。 The second drive module includes:
The die bonder according to any one of claims 11 to 14, wherein the die bonder is a linear motor. 前記第２駆動モジュールは、
固定子ユニットと、
可動子ユニットと、
を含み、
前記可動子ユニットは、
前記固定子ユニットの内側に設けられることを特徴とする請求項１５に記載のダイボンダ。 The second drive module includes:
A stator unit;
A mover unit;
Including
The mover unit is
The die bonder according to claim 15, wherein the die bonder is provided inside the stator unit. 前記可動子ユニットと前記駆動載置板と連結し、前記固定子ユニットより前記可動子ユニットを駆動して移動させると、前記可動子ユニットと連動する前記駆動載置板を移動させて、第２変位を生じることを特徴とする請求項１６に記載のダイボンダ。   When the mover unit and the drive mounting plate are connected and the mover unit is driven and moved by the stator unit, the drive placement plate interlocked with the mover unit is moved, and the second The die bonder according to claim 16, wherein the die bonder causes displacement. 前記固定子ユニットは永久磁石であり、
前記可動子ユニットはコイルであることを特徴とする請求項１６又は請求項１７のいずれかに記載のダイボンダ。 The stator unit is a permanent magnet;
The die bonder according to claim 16 or 17, wherein the mover unit is a coil. 前記駆動載置板は、
接続部を有し、
前記接続部を介して、前記可撓性伝動装置と連結され、
前記駆動ユニットによって前記可撓性伝動装置を駆動して移動させると、前記可撓性伝動装置と連動する前記駆動載置板を移動させて、第１変位を生じることを特徴とする請求項１１に記載のダイボンダ。 The drive mounting plate is
Having a connection,
It is connected to the flexible transmission device via the connection part,
12. When the flexible transmission device is driven and moved by the drive unit, the drive mounting plate interlocked with the flexible transmission device is moved to generate a first displacement. The die bonder described in 1. 前記第１変位は、前記第２変位と互いに平行であることを特徴とする請求項１１から請求項１９のいずれかに記載のダイボンダ。   The die bonder according to any one of claims 11 to 19, wherein the first displacement is parallel to the second displacement. 前記測定ユニットは、光学スケールであることを特徴とする請求項１１から請求項２０のいずれかに記載のダイボンダ。   21. The die bonder according to claim 11, wherein the measurement unit is an optical scale.
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