JP2011009324A - ドレスボード保持テーブルおよび切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削ブレード41に切削されることにより、切削ブレード41をドレッシングするドレスボード71を吸着保持する吸着面66と、ドレスボード71の一端側に係合し、ドレスボードの一端側の反りを押える係合部63とを有し、吸着面66に形成された吸着領域が、ドレスボード71の一端側から他端側に向けて増加するように形成され、吸着力をドレスボード71の他端側に偏らせるように構成した。
【選択図】図5
Description
2 ブレードユニット
3 チャックテーブル(ワーク保持テーブル)
12 チャックテーブル移動機構
14 ブレードユニット移動機構
41 切削ブレード
45 θテーブル
46 テーブル支持部
47 ワーク保持部
48 フレーム保持部
49 ドレスボード保持テーブル
61 支持アーム
62 テーブル本体
63 係合部(反り押え部)
66 吸着面
67 縦溝(吸着領域)
68 横溝(吸着領域)
69 吸引孔
71 ドレスボード
72 切削溝
W 半導体ウェーハ(ワーク)
Claims (3)
- 切削ブレードに切削されることにより、前記切削ブレードをドレッシングするドレスボードを吸着保持する吸着面と、
前記ドレスボードの一端側に係合し、前記ドレスボードの一端側の反りを押える反り押え部とを有し、
前記吸着面は、前記ドレスボードの一端側よりも他端側で吸着力が強くなるように形成されたことを特徴とするドレスボード保持テーブル。 - 前記吸着面の前記ドレスボードを吸引保持する吸着領域が、前記ドレスボードの一端側から他端側に向けて増加するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載のドレスボード保持テーブル。
- 請求項1または請求項2に記載のドレスボード保持テーブルと、
ワークを保持するワーク保持テーブルとを備え、
前記ドレスボード保持テーブルに保持されたドレスボードに対し、前記切削ブレードを相対移動させることにより前記切削ブレードをドレッシングすると共に、前記ワーク保持テーブルに保持されたワークに対し、前記切削ブレードを相対移動させることにより前記ワークを切削することを特徴とする切削装置。
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