JP2011008280A - 反射防止膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられる反射防止膜で、収差補正素子の基体上に少なくとも4つの層が形成され、この4つの層は、基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが5〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜200nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第3の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第4の層とを備えている。
【選択図】図2
Description
6 収差補正素子(光学素子)
40 四層の反射防止膜
50 五層の反射防止膜
60 六層の反射防止膜
90 九層の反射防止膜
Claims (9)
- 光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられる反射防止膜であって、
前記収差補正素子の基体上に少なくとも4つの層が形成され、この4つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが5〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜200nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第3の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第4の層とを備えていることを特徴とする反射防止膜。 - 前記基体上に少なくとも5つの層が形成され、この5つの層は、前記第1〜第4の層に加えて、前記基体と前記第1の層との間に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の内層を備えていることを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。
- 前記基体上に少なくとも6つの層が形成され、この6つの層は、前記第1〜第4の層に加えて、前記第3の層と前記第4の層との間に、前記基体側から順に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の外層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜200nmの第2の外層とを備えていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の反射防止膜。
- 前記基体上に少なくとも9つの層が形成され、この9つの層は、前記第1〜第4の層に加えて、前記基体と前記第1の層との間に、前記基体側から順に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の内層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが5〜50nmの第2の内層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜100nmの第3の内層とを備えると共に、前記第3の層と前記第4の層との間に、前記基体側から順に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の外層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜200nmの第2の外層とを備えていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の反射防止膜。
- 前記屈折率ndが2.0以上の層は、TiO2またはNb2O5を含む層であり、前記屈折率ndが1.5以下の層は、SiO2、MgF2及びCaF2から選ばれた層であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の反射防止膜。
- 前記第4の層は、最外層であることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の反射防止膜。
- 前記収差補正素子の表裏両面に設けられていることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の反射防止膜。
- 請求項1〜7の何れかに記載の反射防止膜が、収差補正素子に代えて、他の光学素子に設けられていることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜8の何れかに記載の反射防止膜が、ガラス板に設けられてなることを特徴とするガラス物品。
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