JP2011005694A - Template processor, imprint system, release agent processing method, program and computer storage medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表面に転写パターンが形成されたテンプレート上に離型剤を成膜するテンプレート処理装置、当該テンプレート処理装置を備えたインプリントシステム、当該テンプレート処理装置を用いた離型剤処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。 The present invention relates to a template processing apparatus for forming a release agent on a template having a transfer pattern formed on the surface, an imprint system including the template processing apparatus, a release agent processing method using the template processing apparatus, The present invention relates to a program and a computer storage medium.
例えば半導体デバイスの製造工程では、例えば半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という。)にフォトリソグラフィー処理を行い、ウェハ上に所定のレジストパターンを形成することが行われている。 For example, in a semiconductor device manufacturing process, for example, a photolithography process is performed on a semiconductor wafer (hereinafter referred to as “wafer”) to form a predetermined resist pattern on the wafer.
上述したレジストパターンを形成する際には、半導体デバイスのさらなる高集積化を図るため、当該レジストパターンの微細化が求められている。一般にフォトリソグラフィー処理における微細化の限界は、露光処理に用いる光の波長程度である。このため、従来より露光処理の光を短波長化することが進められている。しかしながら、露光光源の短波長化には技術的、コスト的な限界があり、光の短波長化を進める方法のみでは、例えば数ナノメートルオーダーの微細なレジストパターンを形成するのが困難な状況にある。 When the resist pattern described above is formed, the resist pattern is required to be miniaturized in order to achieve higher integration of the semiconductor device. In general, the limit of miniaturization in the photolithography process is about the wavelength of light used for the exposure process. For this reason, it has been advancing to shorten the wavelength of exposure light. However, there are technical and cost limitations to shortening the wavelength of the exposure light source, and it is difficult to form a fine resist pattern on the order of several nanometers, for example, only by the method of advancing the wavelength of light. is there.
そこで、近年、ウェハにフォトリソグラフィー処理を行う代わりに、いわゆるインプリントと呼ばれる方法を用いてウェハ上に微細なレジストパターンを形成することが提案されている。この方法は、表面に微細なパターンを有するテンプレート(モールドや型と呼ばれることもある。)をウェハ上に形成したレジスト表面に圧着させ、その後剥離し、当該レジスト表面に直接パターンの転写を行うものである(特許文献1)。 Therefore, in recent years, it has been proposed to form a fine resist pattern on a wafer by using a so-called imprint method instead of performing a photolithography process on the wafer. In this method, a template (sometimes called a mold or a mold) having a fine pattern on the surface is pressure-bonded to the resist surface formed on the wafer, then peeled off, and the pattern is directly transferred to the resist surface. (Patent Document 1).
ところで、上述したインプリント方法を繰り返し行うと、すなわち一のテンプレートを用いて複数のウェハ上にレジストパターンを形成すると、ある時点からパターンの転写が正しく行われなくなる。例えばテンプレートの表面には、通常、レジストに対して撥液性を有する離型剤が成膜されているが、この離型剤が劣化してしまうことによる。このため、テンプレートを定期的に交換する必要がある。 By the way, if the above-described imprint method is repeated, that is, if a resist pattern is formed on a plurality of wafers using a single template, the pattern cannot be transferred correctly from a certain point in time. For example, a release agent having a liquid repellency with respect to the resist is usually formed on the surface of the template. This is because the release agent deteriorates. For this reason, it is necessary to exchange a template regularly.
また、複数のウェハ上に異なるレジストパターンを形成する場合には、各レジストパターン毎にテンプレートを交換する必要がある。 Further, when different resist patterns are formed on a plurality of wafers, it is necessary to exchange templates for each resist pattern.
このように複数のウェハ上にレジストパターンを形成するためには、交換用のテンプレートが複数必要になる。すなわち、これら複数のテンプレートに対して、予めその表面に離型剤を形成しておく必要がある。 Thus, in order to form a resist pattern on a plurality of wafers, a plurality of replacement templates are required. That is, it is necessary to form a release agent on the surfaces of these templates in advance.
しかしながら、従来のインプリント方法では、かかる離型剤の成膜を効率よく行うことは全く考慮されていなかった。例えば離型剤の成膜は、通常、テンプレート毎に手作業で行われている。このため、テンプレートを成膜するのに時間がかかり、要求されるタイミングでテンプレートを交換できない場合があった。また、テンプレート上の離型剤が不均一になる等、離型剤を精度よく均一に成膜することができない場合があった。したがって、複数のウェハに対して所定のレジストパターンを連続的に形成することは現実的に困難であり、半導体デバイスの量産化に対応できなかった。 However, in the conventional imprint method, efficient film formation of such a release agent has not been considered at all. For example, film formation of a release agent is usually performed manually for each template. For this reason, it takes time to form a template, and the template may not be exchanged at a required timing. In addition, the release agent on the template may not be uniform, so that the release agent may not be formed accurately and uniformly. Therefore, it is practically difficult to continuously form a predetermined resist pattern on a plurality of wafers, and it has not been possible to cope with mass production of semiconductor devices.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、複数のテンプレートに対して離型剤を連続的に成膜することを目的とする。 The present invention has been made in view of such points, and an object thereof is to continuously form a release agent on a plurality of templates.
前記の目的を達成するため、本発明は、表面に転写パターンが形成されたテンプレート上に離型剤を成膜するテンプレート処理装置であって、前記テンプレートを搬送する複数の搬送ローラを備え、搬送中の前記テンプレートに所定の処理を行い、当該テンプレートの表面に離型剤を成膜する処理ステーションと、複数の前記テンプレートを保有可能で、且つ前記処理ステーションに対して前記テンプレートを搬入出するテンプレート搬入出ステーションと、を有し、前記処理ステーションは、前記テンプレートの表面を洗浄する洗浄ユニットと、前記洗浄されたテンプレートの表面に離型剤を塗布する塗布ユニットと、前記塗布された離型剤を焼成する加熱ユニットと、を有することを特徴としている。なお、テンプレートを搬送中とは、搬送ローラ上でテンプレートが一時的に停止している場合も含む。 In order to achieve the above object, the present invention provides a template processing apparatus for forming a release agent on a template having a transfer pattern formed on the surface thereof, and includes a plurality of conveyance rollers for conveying the template. A processing station for performing predetermined processing on the template in the film, and forming a release agent on the surface of the template; a template capable of holding a plurality of the templates and carrying the template into and out of the processing station A loading / unloading station, wherein the processing station cleans the surface of the template, a coating unit that applies a release agent to the surface of the cleaned template, and the applied release agent. And a heating unit for firing. It should be noted that “transporting a template” includes a case where the template is temporarily stopped on the transport roller.
本発明によれば、テンプレート搬入出ステーションが複数のテンプレートを保有できるので、当該テンプレート搬入出ステーションから処理ステーションにテンプレートを連続して搬送することができる。また、処理ステーションにおいては、複数の搬送ローラによって洗浄ユニット、塗布ユニット、加熱ユニットの各種処理ユニットにテンプレートがコロ搬送され、当該搬送中のテンプレートに所定の処理を行うことができるので、複数のテンプレートに対して所定の処理を連続して行うことができる。したがって、これら複数のテンプレートに対して離型剤を連続的に成膜することができる。 According to the present invention, since the template loading / unloading station can hold a plurality of templates, the template can be continuously conveyed from the template loading / unloading station to the processing station. In the processing station, the template is roller-transferred to various processing units such as a cleaning unit, a coating unit, and a heating unit by a plurality of transfer rollers, and a predetermined process can be performed on the template being transferred. The predetermined processing can be continuously performed on the above. Therefore, the release agent can be continuously formed on the plurality of templates.
前記加熱ユニットは、前記テンプレートを加熱する加熱部を有し、前記加熱部は、前記テンプレートの転写パターン側に配置されていてもよい。 The heating unit may include a heating unit that heats the template, and the heating unit may be disposed on a transfer pattern side of the template.
前記塗布ユニットは、前記テンプレートの表面に液体状の離型剤を供給する離型剤供給部を有し、前記処理ステーションは、前記加熱ユニットで焼成された離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去するリンスユニットを有していてもよい。なお、離型剤の未反応部とは、離型剤がテンプレートの表面と化学反応して吸着する部分以外をいう。 The coating unit includes a release agent supply unit that supplies a liquid release agent to the surface of the template, and the processing station rinses the release agent baked by the heating unit and performs the release. You may have the rinse unit which removes the unreacted part of a type | mold agent. The unreacted part of the release agent means a part other than the part where the release agent is chemically reacted with the surface of the template and adsorbed.
前記塗布ユニットは、前記テンプレートの表面に気体状の離型剤を供給する離型剤供給部を有していてもよい。かかる場合、前記塗布ユニットは、前記テンプレートの温度を制御する温度制御部を有していてもよい。 The coating unit may include a release agent supply unit that supplies a gaseous release agent to the surface of the template. In such a case, the coating unit may include a temperature control unit that controls the temperature of the template.
複数の前記テンプレートは一のホルダーに保持されていてもよい。 The plurality of templates may be held by one holder.
前記ユニットのうち、少なくとも2以上のユニットは、テンプレートの搬入出口を介して連続して配置されていてもよい。 Among the units, at least two or more units may be continuously arranged via a template loading / unloading port.
別な観点による本発明は、前記テンプレート処理装置を備えたインプリントシステムであって、前記処理ステーションで表面に離型剤が成膜された前記テンプレートを用いて、前記転写パターンを基板上に形成される塗布膜に転写し、当該塗布膜に所定のパターンを形成するインプリントユニットと、複数の前記基板を保有可能で、前記インプリントユニットに対して前記基板を搬入出する基板搬入出ステーションと、を有することを特徴としている。 According to another aspect of the present invention, there is provided an imprint system including the template processing apparatus, wherein the transfer pattern is formed on a substrate using the template having a release agent formed on the surface thereof at the processing station. An imprint unit that transfers to the coating film and forms a predetermined pattern on the coating film; and a substrate loading / unloading station that can hold a plurality of the substrates and that loads and unloads the substrate to and from the imprint unit. It is characterized by having.
また別な観点による本発明は、表面に転写パターンが形成されたテンプレートをコロ搬送し、当該テンプレート上に離型剤を成膜する離型剤処理方法であって、
前記テンプレートの表面を洗浄する洗浄工程と、その後、前記洗浄されたテンプレートの表面に離型剤を塗布する塗布工程と、その後、前記塗布された離型剤を焼成する加熱工程と、を有し、前記洗浄工程、前記塗布工程及び前記加熱工程は、搬送中のテンプレートに対して行われることを特徴としている。
Another aspect of the present invention is a mold release agent processing method in which a template having a transfer pattern formed on a surface thereof is roller-transported and a mold release agent is formed on the template.
A cleaning step of cleaning the surface of the template, a coating step of applying a release agent to the surface of the cleaned template, and a heating step of baking the applied release agent thereafter. The cleaning step, the coating step, and the heating step are performed on the template being conveyed.
前記加熱工程において、前記テンプレートの転写パターン側から当該テンプレートを加熱し焼成してもよい。 In the heating step, the template may be heated and baked from the transfer pattern side of the template.
前記塗布工程において、前記テンプレートの表面に液体状の離型剤を供給し、前記加熱工程後、前記焼成された離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去するリンス工程を有していてもよい。 In the coating step, a rinsing step of supplying a liquid release agent to the surface of the template, rinsing the baked release agent after the heating step, and removing an unreacted portion of the release agent You may have.
前記塗布工程において、前記テンプレートの表面に気体状の離型剤を供給してもよい。かかる場合、前記塗布工程において、前記テンプレートの温度は所定の温度に制御されていてもよい。 In the coating step, a gaseous release agent may be supplied to the surface of the template. In such a case, in the coating step, the temperature of the template may be controlled to a predetermined temperature.
複数の前記テンプレートは一のホルダーに保持されていてもよい。 The plurality of templates may be held by one holder.
また別な観点による本発明によれば、前記離型剤処理方法をテンプレート処理装置によって実行させるために、当該テンプレート処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。 According to another aspect of the present invention, there is provided a program that operates on a computer of a control unit that controls the template processing apparatus in order to cause the template processing apparatus to execute the release agent processing method.
さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。 According to another aspect of the present invention, a readable computer storage medium storing the program is provided.
本発明によれば、複数のテンプレートに対して離型剤を連続的に成膜することができる。 According to the present invention, a release agent can be continuously formed on a plurality of templates.
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかるテンプレート処理装置1の構成の概略を示す平面図である。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of the
本実施の形態のテンプレート処理装置1では、図2に示すように直方体形状を有し、表面に所定の転写パターンCが形成されたテンプレートTが用いられる。以下、転写パターンCが形成されているテンプレートTの面を表面T1といい、当該表面T1と反対側の面を裏面T2という。なお、テンプレートTには、可視光、近紫外光、紫外線などの光を透過可能な透明材料、例えばガラスが用いられる。
In the
テンプレート処理装置1は、図1に示すように複数、例えば5枚のテンプレートTをカセット単位で外部とテンプレート処理装置1との間で搬入出したり、テンプレートカセットCTに対してテンプレートTを搬入出したりするテンプレート搬入出ステーション2と、テンプレートTに所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理ステーション3とを一体に接続した構成を有している。
テンプレート搬入出ステーション2には、カセット載置台10が設けられている。カセット載置台10は、複数のテンプレートカセットCTをX方向(図1中の上下方向)に一列に載置自在になっている。すなわち、テンプレート搬入出ステーション2は、複数のテンプレートTを保有可能に構成されている。
The template loading /
テンプレート搬入出ステーション2には、X方向に延伸する搬送路11上を移動可能なテンプレート搬送体12が設けられている。テンプレート搬送体12は、鉛直方向及び鉛直周り(θ方向)にも移動自在であり、テンプレートカセットCTと処理ステーション3との間でテンプレートTを搬送できる。
The template carry-in / out
処理ステーション3は、テンプレートTの搬送ラインAを備えている。搬送ラインAは、処理ステーション3において、正面側(図1のX方向負方向側)に配置されY方向に延びるラインA1と、テンプレート搬入出ステーション2と反外側の端部においてX方向に延びるラインA2と、背面側(図1のX方向正方向側)においてY方向に延びるラインA3とをこの順で接続した構成を有している。搬送ラインAには、後述する複数の搬送ローラ30が並べて配置され、コロ搬送によりテンプレートTを搬送することができる。すなわち、テンプレート搬入出ステーション2から処理ステーション3に搬送されたテンプレートTは、ラインA1、A2、A3を順次搬送される。
The
ラインA1には、テンプレート搬入出ステーション2側から順に、テンプレートTの受け渡しを行うためのトランジションユニット20、テンプレートT上に離型剤が成膜される前の表面T1を洗浄する洗浄ユニット21、テンプレートTに液体状の離型剤を塗布する塗布ユニット22が一列に配置されている。
The line A1, in order from the template carry-out
ラインA2には、テンプレートTを加熱処理する加熱ユニット23が配置されている。
A
ラインA3には、テンプレート搬入出ステーション2側に向けて順に、テンプレートTの温度を調節する温度調節ユニット24、テンプレートT上の離型剤をリンスするリンスユニット25、トランジションユニット26が一列に配置されている。
In the line A3, a
次に、上述した搬送ラインAにおけるテンプレートTの搬送機構について説明する。搬送ラインAには、図3及び図4に示すように、複数の搬送ローラ30が搬送ラインAに沿った方向に並べて配置されている。各搬送ローラ30は、搬送ラインAに沿った方向と直角方向に延伸する中心軸を回転軸として回転自在に構成されている。また、複数の搬送ローラ30のうち、少なくとも一の搬送ローラ30には、例えばモータなどを内蔵した駆動機構(図示せず)が設けられている。そして、テンプレートTは、これら搬送ローラ30上をトランジションユニット20、26間で搬送される。
Next, the transport mechanism for the template T in the transport line A described above will be described. In the transport line A, a plurality of
次に、上述した搬送ラインAのトランジションユニット20、26の構成について説明する。搬送ラインAのトランジションユニット20は、図3に示すようにテンプレートTを下方から支持し昇降させるための昇降ピン40を有している。昇降ピン40は、搬送ローラ30の下方に設けられた昇降駆動部41により上下動できる。また、昇降ピン40は、搬送ラインAに沿って並べて配置された複数の搬送ローラ30間を挿通するよう配置されている。この昇降ピン40により、テンプレートTは、テンプレート搬送体12から搬送ローラ30に載置される。
Next, the configuration of the
なお、トランジションユニット26の構成は、上述したトランジションユニット20の構成と同様であるので説明を省略する。
Note that the configuration of the
次に、上述した搬送ラインAの各処理ユニット21〜25の構成について、図4に基づいて説明する。なお、搬送ラインAは、先に図1に示したようにラインA2において直角方向に折れ曲がっているが、図4においては、構成の理解の容易さを優先させるため、直線状で示されている。 Next, the structure of each processing unit 21-25 of the conveyance line A mentioned above is demonstrated based on FIG. The transport line A is bent in the direction perpendicular to the line A2 as shown in FIG. 1, but is shown in a straight line in FIG. 4 in order to give priority to the understanding of the configuration. .
搬送ラインAには、図4に示すようにケーシング50が設けられている。ケーシング50内は複数の仕切壁51によって区画され、区画された各空間が処理ユニット21〜25をそれぞれ構成している。これら仕切壁51及びケーシング50のトランジションユニット20、26側の側面には、搬送ローラ30に対応する高さにテンプレートTの搬入出口52がそれぞれ形成されている。なお、各搬入出口52には、開閉シャッタ(図示せず)が設けられ、各処理ユニット21〜25の内部を密閉可能になっていてもよい。
As shown in FIG. 4, the conveyance line A is provided with a
洗浄ユニット21は、テンプレートTに紫外線を照射する紫外線照射部60を有している。紫外線照射部60は、搬送ローラ30の上方に配置され、テンプレートTの幅方向(搬送ローラ30の長手方向)に延伸している。そして、搬送ローラ30上を搬送中のテンプレートTの表面T1に紫外線を照射することで、テンプレートTの表面T1全面に紫外線が照射される。
The
塗布ユニット22は、テンプレートT上に離型剤を供給する離型剤供給部としての離型剤ノズル61を有している。離型剤ノズル61は、搬送ローラ30の上方に配置されている。また、離型剤ノズル61は、テンプレートTの幅方向に延伸し、その下面には、スリット状の供給口(図示せず)が形成されている。そして、搬送ローラ30上を搬送中のテンプレートTの表面T1に離型剤ノズル61から離型剤を供給して、当該表面T1の全面に離型剤が塗布される。塗布ユニット22には、テンプレートTから落下した離型剤を回収して排出する排出管(図示せず)と、内部の雰囲気を排気する排気管(図示せず)がそれぞれ接続されている。なお、離型剤の材料には、後述するウェハ上のレジスト膜に対して撥液性を有する材料、例えばフッ素樹脂等が用いられる。
The
加熱ユニット23は、搬送ローラ30の上方に配置された加熱部としての熱板62を有している。熱板62の内部には、例えば給電により発熱するヒータが設けられており、熱板62を所定の設定温度に調節できる。また、熱板62は、テンプレートTの幅方向に延伸し、搬送ローラ30上を搬送中のテンプレートTを表面T1側(転写パターンC側)から加熱できる。なお、加熱ユニット23には、内部の雰囲気を排気する排気管(図示せず)が接続されている。また、図示の例では、熱板62はテンプレートTを表面T1側から加熱しているが、テンプレートTを裏面T2側から加熱するようにしてもよい。すなわち、熱板は、搬送ローラ30と同じ高さに配置されていてもよく、あるいは搬送ローラ30の下方に配置されていてもよい。さらに、これら熱板を両方配置して、テンプレートTを表面T1と裏面T2の両側から加熱してもよい。
The
温度調節ユニット24では、搬送ローラ30の一部が温度調節ローラ30aを構成している。温度調節ローラ30aの内部には、テンプレートTを冷却する冷却水が循環している。また、搬送ローラ30の上方には、例えば窒素等の不活性ガスや乾燥空気などの気体ガスを下方に吹き付けるガス供給部63が配置されている。ガス供給部63は、テンプレートTの幅方向に延伸し、搬送中のテンプレートTの表面T1全面に気体ガスを吹き付けることができる。これら温度調節ローラ30aとガス供給部63によって、テンプレートTは所定の温度に調節される。なお、温度調節ユニット23には、内部の雰囲気を排気する排気管(図示せず)が接続されている。
In the
リンスユニット25は、テンプレートT上に離型剤のリンス液としての有機溶剤を供給するリンス液ノズル64と、テンプレートT上に例えば窒素等の不活性ガスや乾燥空気などの気体ガスを吹き付けるガスノズル65とを有している。リンス液ノズル64とガスノズル65は、搬送ローラ30の上方であって、温度調節ユニット24側からこの順に配置されている。また、リンス液ノズル64とガスノズル65は、テンプレートTの幅方向にそれぞれ延伸し、その下面にはスリット状の供給口(図示せず)がそれぞれ形成されている。そして、搬送ローラ30上を搬送中のテンプレートT上の離型剤をリンス液ノズル64によってリンスし、その後リンスされたテンプレートTの表面T1をガスノズル65によって乾燥させることができる。なお、リンスユニット25には、テンプレートTから落下した有機溶剤を回収して排出する排出管(図示せず)と、内部の雰囲気を排気する排気管(図示せず)がそれぞれ接続されている。
The rinsing
以上のテンプレート処理装置1には、図1に示すように制御部100が設けられている。制御部100は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、テンプレート搬入出ステーション2と処理ステーション3との間のテンプレートTの搬送や、処理ステーション3における駆動系の動作などを制御して、テンプレート処理装置1における後述する離型剤処理を実行するプログラムが格納されている。なお、このプログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部100にインストールされたものであってもよい。
The
本実施の形態にかかるテンプレート処理装置1は以上のように構成されている。次に、そのテンプレート処理装置1で行われる離型剤を成膜する処理について説明する。図5は、この離型剤処理の主な処理フローを示し、図6は、各工程におけるテンプレートTの状態を示している。
The
先ず、テンプレート搬送体12によって、カセット載置台10上のテンプレートカセットCTからテンプレートTが取り出され、処理ステーション3のトランジションユニット20に搬送される(図5の工程E1)。このとき、テンプレートカセットCT内には、テンプレートTは、転写パターンCが形成された表面T1が上方を向くように収容されており、この状態でテンプレートTはトランジションユニット20に搬送される。
First, the
トランジションユニット20内に搬送されたテンプレートTは、昇降ピン40によって搬送ローラ30上に載置され、搬送ラインAに沿ってコロ搬送により所定の速度で搬送される。搬送ラインAでは、トランジションユニット20、洗浄ユニット21、塗布ユニット22、加熱ユニット23、温度調節ユニット24、リンスユニット25、トランジションユニット26に順次搬送され、各処理ユニット21〜25において搬送中のテンプレートTに所定の処理が行われる。
The template T transported into the
すなわち、搬送ラインAでは、先ず、洗浄ユニット21において、紫外線照射部60からテンプレートT上に紫外線が照射され、図6(a)に示すようにテンプレートTの表面T1が洗浄される(図5の工程E2)。続いて、塗布ユニット22において、離型剤ノズル61からテンプレートT上に離型剤Sを供給し、図6(b)に示すようにテンプレートTの表面T1全面に離型剤Sが塗布される(図5の工程E3)。その後、加熱ユニット23において、熱板62によりテンプレートTが例えば200℃に加熱され、図6(c)に示すようにテンプレートT上の離型剤Sが焼成される(図5の工程E4)。その後、温度調節ユニット24において、温度調節ローラ30aとガス供給部63によりテンプレートTが所定の温度に調節される。その後、リンスユニット25において、リンス液ノズル64からテンプレートTに有機溶剤を供給して、当該テンプレートT上の離型剤Sの未反応部のみを剥離させる。こうして、図6(d)に示すようにテンプレートT上に転写パターンCに沿った離型剤Sが成膜される(図5の工程E5)。続いて、同リンスユニット25において、ガスノズル65からテンプレートT上に気体ガスを吹き付け、その表面T1が乾燥される。
That is, in the transport line A, first, in the
その後、トランジションユニット26に搬送されたテンプレートTは、昇降ピン40によりテンプレート搬送体12に受け渡され、テンプレートカセットCTに戻される(図5の工程E6)。こうしてテンプレート処理装置1における一連の離型剤処理が終了する。
Thereafter, the template T carried to the
以上の実施の形態によれば、テンプレート搬入出ステーション2が複数のテンプレートTを保有できるので、当該テンプレート搬入出ステーション2から処理ステーション3にテンプレートTを連続して搬送することができる。また、処理ステーション3においては、複数の搬送ローラ30によって搬送ラインAに配置された各種処理ユニット21〜25にテンプレートTがコロ搬送され、当該搬送中のテンプレートTに所定の処理を行うことができるので、複数のテンプレートTに対して所定の処理を連続して行うことができる。したがって、これら複数のテンプレートTに対して、離型剤Sを連続的に成膜することができる。
According to the above embodiment, since the template loading /
ここで、テンプレートTは、例えば6.35mmの厚みを有する。本実施の形態によれば、加熱ユニット23内において、熱板62が搬送ローラ30の上方、すなわちテンプレートTの転写パターンC側(表面T1側)に配置されているので、テンプレートTの表面T1側から、当該表面T1上の離型剤Sを直接加熱することができる。したがって、テンプレートTの厚みに関わらず、離型剤Sを効率よく加熱して焼成することができる。また、熱板62がテンプレートTの下方に配置されている場合でも、熱伝導によってテンプレートTの裏面T2側から離型剤Sを効率よく加熱することができる。
Here, the template T has a thickness of 6.35 mm, for example. According to the present embodiment, since the
以上の実施の形態では、テンプレートT上への離型剤Sの塗布とテンプレートTの加熱は、それぞれ別の処理ユニット(塗布ユニット22と加熱ユニット23)で行われていたが、一の処理ユニットで行われてもよい。すなわち、一の処理ユニット内に、上述した離型剤ノズル61と熱板62を搬送ラインAに沿った方向にこの順で配置してもよい。
In the above embodiment, the application of the release agent S on the template T and the heating of the template T are performed in separate processing units (the
以上の実施の形態では、処理ステーション3の塗布ユニット22において、離型剤ノズル61からテンプレートT上に液体状の離型剤Sを供給することにより、テンプレートTの表面T1に離型剤Sを塗布していたが、テンプレートTの表面T1に気化した離型剤を堆積させて離型剤Sを成膜してもよい。かかる場合、図7に示すようにテンプレート処理装置1の搬送ラインAには、図1に示した塗布ユニット22とリンスユニット25に代えて、塗布ユニット110が配置される。すなわち、この場合、搬送ラインAのラインA1には、テンプレート搬入出ステーション2側から順に、トランジションユニット20、洗浄ユニット21、塗布ユニット110が一列に配置される。また、ラインA3には、加熱ユニット23、温度調節ユニット24、トランジションユニット26が一列に配置される。なお、ラインA2には、処理ユニットが配置されず、複数の搬送ローラ30のみが配置され、テンプレートTの搬送が行われる。
In the above embodiment, the release agent S is applied to the surface T 1 of the template T by supplying the liquid release agent S from the
塗布ユニット110は、図8に示すようにその内部にケーシング111を有している。ケーシング111の洗浄ユニット21側と加熱ユニット23側の側面には、搬送ローラ30に対応する高さにテンプレートTの搬入出口112がそれぞれ形成されている。なお、各搬入出口112には、開閉シャッタ(図示せず)が設けられ、ケーシング111の内部を密閉可能になっていてもよい。
The
ケーシング111には、テンプレートT上に気化した離型剤を供給する離型剤供給部としての離型剤ノズル113と、ケーシング111内の雰囲気を排気する排気管114がそれぞれ接続されている。離型剤ノズル113と排気管114は、洗浄ユニット21側からこの順で設けられている。そして、離型剤ノズル113から供給された気化した離型剤は、搬送ラインAに沿ったテンプレートTの搬送方向に流れ、テンプレートTの表面T1上に転写パターンCに沿って堆積する。
The
ケーシング111の内部の搬送ローラ30は、温度制御部としての温度制御ローラ30bを構成している。温度制御ローラ30bの内部には、所定の温度の温度調節水が循環している。この温度制御ローラ30bによって、テンプレートTを所定の温度に設定できる。
The
次に、かかる塗布ユニット110が配置された処理ステーション3において、テンプレートTに離型剤Sを成膜する方法について説明する。
Next, a method for forming the release agent S on the template T in the
処理ステーション3内では、先ず、テンプレートTは洗浄ユニット21に搬送され、図9(a)に示すようにテンプレートTの表面T1が洗浄される。その後、テンプレートTは塗布ユニット110に搬送され、図9(b)に示すようにテンプレートTの表面T1上に気化した離型剤S0が供給され、当該離型剤S0が転写パターンCに沿って堆積する。このとき、テンプレートTは、温度制御ローラ30bによって所定の温度に設定されている。その後、テンプレートTは加熱ユニット23に搬送され、図9(c)に示すようにテンプレートT上の離型剤Sが焼成される。その後、テンプレートTは温度調節ユニット24に搬送され、テンプレートTが所定の温度に調節される。このようにして、テンプレートTの表面T1上に、転写パターンCに沿った離型剤Sが成膜される。
In the
以上の実施の形態によれば、気化した離型剤S0がテンプレートTの転写パターンCに沿って堆積するため、離型剤Sをリンスする必要がない。したがって、処理ステーション3において、テンプレートT上に離型剤Sをより円滑に成膜することができ、これによって、テンプレート処理装置1における離型剤処理のスループットを向上させることができる。
According to the above embodiment, vaporized release agent S 0 is to deposit along the transfer pattern C of the template T, there is no need to rinse the release agent S. Therefore, the release agent S can be more smoothly formed on the template T in the
また、温度制御ローラ30bによって所定の温度に設定されたテンプレートT上に気化した離型剤S0を供給しているので、テンプレートT上に離型剤S0を効率よく堆積させることができる。
Further, since the supplied release agent S 0 vaporized on the template T which is set to a predetermined temperature by the
なお、塗布ユニット110において、気化した離型剤S0をテンプレートTの表面T1上に供給した後、当該離型剤S0を減圧乾燥させてもよい。かかる場合、塗布ユニット110内でのテンプレートTの搬送を一時的に停止してもよい。
Incidentally, in the
以上の実施の形態では、テンプレート処理装置1において、テンプレートTは個別に搬送され処理されていたが、図10に示すように複数、例えば9枚のテンプレートTが1つのホルダー120に保持されて処理されてもよい。かかる場合、ホルダー120には、図11に示すように各テンプレートTを収容するために下方に窪んだ収容部121が形成されている。収容部121の底面には例えば複数の吸引口(図示せず)が形成され、各テンプレートTは収容部121内に吸着保持されるようになっている。
In the above embodiment, in the
本実施の形態によれば、処理ステーション3において、複数のテンプレートTに対して一度に所定の処理を行うことができる。したがって、短時間でより多くのテンプレートT上に離型剤Sを成膜することができ、離型剤処理のスループットを向上させることができる。
According to the present embodiment, the
以上の実施の形態のテンプレート処理装置1は、図12に示すようにインプリントシステム200に配置されていてもよい。インプリントシステム200は、テンプレートTを用いて基板としてのウェハW上にレジストパターンを形成するインプリントユニット210と、複数、例えば25枚のウェハWをカセット単位で外部とインプリントシステム200との間で搬入出したり、ウェハカセットCWに対してウェハWを搬入出したりする基板搬入出ステーションとしてのウェハ搬入出ステーション211とを有している。インプリントシステム200は、これらテンプレート処理装置1、インプリントユニット210、ウェハ搬入出ステーション211を一体に接続した構成を有している。
The
テンプレート処理装置1の処理ステーション3内では、上述した搬送ラインAが正面側(図12のX方向負方向側)に一列に配置されている。すなわち、処理ステーション3の正面側には、トランジションユニット20、洗浄ユニット21、塗布ユニット22、加熱ユニット23、温度調節ユニット24、リンスユニット25、トランジションユニット26が直線的に一列に配置されている。
In the
処理ステーション3の背面側(図12のX方向正方向側)には、テンプレートTの搬送ラインBが配置されている。搬送ラインBのインプリントユニット210側の端部とテンプレート搬入出ステーション2側の端部には、テンプレートTの受け渡しを行うためのトランジションユニット220、221がそれぞれ設けられている。トランジションユニット220、221間には、上述した複数の搬送ローラ30が設けられ、テンプレートTの搬送が行われる。なお、トランジションユニット220、221の構成は、上述したトランジションユニット20、26の構成と同様であるので、説明を省略する。
On the back side of the processing station 3 (positive side in the X direction in FIG. 12), a transport line B for the template T is arranged.
搬送ラインAのトランジションユニット26と搬送ラインBのトランジションユニット220との間には、テンプレートTの表裏面を反転させる反転ユニット222が設けられている。反転ユニット222のテンプレート搬入出ステーション2側には、複数のテンプレートTを一時的に保管するバッファカセット223が配置されている。なお、反転ユニット222内には、テンプレートTを反転させると共に、トランジションユニット26、220、バッファユニット223及びインプリントユニット210に対してテンプレートTを搬送する反転機構(図示せず)が設けられている。
A reversing
ウェハ搬入出ステーション211には、カセット載置台230が設けられている。カセット載置台230は、複数のウェハカセットCWをX方向(図12中の上下方向)に一列に載置自在になっている。すなわち、ウェハ搬入出ステーション211は、複数のウェハWを保有可能に構成されている。
The wafer loading /
ウェハ搬入出ステーション211には、X方向に延伸する搬送路231上を移動可能なウェハ搬送体232が設けられている。ウェハ搬送体232は、鉛直方向及び鉛直周り(θ方向)にも移動自在であり、ウェハカセットCWとインプリントユニット210との間でウェハWを搬送できる。
The wafer carry-in / out
ウェハ搬入出ステーション211には、ウェハWの向きを調整するアライメントユニット233がさらに設けられている。アライメントユニット233では、例えばウェハWのノッチ部の位置に基づいて、ウェハWの向きが調整される。
The wafer carry-in / out
次に、上述したインプリントユニット210の構成について説明する。インプリントユニット210は、図13に示すように側面にテンプレートTの搬入出口(図示せず)とウェハWの搬入出口(図示せず)が形成されたケーシング240を有している。
Next, the configuration of the above-described
ケーシング240内の底面には、ウェハWが載置されて保持されるウェハ保持部241が設けられている。ウェハWは、その被処理面が上方を向くようにウェハ保持部241の上面に載置される。ウェハ保持部241内には、ウェハWを下方から支持し昇降させるための昇降ピン242が設けられている。昇降ピン242は、昇降駆動部243により上下動できる。ウェハ保持部241の上面には、当該上面を厚み方向に貫通する貫通孔244が形成されおり、昇降ピン242は、貫通孔244を挿通するようになっている。また、ウェハ保持部241は、当該ウェハ保持部241の下方に設けられた移動機構245により、水平方向に移動可能で、且つ鉛直周りに回転自在である。
A
図14に示すようにウェハ保持部241のX方向負方向(図14の下方向)側には、Y方向(図14の左右方向)に沿って延伸するレール250が設けられている。レール250は、例えばウェハ保持部241のY方向負方向(図14の左方向)側の外方からY方向正方向(図14の右方向)側の外方まで形成されている。レール250には、アーム251が取り付けられている。
As shown in FIG. 14, a
アーム251には、ウェハW上にレジスト液を供給するレジスト液ノズル252が支持されている。レジスト液ノズル252は、例えばウェハWの直径寸法と同じかそれよりも長い、X方向に沿った細長形状を有している。レジスト液ノズル252には、例えばインクジェット方式のノズルが用いられ、レジスト液ノズル252の下部には、長手方向に沿って一列に形成された複数の供給口(図示せず)が形成されている。そして、レジスト液ノズル252は、レジスト液の供給タイミング、レジスト液の供給量等を厳密に制御できる。
A resist
アーム251は、ノズル駆動部253により、レール250上を移動自在である。これにより、レジスト液ノズル252は、ウェハ保持部241のY方向正方向側の外方に設置された待機部254からウェハ保持部241上のウェハWの上方まで移動でき、さらに当該ウェハWの表面上をウェハWの径方向に移動できる。また、アーム251は、ノズル駆動部253によって昇降自在であり、レジスト液ノズル252の高さを調整できる。
The
ケーシング240内の天井面であって、ウェハ保持部241の上方には、図13に示すようにテンプレートTを保持するテンプレート保持部260が設けられている。すなわち、ウェハ保持部241とテンプレート保持部260は、ウェハ保持部241に載置されたウェハWと、テンプレート保持部260に保持されたテンプレートTが対向するように配置されている。また、テンプレート保持部260は、テンプレートTの裏面T2の外周部を吸着保持するチャック261を有している。チャック261は、当該チャック261の上方に設けられた移動機構262により、鉛直方向に移動自在で、且つ鉛直周りに回転自在になっている。これにより、テンプレートTは、ウェハ保持部241上のウェハWに対して所定の向きに回転し昇降できる。
A
テンプレート保持部260は、チャック261に保持されたテンプレートTの上方に設けられた光源263を有している。光源263からは、例えば可視光、近紫外光、紫外線などの光が発せられ、この光源263からの光は、テンプレートTを透過して下方に照射される。
The
本実施の形態にかかるインプリントシステム200は以上のように構成されている。次に、そのインプリントシステム200で行われるインプリント処理について説明する。図15は、このインプリント処理の主な処理フローを示し、図16は、このインプリント処理の各工程におけるテンプレートTとウェハWの状態を示している。
The
先ず、テンプレート搬送体12によって、テンプレート搬入出ステーション2から処理ステーション3にテンプレートTが搬送される(図15の工程F1)。処理ステーション3では、テンプレートTの表面T1の洗浄(図15の工程F2)、表面T1への離型剤Sの塗布(図15の工程F3)、離型剤Sの焼成(図15の工程F4)、離型剤Sのリンス(図15の工程F5)が順次行われ、テンプレートTの表面T1に離型剤Sが成膜される。なお、これら工程F2〜F5は、前記実施の形態における工程E2〜E5と同様であるので、詳細な説明を省略する。
First, the template T is transferred from the template carry-in / out
その後、トランジションユニット26に搬送されたテンプレートTは、反転機構によって反転ユニット222に搬送され、テンプレートTの表裏面が反転される。すなわち、テンプレートTの裏面T2が上方に向けられる。その後、テンプレートTは、反転機構によってインプリントユニット210に搬送され、テンプレート保持部260のチャック261に吸着保持される。
Thereafter, the template T conveyed to the
このように処理ステーション3においてテンプレートTに所定の処理を行い、インプリントユニット210へテンプレートTを搬送中に、ウェハ搬入出ステーション211では、ウェハ搬送体232により、カセット載置台230上のウェハカセットCWからウェハWが取り出され、アライメントユニット233に搬送される。そして、アライメントユニット233において、ウェハWのノッチ部の位置に基づいて、ウェハWの向きが調整される。その後、ウェハWは、ウェハ搬送体232によってインプリントユニット210に搬送される(図15の工程F6)。なお、ウェハ搬入出ステーション211において、ウェハカセットCW内のウェハWは、その被処理面が上方を向くように収容されており、この状態でウェハWはインプリントユニット210に搬送される。
In this way, a predetermined process is performed on the template T in the
インプリントユニット210に搬入されたウェハWは、昇降ピン242に受け渡され、ウェハ保持部241上に載置され保持される。続いて、ウェハ保持部241に保持されたウェハWを水平方向の所定の位置に移動させて位置合わせをした後、レジスト液ノズル252をウェハWの径方向に移動させ、図16(a)に示すようにウェハW上にレジスト液が塗布され、塗布膜としてのレジスト膜Rが形成される(図15の工程F7)。このとき、制御部100により、レジスト液ノズル252から供給されるレジスト液の供給タイミングや供給量等が制御される。すなわち、ウェハW上に形成されるレジストパターンにおいて、凸部に対応する部分(テンプレートTの転写パターンCにおける凹部に対応する部分)に塗布されるレジスト液の量は多く、凹部に対応する部分(転写パターンCにおける凸部に対応する部分)に塗布されるレジスト液の量は少なくなるように制御される。このように転写パターンCの開口率に応じてウェハW上にレジスト液が塗布される。
The wafer W carried into the
ウェハW上にレジスト膜Rが形成されると、ウェハ保持部241に保持されたウェハWを水平方向の所定の位置に移動させて位置合わせを行うと共に、テンプレート保持部260に保持されたテンプレートTを所定の向きに回転させる。そして、図16(a)の矢印に示すようにテンプレートTをウェハW側に下降させる。テンプレートTは所定の位置まで下降し、テンプレートTの表面T1がウェハW上のレジスト膜Rに押し付けられる。なお、この所定の位置は、ウェハW上に形成されるレジストパターンの高さに基づいて設定される。続いて、光源263から光が照射される。光源263からの光は、図16(b)に示すようにテンプレートTを透過してウェハW上のレジスト膜Rに照射され、これによりレジスト膜Rは光重合する。このようにしてウェハW上のレジスト膜RにテンプレートTの転写パターンCが転写され、レジストパターンPが形成される(図15の工程F8)。
When the resist film R is formed on the wafer W, the wafer W held by the
その後、図16(c)に示すようにテンプレートTを上昇させて、ウェハW上にレジストパターンPを形成する。このとき、テンプレートTの表面T1には離型剤Sが塗布されているので、ウェハW上のレジストがテンプレートTの表面T1に付着することはない。その後、ウェハWは、昇降ピン242によりウェハ搬送体232に受け渡され、インプリントユニット210からウェハ搬入出ステーション211に搬送され、ウェハカセットCWに戻される(図15の工程F9)。なお、ウェハW上に形成されたレジストパターンPの凹部には、薄いレジストの残存膜Lが残る場合があるが、例えばテンプレート処理装置1の外部において、図16(d)に示すように当該残存膜Lを除去してもよい。
Thereafter, as shown in FIG. 16C, the template T is raised to form a resist pattern P on the wafer W. At this time, since the surface T 1 of the template T release agent S is coated, never resist on the wafer W adheres to the surface T 1 of the template T. Thereafter, the wafer W is transferred to the
以上の工程F6〜F9(図15中の点線で囲った部分)を繰り返し行い、一のテンプレートTを用いて、複数のウェハW上にレジストパターンPをそれぞれ形成する。この間、上述した工程F1〜F5を繰り返し行い、複数のテンプレートTの表面T1上に離型剤Sを成膜する。離型剤Sが成膜されたテンプレートTは、バッファカセット223に保管される。
The above steps F6 to F9 (portions surrounded by dotted lines in FIG. 15) are repeatedly performed to form resist patterns P on the plurality of wafers W using one template T, respectively. During this period, it repeats the step F1~F5 described above, forming the release agent S on the surface T 1 of the plurality of templates T. The template T on which the release agent S is formed is stored in the
そして、所定枚数のウェハWに対して工程F6〜F9が行われると、反転機構によって使用済みのテンプレートTがインプリントユニット210から搬出される(図15の工程F10)。その後、反転ユニット222において、テンプレートTの表裏面が反転された後、すなわちテンプレートTの表面T1が上方に向けられた後、テンプレートTは搬送ラインBのトランジションユニット220に搬送される。続いて、反転機構によって、バッファカセット223内のテンプレートTが、反転ユニット222に搬送され、その表裏面が反転された後、インプリントユニット210に搬送される。こうして、インプリントユニット210内のテンプレートTが交換される。なお、テンプレートTを交換するタイミングは、テンプレートTの劣化等を考慮して設定される。また、ウェハWに異なるパターンPを形成する場合にも、テンプレートTが交換される。例えばテンプレートTを1回使用する度に当該テンプレートTを交換してもよい。また、例えば1枚のウェハW毎にテンプレートTを交換してもよいし、例えば1ロット毎にテンプレートTを交換してもよい。
When the processes F6 to F9 are performed on the predetermined number of wafers W, the used template T is unloaded from the
トランジションユニット220に搬送された使用済みのテンプレートTは、昇降ピン40によって搬送ローラ30上に載置され、搬送ラインBに沿ってコロ搬送により所定の速度でトランジションユニット221に搬送される。その後、テンプレートTは、昇降ピン40によりテンプレート搬送体12に受け渡され、テンプレートカセットCTに戻される。このようにして、インプリントシステム200において、テンプレートTを連続的に交換しつつ、複数のウェハWに対して所定のレジストパターンPが連続的に形成される。
The used template T transported to the
以上の実施の形態のインプリントシステム200はテンプレート処理装置1を有しているので、インプリントシステム200において、テンプレートT上に離型剤Sを成膜しつつ、当該テンプレートTをインプリントユニット210に連続的に供給できる。これによって、例えばテンプレートTが劣化する前、あるいは複数のウェハW上に異なるレジストパターンPを形成する場合でも、インプリントユニット210内のテンプレートTを連続して効率よく交換することができる。したがって、複数のウェハWに対して所定のレジストパターンPを連続的に形成することができる。また、これによって、半導体デバイスの量産化を実現することも可能となる。
Since the
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。本発明は、基板がウェハ以外のFPD(フラットパネルディスプレイ)、フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板である場合にも適用できる。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It is obvious for those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood. The present invention is not limited to this example and can take various forms. The present invention can also be applied to a case where the substrate is another substrate such as an FPD (flat panel display) other than a wafer or a mask reticle for a photomask.
本発明は、表面に転写パターンが形成されたテンプレート上に離型剤を成膜する際に有用であり、また当該テンプレートを用いて基板上に所定のパターンを形成する際に有用である。 The present invention is useful when a release agent is formed on a template having a transfer pattern formed on the surface, and is useful when a predetermined pattern is formed on a substrate using the template.
1 テンプレート処理装置
2 テンプレート搬入出ステーション
3 処理ステーション
21 洗浄ユニット
22 塗布ユニット
23 加熱ユニット
25 リンスユニット
30 搬送ローラ
30b 温度制御ローラ
52 搬入出口
61 離型剤ノズル
62 熱板
100 制御部
110 塗布ユニット
113 離型剤ノズル
120 ホルダー
200 インプリントシステム
210 インプリントユニット
211 ウェハ搬入出ステーション
A、B 搬送ライン
C 転写パターン
P レジストパターン
R レジスト膜
S 離型剤
T テンプレート
W ウェハ
DESCRIPTION OF
Claims (16)
前記テンプレートを搬送する複数の搬送ローラを備え、搬送中の前記テンプレートに所定の処理を行い、当該テンプレートの表面に離型剤を成膜する処理ステーションと、
複数の前記テンプレートを保有可能で、且つ前記処理ステーションに対して前記テンプレートを搬入出するテンプレート搬入出ステーションと、を有し、
前記処理ステーションは、
前記テンプレートの表面を洗浄する洗浄ユニットと、
前記洗浄されたテンプレートの表面に離型剤を塗布する塗布ユニットと、
前記塗布された離型剤を焼成する加熱ユニットと、を有することを特徴とする、テンプレート処理装置。 A template processing apparatus for forming a release agent on a template having a transfer pattern formed on a surface thereof,
A processing station comprising a plurality of transport rollers for transporting the template, performing a predetermined process on the template being transported, and forming a release agent on the surface of the template;
A template loading / unloading station capable of holding a plurality of the templates and loading / unloading the template to / from the processing station;
The processing station is
A cleaning unit for cleaning the surface of the template;
An application unit for applying a release agent to the surface of the cleaned template;
A template processing apparatus comprising: a heating unit for firing the applied release agent.
前記加熱部は、前記テンプレートの転写パターン側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のテンプレート処理装置。 The heating unit has a heating unit for heating the template,
The template processing apparatus according to claim 1, wherein the heating unit is disposed on a transfer pattern side of the template.
前記処理ステーションは、前記加熱ユニットで焼成された離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去するリンスユニットを有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のテンプレート処理装置。 The coating unit has a release agent supply unit that supplies a liquid release agent to the surface of the template,
3. The template according to claim 1, wherein the processing station includes a rinsing unit that rinses a release agent baked by the heating unit and removes an unreacted portion of the release agent. 4. Processing equipment.
前記処理ステーションで表面に離型剤が成膜された前記テンプレートを用いて、前記転写パターンを基板上に形成される塗布膜に転写し、当該塗布膜に所定のパターンを形成するインプリントユニットと、
複数の前記基板を保有可能で、前記インプリントユニットに対して前記基板を搬入出する基板搬入出ステーションと、を有することを特徴とする、インプリントシステム。 An imprint system comprising the template processing apparatus according to claim 1,
An imprint unit that transfers the transfer pattern to a coating film formed on a substrate using the template having a release agent formed on the surface thereof at the processing station, and forms a predetermined pattern on the coating film;
An imprint system comprising: a substrate loading / unloading station that can hold a plurality of the substrates and loads / unloads the substrates to / from the imprint unit.
前記テンプレートの表面を洗浄する洗浄工程と、
その後、前記洗浄されたテンプレートの表面に離型剤を塗布する塗布工程と、
その後、前記塗布された離型剤を焼成する加熱工程と、を有し、
前記洗浄工程、前記塗布工程及び前記加熱工程は、搬送中のテンプレートに対して行われることを特徴とする、離型剤処理方法。 A mold release agent processing method in which a template having a transfer pattern formed on the surface thereof is roller-transported and a release agent is formed on the template,
A cleaning step of cleaning the surface of the template;
Thereafter, an application step of applying a release agent to the surface of the washed template;
Thereafter, a heating step of firing the applied release agent,
The mold release agent processing method, wherein the cleaning step, the coating step, and the heating step are performed on a template being conveyed.
前記加熱工程後、前記焼成された離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去するリンス工程を有することを特徴とする、請求項9又は10に記載の離型剤処理方法。 In the coating step, a liquid release agent is supplied to the surface of the template,
The release agent treatment according to claim 9 or 10, further comprising a rinsing step of rinsing the baked release agent after the heating step to remove an unreacted portion of the release agent. Method.
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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