JP2011002303A - 水蒸気透過量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る水蒸気透過量測定装置は、第1の開口面を含む第1の室7aを有する第1のチャンバ本体7と、測定対象物Fを介して第1の開口面と対向する第2の開口面と、第2の開口面と対向する第2の底部と、断面の面積が第2の開口面から第2の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第2の室8aを有する第2のチャンバ本体8と、第1の室7aから第2の室8aに向かって測定対象物Fを透過した水蒸気の量を測定する測定器11とを具備する。
この構成によれば、第2の室8aの容積に対する内壁面の表面積の割合が低減されるため、測定器11の測定値に対する第2の室8aの内壁面から放出される水蒸気の影響を低減することが可能となる。
【選択図】図1
Description
上記第1のチャンバ本体は、第1の方向に平行な第1の開口面と上記第1の開口面と垂直な第2の方向に上記第1の開口面と対向する第1の底部とを含む第1の室を有する。
上記第2のチャンバ本体は、測定対象物を介して上記第1の開口面と対向する第2の開口面と、上記第2の方向に上記第2の開口面と対向する第2の底部と、上記第2の方向に垂直な断面の面積が、上記第2の開口面から上記第2の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第2の室を有する。
上記測定器は、上記第1の室から上記第2の室に向かって上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
上記第1のチャンバ本体は、第1の方向に平行な第1の開口面と上記第1の開口面と垂直な第2の方向に上記第1の開口面と対向する第1の底部とを含む第1の室を有する。
上記第2のチャンバ本体は、測定対象物を介して上記第1の開口面と対向する第2の開口面と、上記第2の方向に上記第2の開口面と対向する第2の底部と、上記第2の方向に垂直な断面の面積が、上記第2の開口面から上記第2の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第2の室を有する。
上記測定器は、上記第1の室から上記第2の室に向かって上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
図1は、第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム1(以下、測定システム1)の概略構成を示す模式図である。
試料ガス導入部3、試料ガス排出部4、乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6はそれぞれ測定装置2に接続されている。また、測定装置2には、測定対象物であるフィルムFが取り付けられている。
ガスケット10は、測定装置2の内部と外部とをシールする。ガスケット10は例えばゴムからなるOリング等である。ガスケット10は、フランジ部7bの溝、フランジ部8bの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれ、フランジ部7bとフランジ部8bが締結されるとフィルムFを介して対向し、フィルムFとフランジ部7b、フィルムFとフランジ部8bとの間のガスの連通を遮断する。
第1バルブ17は、乾燥ガス導入管16を遮断し、あるいは開放する。
第2バルブ19は、乾燥ガス排出管18を遮断し、あるいは開放する。
以下、測定システム1の動作を説明する。
必要に応じて、キャリアガスの流量、水蒸気の発生量、試料ガスの温度などの各パラメータが調節される。
図2(A)は、第2室が円筒形状である比較例によって、図2(B)は本実施形態に係る測定システム1によって測定される水蒸気透過量を示す。比較例の第2室と測定システム1の第2室8aは容積が同一である。横軸は経過時間であり、縦軸は測定器11によって測定された水蒸気量の積算値(積算水分量)である。
図3は、第2の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム20(以下、測定装置20)の概略構成を示す模式図である。測定システム20は第1の実施形態に係る測定システム1と第2チャンバ本体の構成が異なる測定装置21を有する。なお、測定システム20について、第1の実施形態に係る測定システム1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
第2チャンバ本体22はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第2室22aとフランジ部22bとを有する。第2室22aは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第1室7aの開口面とフィルムFを介して対向する。また、第2室22aは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第2室22aの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口径より大きい直径を有する部分球状に形成される。フランジ部22bは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット10が取り付けられるための溝を有する。また、第2室22aには乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6が接続される孔が形成されている。
図4は、第3の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム30(以下、測定装置30)の概略構成を示す模式図である。測定システム30は第1の実施形態に係る測定システム1と第2チャンバ本体の構成が異なる測定装置31を有する。なお、測定システム30について、第1の実施形態に係る測定システム1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
第2チャンバ本体32はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第2室32aとフランジ部32bとを有する。第2室32aは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第1室7aの開口面とフィルムFを介して対向する。また、第2室32aは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第2室32aの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が直線状となる、開口面を底面とする円錐形状に形成される。フランジ部32bは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット10が取り付けられるための溝を有する。また、第2室32aには乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6が接続される孔が形成されている。
図5は、第4の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム40(以下、測定装置40)の概略構成を示す模式図である。測定システム40は第1の実施形態に係る測定システム1と第2チャンバ本体の構成が異なる測定装置41を有する。なお、測定システム40について、第1の実施形態に係る測定システム1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
第2チャンバ本体42はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第2室42aとフランジ部42bとを有する。第2室42aは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第1室7aの開口面とフィルムFを介して対向する。また、第2室42aは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第2室42aの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口面を底面とする凹状に湾曲した円錐形状に形成される。フランジ部42bは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット10が取り付けられるための溝を有する。また、第2室42aには乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6が接続される孔が形成されている。
図5は、第5の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム50(以下、測定装置50)の概略構成を示す模式図である。測定システム50は第1の実施形態に係る測定システム1と第2チャンバ本体の構成が異なる測定装置51を有する。なお、測定システム50について、第1の実施形態に係る測定システム1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
第2チャンバ本体52はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第2室52aとフランジ部52bとを有する。第2室52aは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第1室7aの開口面とフィルムFを介して対向する。また、第2室52aは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第2室52aの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口面を底面とする凸状に湾曲した円錐形状に形成される。フランジ部52bは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット10が取り付けられるための溝を有する。また、第2室52aには乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6が接続される孔が形成されている。
7 第1チャンバ本体
7a 第1室
8 第2チャンバ本体
8a 第2室
11 測定器
20 水蒸気透過量測定システム
22 第2チャンバ本体
22a 第2室
20 水蒸気透過量測定システム
22 第2チャンバ本体
22a 第2室
40 水蒸気透過量測定システム
42 第2チャンバ本体
42a 第2室
50 水蒸気透過量測定システム
52 第2チャンバ本体
52a 第2室
Claims (5)
- 第1の方向に平行な第1の開口面と前記第1の開口面と垂直な第2の方向に前記第1の開口面と対向する第1の底部とを含む第1の室を有する第1のチャンバ本体と、
測定対象物を介して前記第1の開口面と対向する第2の開口面と、前記第2の方向に前記第2の開口面と対向する第2の底部と、前記第2の方向に垂直な断面の面積が、前記第2の開口面から前記第2の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第2の室を有する第2のチャンバ本体と、
前記第1の室から前記第2の室に向かって前記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する測定器と
を具備する水蒸気透過量測定装置。 - 請求項1に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記測定器は、前記第2の室の内部に配置されている
水蒸気透過量測定装置。 - 請求項2に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記内壁面の前記第2の方向に沿った断面形状であって、前記第2の開口面の縁部と前記第2の底部とを結ぶ断面形状は、直線状又は曲線状である
水蒸気透過量測定装置。 - 請求項3に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記内壁面は、球面状である
水蒸気透過量測定装置。 - 請求項3に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記第2の室は、円錐形状を有する
水蒸気透過量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009144591A JP2011002303A (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 水蒸気透過量測定装置 |
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JP2009144591A JP2011002303A (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 水蒸気透過量測定装置 |
Publications (1)
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ID=43560375
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JP2009144591A Pending JP2011002303A (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 水蒸気透過量測定装置 |
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- 2009-06-17 JP JP2009144591A patent/JP2011002303A/ja active Pending
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