JP2011000517A - 吐出装置の位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の吐出装置10は、第一の方向に移動可能な基板移動部20と、複数のヘッド32を保持するヘッド保持部30と、移動カメラ21と、複数の固定カメラ31を有している。先ず、移動カメラ21でヘッド32の有する吐出口35を撮影し、個別ヘッド位置修正手段によって各ヘッド32の相対的な位置合わせを行う。次に、固定カメラ31で基板50上の複数の基板基準点を撮影して、複数の基板基準点が第二の方向と平行になるように、基板回転機構42によって基板50を回転移動させる。次いで、ヘッド移動機構によってヘッド保持部30を所望距離だけ位置合わせ方向に移動させる。以上の手順により、基板50上の所定の着弾位置が所定の吐出口35の真下位置を通過するように位置合わせできる。
【選択図】図1
Description
特許文献1記載の装置では、ヘッド保持部を基板上を走査するように往復移動させて吐出する方式を採用しているが、この方式では基板の大型化に比例してインクの吐出に長い時間がかかり、また、ムラなく所定の間隔でインクを着弾させるにはインクヘッドの難しい制御が必要であった。
本発明は吐出装置であって、前記基板移動部に設置され、前記基板移動部に対し前記第二の方向に移動可能で、前記ヘッドを撮影可能な移動カメラを有する吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記複数のヘッドを一体として前記第二の方向に移動可能なヘッド移動機構を有し、前記制御装置は、前記移動カメラの画像を処理して前記ヘッドの位置を検出し、前記固定カメラの画像を処理して前記基板の前記第二の方向の位置を検出し、前記ヘッドの前記第二の方向の位置が前記基板の前記第二の方向の位置に対して既定の範囲内になるように前記ヘッド移動機構を制御する吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記複数のヘッドを個別に移動可能な個別ヘッド位置修正手段を有し、前記制御部は、前記移動カメラの画像を処理して前記ヘッドの位置を検出し、複数の前記ヘッドの相互の位置が既定の範囲内になるように前記個別ヘッド位置修正手段を制御する吐出装置である。
ヘッドの位置を静止させた状態でインクの吐出を行うので、ヘッドの位置精度を保つことができる。
ヘッド保持部の移動は、位置合わせのために基板の大きさに比べて微少な距離を移動するだけなので、ヘッド保持部の保持するヘッド数が増えても、ヘッド保持部の移動が不安定になりにくい。
静止した複数のヘッドを使用して、短時間で塗布することで、乾燥ムラがなく、高速でプリントできる。
<吐出装置の構造>
図1は本発明で用いる吐出装置10の側面図を示しており、図2は平面図を示している。
レール上移動機構41は、制御装置92から伝送される信号を受けて、基板移動部20をレール71上で移動させる。レール上移動機構41には例えばモーターが用いられる。
基板移動部20はレール71上を移動することにより、ヘッド保持部30の下を往復移動することができるように構成されている。
ヘッド保持部30は、取付板33と、取付板33に取り付けられた複数のヘッド32を有している。
各ヘッド32は、吐出口35を複数有している。一個のヘッド32の複数の吐出口35は、そのヘッド32の一面に、一列に並んで吐出口列を形成し、又は、互いに平行な複数列に並んで、互いに平行な複数の吐出口列を形成している。
一個のヘッド32中の吐出口35は一の方向に等間隔で配置されており、その間隔を吐出口間隔(吐出口の中心間距離)Dとすると、各ヘッド32の吐出口間隔D同士も同じ値にされている。
ここでは、各ヘッド32は、前記一の方向がx軸方向と平行になるような向きで取付板33に取り付けられている。
所定の数nのヘッド組38はヘッドグループを構成し、1個のヘッドグループ中では、1つのヘッド組中の隣接する2個の吐出口35の間に、他のヘッド組の吐出口35が、x軸方向に等間隔D/nになるように1個ずつ配置されている。
各吐出口35はそれぞれ内部にインク(吐出液)の詰まったインク室を有し、各インク室には圧力発生装置がそれぞれ配置される。各圧力発生装置は外部の制御装置92から電送される信号を受けて、インク室に所定の圧力を発生させ、吐出口35から所定の量のインクを吐出させる。
基板吸着板24の上方を向いた面は不図示の吸引口を有し、吸引口は不図示の真空ポンプに接続されている。基板50を基板吸着板24上に配置したのち、真空ポンプで排気を行うと、基板50は基板吸着板24上に真空吸着されて保持される。
基板50の移動方向と垂直な水平方向に隣り合う着弾位置の間隔は、1個のヘッドグループ中のx軸方向に隣接する吐出口間隔D/nと同じ、又はx軸方向に隣接する吐出口間隔D/nの整数倍の長さに形成されている。
基板上へのインクの吐出工程を説明する。
後述する第一の位置合わせ工程での位置合わせ作業により、複数のヘッド32は台座70上の座標に対して予め位置合わせがされているものとする。台座70上の座標に対して位置合わせされた複数のヘッド32をまとめて、以後ヘッドアレイと呼ぶ。
次いで、基板移動部20と共に基板50を移動させ、基板50とヘッドアレイとの位置合わせを行う位置で一端静止させる。ここでは、後述する第二の位置合わせ工程での位置合わせ作業のように、基板50とヘッドアレイとを、移動カメラ21と固定カメラ31とによって位置合わせした後、基板50をヘッド保持部30の下方を通過させる。
以下では原点位置合わせ作業と、ヘッドアレイ位置合わせ作業と、固定カメラのカメラ基準点の位置測定作業とから成る第一の位置合わせ工程を説明する。
基板移動部20は、移動カメラ21と不図示のカメラ移動機構を有している。移動カメラ21は、基板移動部20のy軸方向の端に配置されている。移動カメラ21は上端にレンズを有し、移動カメラ21で撮影された画像は外部の制御装置92で画像処理される。制御装置92には例えばコンピュータが使用される。
先ず、移動カメラ21によって撮影した画像上の一点のxy座標が分かるように、移動カメラ21と原点との位置合わせを行う。
外部の測定装置93には、移動カメラ21のx座標上の移動量を±符号付きで測定するx軸方向距離測定装置と、y座標上の移動量を±符号付きで測定するy軸方向距離測定装置が設けられており、移動カメラ21が二点間を移動したときに、移動の始点と終点を結ぶベクトルのx成分とy成分が分かるようになっている。測定する距離は符号付きであるから、往復移動して始点に戻った場合の測定値はゼロである。
移動カメラ21が撮影できる範囲である視野内には、視野内で不動の移動基準点が定められている。
移動カメラ21を移動させ、原点、又は原点を通る垂線が移動カメラ21で撮影されると仮定したときは原点を通る垂線、を撮影し、原点の画像、又は原点を通る垂線の画像が移動基準点と一致したときに、x軸方向距離測定装置とy方向距離測定装置の値をゼロにする。
その状態から移動カメラ21が移動すると、移動カメラ21で撮影した画像上の、移動基準点と重なる位置のxy座標が分かることになる。
次に、基板移動部20のy軸方向への移動と、移動カメラ21のX方向への移動により、移動カメラ21を1つの吐出口35の下に位置させる。
移動カメラ21の画像を見て、移動基準点と、この吐出口35の画像の中心が一致したとき、測定装置93の値から、その吐出口35のxy座標が求まる。
このような吐出口35のxy座標の測定作業を、全ての吐出口で繰り返す。
各吐出口35のxy座標は、予め設定値がそれぞれ定められている。xy座標の測定値が設定値と誤差がある場合、それぞれのヘッド32が有する個別ヘッド位置修正手段(微動ネジ)は人の手又は制御装置92から伝送される信号により制御され、吐出口35のxy座標を設定値に対して既定の範囲内になるように修正する。
ヘッド保持部30は、2個の固定カメラ31を有している。2個の固定カメラ31は、ヘッド保持部30のy軸方向の一端に固定されている。固定カメラ31は下端にレンズを有しているので、下を移動する基板50を撮影することができる。
2個の固定カメラ31の配置は、各カメラにそれぞれ設定されたカメラ基準点の2点間の距離が基板50の有する2つの基板基準点51の間の距離と同じであり、2個のカメラ基準点を結ぶ線分はx軸方向と平行になるように、設計されている。
固定カメラ31は、レンズ上のカメラ基準点の位置に、外から移動カメラ21で撮影できるようなマークを有している。移動カメラ21を移動させ、一方の固定カメラ31の下に位置させる。移動カメラ21で撮影した画像上で、固定カメラ31のマークの画像が移動基準点と一致したとき、測定装置93の値から、その固定カメラ31のカメラ基準点のxy座標が測定される。他方の固定カメラのカメラ基準点のxy座標も同様に測定して、それぞれ記憶しておく。
以下では基板50とヘッドアレイとの位置合わせ作業を行う第二の位置合わせ工程を説明する。
固定カメラ31で撮影された画像は制御装置92で画像処理され、画像内の所望位置の座標が分かるようになっている。
図3は第一、第二の固定カメラの画像85a、85bを一つの平面座標に載せたときの固定カメラ画像の模式図80を示している。
制御装置92は画像内のx軸方向又はy軸方向が分かるので、第一、第二の基板基準点83a、83bの2点を通る直線とx軸方向又はy軸方向との成す角度θを計算により求めてもよい。
回転移動後の2つの基板基準点51は、制御装置92で画像処理されて、それぞれのxy座標が分かる。
基板50上で2つの基板基準点51と各着弾位置との相対位置は予め設定されているので、基板基準点51のxy座標が分かれば、各着弾位置のxy座標が分かる。
ヘッド保持部30は、不図示のヘッド移動機構を有している。ヘッド移動機構は、制御装置92から伝送される信号を受けて、取付板33をx軸方向に移動させる。このとき同時に、全てのヘッド32は各ヘッドの相対位置が維持されたまま、x軸方向に移動される。ヘッド移動機構には、例えばモーターが用いられる。
所定の吐出口35のx座標が所定の着弾位置のx座標に対して既定の範囲内になるように、ヘッド移動機構は、全てのヘッド32をx軸方向に所定距離だけ移動させ、静止させる。
本発明はRGBカラーフィルターの製造に限定されるものではなく、例えばEL(エレクトロルミネッセンス)表示素子や液晶表示装置の製造も含まれる。
20……基板移動部
21……移動カメラ
30……ヘッド保持部
31……固定カメラ
32……ヘッド
35……吐出口
42……基板回転機構
50……基板
51……基板基準点
70……台座
92……制御装置
Claims (4)
- 基準面に対して静置された台座と、
前記台座に固定されたヘッド保持部と、
前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、
各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、
前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、
を有し、前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって前記吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板上に着弾させる吐出装置であって、
前記ヘッド保持部に固定され、前記基板の複数の基板基準点を撮影する複数の固定カメラと、
前記基板移動部上で前記基板を前記基準面に平行に回転移動する基板回転機構と、
カメラで撮影された画像を処理する処理機能を有する制御装置と、を有し、
前記複数の固定カメラは、前記基準面に平行で前記第一の方向に垂直な第二の方向に離間して設置され、
前記制御装置は、
前記複数の固定カメラの画像を処理して、前記基板の前記第一の方向もしくは前記第二の方向に対する傾きを算出し、前記傾きを修正するように前記基板回転機構を制御する
吐出装置。 - 請求項1記載の吐出装置であって、
前記基板移動部に設置され、前記基板移動部に対し前記第二の方向に移動可能で、前記ヘッドを撮影可能な移動カメラを有する吐出装置。 - 請求項2記載の吐出装置であって
前記複数のヘッドを一体として前記第二の方向に移動可能なヘッド移動機構を有し、
前記制御装置は、
前記移動カメラの画像を処理して前記ヘッドの位置を検出し、
前記固定カメラの画像を処理して前記基板の前記第二の方向の位置を検出し、前記ヘッドの前記第二の方向の位置が前記基板の前記第二の方向の位置に対して既定の範囲内になるように前記ヘッド移動機構を制御する
吐出装置。 - 請求項2又は請求項3のいずれか1項記載の吐出装置であって、
前記複数のヘッドを個別に移動可能な個別ヘッド位置修正手段を有し、
前記制御部は、
前記移動カメラの画像を処理して前記ヘッドの位置を検出し、複数の前記ヘッドの相互の位置が既定の範囲内になるように前記個別ヘッド位置修正手段を制御する
吐出装置。
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