JP2010533303A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. 少なくとも第１の軸を中心として回転自在な表面センサを有する座標位置決め装置の操作方法であって、
   前記表面センサを第１の角方向に置いて第１の測定結果を取得するステップと、
   前記表面センサを第２の角方向に置いて少なくとも第２の測定結果を取得するステップであって、前記第１と第２の角方向は相互に異なり、前記表面センサの推定位置からのオフセットが前記第１と第２の測定に対して少なくとも部分的に反する影響を有する、ステップと、
   を含み、
   前記第１と第２の測定結果を用いて、前記表面センサの推定位置からのオフセットを設定し、前記オフセットを用いて、前記表面センサによって取得された測定結果の誤差を修正することを特徴とする方法。
2. 前記第２の角方向は前記第１の角方向と異なり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが前記第２の測定に与える影響は、その第１の測定に対する影響と略同等かつ反対であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記第２の角方向が前記第１の角方向の略逆であることを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第１の次元における測定のみを行うように、前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の方法。
5. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第１と第２の次元において測定を行うように、加工物に関して前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の方法。
6. オフセットを補正するステップは、少なくとも第１の次元における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の方法。
7. オフセットを補正するステップは、少なくとも第２の次元における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
8. 少なくとも第１と第２のオフセット要因を判定するステップを含むことを特徴とする請求項６または７に記載の方法。
9. 前記第１のオフセット要因は、前記少なくとも第１の軸の実際の位置と想定位置との差を含み、前記第２のオフセット要因は、前記第１の軸に関する前記表面センサの実際の位置と想定位置の差を含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
10. オフセットを補正するステップは、前記第１と第２の測定から得られた結果的測定結果を判定するステップを含むことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の方法。
11. 前記第２の測定は、前記表面センサを異なる角方向に置いて行われる、前記第１の測定の反復であることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の方法。
12. 前記第１と第２の測定結果の各々を取得するステップは、ある加工物の複数の地点を測定するステップを含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の方法。
13. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、円形の形状構成部の第１と第２の測定結果を取得するステップを含むことを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の方法。
14. 前記表面センサは、前記第１の軸に対して垂直な少なくとも第２の軸を中心として回転自在であることを特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載の方法。
15. 前記第１と第２の角方向は、前記第１の軸を中心として定められて、前記第２の軸に関して測定されることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、前記第２の軸を中心として前記表面センサを回転させるステップを含むことを特徴とする請求項１４または１５に記載の方法。
17. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、前記第２の軸の直線位置を保持するステップを含むことを特徴とする請求項１６に記載の方法。
18. 前記第２の角方向は、前記第１の角方向と略同等かつ反対であることを特徴とする請求項１４から１７のいずれかに記載の方法。
19. 前記第１と第２の測定結果を取得するステップは、前記第１と第２の軸の直線位置を移動させるステップと、前記表面センサの前記第１と第２の軸を中心とする回転位置を保持するステップと、を含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
20. 前記表面センサが接触プローブの接触先端であることを特徴とする請求項１から１９のいずれかに記載の方法。
21. 座標位置決め装置であって、少なくとも第１の軸を中心として回転自在な表面センサと、実行されたときに前記装置に請求項１から２０のいずれかに記載の方法を行なわせる命令によって構成されたコントローラと、を備えることを特徴とする座標位置決め装置。
22. 少なくとも第１の軸を中心として回転自在な表面センサを有する測定システムのコントローラによって実行されたときに、前記測定システムに請求項１から２０のいずれかに記載の方法を実行させる命令を含むことを特徴とするコンピュータプログラムコード。
23. 請求項２２に記載のコンピュータプログラムコードが記録されていることを特徴とするコンピュータ読取可能媒体。