JP2010533303A5 - - Google Patents
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Claims (23)
- 少なくとも第1の軸を中心として回転自在な表面センサを有する座標位置決め装置の操作方法であって、
前記表面センサを第1の角方向に置いて第1の測定結果を取得するステップと、
前記表面センサを第2の角方向に置いて少なくとも第2の測定結果を取得するステップであって、前記第1と第2の角方向は相互に異なり、前記表面センサの推定位置からのオフセットが前記第1と第2の測定に対して少なくとも部分的に反する影響を有する、ステップと、
を含み、
前記第1と第2の測定結果を用いて、前記表面センサの推定位置からのオフセットを設定し、前記オフセットを用いて、前記表面センサによって取得された測定結果の誤差を修正することを特徴とする方法。 - 前記第2の角方向は前記第1の角方向と異なり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが前記第2の測定に与える影響は、その第1の測定に対する影響と略同等かつ反対であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の角方向が前記第1の角方向の略逆であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第1の次元における測定のみを行うように、前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第1と第2の次元において測定を行うように、加工物に関して前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- オフセットを補正するステップは、少なくとも第1の次元における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- オフセットを補正するステップは、少なくとも第2の次元における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 少なくとも第1と第2のオフセット要因を判定するステップを含むことを特徴とする請求項6または7に記載の方法。
- 前記第1のオフセット要因は、前記少なくとも第1の軸の実際の位置と想定位置との差を含み、前記第2のオフセット要因は、前記第1の軸に関する前記表面センサの実際の位置と想定位置の差を含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- オフセットを補正するステップは、前記第1と第2の測定から得られた結果的測定結果を判定するステップを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 前記第2の測定は、前記表面センサを異なる角方向に置いて行われる、前記第1の測定の反復であることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果の各々を取得するステップは、ある加工物の複数の地点を測定するステップを含むことを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、円形の形状構成部の第1と第2の測定結果を取得するステップを含むことを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の方法。
- 前記表面センサは、前記第1の軸に対して垂直な少なくとも第2の軸を中心として回転自在であることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の角方向は、前記第1の軸を中心として定められて、前記第2の軸に関して測定されることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記第2の軸を中心として前記表面センサを回転させるステップを含むことを特徴とする請求項14または15に記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記第2の軸の直線位置を保持するステップを含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記第2の角方向は、前記第1の角方向と略同等かつ反対であることを特徴とする請求項14から17のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記第1と第2の軸の直線位置を移動させるステップと、前記表面センサの前記第1と第2の軸を中心とする回転位置を保持するステップと、を含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記表面センサが接触プローブの接触先端であることを特徴とする請求項1から19のいずれかに記載の方法。
- 座標位置決め装置であって、少なくとも第1の軸を中心として回転自在な表面センサと、実行されたときに前記装置に請求項1から20のいずれかに記載の方法を行なわせる命令によって構成されたコントローラと、を備えることを特徴とする座標位置決め装置。
- 少なくとも第1の軸を中心として回転自在な表面センサを有する測定システムのコントローラによって実行されたときに、前記測定システムに請求項1から20のいずれかに記載の方法を実行させる命令を含むことを特徴とするコンピュータプログラムコード。
- 請求項22に記載のコンピュータプログラムコードが記録されていることを特徴とするコンピュータ読取可能媒体。
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