JP2010532569A - 選択付着による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 - Google Patents
選択付着による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010532569A JP2010532569A JP2010514824A JP2010514824A JP2010532569A JP 2010532569 A JP2010532569 A JP 2010532569A JP 2010514824 A JP2010514824 A JP 2010514824A JP 2010514824 A JP2010514824 A JP 2010514824A JP 2010532569 A JP2010532569 A JP 2010532569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory cell
- forming
- switching element
- reversible resistance
- resistance switching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 225
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 title claims abstract description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 100
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims abstract description 25
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 109
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 74
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 58
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 claims description 43
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 28
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 27
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 23
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- -1 V 2 O 5 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 15
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 13
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 11
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 11
- SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N germanide Chemical group [GeH3-] SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 213
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 48
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 48
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 48
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 47
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 21
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 20
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 17
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 10
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 10
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 9
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical group [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 7
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N cobalt nickel Chemical compound [Co].[Ni].[Ni].[Ni] ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 6
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 4
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- BFDHFSHZJLFAMC-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) hydroxide Chemical class [OH-].[OH-].[Ni+2] BFDHFSHZJLFAMC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000927 Ge alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000080590 Niso Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PHJJWPXKTFKKPD-UHFFFAOYSA-N [Ni+3].[O-]P([O-])[O-] Chemical compound [Ni+3].[O-]P([O-])[O-] PHJJWPXKTFKKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N ammonium dihydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].OP(O)([O-])=O LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 150000001793 charged compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 229910000159 nickel phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LONQOCRNVIZRSA-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);sulfite Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])=O LONQOCRNVIZRSA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JOCJYBPHESYFOK-UHFFFAOYSA-K nickel(3+);phosphate Chemical compound [Ni+3].[O-]P([O-])([O-])=O JOCJYBPHESYFOK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/101—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including resistors or capacitors only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/20—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
- H10B63/84—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays arranged in a direction perpendicular to the substrate, e.g. 3D cell arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
Description
本願は、2007年6月29日に出願された「MEMORY CELL THAT EMPLOYS A SELECTIVELY DEPOSITED REVERSIBLE RESISTANCE-SWITCHING ELEMENT AND METHODS OF FORMING THE SAME」という米国特許出願第11/772,090号(代理人整理番号:SD−MXD−0333X)(特許文献1)からの優先権を主張するとともに、2007年6月29日に出願された「MEMORY CELL THAT EMPLOYS A SELECTIVELY DEPOSITED REVERSIBLE RESISTANCE-SWITCHING ELEMENT AND METHODS OF FORMING THE SAME」という米国特許出願第11/772,084号(代理人整理番号:SD−MXD−0333Y)(特許文献2)からの優先権を主張し、どちらもその全体が本願明細書において参照により援用されている。
本願は、以下の特許出願に関連し、各出願は、あらゆる点でその全体が本願明細書において参照により援用されている。以下の特許出願とは、2007年6月29日に出願された「METHOD TO FORM A REWRITEABLE MEMORY CELL COMPRISING A DIODE AND A RESISTIVITY-SWITCHING GROWN OXIDE」という米国特許出願第11/772,081号(整理番号:MD−304X)(特許文献3)、2007年6月29日に出願された「MEMORY CELL THAT EMPLOYS A SELECTIVELY GROWN REVERSIBLE RESISTANCE-SWITCHING ELEMENT AND METHODS OF FORMING THE SAME」という米国特許出願第11/772,082号(整理番号:MD−335X)(特許文献4)、2007年6月29日に出願された「MEMORY CELL THAT EMPLOYS A SELECTIVELY GROWN REVERSIBLE RESISTANCE-SWITCHING ELEMENT AND METHODS OF FORMING THE SAME」という米国特許出願第11/772,088号(整理番号:MD−335Y)(特許文献5)である。
しかし、書換可能抵抗率スイッチング材料からメモリデバイスを製造するのは困難であり、可逆的抵抗率スイッチング材料を使用するメモリデバイスの形成方法を改良することが望ましい。
図1は、本発明に従って提供される例示的なメモリセル100の概略図である。メモリセル100は、ステアリング素子104に接続される可逆的抵抗スイッチング素子102を含む。
図2Aは、本発明に従って提供されるメモリセル200の第1の実施形態の略斜視図である。図2Aを参照して、メモリセル200は、第1の導体206と第2の導体208との間にダイオード204と直列に接続される可逆的抵抗スイッチング素子202を含む。ある実施形態では、可逆的抵抗スイッチング素子202とダイオード204との間に、バリア層210および/または導電層212が形成されてもよい。例えば、バリア層210は、窒化チタン、窒化タンタル、窒化タングステンなどを含んでもよく、導電層212は、タングステンまたは別の適切な金属層を含んでもよい。以下にさらに説明するように、バリア層210および/または導電層212は、ダイオード204を形成する過程でハードマスクとして働いてもよい。このようなハードマスクは、例えば、その全体が本願明細書において参照により援用されている、2006年5月13日に出願された「CONDUCTIVE HARD MASK TO PROTECT PATTERNED FEATURES DURING TRENCH ETCH」という米国特許出願第11/444,936号(特許文献7)に記載されている。ダイオード204と第1の導体206との間には、窒化チタン、窒化タンタル、窒化タングステンなどの追加のバリア層213も形成されてよい。
前述したように、ダイオード204は、垂直p−nまたはp−i−nダイオードであってもよく、このダイオードは上向きでも下向きでもよい。隣接するメモリレベルが導体を共有する図2Dの実施形態では、隣接するメモリレベルは、第1のメモリレベルには下向きのp−i−nダイオード、隣接する第2のメモリレベルには上向きのp−i−nダイオード(あるいは、その逆)のように反対方向を向くダイオードを有するのが好ましい。
図4A〜図4Dは、本発明に従って第1のメモリレベルを製造する過程の基板400の一部の断面図を示す。以下に説明するように、第1のメモリレベルは、選択付着プロセスを使用して形成される可逆的抵抗スイッチング素子をそれぞれ含む複数のメモリセルを含む。(図2C〜図2Dを参照して前に説明したように)第1のメモリレベルの上には追加のメモリレベルが製造されてもよい。
図5は、本発明に従って提供される例示的なメモリセル500の断面図である。メモリセル500は、基板505上に形成される可逆的抵抗スイッチング素子504に接続される薄膜金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)502などの薄膜トランジスタ(TFT)を含む。例えば、MOSFET502は、何らかの適切な基板上に形成されるnチャネルまたはpチャネル薄膜MOSFETであってもよい。図に示される実施形態では、二酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化物などの絶縁領域506が基板505上に形成され、絶縁領域506の上に、付着シリコン、ゲルマニウム、シリコン−ゲルマニウムなどの付着半導体領域507が形成される。付着半導体領域507内に薄膜MOSFET502が形成され、絶縁領域506によって基板505から分離される。
図6は、本発明に従って提供される例示的なメモリセル600の断面図である。メモリセル600は、可逆的抵抗スイッチング素子202がダイオード204の下に形成される点を除けば、図3のメモリセル200と類似している。具体的には、図6に示されるように、可逆的抵抗スイッチング素子202は、パターニングされエッチングされた下部導体206の上に導電性材料602を選択的に付着させることによって形成される。次いで、導電性材料602は、本発明に従って、必要に応じてアニールおよび/または酸化されてメモリセル600で使用される可逆的抵抗率スイッチング材料604を形成してもよい。例えば、導電性材料602は、電気メッキなどによって選択的に付着され、酸化されて可逆的抵抗率スイッチング材料層604を形成するNi、Nix Py 、NiO、NiOx 、NiOx Py 、Nb、Ta、V、Al、Ti、Co、コバルト−ニッケル合金などの層を含んでもよい。ダイオード204と垂直方向に重なりおよび/またはこれと位置合わせされる可逆的抵抗率スイッチング材料層604の一部は、メモリセル600のダイオード204と第1の導体206との間の可逆的抵抗スイッチング素子202として働いてもよい。ある実施形態では、可逆的抵抗スイッチング素子202の1つ以上のフィラメントなどの部分のみがスイッチングしても、および/またはスイッチング可能であってもよい。層604は、既にパターニングされエッチングされた下部導体206の上に選択的に付着されるため、可逆的抵抗率スイッチング材料層604はエッチングを必要としない。
したがって、本発明は、その例示的な実施形態に関連して開示されたが、当然ながら、他の実施形態が、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の趣旨および範囲に含まれてもよい。
Claims (78)
- メモリセルを形成する方法であって、
基板上にステアリング素子を形成するステップと、
選択付着プロセスを使用して前記ステアリング素子に接続される可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップと、
を含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、ダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、多結晶ダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、垂直多結晶ダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、低抵抗率状態にある多結晶材料を有する垂直多結晶ダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、p−nダイオードまたはp−i−nダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、薄膜トランジスタを形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子を形成するステップが、薄膜金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを形成するステップを含む方法。 - 請求項9記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、約1,000オングストローム以下の酸化層厚を有する可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップを含む方法。 - 請求項10記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、約500オングストローム以下の酸化層厚を有する可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、ニッケル含有層を選択的に形成するステップを含む方法。 - 請求項12記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、NiO、NiOx またはNiOx Py 含有層を選択的に形成するステップを含む方法。 - 請求項13記載の方法において、
前記NiO、NiOx またはNiOx Py 含有層をアニールまたは酸化するステップをさらに含む方法。 - 請求項12記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、NiまたはNix Py 層を選択的に形成するステップを含み、前記NiまたはNix Py 層を酸化するステップをさらに含む方法。 - 請求項13記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、前記ニッケル含有層を無電解に付着するステップを含む方法。 - 請求項13記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、電気メッキを使用して前記ニッケル含有層を形成するステップを含む方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステアリング素子と可逆的抵抗スイッチング素子とを直列に接続するステップをさらに含む方法。 - 請求項1記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- 請求項9記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- メモリセルを形成する方法であって、
基板上に第1の導体を形成するステップと、
前記第1の導体の上にダイオードを形成するステップと、
選択付着プロセスを使用して前記第1の導体の上に可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップと、 前記ダイオードおよび前記可逆的抵抗スイッチング素子の上に第2の導体を形成するステップと、
を含む方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記ダイオードを形成するステップが、垂直多結晶ダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項22記載の方法において、
前記垂直多結晶ダイオードの多結晶材料が低抵抗率状態にあるように、前記多結晶材料と接触するシリサイド、シリサイド−ゲルマニドまたはゲルマニド領域を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、約500オングストローム以下の酸化層厚を有する可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップを含む方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、ニッケル含有層を選択的に形成するステップを含む方法。 - 請求項25記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、NiO、NiOx またはNiOx Py 含有層を選択的に形成するステップを含む方法。 - 請求項25記載の方法において、
前記ニッケル含有層を形成するステップが、NiまたはNix Py 層を選択的に形成するステップを含み、前記NiまたはNix Py 層を酸化するステップをさらに含む方法。 - 請求項21記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- 請求項24記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- メモリセルを形成する方法であって、
基板上に第1の導体を形成するステップと、
前記第1の導体の上に垂直多結晶ダイオードを形成するステップと、
前記垂直多結晶ダイオードの上に、酸化ニッケル層を含む可逆的抵抗スイッチング素子を選択的に形成するステップと、
前記垂直多結晶ダイオードの上に第2の導体を形成するステップと、
を含む方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記垂直多結晶ダイオードの多結晶材料が低抵抗率状態にあるように、前記多結晶材料と接触するシリサイド、シリサイド−ゲルマニドまたはゲルマニド領域を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を選択的に形成するステップが、約500オングストローム以下の酸化層厚を有する可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップを含む方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記垂直多結晶ダイオードを形成するステップが、垂直ポリシリコンダイオードを形成するステップを含む方法。 - 請求項30記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- メモリセルを形成する方法であって、
基板上にソース領域およびドレイン領域を有する薄膜トランジスタを形成するステップと、
前記トランジスタの前記ソース領域または前記ドレイン領域に接続される第1の導体を形成するステップと、
前記第1の導体の上に、酸化ニッケル層を含む可逆的抵抗スイッチング素子を選択的に形成するステップと、
前記可逆的抵抗スイッチング素子の上に第2の導体を形成するステップと、
を含む方法。 - 請求項35記載の方法において、
前記薄膜トランジスタを形成するステップが、nチャネルまたはpチャネル薄膜金属酸化膜半導体電界効果トランジスタを形成するステップ含む方法。 - 請求項35記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を選択的に形成するステップが、約500オングストローム以下の酸化層厚を有する可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップを含む方法。 - 請求項35記載の方法を使用して形成されるメモリセル。
- 請求項1記載の方法において、
前記可逆的抵抗スイッチング素子を形成するステップが、Ta2 O5 、Nb2 O5 、Al2 O3 、V2 O5 、CoO、(Cox Niy )Oz およびTiO2 のうちの少なくとも1つを形成するステップを含む方法。 - メモリセルであって、
ステアリング素子と、
前記ステアリング素子に接続され、選択付着プロセスを使用して形成される可逆的抵抗スイッチング素子と、
を含むメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
前記ステアリング素子が、ダイオードを含むメモリセル。 - 請求項41記載のメモリセルにおいて、
前記ダイオードが、垂直多結晶ダイオードを含むメモリセル。 - 請求項42記載のメモリセルにおいて、
前記垂直多結晶ダイオードが、低抵抗率状態にある多結晶材料を含むメモリセル。 - 請求項41記載のメモリセルにおいて、
前記ダイオードが、p−nダイオードまたはp−i−nダイオードを含むメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
前記ステアリング素子が、薄膜トランジスタを含むメモリセル。 - 請求項45記載のメモリセルにおいて、
前記薄膜トランジスタが、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を含むメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含むメモリセル。 - 請求項47記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約1,000オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - 請求項47記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約500オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
ニッケル含有層をさらに含み、前記可逆的抵抗スイッチング素子が前記ニッケル含有層を酸化またはアニールすることによって形成されるメモリセル。 - 請求項50記載のメモリセルにおいて、
前記ニッケル含有層が、無電解付着または電気メッキプロセスを使用して選択的に付着されるメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
前記ステアリング素子と前記可逆的抵抗スイッチング素子とが直列に接続されるメモリセル。 - メモリセルであって、
第1の導体と、
前記第1の導体の上に形成される第2の導体と、
前記第1の導体と前記第2の導体との間に形成されるダイオードと、
選択付着プロセスを使用して前記第1の導体と前記第2の導体との間に形成される可逆的抵抗スイッチング素子と、
を含むメモリセル。 - 請求項53記載のメモリセルにおいて、
前記ダイオードが、垂直多結晶ダイオードを含むメモリセル。 - 請求項54記載のメモリセルにおいて、
前記垂直多結晶ダイオードの多結晶材料が低抵抗率状態にあるように、前記多結晶材料と接触するシリサイド、シリサイド−ゲルマニドまたはゲルマニド領域をさらに含むメモリセル。 - 請求項53記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含むメモリセル。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
ニッケル含有層をさらに含み、前記可逆的抵抗スイッチング素子が、前記ニッケル含有層を酸化またはアニールすることによって形成されるメモリセル。 - 請求項53記載のメモリセルにおいて、
前記ニッケル含有層が、無電解付着または電気メッキプロセスを使用して選択的に付着されるメモリセル。 - メモリセルであって、
第1の導体と、
前記第1の導体の上に形成される垂直多結晶ダイオードと、
前記垂直多結晶ダイオードの上に選択的に形成される酸化ニッケル層を含む可逆的抵抗スイッチング素子と、
前記垂直多結晶ダイオードの上に形成される第2の導体と、
を含むメモリセル。 - 請求項59記載のメモリセルにおいて、
前記垂直多結晶ダイオードの多結晶材料が低抵抗率状態にあるように、前記多結晶材料と接触するシリサイド、シリサイド−ゲルマニドまたはゲルマニド領域をさらに含むメモリセル。 - 請求項59記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含むメモリセル。 - 請求項61記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約1,000オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - 請求項61記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約500オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - メモリセルであって、
ソース領域およびドレイン領域を有する薄膜トランジスタと、
前記ソース領域または前記ドレイン領域に接続される第1の導体と、
前記第1の導体の上に選択的に形成される酸化ニッケル層を含む可逆的抵抗スイッチング素子と、
前記可逆的抵抗スイッチング素子の上に形成される第2の導体と、
を含むメモリセル。 - 請求項64記載のメモリセルにおいて、
前記薄膜トランジスタが、nチャネルまたはpチャネル薄膜金属酸化膜半導体電界効果トランジスタを含むメモリセル。 - 請求項64記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含むメモリセル。 - 請求項66記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約1,000オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - 請求項66記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、約500オングストローム以下の酸化層厚を有するメモリセル。 - 複数の不揮発性メモリセルであって、
第1の方向に延びる第1の複数の実質的に平行で実質的に共平面の導体と、
複数のダイオードと、
複数の可逆的抵抗スイッチング素子と、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に延びる第2の複数の実質的に平行で実質的に共平面の導体と、を含み、
各メモリセルにおいて、前記ダイオードのうちの1つと前記可逆的抵抗スイッチング素子のうちの1つとが、直列に配列され、前記第1の導体のうちの1つと前記第2の導体のうちの1つとの間に配置され、
各可逆的抵抗スイッチング素子が、選択付着プロセスを使用して形成される複数の不揮発性メモリセル。 - 請求項69記載の複数の不揮発性メモリセルにおいて、
各ダイオードは、垂直多結晶ダイオードである複数の不揮発性メモリセル。 - 請求項70記載の複数の不揮発性メモリセルにおいて、
各垂直多結晶ダイオードの多結晶材料が低抵抗率状態にあるように、前記多結晶材料と接触するシリサイド、シリサイド−ゲルマニドまたはゲルマニド領域をさらに含む複数の不揮発性メモリセル。 - 請求項69記載の複数の不揮発性メモリセルにおいて、
各可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含む複数の不揮発性メモリセル。 - モノリシックな3次元メモリアレイであって、
基板上に形成される第1のメモリレベルであって、
複数のメモリセルであって、前記第1のメモリレベルの各メモリセルが、
ステアリング素子と、
前記ステアリング素子に接続され、選択付着プロセスを使用して形成される可逆的抵抗スイッチング素子と、を含む複数のメモリセルを含む第1のメモリレベルと、
前記第1のメモリレベルの上にモノリシック的に形成される少なくとも第2のメモリレベルと、
を含むモノリシックな3次元メモリアレイ。 - 請求項73記載のモノリシックな3次元メモリアレイにおいて、
各ステアリング素子が、垂直多結晶ダイオードを含むモノリシックな3次元メモリアレイ。 - 請求項74記載のモノリシックな3次元メモリアレイにおいて、
各垂直多結晶ダイオードが、垂直ポリシリコンダイオードを含むモノリシックな3次元メモリアレイ。 - 請求項73記載のモノリシックな3次元メモリアレイにおいて、
各可逆的抵抗スイッチング素子が、NiO、NiOx およびNiOx Py のうちの少なくとも1つを含むモノリシックな3次元メモリアレイ。 - 請求項73記載のモノリシックな3次元メモリアレイにおいて、
各メモリセルの各ステアリング素子と各可逆的抵抗スイッチング素子とが、直列に接続されるモノリシック3次元メモリアレイ。 - 請求項40記載のメモリセルにおいて、
前記可逆的抵抗スイッチング素子が、Ta2 O5 、Nb2 O5 、Al2 O3 、V2 O5 、CoO、(Cox Niy )Oz およびTiO2 のうちの少なくとも1つを含むメモリセル。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/772,084 | 2007-06-29 | ||
US11/772,084 US8233308B2 (en) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Memory cell that employs a selectively deposited reversible resistance-switching element and methods of forming the same |
US11/772,090 US7846785B2 (en) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Memory cell that employs a selectively deposited reversible resistance-switching element and methods of forming the same |
US11/772,090 | 2007-06-29 | ||
PCT/US2008/007986 WO2009005700A2 (en) | 2007-06-29 | 2008-06-27 | Memory cell that employs a selectively deposited reversible resistance-switching element and methods of forming the same |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010532569A true JP2010532569A (ja) | 2010-10-07 |
JP2010532569A5 JP2010532569A5 (ja) | 2011-07-14 |
JP5624463B2 JP5624463B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=39791399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010514824A Expired - Fee Related JP5624463B2 (ja) | 2007-06-29 | 2008-06-27 | 選択付着による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (2) | EP2162916B1 (ja) |
JP (1) | JP5624463B2 (ja) |
KR (3) | KR20140061468A (ja) |
CN (1) | CN101720506B (ja) |
TW (1) | TWI433276B (ja) |
WO (1) | WO2009005700A2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225741A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2012004586A (ja) * | 2011-08-09 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2013038264A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Toshiba Corp | 抵抗変化メモリ |
JP2013197461A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4829320B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2011-12-07 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP4875118B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置の製造方法 |
US7927977B2 (en) * | 2009-07-15 | 2011-04-19 | Sandisk 3D Llc | Method of making damascene diodes using sacrificial material |
JP5161911B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2013-03-13 | 株式会社東芝 | 抵抗変化メモリ |
CN102314940B (zh) * | 2010-07-07 | 2014-04-23 | 旺宏电子股份有限公司 | 具有晶体管与电阻值切换装置并联的非挥发性存储器装置 |
JP2013069922A (ja) | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法及び不揮発性半導体記憶装置 |
JP5818679B2 (ja) | 2011-12-27 | 2015-11-18 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
WO2015072958A1 (en) * | 2013-11-12 | 2015-05-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nonlinear memristor devices with three-layer selectors |
CN111106238B (zh) * | 2019-11-19 | 2023-08-29 | 中山大学 | 一种基于金属掺杂的双向阈值选通器及其制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363604A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 一つのスイッチング素子と一つの抵抗体とを含む不揮発性メモリ装置およびその製造方法 |
WO2006075574A1 (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 抵抗変化素子とその製造方法 |
WO2006121837A2 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory cell comprising a diode and a resistance-switching material |
JP2007053199A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Toshiba Corp | 集積回路装置の製造方法 |
KR100717286B1 (ko) * | 2006-04-21 | 2007-05-15 | 삼성전자주식회사 | 상변화 물질층의 형성 방법과, 그 방법을 이용한 상변화기억 소자의 형성 방법 및 상변화 기억 소자 |
JP2007165873A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 単極抵抗ランダムアクセスメモリ(rram)デバイス、および垂直スタックアーキテクチャ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5915167A (en) | 1997-04-04 | 1999-06-22 | Elm Technology Corporation | Three dimensional structure memory |
US6034882A (en) * | 1998-11-16 | 2000-03-07 | Matrix Semiconductor, Inc. | Vertically stacked field programmable nonvolatile memory and method of fabrication |
US7102150B2 (en) * | 2001-05-11 | 2006-09-05 | Harshfield Steven T | PCRAM memory cell and method of making same |
US6545287B2 (en) * | 2001-09-07 | 2003-04-08 | Intel Corporation | Using selective deposition to form phase-change memory cells |
US7109056B2 (en) * | 2001-09-20 | 2006-09-19 | Micron Technology, Inc. | Electro-and electroless plating of metal in the manufacture of PCRAM devices |
WO2004061851A2 (en) | 2002-12-19 | 2004-07-22 | Matrix Semiconductor, Inc | An improved method for making high-density nonvolatile memory |
US7176064B2 (en) | 2003-12-03 | 2007-02-13 | Sandisk 3D Llc | Memory cell comprising a semiconductor junction diode crystallized adjacent to a silicide |
US7189626B2 (en) * | 2004-11-03 | 2007-03-13 | Micron Technology, Inc. | Electroless plating of metal caps for chalcogenide-based memory devices |
JP2009520374A (ja) * | 2005-12-20 | 2009-05-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 縦型相変化メモリセルおよびその製造方法 |
WO2008097742A1 (en) * | 2007-02-05 | 2008-08-14 | Interolecular, Inc. | Methods for forming resistive switching memory elements |
JP2010532568A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-10-07 | サンディスク スリーディー,エルエルシー | 選択成長による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 |
-
2008
- 2008-06-27 WO PCT/US2008/007986 patent/WO2009005700A2/en active Application Filing
- 2008-06-27 KR KR1020147008191A patent/KR20140061468A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-06-27 EP EP08779800A patent/EP2162916B1/en active Active
- 2008-06-27 JP JP2010514824A patent/JP5624463B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-06-27 CN CN200880022647.7A patent/CN101720506B/zh active Active
- 2008-06-27 EP EP12166461.9A patent/EP2485258B1/en active Active
- 2008-06-27 TW TW097124473A patent/TWI433276B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-06-27 KR KR1020097027303A patent/KR101447176B1/ko active IP Right Grant
- 2008-06-27 KR KR1020147008185A patent/KR101494335B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363604A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 一つのスイッチング素子と一つの抵抗体とを含む不揮発性メモリ装置およびその製造方法 |
WO2006075574A1 (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 抵抗変化素子とその製造方法 |
WO2006121837A2 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory cell comprising a diode and a resistance-switching material |
JP2007053199A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Toshiba Corp | 集積回路装置の製造方法 |
JP2007165873A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 単極抵抗ランダムアクセスメモリ(rram)デバイス、および垂直スタックアーキテクチャ |
KR100717286B1 (ko) * | 2006-04-21 | 2007-05-15 | 삼성전자주식회사 | 상변화 물질층의 형성 방법과, 그 방법을 이용한 상변화기억 소자의 형성 방법 및 상변화 기억 소자 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225741A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US8507889B2 (en) | 2009-03-23 | 2013-08-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device comprising memory cell array having multilayer structure |
USRE45817E1 (en) | 2009-03-23 | 2015-12-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device comprising memory cell array having multilayer structure |
JP2012004586A (ja) * | 2011-08-09 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2013038264A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Toshiba Corp | 抵抗変化メモリ |
JP2013197461A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101447176B1 (ko) | 2014-10-08 |
WO2009005700A2 (en) | 2009-01-08 |
KR20140061468A (ko) | 2014-05-21 |
CN101720506B (zh) | 2012-05-16 |
TWI433276B (zh) | 2014-04-01 |
WO2009005700A3 (en) | 2009-02-26 |
EP2485258A2 (en) | 2012-08-08 |
KR101494335B1 (ko) | 2015-02-23 |
KR20140061467A (ko) | 2014-05-21 |
KR20100038317A (ko) | 2010-04-14 |
TW200913171A (en) | 2009-03-16 |
EP2162916B1 (en) | 2013-03-20 |
EP2485258B1 (en) | 2014-03-26 |
EP2162916A2 (en) | 2010-03-17 |
EP2485258A3 (en) | 2012-08-22 |
CN101720506A (zh) | 2010-06-02 |
JP5624463B2 (ja) | 2014-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5624463B2 (ja) | 選択付着による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 | |
US7846785B2 (en) | Memory cell that employs a selectively deposited reversible resistance-switching element and methods of forming the same | |
US8233308B2 (en) | Memory cell that employs a selectively deposited reversible resistance-switching element and methods of forming the same | |
US8507315B2 (en) | Memory cell that employs a selectively grown reversible resistance-switching element and methods of forming the same | |
US7902537B2 (en) | Memory cell that employs a selectively grown reversible resistance-switching element and methods of forming the same | |
JP2010532568A (ja) | 選択成長による可逆的抵抗スイッチング素子を使用するメモリセルおよびその形成方法 | |
KR101494746B1 (ko) | 선택적으로 제조된 탄소 나노 튜브 가역 저항 전환 소자를 사용하는 메모리 셀과 이를 형성하는 방법 | |
US8981347B2 (en) | Memory cell that includes a sidewall collar for pillar isolation and methods of forming the same | |
KR101597845B1 (ko) | 탄소계 메모리 소자를 포함한 메모리 셀과 이를 형성하는 방법 | |
US20140252298A1 (en) | Methods and apparatus for metal oxide reversible resistance-switching memory devices | |
TWI398974B (zh) | 具有單晶矽在矽化物上之積體電路元件及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110520 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140909 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5624463 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |