JP2010527895A - 透明ガラスの分離、並びにその装置及び方法 - Google Patents

Abstract

１枚以上のガラスシートを切断するシステム及び方法である。第１反射面を有する第１ミラーと第１反射面に離間対向する第２反射面を有する第２ミラーとから成り、２つのミラー間に空洞を画成するシステムが提供される。第１ミラーには開口部を画成することができる。また、開口部を通して空洞内にビームを照射するよう構成されたレーザーを備えることができる。１つの態様において、空洞内で反射したビームにより共通焦点を画成することができ、共通焦点を通してガラスシートを平行移動することによりガラスシートが切断される。１つの態様において、空洞内を通してガラスシートを平行移動する手段が提供される。

Description

本発明は１枚以上のガラスシートを切断するためのシステム及び方法に関するものである。具体的には、複数の反射レーザー・ビームによる１枚以上のガラスシートの切断に関するものである。

従来からガラスシートの切断には幾つかの方法及び技術が用いられている。一般に、理想的なガラスシートの切断方法に要求される条件には、高直行率、低コスト、高端部強度、後処理が少ないことなどが挙げられる。生産性を向上するため、重畳したガラスシートを一度に切断することが求められることも多い。

最も一般に広く用いられている方法は硬質材料から成る回転車を用い、切り込み線に沿ってガラスを割る機械的刻線方法である。機械的刻線方法は最初の３つの条件を満足するが、刻線時及び分割時に表面に集積したガラス片を完全に除去する清掃を必要とするため費用がかさむ。当然のことながら、機械的刻線方法によって重畳ガラスシートを一度に切断することはできない。従って、複数のガラスシートの切断に要する時間が増大する。

ガラスシートに沿ってガラス片が集積する問題に対処するため、炭酸ガスレーザー法が開発された。移動レーザー・ビームによってガラスシート表面に温度勾配を生じさせ、その勾配がレーザー・ビームの後に少し距離を置いて続く冷却剤（気体又は液体）によって強められる。一般に、炭酸ガスレーザー法による端部の品質は満足の行くものであるが、炭酸ガスレーザーによって表面を加熱する必要があるため、重畳ガラスシートを切断することはできない。また、前記機械的刻線方法と比較して、炭酸ガスレーザーの保守費用及び/又は所有するための費用がかなり高い。

ＹＡＧレーザーのような固体レーザーを使用する別の方法も提案されている。レーザーの波長は一般にガラスの吸収率が中〜低にある近赤外域（ＮＩＲ）である。この様な方法においては、温度勾配に基づいてガラスシートに応力が生じ亀裂が入る。必要な温度を得るために多重パス・ビーム手法が採用されている。一般に、多重パス・ビーム法においては、非収束ビームを同一ガラス場所に限定回数通過させる必要がある。この種の方法は高透過ガラス（即ち、低吸収ガラス）又は切断に高温加熱を必要とする熱膨張係数（ＣＴＥ）が低いガラスには不適切である。炭酸ガスレーザー法とは異なり、固体レーザー法においては、厚さ全体にわたりガラスが加熱されるため多数のガラスシートの重畳体を切断することができる。しかし、ビームを限定回数のみ通過させるため、吸収率が低いガラスの切断は困難である。

従って、当技術分野において、端部強度が高く、後処理が少なく、どのような吸収率のガラスシートでも切断可能な高直行率且つ低コストのガラスシート切断方法及びシステムが必要とされている。

本発明によれば、少なくとも１枚のガラスシートを切断するシステム及び方法が提供される。１つの態様において、第１反射面を有する第１ミラーと前記第１反射面に離間対向する第２反射面を有する第２ミラーとから成り、前記第１ミラーと第２ミラーとの間に空洞が画成されるシステムが提供される。別の態様において、前記第１ミラーが前記第１反射面を貫通する開口部を画成する。１つの態様において、前記システムが前記開口部を通して前記空洞にビームを照射するよう構成されたレーザーを更に備えている。更に別の態様において、前記システムが前記空洞を通して少なくとも１枚のガラスシートを、例えば機械方向に、平行移動する手段を有している。

少なくとも１枚のガラスシートを切断する方法であって、第１反射面を有する第１ミラーを用意するステップ、及び前記第１反射面に離間対向する第２反射面を有する第２ミラーを用意し、前記第１ミラーと第２ミラーとの間の空洞を画成するステップの各ステップを有して成ることを特徴とする方法が提供される。１つの態様において、前記第１ミラーが前記第１反射面を貫通する開口部を画成する。別の態様において、前記方法が、ビームを照射するよう構成され、前記開口部を通して前記ビームを前記空洞内に照射するレーザーを用意するステップを更に有している。更に別の態様において、前記方法が前記空洞を通して少なくとも１枚のガラスシートを、例えば機械方向に、平行移動するステップを有している。

本発明の実施の形態の一部が、詳細な説明及びその後に続く請求項に記載されており、一部は詳細な説明又は本発明を実施することにより理解できる。前記概要説明及び以下の詳細な説明は例示的且つ本発明の説明のみを目的としたものであり、本明細書に開示及び/又は特許請求した本発明を限定すると解釈されるものではない。

本発明の１つの態様によるレーザー・ガラス分離システムの概略図。 本発明の別の態様によるレーザー・ガラス分離システムの概略図。 図２に示すような本発明の１つの態様によるレーザー・ガラス分離システムの概略平面図。 本発明の更に別の態様によるレーザー・ガラス分離システムの概略図。 ガラスシート分離線の略中央における応力の測定結果を示すグラフ。 ガラスシートの縁に沿った分離線の略端部における応力の測定結果を示すグラフ。 二周波直交偏光レーザー・ビームの共通焦点プロファイルの例を示す図。

以下は、現在における本発明の最良の実施の形態の説明を意図したものである。そのため、当業者は以下に説明する本発明の実施の形態から有益な結果を得ることができると共に、多くの変更が可能であることが分かる。また、本発明の一部の特徴を選択し他の特徴を使用しないことにより、本発明の好ましい利益が得られることも容易に理解できる。このように、当業者は本発明に多くの改良及び変更が可能且つ状況によってはそれが望ましく、またそれ等は本発明の一部を構成することが理解できる。従って、以下の説明は本発明の基本原理を説明するためのものであって本発明を限定するものではない。

本明細書において、単数を示す“a”、 “aｎ”、及び“ｔｈｅ”は文脈上明らかに別である場合を除き、複数も意味する。従って、例えば、“ビーム”は文脈上明らかに別である場合を除き、２つ以上のビームを有する実施の形態も含む。

範囲は“約”特定の値及び/又は“約”別の特定の値により示される。かかる範囲が示された場合、別の実施の形態は前記１つの特定の値及び/又は別の特定の値を含む。同様に、先行詞“約”により概略値が示された場合、その概略値は別の実施の形態を構成する。また、範囲の両端点は他の端点との関係において及び他の端点とは独立して意味を成す。

本明細書において、“切断（ｃｕｔ）” 、“分離（ｓｅｐａｒａｔｅ）” 、及びその派生語は同一の意味を有し、ガラスシート又は別の材料を１つ以上の分離片に分割する動作又は工程を意味する。

前記概略説明したように、本発明の１つの態様によれば、少なくとも１枚のガラスシートを切断するためのシステムが提供される。図１に例示したシステムは、第１ミラー１１０と第２ミラー１２０とを有している。１つの態様において、第１ミラーは第１反射面１１２を有している。特定の態様において、第１ミラーは第１ミラー及び第１反射面を貫通する開口部１１４を画成することができる。同様に、第２ミラーは第２反射面１２２を有することができる。別の態様において、各々の反射面が互いに対向するようミラーを配置することによりミラー間に空洞を画成することができる。

本発明の更に別の態様によれば、システムが第１ミラーの開口部１１２を通して空洞内にビームを照射するよう構成されたレーザーを有することができる。ビームは少なくとも複数回第２反射面１２２に反射することにより複数の反射ビーム１３２Ｂを形成することができる。同様に、ビームは第１反射面１１２に反射することにより追加反射ビーム１３２Ａを形成することができる。１つの態様において、複数の反射ビームによってビーム路平面が画成される。任意として、１つの態様において、複数の反射ビームによって１つのビーム路平面が画成されない。

別の態様において、開口部以外から空洞内にビームを照射するよう第１ミラーを成形及び構成することができる。例えば、第１ミラー縁部の一部を除去し、その部分にビームを投影することができる。例えば、第１ミラーが略円形の場合、円の弦に沿って第１ミラーの一部を除去することにより、略“Ｄ”形のミラーとすることができる。レーザーをミラーの平坦な縁部（弦）に配置してビームを空洞内に照射し第２反射面において反射させることができる。別の方法として、空洞内にビームを照射して第２反射面において反射させることができる形状を第１ミラー縁部近傍に設けることができる。

１つの態様において、第１及び第２ミラーが空洞に対し凹面を成し、それぞれ第１及び第２曲率半径を有することができる。１つの態様において、第１及び第２ミラーの曲率半径を略同一とすることができる。任意として、第１及び第２曲率半径が一致していなくてもよい。特定の態様において、第１曲率半径が第２曲率半径より小さい。異なる曲率半径を選択することにより、反射ビームが開口部から空洞外に出てしまうのを実質的に防止できる。

各種態様によれば、所定の距離反射面が離間するようミラーを配置することができる。特定の態様によれば、所定の距離が実質的に第１曲率半径ｒ_１と第２曲率半径ｒ_２との合計以下である。例えば、図１に示すように、各々の反射面が反射面と反射面との距離が最大になる対向中間点を規定することができる。この場合、前記距離実質的にはそれぞれの曲率半径の合計に等しい。特定の態様において、第２反射面で反射されたビームが共通焦点１３４を画成するよう、第１曲率半径、第２曲率半径、又はその両方を選定することができる。第２反射面で反射されたビームが共通焦点１３４を画成するよう、第１曲率半径、第２曲率半径、又はその両方と併せて反射面の離間距離も選択することができる。例えば、特定の態様において、第１曲率半径を第２曲率半径より小さくし、反射面を第１曲率半径と第２曲率半径との和に実質的に等しい距離（対向中間点で規定）離間させることができる。

更に別の態様による本発明のシステムは、前記空洞を通して少なくとも１枚のガラスシートを機械方向に平行移動する手段を有することができる。１つの態様において、前記機械方向は実質的に直線である。任意として、前記機械方向を、例えば、弓形又は幾つかの非平行直線を接続したパターン等非直線とすることができる。図２及び３は、少なくとも１枚のガラスシートをガラスシートの平面及びビーム路平面によって共通軸１５０が画成される第１位置を通して空洞内を平行移動するよう構成された１つの態様における平行移動手段を示している。第１位置において、ガラスシート平面がビーム路平面に対し所定の角度θ_Ａ及び共通軸を含みビーム路平面に直交する第３平面に対し所定の余角θ_Ｂを成すことができる。
平行移動手段はガラスシート１４０を前記所定の角度を維持しながら少なくともガラスシートの一部が前記共通焦点を通るようにして空洞内を機械方向に平行移動するよう構成することができる。１つの態様において、前記機械方向は、図３に示すように、共通軸に垂直な軸に略直線に延びビーム路平面に対し所定の角度を成す方向である。任意として、共通軸に平行な方向に略直線に延びる方向を前記機械方向とすることができる。機械方向は前記に限定されず、所定の角度を維持し、共通焦点にガラスシートの少なくとも一部を通過させる各種機械方向が可能である。

平行移動手段はガラスシートを所定の速度で空洞内を平行移動するよう構成することができる。レーザー強度及びガラスシートの特性（即ち、吸収、熱膨張係数等）に応じて所定の速度を選択することができる。従って、各種態様において、高出力レーザーを使用することにより平行移動の高速化（従って切断時間の短縮）が図られている。本発明は特定のレーザー出力又は特定の速度に限定されるものではない。従って、前記要素に応じて所定の速度を任意の値にすることが可能であり、本明細書に例示した値に限定されるもので
はない。

１つの態様において、所定の余角θ_Ｂは実質的にブリュースター角である。任意として、所定の余角は５４、５５、５６、５７、５８、５９、及び６０度を含む約５４〜約６０度である。別の態様において、所定の余角は５５、５５．５、５６、５６．５、及び５７度を含む約５５〜約５７度である。特定の態様において、所定の余角は約５６度である。

１つの態様において、偏光ビームを照射するようレーザーを構成することができる。別の態様において、直線Ｐ偏光のように、共通軸１５０に垂直な面にレーザー・ビームを偏光することができる。本態様において、フレネル反射損失が抑制されガラスシートの有効吸収が向上する。ガラスシートの吸収は使用するガラスの種類にも依存する。例えば、例として、吸収率が約０．００１/ｃｍ未満のガラスシートを使用することができる。この比較的低い吸収率において、Ｐ偏光レーザー・ビームが重要になる。また、例として、吸収率が約０．００１/ｃｍ〜約０．０１/ｃｍのガラスから成るガラスシートを使用することもできる。あるいは、例として、吸収率が約０．０１/ｃｍ〜約０．１/ｃｍのガラスから成るガラスシートを使用することもできる。任意として、例えば約０．１/ｃｍ〜約１．０/ｃｍように吸収率が約０．１/ｃｍを超えるガラスから成るガラスシートを同様に使用することができる。

様々な熱膨張係数（ＣＴＥ）のガラスシートを使用することもできる。例えば、ＣＴＥが約１×１０^−６/℃〜約２×１０^−６/℃のガラスから成るガラスシートを使用することができる。任意として、ＣＴＥが約２×１０^−６/℃〜約４×１０^−６/℃のガラスから成るガラスシートを使用することができる。更に別の態様において、ＣＴＥが約４×１０^−６/℃〜約１×１０^−５/℃のガラスから成るガラスシートを使用することができる。特定の態様において、ガラスシートが約３．７×１０^−６/℃のＣＴＥを有するカラスから成ることができる。

各種態様において、前記のような吸収率及びＣＥＴ値の様々な組合せを有するガラスシートを使用することができる。例えば、ガラスシートは吸収率が約０．０１/ｃｍ〜約０．１/ｃｍ、熱膨張係数が約２×１０^−６/℃〜約４×１０^−６/℃のガラスから成ることができる。特定の態様において、吸収率が約０．０９/ｃｍ〜約０．１/ｃｍ、ＣＴＥが約３．７×１０^−６/℃のガラスシートを使用することができる。また、本明細書に記載のシステム及び方法により切断されるシートはガラスに限定されるものではなく、ガラスセラミックス、クリスタル等ガラスと同様の特性（吸収率、ＣＴＥ等）を有する材料から成ることができる。

１つの態様において、ガラスシートが前記空洞内を複数回平行移動されるよう平行移動手段を構成することができる。本態様において、ガラスシートがレーザー・ビームの共通焦点を通過する度に吸収率が向上することが意図されている。また、比較的高い吸収率を有するガラスから成るガラスシートと比較して、吸収率の低いガラスから成るガラスシートはより多くの回数空洞を通過させることにより分離することも意図されている。前記のように、特定の態様において、第１曲率半径ｒ_１を第２曲率半径ｒ_２より小さくすることができる。半径の差が比較的小さい場合には、反射ビームが共通焦点に収束するのが遅くなる。

本発明の特定の態様において、前記少なくとも１枚のガラスシートが重畳配置された複数のガラスシートから成っている。本態様において、空洞を通して重畳ガラスシートを機械方向に平行移動するよう前記平行移動手段を構成することができる。前述のように、機械方向は変更可能である。このように本発明の各種態様によれば、レーザー・ビームがガラスシートの厚み全体を通して吸収されるため、重畳ガラスシートを略同時に分離することができる。厚み、長さ、及びガラスシート面の高さ等、サイズの異なるガラスシートを使用することができる。

各種レーザーにより本発明の態様に応じたガラス分離結果を得ることができる。例えば、取分け高出力（例えば、２００Ｗ以上）の連続発振（ＣＷ）レーザーを使用することができる。また、例えば、Ｙｂファイバー・レーザーのようなファイバー・レーザーを使用することもできる。ピグテイル型レーザー・ダイオードも使用可能である。１つの態様において、近赤外波長域で動作するレーザーを使用することができる。別の態様において、レーザーは近赤外波長域以外の波長域で動作できる。

別の態様において、図４に例示するシステムのように、２つのミラーのうち第１ミラーが略中間点を貫通する開口部を画成して成るものを用意することができる。この開口部を介してレーザーの入射ビームを空洞内に照射することができる。本特定の態様において、以後の進行及び反射においてビームが拡大する。反射ビーム１３２Ａ及び１３２Ｂが重複することにより、加熱効率が向上しその結果ガラスシートの分離効率も向上する。しかし、ビームの一部が開口部を介して空洞の外部に紛失する等レーザー出力のロスも増加すると共に、それが帰還されレーザーの安定性に影響を与える。

別の態様において、レーザーから発せられたレーザー・ビームを偏光ビームスプリッターにより２つの直交偏光ビームに分割することができる。従って、１/２λ板により１つの偏光ビームを９０°回転させ、共線偏光された２つのビームを僅かに異なる角度で空洞内に照射することができる。その結果もたらされた共通焦点のプロファイルを図６に示す。本態様において、２つのピーク間において分離線が発生することを意図している。本態様において、正確な亀裂伝播制御が可能である。

更に別の態様において、少なくとも１枚のガラスシートを切断するための方法が提供される。１つの態様において、前記方法は第１反射面を有し、それを貫通する開口部を画成する第１ミラーを用意するステップ及び第２反射面を有する第２ミラーを用意するステップの各ステップを有して成ることを特徴としている。前記第２反射面が前記第１反射面に離間対向し前記第１反射面と第２反射面との間に空洞が画成されるよう前記第２ミラーを配置することができる。

別の態様において、ビームを放射するよう構成されたレーザーが用意される。前記開口部を介して前記ビームを前記空洞に投影することができる。特定の態様において、レーザーから放射されたレーザー・ビームが少なくとも前記第２反射面において複数回反射することによりビーム路平面を画成する複数の反射ビームが形成されるよう前記レーザーを配置することができる。

特定の態様によれば、前記空洞に対し前記第１反射面が凹面を成し第１曲率半径を有することができ、同様に、前記空洞に対し前記第２反射面が凹面を成し第２曲率半径を有することができる。別の特定の態様において、複数の反射ビームがビーム路平面内に存在する共通焦点を画成するよう前記第２曲率半径を選択することができる。

１つの態様によれば、前記方法は更に前記空洞を通して少なくとも１枚のガラスシートを機械方向に平行移動するステップを有している。１つの態様において、このステップは前記共通焦点を含みガラスシート平面及びビーム路平面が共通軸を画成する第１位置を通して少なくとも１枚のガラスシートを平行移動することを含んでいる。更に、前記第１位置がビーム路平面に対する所定の角度及び共通軸を含みビーム路平面に直交する第３平面に対する所定の余角を規定する。別の態様において、空洞を通してガラスシートを平行移動するステップが前記所定の角度を維持することを含んでいる。本態様において、共通軸に垂直かつビーム路平面に対し所定の角度を成す第２軸に沿ってガラスシートを平行移動することができる。前記のように、１つの態様において、前記所定の余角を実質的にブリュースター角とすることができる。
１つの態様において、空洞内を所定の速度でガラスシートを平行移動することができる。所定の速度は約２ｍｍ/秒〜約６ｍｍ/秒である。任意として、所定の速度を約４ｍｍ/秒とすることができる。１つの態様において、所定の速度は制御の下で分離線が伝播する速度である。例えば、選択した速度が遅過ぎるとガラスシートが過熱し分離線が自由に伝播し、逆に速すぎると熱応力不足となり分離線が開始しないことがある。それ故、ガラスの吸収率、ガラスの熱膨張係数、レーザー出力等に応じた速度の選択を可能としている。

別の態様によれば、前記方法が、空洞を通して平行移動する前に、少なくとも１枚のガラスシート縁部の一部に罫書きするステップを含んでいる。特定の態様において、ガラスシート縁部の所望の分離線開始点に罫書きがなされる。前記のように、１つの態様において、複数のガラスシートを重畳配置することができる。本態様において、各々のガラスシート縁部に沿った略同一場所に罫書きすることができるため各々の分離線が略平行になる。

最後に、本発明の特定の例示的且つ具体的な実施の形態について詳細に説明したが、本発明はそのような実施の形態に限定されるものではなく、請求項に明示された本発明の広範な精神及び範囲を逸脱することなく多くの改良が可能である。

本発明の原理を更に説明するため、以下に実施例を示すことにより当業者に対し本明細書に記載のセラミック品及び方法がどのように作製・評価されたか完全に開示及び説明する。これ等の実施例は本発明の例に過ぎず発明者が発明とみなす範囲を限定するものではない。数値（例えば、量、温度等）の正確性に心掛けたが、誤差や偏差が多少生じている。別段の表示がない限り、パーツは重量パーツ、温度は摂氏又は周囲温度、圧力は大気圧又はそれに近い圧力をそれぞれ意味する。

曲率半径１０ｃｍの第１ミラー及び曲率半径１２．５ｃｍの第２ミラーを使用して実験した。この２つのミラーを反射面の中間点において２２．５ｃｍ離間した。Ｅａｇｌｅ^２０００（登録商標）ガラスシートの５ｃｍ角サンプルを所定の余角(即ち、図３のθ_Ｂ)がブリュースター角となる角度に配置した。このガラスシートを電動式平行移動機構に取り付けた。出力２５０ＷのＹｂ連続発信（ＣＷ）、無偏光、１０６０ｎｍファイバー発振器レーザーを使用して第１ミラーの開口部を通して２つのミラー間の空間によって画成された空洞にビームを照射した。ガラスシート上の（共通焦点における）ビームスポット径は約５０μｍと推定された。無偏光レーザーを使用したため、レーザー出力の約半分が反射によって失われると推定した。ミラーの整合性及び推定反射ロスに基づき、分離するためにはガラスシートを約１０〜１２回通過させる必要があると見積もった。

共通焦点を通して、共通軸に垂直な軸に沿った（前記説明した）ブリュースター角を成す直線機械方向にガラスシートを平行移動した。約４ｍｍ/秒でガラスシートを平行移動した。このガラスサンプルの一方の縁部に沿ったビーム経路から±１ｍｍ以内の範囲に罫書きを施した。ビーム経路からのこの距離において、ガラスシートが共通焦点を通過した線から分離線が僅かにずれる。しかし、通常分離線はレーザー・ビームによって誘導され自身で自由に伝播することはない。別のガラスシートのサンプルのテストも実施したところ、４ｍｍ/秒未満の速度において、特定の種類のガラスが過熱し分離線が自由に伝播してその制御が困難であった。

複屈折測定により分離線に沿った応力及び分離線近傍の応力を測定した。測定結果を図５Ａ及び５Ｂに示す。図５Ａはガラスシートの略中央における応力を示している。図から分かるように、分離線中央においてビーム経路から僅かに外れた位置で分離が生じている。 図５Ｂに示すように、出口において分離線が略最大応力点に生じている。何れの位置においても、応力は略８００〜１０００ｐｓｉ（約５．５１６〜６．８９ＭＰａ）であった。この実験結果は、レーザー・ビームの吸収率が低いにもかかわらず、前記のミラー設定によりガラスシートを分離するのに充分な温度及び応力が得られることを示している。従って、偏光レーザー（例えば、Ｐ偏光レーザー等）を使用した場合には更に良好な結果が期待できる。

１１０ 第１ミラー
１１２ 第１反射面
１１４ 開口部
１２０ 第２ミラー
１２２ 第２反射面
１３２Ａ 追加反射ビーム
１３２Ｂ 反射ビーム
１３４ 共通焦点
１５０ 共通軸

Claims (12)

1. 少なくとも１枚のガラスシートを切断するシステムであって、
   第１反射面を有する第１ミラーと、
   前記第１反射面に離間対向し該第１反射面との間に空洞を画成する第２反射面を有する第２ミラーと、
   前記第２反射面において少なくとも複数回反射し複数の反射ビームを形成するビームを前記空洞内に照射するよう構成されたレーザーと、
   前記空洞を通して前記少なくとも１枚のガラスシートを機械方向に平行移動する手段と、
   を有して成ることを特徴とするシステム。
2. 前記第１反射面が前記空洞に対し凹面を成し第１曲率半径を有し、前記第２反射面が前記空洞に対し凹面を成し第２曲率半径を有することを特徴とする請求項１記載のシステム。
3. 前記第２反射面で反射された前記ビームが共通焦点を画成するよう前記第１及び第２曲率半径の少なくとも一方が選定されて成ることを特徴とする請求項２記載のシステム。
4. 前記複数の反射ビームによってビーム路平面が画成されることを特徴とする請求項１記載のシステム。
5. 前記平行移動する手段が、前記少なくとも１枚のガラスシートを、該ガラスシートの平面及び前記ビーム路平面によって前記共通焦点を含む共通軸が画成され、前記ガラスシート平面が、前記ビーム路平面に対して所定の角度を画成しかつ前記共通軸を含み前記ビーム路平面に直交する第３平面に対して所定の余角を画成する第１位置を通して前記空洞内を平行移動するよう構成されて成ることを特徴とする請求項４記載のシステム。
6. 前記平行移動する手段が、前記ガラスシートの少なくとも一部が前記共通焦点を通過する間前記所定の角度を維持しつつ前記空洞を通して前記ガラスシートを前記機械方向に平行移動するよう構成されて成ることを特徴とする請求項５記載のシステム。
7. 前記平行移動する手段が、前記共通軸に垂直かつ前記ビーム路平面に対し所定の角度を成す第２軸に沿って前記空洞を通して前記ガラスシートを前記機械方向に平行移動するよう構成されて成ることを特徴とする請求項５記載のシステム。
8. 前記所定の余角が略ブリュースター角であることを特徴とする請求項５記載のシステム。
9. 前記所定の余角が約５４度〜約６０度であることを特徴とする請求項５記載のシステム。
10. 前記レーザーが前記共通軸に垂直な面に偏光されて成ることを特徴とする請求項５記載のシステム。
11. 前記少なくとも１枚のガラスシートが、約０．００１/ｃｍ〜約０．０１/ｃｍの吸収率を有するガラスから成ることを特徴とする請求項１記載のシステム。
12. 前記第１ミラーが、前記第１反射面を貫通する開口部を画成し、前記レーザーが、前記開口部を通して前記ビームを前記空洞内に照射するよう構成されて成ることを特徴とする請求項１記載のシステム。

Images