JP2010285306A - 結晶製造方法および結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器7内に坩堝1を収納させ、この坩堝1を処理容器7内に入れる前、あるいは、入れた後に、処理容器7内に固体原料処理液8を流入させ、坩堝1内には、種基板支持体3で支持された種基板2と、この種基板2上に生成された結晶基板10と、これらの種基板2および結晶基板10を覆った固体原料4とが収納された状態とし、坩堝1を切断部で切断している。
【選択図】図1
Description
図2に、本発明の実施の形態における結晶製造製造装置の一部を示す。図2に示すように、アルミナ等の耐熱材料で作成されたカップ状の坩堝1と、同様に耐熱材料で作成された支持体3と、表面に窒化物結晶を成長させる種基板2で構成されている。坩堝1の坩堝内底面12に種基板支持体3を設置し、種基板支持体3によって種基板2を所定の高さに保持している。
本発明の実施の形態2の結晶製造装置を、図6に示す。図6において、実施の形態1の構成と異なる所は、種基板支持部13を坩堝1の坩堝内底面12を加工して、坩堝1と一体で形成された点である。このように、種基板支持部13を坩堝1と一体形成しても、実施の形態1と同様の効果が得られ、結晶基板10や種基板2を短時間で取り出す事ができる。さらには、坩堝と一体形成されているので、部品点数を減少でき、生産性を高くする事ができる。
本発明の実施の形態3の結晶製造装置を、図7に示す。図7において、実施の形態1の構成と異なるところは坩堝1を処理容器7の内底面に対して、傾斜させている点である。このように傾斜させる事により、実施の形態1のように坩堝固定台6に複数の支持脚を設けなくても、固体原料処理液8を切断部5に供給する事が可能となっている。さらに、固体原料処理液8を切断部5の全面に供給可能であるので、処理速度の短縮をさらに図る事ができ、結晶基板10や種基板2を原料液の中から短時間で取り出すことができる。
2 種基板
3 種基板支持体
4 固体原料
5 切断部
6 坩堝固定台
6a 支持脚
6b 支持部
6c 種基板支持体支持部
7 処理容器
8 固体原料処理液
9 反応気体
10 結晶基板
11 分離溝
12 坩堝内底面
13 種基板支持部
14 原料ガス供給装置
15 結晶成長容器
16 接続管
17 圧力調整器
18 ストップバルブ
19 リーク弁
20 切り離し部
21 断熱材
22 ヒータ
23 熱伝対
24 育成炉
Claims (10)
- 結晶を育成した後工程として、この結晶を固体原料から取り出す結晶の製造方法であって、
処理容器内に坩堝を収納させ、この坩堝を処理容器内に入れる前、あるいは、入れた後に、前記処理容器内に固体原料処理液を流入させ、前記坩堝内には、種基板と、この種基板上に生成された結晶基板と、これらの種基板および結晶基板を覆った固体原料とが収納された状態とし、前記坩堝の底面を取り外した状態とした結晶製造方法。 - 前記処理容器の内底面に対して前記坩堝を支持する坩堝固定台を備え、この坩堝固定台は、所定間隔離して配置した複数の坩堝固定台支持脚を有し、各坩堝固定台支持脚の支持部で前記坩堝の外周下面側を支持させた請求項1に記載の結晶製造方法。
- 前記処理容器の内底面に対して前記種基板を所定の高さに保持する支持体を備え、この支持体で種基板の外周下面側を支持させた請求項1または2に記載の結晶製造方法。
- 前記坩堝は、前記処理容器の内底面に対して傾斜させる傾斜手段を備えた請求項1に記載の結晶製造方法。
- 前記坩堝の側面に前記底面に平行となるような分離溝を設け、前記分離溝に沿って切断して前記坩堝の底面を取り外すとした請求項1から4のいずれか1つに記載の結晶製造方法。
- 前記分離溝は、前記坩堝の側面に連続して繋がるように形成されている請求項5に記載の結晶製造方法。
- 前記分離溝(10)の断面は、V字形状である請求項5に記載の結晶製造方法。
- 坩堝の内底面から支持脚の支持部までの高さを、種基板の厚さよりも高くした請求項3に記載の結晶の製造方法。
- 種基板を窒化ガリウム基板とした請求項1〜8のいずれか一つに記載の結晶製造方法。
- 請求項1〜9の結晶基板の製造方法に用いる結晶基板の製造装置であって、前記処理容器台と、前記処理容器内に前記固体原料処理液を流入させるための流入手段と、前記坩堝内の前記固体原料を前記固体原料処理液で溶解させた後に、前記処理容器内から前記結晶基板と前記種基板を取り出す取り出し手段と、を備えた結晶製造装置。
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