JP2010282541A - 装置データの自動基準波形作成方法及び不良情報の予測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製造処理装置の動作と製造条件を監視して装置データを得て、装置データから波形データを取得し、更に、検査装置からの検査結果によって良品時の基準波形または不良品時の基準波形のどちらを作成するかを選択し、取得した波形データと、元の良品時の基準波形あるいは元の不良品時の基準波形と所定範囲内で一致していた場合、波形データを重ねることで基準波形を自動で更新し、一致しない場合は新たな基準波形として登録することを特徴とする装置データの自動基準波形作成方法。
【選択図】図8
Description
ものがある。
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス
4a・・・レッドRの着色画素
4b・・・グリーンGの着色画素
4c・・・ブルーBの着色画素
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー
7・・・バーテイカルアライメント
11・・・装置データ収集装置(EES)
12・・・対象装置
13・・・装置情報
14・・・検査装置
15・・・検査結果情報
16・・・データ収集用PC
17・・・ID情報
18・・・LCS
19・・・波形データファイル
20・・・基準波形データファイル
31・・・抽出された波形データ
32・・・選択された基準波形
33・・・新たな基準波形33
50・・・検査装置
51・・・検査結果情報
52・・・取得済みの複数の波形データ
53・・・波形データ
54・・・良品時の基準波形
55・・・不良発生時の基準波形
56・・・不良1が発生した場合の基準波形群
57・・・不良2が発生した場合の基準波形群
58・・・上限値異常の基準波形
59・・・下限値異常の基準波形
60・・・上限値異常の基準波形
61・・・下限値異常の基準波形
62・・・新たに作成された不良発生時の基準波形
63・・・不良発生時の基準波形
64・・・更新された不良発生時の基準波形
Claims (3)
- 製造処理装置の動作と製造条件を監視して装置データを得て、装置データから波形データを取得し、更に、検査装置からの検査結果によって良品時の基準波形または不良品時の基準波形のどちらを作成するかを選択し、取得した波形データと、元の良品時の基準波形あるいは元の不良品時の基準波形と所定範囲内で一致していた場合、波形データを重ねることで基準波形を自動で更新し、一致しない場合は新たな基準波形として登録することを特徴とする装置データの自動基準波形作成方法。
- 製造処理装置の動作と製造条件を監視して装置データを得て、装置データから波形データを取得し、波形データが請求項1記載の元の良品時の基準波形と所定範囲内で一致しておらず、さらに請求項1記載の元の不良品時の基準波形と比較し所定範囲内で一致した場合、不良情報を予測することを特徴とする不良情報の予測方法。
- 不良発生時の基準波形に不良内容を紐付することを特徴とする請求項1記載の装置データの自動基準波形作成方法。
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