JP2010278329A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ素子1Aは、n型半導体基板3、活性層12、回折格子層15、及びn型クラッド層18を備える。回折格子層15は、出力波長に応じた周期で光導波方向に配列された複数の領域15aと、複数の領域15aの間に設けられ不純物濃度が複数の領域15aより低い領域15bとを有する。複数の領域15aのそれぞれは、活性層12上に設けられたp型半導体層16と、p型半導体層16上に設けられたn型半導体層17とを含み、p型半導体層16及びn型半導体層17が互いにトンネル接合を構成する。
【選択図】図1
Description
本実施形態に係る半導体レーザ素子1Aは、所定波長のレーザ光を出力する、いわゆる分布帰還型(DFB)レーザ素子である。図1(a)及び図1(b)を参照すると、半導体レーザ素子1Aは、主面3aを有する半導体基板3を備えている。半導体基板3は主にn型半導体から成り、一実施例としてはn型InPからなる。半導体基板3は、後述するn型バッファ層11と共に第1のn型半導体クラッド領域を構成しており、半導体レーザ素子1A内部を導波する光に対して下部クラッド領域として機能する。
本実施形態に係る半導体レーザ素子1Cは、所定波長のレーザ光を出力する、いわゆる分布帰還型(DFB)レーザ素子である。第1実施形態の半導体レーザ素子1Aと異なる点は、半導体レーザ素子1Cがいわゆる高抵抗電流狭窄埋込型(SI−BH)の構造を有している点である。図11(a)及び図11(b)を参照すると、半導体レーザ素子1Cは、第1のn型半導体クラッド領域としての半導体基板3と、半導体基板3上に順に積層された、n型バッファ層31、活性層32、p型キャリアストップ層33、p型スペーサ層34、回折格子層35、n型クラッド層38、およびn型コンタクト層39とを備えている。なお、これらの層の構成材料および層厚は、既述した第1実施形態のn型バッファ層11、活性層12、p型キャリアストップ層13、p型スペーサ層14、回折格子層15、n型クラッド層18、およびn型コンタクト層19と同様である。
Claims (4)
- 所定波長のレーザ光を出力する半導体レーザ素子であって、
第1のn型半導体クラッド領域と、
前記第1のn型半導体クラッド領域上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられた回折格子層と、
前記回折格子層上に設けられ、光導波方向と交差する方向の幅が前記第1のn型半導体クラッド領域より狭められた第2のn型半導体クラッド領域と
を備え、
前記回折格子層が、前記所定波長に応じた周期で光導波方向に配列された複数の第1の領域と、前記複数の第1の領域の間に設けられ不純物濃度が前記複数の第1の領域より低い第2の領域とを有しており、
前記複数の第1の領域のそれぞれが、前記活性層上に設けられたp型半導体層と、前記p型半導体層上に設けられたn型半導体層とを含み、前記p型半導体層及び前記n型半導体層が互いにトンネル接合を構成することを特徴とする、半導体レーザ素子。 - 光導波方向と交差する方向における前記活性層及び前記回折格子層の幅が前記第1のn型半導体クラッド領域より狭められており、
前記活性層、前記回折格子層、及び前記第2のn型半導体クラッド領域の両側面を埋め込む半絶縁性または絶縁性の埋込領域を更に備えることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 光導波方向と交差する方向における前記活性層及び前記回折格子層の幅が、前記第2のn型半導体クラッド領域より広いリッジ構造を有することを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 光導波方向と交差する方向における前記活性層の幅が、前記第2のn型半導体クラッド領域より広いリッジ構造を有し、前記リッジ構造には、前記回折格子層および前記第2のn型半導体クラッド領域が含まれることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
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