JP2010275615A - 箱型減圧用容器とその製造方法 - Google Patents
箱型減圧用容器とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010275615A JP2010275615A JP2009131697A JP2009131697A JP2010275615A JP 2010275615 A JP2010275615 A JP 2010275615A JP 2009131697 A JP2009131697 A JP 2009131697A JP 2009131697 A JP2009131697 A JP 2009131697A JP 2010275615 A JP2010275615 A JP 2010275615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- box
- face plate
- holding
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】簡単な構造で高真空度に耐えられ、生産性および改良性がよく低コストな箱型減圧用容器を提供する。
【解決手段】角材1を接合して気密に繋がった6つの枠面2が形成された金属製の箱型フレーム3と、この箱型フレーム3の6つの枠面2に、内面6a外周部に保持した連続なシール部材5を介し当てがわれて、箱型フレーム3の6つの枠面2に囲われた開口27を塞ぐ金属製の6つの面板6と、この6つの面板6を6つの枠面2への当てがい状態に保持する保持手段7と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】角材1を接合して気密に繋がった6つの枠面2が形成された金属製の箱型フレーム3と、この箱型フレーム3の6つの枠面2に、内面6a外周部に保持した連続なシール部材5を介し当てがわれて、箱型フレーム3の6つの枠面2に囲われた開口27を塞ぐ金属製の6つの面板6と、この6つの面板6を6つの枠面2への当てがい状態に保持する保持手段7と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、減圧下でプラズマを発生させて、薄膜のコーティング、エッチングを行うのに利用される箱型減圧用容器、つまり、減圧したときに耐えられる箱型減圧用容器とその製造方法に関するものである。
この種の減圧用容器は、一般に、高真空時に大気圧による応力が容器の角など一部の部分に極端に大きく掛るのを避けるために円筒形にするのが主流となっている(例えば、特許文献1、2)。
一方、角型の減圧容器(例えば、特許文献3参照。)や真空装置(例えば、特許文献4参照)も知られている。
ところで、特許文献1、2に記載のもののように円筒形の減圧容器や真空容器などであると、プラズマ処理装置としては、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ラインなどの接続、除き窓などに供する開口を設けるのに、気密を保った接続、取付け、塞ぎなどを満足するには、接続端、取付端、塞ぎ端が軸線に直角な平面上に開口することが望まれる。それには、容器の円筒壁の開口に大小各種のパイプを溶接付けし、このパイプの端部を軸線に直角な平面上に開口させることが一般的であり、この開口には接続や取り付けのためのフランジが設けられる。しかし、円筒形の胴部を形成するには厚いステンレス板を円筒形に曲げ加工し、継ぎ目を溶接する必要があるし、パイプの溶接付は手溶接となるので手間である上、それらの溶接には気密性確保のために高度な技術が必要で、高価なものとなる。しかも、それらパイプ類を増設しようとすれば大がかりな加工が必要になり容易ではない。特許文献2は円筒形の容器の外回りに多角形の搬送容器を形成して、各多角面にロードロック室や処理室を接続することを提案しているが、構造が複雑でさらに製作しにくいものとなる。
一方、特許文献3は、6つの面板を突き合わせてねじで締結し合い箱型の減圧容器を形成し、減圧容器内の隅部、つまり各面板間の境界部に連続したシール部材を当てがい、このシール部材を当てがった境界部両側の面板どうしに跨って連結した直状アングル材でシール部材を境界部に押圧してシールする技術を開示している。特に、境界部が集合するコーナ部では、連続したシール部材にコーナを囲う三角形、多角形、円形をしたループ部を形成し、このループ部を直状アングル材の端部間でコーナまわりの3枚の面板どうしを連結する隅部押さえ具にて押圧し、コーナまわりでシールするようにしている。また、特許文献4は、1つの開口が形成された真空容器と、この真空容器の開口に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて開口を塞ぐ蓋とからなる真空容器を開示しているが、高真空度に耐える板厚の真空容器を絞り加工にて形成するのは至難の業であるし、面板を溶接接合し合って形成するのも溶接個所が多く手間が掛る上、高い技術が必要となるのでコストがかさむ。
本発明の目的は、簡単な構造で高真空度に耐えられ、生産性および改良性がよく低コストな箱型減圧用容器を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の減圧用容器は、角材を接合して気密に繋がった6つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、この箱型フレームの6つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの6つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の6つの面板と、この6つの面板を6つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、を備えたことを特徴としている。
このような構成では、角材端部間の突き合わせ部まわりだけの金属間接合で気密に繋がった箱型フレームが形成できる。後は、箱型フレームの気密に繋がった6つの枠面に6つの面板をその内面の外周部に保持した連続したシール部材を介し当てがい、その当てがい状態を保持具、具体的にはボルト、掛け具、係止具などの保持手段で保持するだけで、固定や取り付け状態にするような制限なしに、箱型減圧用容器とすることができる。この減圧用容器は、それに排気ラインを接続して減圧されると内部に引圧が生じて各面板を、それを当てがっている各枠面に減圧度に応じた力で引き付けるので、各面板の箱型フレームへのシール部材を介した圧着度、シール圧が高まり高真空度でも真空漏れは生じない。耐圧強度は箱型フレームの曲げ強度、各面板の面外変形強度によって得られる。
上記において、さらに、面板は、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ラインなどの接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口が設けられていることを特徴とすることができる。
このような構成では、上記に加え、さらに、面板は、軸線に直角な平面に装備用開口を設けて、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎといった装備に供するのに、装備用開口を設けた面板のまわりの平面を直接の支持面、取付け面、塞ぎ面などとできる。
上記において、さらに、装備用開口のまわりには、装備用開口への支持対象、取付対象、接続対象に対する取り付け穴が形成されていることを特徴とすることができる。
このような構成では、装備用開口のまわりの面板表面を直接の支持面、取付面、塞ぎ面とするのに、装備用開口のまわりに形成した取り付け穴を利用してボルトを直接ねじ込むなどして支持、取付、接続、塞ぐことができる。
上記において、さらに、保持手段は、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含むことを特徴とすることができる。
このような構成では、上記に加え、さらに、保持手段として、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含むことにより、特定の面板を開閉してそれが当てがわれている枠面がなす開口の全体を減圧用容器内での処理対象物の出し入れに利用できる。
上記のような箱型減圧用容器は、12本の金属製の角材を6つの枠面を形成するように端部どうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、6つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの6つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、を備えたことを特徴とする製造方法によって得られる。
なお、上記角材どうしによる場合に代えて、四方に配した4つの角材の上端部間と、下端部間とを、それぞれ4つのアングル材ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった6つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、この箱型フレームの6つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの6つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の6つの面板と、この6つの面板を6つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、を備えたことを特徴とするものとしても同様である。
これの製造には、4本の金属製の角材を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ4つの金属製のアングル材ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、6つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの6つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、を備えたことを特徴として行うことになる。
本発明のそれ以上の目的は、以下の詳細な説明および図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、それ自体単独で、あるいは可能な限り種々な組み合わせで複合して採用することができる。
本発明の箱型減圧用容器によれば、角材端部間の突き合わせ部まわりの小さな範囲の16カ所だけのTIG溶接で代表される溶接などによる金属間接合と、箱型フレームの気密に繋がった6つの枠面に6つの面板をその内面の外周部に保持した連続したシール部材を介し当てがい、その当てがい状態を固定や取り付け状態への到達制限のない、保持具による保持とで、箱型減圧用容器が、簡単な構造で組立工数少なく生産性よく低コストに得られる。しかも、得られた箱型減圧用容器は、減圧状態での引圧により大気圧との差で各面板が各枠面に減圧度に応じた力で引き付け、ないしは押し付けられてシール圧が増大するので、高真空度でも真空漏れが回避される保証がある。耐圧強度は箱型フレームの曲げ強度と、各面板の面外変形強度とによって得られるが、面外変形は枠面に支持される内側の面域の広さにもよるが比較的耐えやすく、箱型フレームの曲げ強度を十分に取れば、面板は角材の太さに対して厚さを半減させられる。なお、角材は両端から中央部に向け、面板は周辺から中央部に向け、それぞれ応力が増大していくが、中央部で必要な強度を満足する一様な太さ、厚さに設定して強度を確保すれば、無駄な材料ボリュームを含むが加工上からコストの低減が図れる。説明の簡単のため6面体の箱型減圧容器としたが、本発明は実質的には面数に特にこだわらない。しかも、装備対象を増設するにも簡単な加工と組み立てで対応できる。
以下、本発明に係る箱型減圧用容器およびその製造方法の実施の形態につき、図1、図2を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図1に示す減圧用容器100は、説明の簡単のため6面体の箱型としたが、本発明は実質的には面数に特にこだわらない。角材1を接合して気密に繋がった6つの枠面2が形成された金属製の箱型フレーム3と、この箱型フレーム3の6つの枠面2に、内面外周部6aの周部に保持した連続なシール部材5を介し当てがわれて、箱型フレーム3の6つの枠面2が囲う開口27を塞ぐ金属製の6つの面板6と、この6つの面板6を6つの枠面2への当てがい状態に保持する保持手段7と、を備えている。これにより、減圧用容器100は、角材1の端部間の突き合わせ部まわりだけの金属間接合で気密に繋がった箱型フレーム3が形成できる。後は、箱型フレーム3の気密に繋がった6つの枠面2に6つの面板6をその内面6aの外周部に保持した連続したシール部材5を介し当てがい、その当てがい状態を保持手段7、具体的にはボルト7a、掛け具、係止具などの保持具で保持するだけで、固定や取り付け状態にするような制限なしに、箱型減圧用容器100とすることができる。この減圧用容器100は、それに排気ライン11を接続して減圧されると内部に引圧が生じて各面板6を、それを当てがっている各枠面2に減圧度に応じた力で引き付けるので、各面板6の箱型フレーム3へのシール部材5を介した圧着度が高まり高真空度でも真空漏れは生じない。耐圧強度は箱型フレーム3の曲げ強度、各面板6の面外変形強度によって得られる。シール部材5は面板6の内面6aに予め刻設するなどして形成した図2に示すようなアリなどの溝12内に圧入するなどしておけばよい。溝12やシール部材5などの寸法や圧入条件はJIS規格に準拠すればよい。もっとも、特許文献4に開示されたものなど他の保持構造を採用することができる。本実施の形態の箱型減圧用容器100はプラズマ処理の供する用途上、耐食性、耐磁性のあるステンレス鋼を採用しており、前記接合はTIG溶接で代表される溶接接合としているが、気密性を有して繋がった枠面2が得られれば接合手法は特に問わない。図示例の溶接接合は図1に太い破線で示した溶接ライン13に沿って溶接接合してある。溶接個所は1つの角材1の端部隣接面2つとそれに突き合せた角材1の端部の四周縁との間であり、箱型フレーム3の1つの角に対応して2か所あるが、2か所の溶接部13の境界部は共通した溶接部13となっている。端部隣接面に他の角材1の端部を突き合わせる対象の角材1は図示の場合、箱型フレーム3の四隅に縦配置した4つの角材1としてあるが、どれを選択してもよい。また、保持手段7がボルト7aである場合、箱型フレーム3および面板6にねじ穴14、15を形成しておくことになる。箱型フレーム3のねじ穴14は非貫通として、気密性、耐圧性を損なわないようにする。また、ねじ穴14は取扱やすい角材1の段階で形成しておくのが好都合である。
以上の結果、角材1端部間の突き合わせ部まわりの小さな範囲の16カ所だけの、TIG溶接で代表される溶接などによる金属間接合と、箱型フレーム3の気密に繋がった6つの枠面2に6つの面板6をその内面6aの外周部に保持した連続したシール部材5を介し当てがい、その当てがい状態を固定や取り付け状態への到達制限のない、保持手段7による保持とで、箱型減圧用容器100が、簡単な構造で組立工数少なく生産性よく低コストに得られる。しかも、得られた箱型減圧用容器100は、減圧状態での引圧により大気圧との差で各面板6が各枠面2に減圧度に応じた力で引き付け、ないしは押し付けられてシール圧が増大するので、高真空度でも真空漏れが回避される保証がある。耐圧強度は箱型フレーム3の曲げ強度と、各面板6の面外変形強度とによって得られるが、面外変形は枠面2に支持される内側の面域の広さにもよるが比較的耐えやすく、箱型フレーム3の曲げ強度を十分に取れば、面板6は角材1の太さに対して厚さを半減させられる。なお、角材は両端から中央部に向け、面板は周辺から中央部に向け、それぞれ応力が増大していくが、中央部で必要な強度を満足する一様な太さ、厚さに設定して強度を確保すれば、無駄な材料ボリュームを含むが加工上からコストの低減が図れる。また、角材1の強度は同じ太さでも長いもの程強度は落ちるが、最も強度が低い長さのものに必要な太さに統一するのが面一な枠面2を形成するのに好適で、面板6との間の真空漏れを回避しやすい。角材1の太さの統一はコスト面でも有利となる。しかも、装備対象を増設するにも簡単な加工と組み立てで対応できる。
なお、面板6の面外変形強度のアップは、全体的な厚さの変化に対して、図1に仮想線で示すような補強リブ41を一体にあるいは溶接などで後付けして形成することもできる。補強リブによる面外変形強度アップも、その補強度合は面板6の平板での面外強度特性に対応して、例えば、周辺部から中央部へと増大させることもできる。補強リブ41の形態は図1に仮想線で示す十字やそれ以上の数の放射状に設けてもよいし、種々な格子状に設けることもできる。また、放射状の補強リブ41や格子状の補強リブを設けるのに周辺部から中央部に高さまたはおよび幅を増大させて、また、格子状の補強リブでは、さらに、上記に加え、または代えて、配列ピッチを減少させて、補強度合を調整することもできる。
さらに、面板6には、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ライン11などの接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口21が設けられている。これにより、面板6は、軸線に直角な平面に装備用開口21を設けて、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン11などの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎといった装備に供するのに、装備用開口21を設けた面板6のまわりの平面を直接の支持面、取付け面、塞ぎ面などとできる。これを実現するのに、装備用開口21のまわりには、装備用開口21への支持対象、取付対象、接続対象に対する取り付け穴22を形成してある。これにより、装備用開口21のまわりの面板6表面を直接の支持面、取付面、塞ぎ面とするのに、装備用開口21のまわりに形成した取り付け穴22を利用してボルト23を直接ねじ込むなどして支持、取付、接続、塞ぐことができる。そのために、排気ライン11などの接続対象、支持対象、取付対象には、図1に示すような取り付け穴24aが形成された取り付け座24を、フランジや取り付け基板などとして一体に、あるいは別物を溶接付するなどして一体に付帯させておくのが好適である。この場合も、取り付け孔22は非貫通として気密性、耐圧性を損なわないようにする。
また、保持手段7は、特定の面板6を、それが塞ぐ枠面2に対し開閉できるように、その特定の面板6の一縁6aと枠面2とを連結するヒンジ25と、特定の面板6の前記一縁6aと反対の他縁6b側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具26との組合せを含むものとしている。このように、保持手段7として、特定の面板6を、それが塞ぐ枠面2に対し開閉できるように、その特定の面板6の一縁6aと枠面2とを連結するヒンジと25、特定の面板6の前記一縁6aと反対の他縁6b側を枠面2への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具26との組合せを含むことにより、特定の面板6を開閉してそれが当てがわれている枠面2がなす開口27の全体を減圧用容器100内での処理対象物の出し入れに利用でき、特別な加工が不要になる利点がある。
保持具26は図示するハンドル26a付きのねじとすることができるし、箱型フレーム3側に設けたクリック機構などの弾性キャッチャにキャッチされる突子、箱型フレーム3側に設けた固定係合部に係脱する可動係合部材などでもよい。いずれにしても、シール部材12の外側位置で働くことによって気密性を損なうことはない。
なお、上記のような箱型減圧用容器100は、12本の金属製の角材1を6つの枠面2aを形成するように端部1aどうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面2を持った金属製の箱型フレーム3を形成する工程と、6つの枠面2に当てがって塞ぐ面板6の内面6aの外周部に前記枠面2の外周寄り部分に対向する環状の溝12を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン11などの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口21、およびこれら装備用開口21に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン11などの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴22を装備用開口21のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口21に、それらのまわりの取り付け穴22を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン11などの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材5を面板6の内面6aから突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材5の保持および装備をした面板6を、箱型フレーム3の6つの枠面2にシール部材5を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレーム3と面板6との間に働かせた保持手段7により保持する工程と、を備えた製造方法によって、生産性よく低コストに得られる。
なお、上記角材1どうしによる場合に代えて、図3に一部を示すように、四方に配した4つの角材1の上端部間と、下端部間とを、それぞれ4つのアングル材31ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった6つの枠面2が形成された金属製の箱型フレーム3を用いることができる。
これを製造するには、4本の金属製の角材1を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ4つの金属製のアングル材31ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面2を持った金属製の箱型フレーム3を形成する工程を備えればよい。
本発明の箱型減圧用容器は、気密に繋がった6つの枠面を持った箱型フレームと、この箱型フレームの6つの枠面にシール部材を当てがった6つの面板と、この各面板の各枠面への当てがい状態を保持する保持手段とからなる簡単な構成にて、高真空に十分耐えられ、各種のプラズマ処理などに実用できる。
1 角材
1a 端部
2 枠面
3 函型フレーム
5 シール部材
6 面板
6a 内面
7 保持手段
7a、23 ボルト
11 排気ライン
12 溝
13 溶接ライン(溶接部)
14、15、22、24a 取り付け穴
21 装備用開口
25 ヒンジ
26 保持具
26a ハンドル
27 開口
31 アングル材
1a 端部
2 枠面
3 函型フレーム
5 シール部材
6 面板
6a 内面
7 保持手段
7a、23 ボルト
11 排気ライン
12 溝
13 溶接ライン(溶接部)
14、15、22、24a 取り付け穴
21 装備用開口
25 ヒンジ
26 保持具
26a ハンドル
27 開口
31 アングル材
Claims (7)
- 角材を接合して気密に繋がった6つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、
この箱型フレームの6つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの6つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の6つの面板と、
この6つの面板を6つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器。 - 四方に配した4つの角材の上端部間と、下端部間とを、それぞれ4つのアングル材ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった6つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、
この箱型フレームの6つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの6つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の6つの面板と、
この6つの面板を6つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器。 - 面板は、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口が設けられている請求項1又は2に記載の箱型減圧用容器。
- 開口のまわりには、装備用開口への支持対象、取付対象、接続対象、塞ぎ体に対する取り付け穴が形成されている請求項3に記載の箱型減圧用容器。
- 保持手段は、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の箱型減圧用容器。
- 12本の金属製の角材を6つの枠面を形成するように端部どうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、
6つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、
前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、
前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの6つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器の製造方法。 - 4本の金属製の角材を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ4つの金属製のアングル材ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる6つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、
6つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、
前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、
前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの6つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009131697A JP2010275615A (ja) | 2009-06-01 | 2009-06-01 | 箱型減圧用容器とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009131697A JP2010275615A (ja) | 2009-06-01 | 2009-06-01 | 箱型減圧用容器とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010275615A true JP2010275615A (ja) | 2010-12-09 |
Family
ID=43422845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009131697A Pending JP2010275615A (ja) | 2009-06-01 | 2009-06-01 | 箱型減圧用容器とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010275615A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012141105A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Shimadzu Corp | 真空チャンバ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268538A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-03-28 | Anelva Corp | 骨格構造を有する真空容器 |
JPS637157U (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 |
-
2009
- 2009-06-01 JP JP2009131697A patent/JP2010275615A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268538A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-03-28 | Anelva Corp | 骨格構造を有する真空容器 |
JPS637157U (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012141105A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Shimadzu Corp | 真空チャンバ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2858827A1 (fr) | Fermeture a bloc-fenetre | |
JP3747324B2 (ja) | 真空シール構造 | |
KR20110040807A (ko) | 진공 용기 및 플라즈마 처리 장치 | |
JP5097358B2 (ja) | フィルタ装置 | |
JP2010275615A (ja) | 箱型減圧用容器とその製造方法 | |
KR200415840Y1 (ko) | 창호 스틸 커튼 월의 스틸 기저부 | |
KR20180031020A (ko) | 프레임 성형된 요소, 벽 요소, 및 클린 가스 챔버용 프레임워크 | |
JP5170799B2 (ja) | 成膜設備のためのフレームをベースとする真空チャンバ | |
KR101416815B1 (ko) | 조립식 챔버 | |
JP2010144199A (ja) | 真空容器、真空容器を備える真空処理装置及び真空容器の製造方法 | |
JP6198305B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2012515844A (ja) | コーティング設備のための真空室、およびコーティング設備のための真空室を製造する方法 | |
US8763833B2 (en) | Vacuum vessel, vacuum processing apparatus comprising vacuum vessel, and vacuum vessel manufacturing method | |
JP5529517B2 (ja) | 密閉式ブースおよび基板処理システム | |
JP6267948B2 (ja) | 真空磁気遮蔽容器の構造 | |
JP2019019832A (ja) | ダクト用コーナーピース | |
JP5937788B2 (ja) | 埋設型ガス栓 | |
JP2008082391A (ja) | 真空チャンバ | |
KR101616549B1 (ko) | 밀폐 챔버 | |
JP5409914B2 (ja) | 傾斜膨張シールを備えた酸洗ラインアセンブリ | |
US20090314199A1 (en) | Vacuum Chamber | |
JP2012104777A (ja) | 分割輸送変圧器における上部タンクの輸送組立方法および分割輸送変圧器 | |
CN112588824A (zh) | 复合金属坯料抽真空和封口的辅助工装及方法 | |
US20140250658A1 (en) | Vacuum chambers and components for semiconductor substrate processing and methods of fabrication | |
JP2002078112A (ja) | 屋外盤開口部の閉鎖構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150106 |