JP6198305B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 荷電粒子ビームが照射される試料をとりまく空間を真空状態に維持する試料室と、当該試料室に導入する試料をとりまく空間を真空排気する予備排気室を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料室側の前記予備排気室の壁である第1の試料室側側壁が、当該試料室と離間するように形成され、当該第1の試料室側側壁と前記試料室との間に位置すると共に、当該第1の試料室側側壁に対して離間し、且つ間隙を設けつつ形成される第2の試料室側側壁と、前記試料室との間を封止する真空封止材を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第2の試料室側側壁は、前記試料室の側壁に対して離間して配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記真空封止材は、Oリングであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームが照射される試料をとりまく空間を真空状態に維持する試料室と、当該試料室に導入する試料をとりまく空間を真空排気する予備排気室を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料室側の前記予備排気室の壁である試料室側側壁が、当該試料室と離間するように形成され、前記試料室側側壁と前記試料室との間に、前記試料室側側壁に対し間隙を設けつつ配置される第1の連結部材と、当該連結部材と前記予備排気室との間であって、前記間隙が設けられた部位とは異なる位置に、前記連結部材と前記予備排気室との間を封止する第1の真空封止材を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記第1の連結部材の前記予備排気室側には、前記間隙を形成するザグリが設けられ、前記第1の連結部材の予備排気室側面であって、前記ザグリが形成された個所以外の位置と前記予備排気室との間に前記第1の真空封止材が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5において、
前記第1の連結部材は、前記試料室に対し、離間して配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第1の連結部材の試料室側面と前記試料室との間に、第2の真空封止材が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記第1の連結部材の開口内に、当該開口と前記試料室を連結する第2の連結部材を備え、当該第2の連結部材と前記第1の連結部材の間、及び前記第2の連結部材と前記試料室との間に真空封止材が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記第1の連結部材は、前記予備排気室内空間と、前記試料室内空間を連結する筒状体であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9において、
前記予備排気室の試料室側側壁には、前記第1の連結部材が挿入されるザグリが設けられ、当該ザグリ内壁と前記第1の連結部材との間に、当該第1の連結部材を包囲するように、前記第1の真空封止材が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10において、
前記第1の連結部材の試料室側端部にはフランジが設けられ、当該フランジと前記試料室の予備排気室側側壁の内壁との間に第2の真空封止材が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10において、
前記第1の連結部材は、前記試料室と一体成型されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記第1の真空封止材は、Oリングであることを特徴とする荷電粒子線装置。
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