JP2010271229A - エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【課題】検出動作の信頼性向上を図ることができるエンコーダを提供すること。
【解決手段】第1磁場を発生させる磁気パターンを有する回転部と、前記第1磁場を変化させる第2磁場を発生させるバイアス磁石部と、前記バイアス磁石部に対して非接触に設けられ、前記第1磁場と前記第2磁場との合成磁場を検出する検出部と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】第1磁場を発生させる磁気パターンを有する回転部と、前記第1磁場を変化させる第2磁場を発生させるバイアス磁石部と、前記バイアス磁石部に対して非接触に設けられ、前記第1磁場と前記第2磁場との合成磁場を検出する検出部と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、エンコーダに関する。
モータの回転軸など回転体の回転数を検出する装置として、エンコーダが知られている(特許文献1)。エンコーダは、例えばモータの回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダの具体的構成として、例えば磁気を用いて回転数を検出する構成が知られている。
例えば、このような構成のエンコーダは、所定の磁気パターンが形成された磁石部を回転軸と一体的に回転させ、磁石部の磁気パターンの変化を磁気センサによって読み取ることで、モータの回転軸の回転数を検出できるようになっている。磁気センサには、磁石部による磁場を変化させるバイアス磁石が貼り付けられている場合がある。
しかしながら、磁気センサにバイアス磁石が貼り付けられている構成においては、当該バイアス磁石の貼り付けの際に磁気センサにダメージを与えてしまったり、バイアス磁石の貼り付け位置に誤差が生じてしまったりする場合がある。このため、検出動作の信頼性が低下してしまう虞がある。
以上のような事情に鑑み、本発明は、検出動作の信頼性向上を図ることができるエンコーダを提供することを目的とする。
本発明に係るエンコーダは、第1磁場を発生させる磁気パターンを有する回転部と、前記第1磁場を変化させる第2磁場を発生させるバイアス磁石部と、前記バイアス磁石部に対して非接触に設けられ、前記第1磁場と前記第2磁場との合成磁場を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、検出動作の信頼性向上を図ることができる。
[第1実施形態]
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態を説明する。
図1は、エンコーダECの構成を示す断面図である。
図1に示すように、エンコーダECは、モータなどの回転体の回転数を検出する装置である。エンコーダECは、回転部材R、磁石部材M、検出機構D及び位置決め部材Pを有している。エンコーダECは、回転部材R及び磁石部材Mが一体的に設けられており、これらが検出機構Dに対向配置された状態で用いられる。
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態を説明する。
図1は、エンコーダECの構成を示す断面図である。
図1に示すように、エンコーダECは、モータなどの回転体の回転数を検出する装置である。エンコーダECは、回転部材R、磁石部材M、検出機構D及び位置決め部材Pを有している。エンコーダECは、回転部材R及び磁石部材Mが一体的に設けられており、これらが検出機構Dに対向配置された状態で用いられる。
回転部材Rは、回転体である例えばモータMTRの回転軸40に固定され、回転軸40と一体的に回転する部分である。回転部材Rは、例えばSUSなどで構成され、円盤状に形成されている。回転部材Rの構成材料としてSUSなどの剛性の高い材料を用いることで、耐変形性などに優れた回転部材Rが形成される。回転部材Rの構成材料として、他の材料を用いても勿論構わない。回転部材Rは、取付部20及び凹部23を有している。
取付部20は、回転部材Rの下面Rbに設けられている。取付部20の下面側には、平面視中央部に挿入穴20aが形成されている。挿入穴20aは、上記モータMTRの回転軸40が挿入されるようになっている。取付部20は、回転軸40が挿入穴20aに挿入された状態で回転軸40と取付部20との間を固定する固定機構(不図示)を有している。
凹部23は、取付部20の上面Ra側に形成されている。凹部23には、磁石部材Mが収容されるようになっている。
また、回転部材Rの周縁部には、回転部材Rの外周に沿って光反射パターン21が形成されている。
また、回転部材Rの周縁部には、回転部材Rの外周に沿って光反射パターン21が形成されている。
磁石部材Mは、回転部材Rの回転方向に沿って円環状に形成された永久磁石である。磁石部材Mは、例えば回転部材Rの周縁部に配置されている。磁石部材Mには、所定の磁気パターンMa(図2参照)が形成されている。
例えば図2に示すように、磁石部材Mの磁気パターンMaとして、例えば回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域について、外周側の領域はN極に着磁され、内周側の領域はS極に着磁されている。また、円環の他の半分の領域について、外周側の領域はS極に着磁され、内周側の領域はN極に着磁されている。勿論、磁気パターンMaとして他の形態を採用しても構わない。
磁石部材Mは、回転部材Rの凹部23に収容されている。磁石部材Mは、回転部材Rとの間で例えば不図示の接着剤などを介して固着されている。したがって、磁石部材Mは、回転部材Rとの間で一体的に形成された状態になっている。
検出機構Dは、上記の磁石部材Mによる磁場を検出する部分である。検出機構Dは、検出基板30及び磁気センサ32を有している。また、検出機構Dは、回転部材Rに形成された光反射パターン21に光を照射し、反射光を検出する光センサ31を有している。
検出基板30は、例えば平面視円形に形成された板状部材である。検出基板30は、位置決め部材Pに固定されている。したがって、回転軸40が回転しても、検出基板30とモータMTRとの相対位置が変化しないようになっている。例えば、回転部材R及び磁石部材Mは、検出基板30に対して位置合わせされた状態でそれぞれ収容されている。
磁気センサ32は、例えば磁石部材Mに対して回転軸40の軸方向に見て重なる位置に一対配置されている(磁気センサ32A及び32B)。各磁気センサ32A及び32Bは、磁気抵抗素子(不図示)を有している。磁気センサ32A及び32Bは、それぞれ検出基板30に保持されている。
磁気抵抗素子は、例えば金属配線などによって形成された直交する2つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子は、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子は、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。
磁気センサ32の検出結果は、電気信号として不図示の制御装置に送信されるようになっている。
位置決め部材(モールド部材)Pは、モータMTR、回転部材R、磁石部材M及び検出機構Dのそれぞれの位置決めを行う部分である。位置決め部材Pは、本体部41、バイアス磁石42及びシールド部材43を有している。図2は、検出機構D側から回転軸方向に位置決め部材Pを見たときの図(シールド部材43は省略)である。図3は、図2と同方向に検出機構Dを見たときの図である。
図1〜図3に示すように、本体部41は、モータMTR上に配置されている。本体部41は、回転部材R及び磁石部材Mを囲う内部空間Kを有している。本体部41は、当該内部空間Kにおいて回転部材R及び磁石部材Mを収容した状態になっている。回転部材R及び磁石部材Mは、本体部41に接触しないように収容されている。本体部41は、回転軸方向視において上面41aの中央部に凹部41bを有している。本体部41のうち回転軸方向視で凹部41bを囲む周縁部分41dは、上記の検出機構Dを支持する部分となる。凹部41bの底部には、バイアス磁石42を保持する保持部41cが形成されている。本体部41は、凹部41bの底部によって回転部材R及び磁石部材Mと検出機構Dとの間が区切られるように構成されている。このため、本体部41のうち凹部41bの底部は、光センサ31からの光を透過可能な材料で構成されている。
バイアス磁石42は、磁石部材Mによって発生する第1磁場を変化させる第2磁場を発生させる磁石である。バイアス磁石42を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石42は、本体部41の保持部41cに保持されている。このように、バイアス磁石42は、磁気センサ32から離れた位置に保持された構成となっており、磁気センサ32に対して非接触に設けられた状態となっている。
バイアス磁石42は、磁気センサ32A、32Bに対応するように例えば2つ設けられている(バイアス磁石42A及びバイアス磁石42B)。バイアス磁石42Aは、磁気センサ32Aに回転軸方向視で重なる位置に配置されている。バイアス磁石42Bは、磁気センサ32Bに回転軸方向視で重なる位置に配置されている。このため、バイアス磁石42A及びバイアス磁石42Bは、磁石部材Mに形成される磁気パターンMaに対しても回転軸方向視で重なる位置に配置されていることになる。
各バイアス磁石42の上面42fは、凹部41bの底部に対して面一状態になっている。したがって、バイアス磁石42の上面42fは、本体部41の凹部41bに露出した状態になっている。本実施形態では、磁石部材Mによって発生する第1磁場と、バイアス磁石42によって発生する第2磁場との合成磁場が磁気抵抗素子によって検出されるようになっている。
シールド部材43は、凹部41bを含めた本体部41の上面41aのほぼ全面を覆うように形成されている。シールド部材43は、本体部41の凹部41bに露出したバイアス磁石42を覆った状態になっている。このため、シールド部材43は、バイアス磁石42と検出機構Dとの間に配置されていることになる。シールド部材43は、光センサ31からの光を透過可能な材料で構成されている。
制御装置は、磁気センサ32A及び32Bからの出力に基づいて回転軸40の回転数を求める処理を行う。
次に、上記のように構成されたエンコーダECの動作を説明する。
モータMTRの回転軸40が回転すると、当該回転軸40に一体的に取り付けられた回転部材R及び磁石部材Mが回転軸40と一体的に回転する。検出機構D及び位置決め部材Pについては、回転軸40には接続ないしは接触されていないため、回転せずに静止した状態となる。
モータMTRの回転軸40が回転すると、当該回転軸40に一体的に取り付けられた回転部材R及び磁石部材Mが回転軸40と一体的に回転する。検出機構D及び位置決め部材Pについては、回転軸40には接続ないしは接触されていないため、回転せずに静止した状態となる。
回転部材Rが回転すると、当該回転部材Rに形成された光反射パターン21が回転方向に移動する。上述の光センサ31は、移動する光反射パターン21へ光を射出し、反射光を読み取ることで光反射パターン21の移動角度を検出する。
また、回転部材Rが回転すると、当該回転部材Rに一体的に固定された磁石部材Mが回転する。位置決め部材Pが静止した状態となっているため、位置決め部材Pの本体部41に設けられたバイアス磁石42と磁気センサ32との位置関係が変動することなく磁石部材Mが回転する。磁石部材Mが回転すると、当該磁石部材Mの磁気パターンMaによって形成される第1磁場とバイアス磁石42によって形成される第2磁場との合成磁場が周期的に変化する。磁気センサ32A及び32Bは、当該合成磁場の変化の周期を検出することにより、磁石部材M(回転軸)の回転数を検出する。
例えば磁気センサ32にバイアス磁石42が貼り付けられている構成においては、当該バイアス磁石42の貼り付けの際に磁気センサ32にダメージを与えてしまったり、バイアス磁石42の貼り付け位置に誤差が生じてしまったりする場合がある。この状態で上記の検出動作を行った場合、検出動作の信頼性が低下してしまう虞がある。
これに対して、本実施形態によれば、検出機構Dがバイアス磁石42に対して非接触に設けられているため、バイアス磁石42を配置させる際に磁気センサ32に貼り付ける必要が無くなる。このため、磁気センサ32にダメージを与えてしまうことが無く、バイアス磁石42の位置ずれについても回避することができる。これにより、検出動作の信頼性を向上させることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態では、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する。本実施形態では、位置決め部材Pの構成及びバイアス磁石42の配置が第1実施形態とは異なっており、他の構成については第1実施形態と同様になっている。したがって、本実施形態では、当該相違点を中心に説明する。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態では、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する。本実施形態では、位置決め部材Pの構成及びバイアス磁石42の配置が第1実施形態とは異なっており、他の構成については第1実施形態と同様になっている。したがって、本実施形態では、当該相違点を中心に説明する。
図4は、本実施形態に係るエンコーダEC2の位置決め部材Pの構成を示す断面図である。図5は、位置決め部材Pを検出機構D側から回転軸方向に見たときの構成を示す図である。
図4に示すように、本実施形態に係るエンコーダEC2は、バイアス磁石42を保持する保持部42cが本体部41の内部に形成されており、バイアス磁石42が本体部41の内部に保持された構成になっている。この場合、バイアス磁石42は、本体部41の上面41aには露出していない状態になっている。図5に示すように、バイアス磁石42の回転軸方向視における位置は、上記第1実施形態と同様になっている。
本実施形態のように、バイアス磁石42が検出機構Dに対して非接触に設けられた構成として、当該バイアス磁石42が本体部41の内部で保持された構成としても構わない。この場合であっても、バイアス磁石42を配置させる際に磁気センサ32に貼り付ける必要が無く、磁気センサ32にダメージを与えてしまうことが無い。また、バイアス磁石42の位置ずれについても回避することができるため、検出動作の信頼性を向上させることができる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態を説明する。本実施形態では、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する。本実施形態では、位置決め部材Pの構成及びバイアス磁石42の配置が第1実施形態とは異なっており、他の構成については第1実施形態と同様になっている。したがって、本実施形態では、当該相違点を中心に説明する。
次に、本発明の第3実施形態を説明する。本実施形態では、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する。本実施形態では、位置決め部材Pの構成及びバイアス磁石42の配置が第1実施形態とは異なっており、他の構成については第1実施形態と同様になっている。したがって、本実施形態では、当該相違点を中心に説明する。
図6は、本実施形態に係るエンコーダEC3の位置決め部材Pの構成を示す断面図である。上記第1実施形態及び第2実施形態においては、回転部材R及び磁石部材Mと検出機構Dとの間が位置決め部材Pの本体部41の一部によって区切られるように構成されていたが、本実施形態では、回転部材R及び磁石部材Mと検出機構Dとの間が区切られていない構成となっている。このため、回転部材R、磁石部材M、検出機構Dの磁気センサ32及び光センサ31は、本体部41の凹部41b及び検出基板30によって形成される内部空間Kに共に収容された状態になっている。
また、図6に示すように、エンコーダEC3は、バイアス磁石42を保持する保持部43cが回転部材Rよりも下側(Z方向下側)に形成されており、バイアス磁石42が磁石部材Mよりも下側に配置された構成(磁石部材Mが磁気センサ32とバイアス磁石42との間に配置された構成)になっている。具体的には、保持部43cは、本体部41のうちモータMTRに接触する部分の+Z側(凹部41bの底部)に凹状に形成されている。
本実施形態のように、バイアス磁石42が検出機構Dに対して非接触に設けられた構成として、当該バイアス磁石42が磁石部材Mよりも下側に配置された構成としても構わない。この場合であっても、バイアス磁石42を配置させる際に磁気センサ32に貼り付ける必要が無く、磁気センサ32にダメージを与えてしまうことが無い。また、バイアス磁石42の位置ずれについても回避することができるため、検出動作の信頼性を向上させることができる。
なお、本実施形態では、本体部41の凹部41bの底部と面一状態となるようにバイアス磁石42を配置させた構成としているが、これに限られることは無い。例えば、第2実施形態に示すように、バイアス磁石42を本体部41の内部に配置する構成としても構わない。
また、本実施形態では、本体部41によって回転部材R及び磁石部材Mと検出機構Dとの間を区切らない構成としたが、これに限られることは無く、例えば上記第1実施形態及び第2実施形態と同様、本体部41の一部によって両者の間を区切る構成としても構わない。
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態においては、バイアス磁石42の上面42fが凹部41bの底部と面一状態になっている構成(例えば第1実施形態等)や、バイアス磁石42が本体部41の内部に保持されている構成(例えば第2実施形態等)を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えばバイアス磁石42が凹部41b上に保持された構成としても構わない。この場合、バイアス磁石42と検出機構Dの磁気センサ32とが接触しないように配置されている必要がある。
例えば、上記実施形態においては、バイアス磁石42の上面42fが凹部41bの底部と面一状態になっている構成(例えば第1実施形態等)や、バイアス磁石42が本体部41の内部に保持されている構成(例えば第2実施形態等)を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えばバイアス磁石42が凹部41b上に保持された構成としても構わない。この場合、バイアス磁石42と検出機構Dの磁気センサ32とが接触しないように配置されている必要がある。
また、例えば第1実施形態及び第2実施形態等に記載したように、本体部41によって回転部材R及び磁石部材Mと検出機構Dとの間が区切られた構成の場合、回転部材R及び磁石部材Mが収容される内部空間Kの天井部分にバイアス磁石42を取り付けた構成としても構わない。
EC、EC2…エンコーダ R…回転部材(回転部) M…磁石部材 Ma…磁気パターン(パターン) D…検出機構(検出部) P…位置決め部材 32(32A、32B)…磁気センサ 41c…保持部 42(42A、42B)…バイアス磁石
Claims (11)
- 第1磁場を発生させる磁気パターンを有する回転部と、
前記第1磁場を変化させる第2磁場を発生させるバイアス磁石部と、
前記バイアス磁石部に対して非接触に設けられ、前記第1磁場と前記第2磁場との合成磁場を検出する検出部と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記検出部から離れた位置で保持されている
ことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記回転部及び前記検出部を位置決めする位置決め部材に設けられている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記位置決め部材の内部に設けられている
ことを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記位置決め部材の表面に設けられている
ことを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。 - 前記位置決め部材は、前記バイアス磁石部を保持する保持部を有する
ことを特徴とする請求項3から請求項5のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記位置決め部材は、前記バイアス磁石部と前記検出部との間にシールド部を有する
ことを特徴とする請求項3から請求項6のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記回転部と前記検出部との間に設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記回転部は、前記検出部と前記バイアス磁石部との間に配置される
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記回転部の回転軸方向視で前記磁気パターンに重なる位置に設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項9にうちいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記バイアス磁石部は、前記回転部の回転軸方向視で前記検出部に重なる位置に設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225677A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動装置及びロボット装置 |
KR20180027347A (ko) * | 2016-09-06 | 2018-03-14 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 모터 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08204254A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-09 | Sony Corp | モータ |
JP2003194901A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd | 磁界センサ |
JP2005274249A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Samutaku Kk | エンコーダ |
JP2009008458A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Nikon Corp | 磁気式エンコーダ及びモータ |
-
2009
- 2009-05-22 JP JP2009124129A patent/JP2010271229A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08204254A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-09 | Sony Corp | モータ |
JP2003194901A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd | 磁界センサ |
JP2005274249A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Samutaku Kk | エンコーダ |
JP2009008458A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Nikon Corp | 磁気式エンコーダ及びモータ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225677A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動装置及びロボット装置 |
KR20180027347A (ko) * | 2016-09-06 | 2018-03-14 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 모터 |
KR102436769B1 (ko) * | 2016-09-06 | 2022-08-26 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 모터 |
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