JP2010251380A - ウエハローディング・アンローディング方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウエハカセットのドアの開閉に要する時間を短縮してスループットを向上したウエハローディング・アンローディング方法および装置の実現。
【解決手段】取り出し口に設けられた開閉されるドア13を有し、複数のウエハWを収容するウエハカセット10を載置するウエハカセット載置部26と、ドア13を移動するドア移動機構22-25と、ウエハカセット10との間でウエハを搬出・搬入するウエハ搬送アーム30と、を備え、通常時はドア13を閉め、ウエハを搬出・搬入する直前にドアを開き、ウエハを搬出・搬入した後ドアを閉じるウエハローディング・アンローディング装置であって、ドア移動機構は、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて、ドアの開き位置を変化させる。
【選択図】図3
【解決手段】取り出し口に設けられた開閉されるドア13を有し、複数のウエハWを収容するウエハカセット10を載置するウエハカセット載置部26と、ドア13を移動するドア移動機構22-25と、ウエハカセット10との間でウエハを搬出・搬入するウエハ搬送アーム30と、を備え、通常時はドア13を閉め、ウエハを搬出・搬入する直前にドアを開き、ウエハを搬出・搬入した後ドアを閉じるウエハローディング・アンローディング装置であって、ドア移動機構は、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて、ドアの開き位置を変化させる。
【選択図】図3
Description
本発明は、複数のウエハを収容したウエハカセットとの間でウエハを搬出・搬入するウエハローディング・アンローディング方法および装置に関し、特にウエハカセットが取り出し口に設けられた開閉されるドアを有し、通常時はドアを閉め、ウエハを搬出・搬入する直前にドアを開き、ウエハを搬出・搬入した後ドアを閉じるウエハローディング・アンローディング方法および装置に関する。
半導体製造工程では、工程間でウエハを搬送する必要がある。搬送中にウエハ表面が汚染されるのを防止するため、ウエハはウエハカセットに収容されて、密閉された状態で搬送される。
図1は、広く使用されているウエハカセット10を示す図である。図1に示すように、ウエハカセット10は、内部に複数のウエハWを載置する支持部を有する本体部11と、ウエハWを搬出・搬入するためのウエハ取り出し口の枠12と、枠12に取り付け・取り外し可能なドア13と、を有する。ドア13を枠12に取り付けることにより、本体部11の内部は密閉された状態になり、内部に収容しウエハWの汚染を防止する。
図2は、ドア13の開閉動作を説明する図であり、(A)はドア13を閉めた状態を、(B)はドアを開いた状態を示す。参照番号14は、カセット11に底部に設けられた脚部である。
ウエハカセット10内に収容されたウエハWを処理する場合には、ウエハカセット10の枠12を、内部がクリーンな環境である処理装置の取り出し口が設けられた壁21に押し当てる。壁21の取り出し口は、移動可能な封止板22で密閉されており、処理装置の内部はクリーンな状態である。ウエハカセット10を壁21に押し当てた状態で、封止板22に設けられた接続部23は、ドア13に設けられたキーを外してドア13を空気圧による吸着により保持する。この状態で、封止板22は一旦水平方向に移動した後、下方に移動する。これにより、ウエハカセット10との間でウエハWを搬出・搬入できる状態になる。ウエハWの処理が終了して処理済みのウエハWをウエハカセット10内に戻した後、上記と逆の動作により、ドア13を枠12に取り付け、封止板22を壁21に押し当てる。この状態で、ウエハカセット10の内部および処理装置の内部は密閉された状態になる。そして、ウエハカセット10を取り外す。
ドア13および封止板22は、ウエハカセット10内のすべてのウエハWが搬出できる位置、すなわち全開状態まで移動する。
ウエハカセット10のドア13を図2のように移動する機構は、ドアの着脱を行うウエハローディング・アンローディングに要する部分を小さくすることが可能であり、広く使用されており、規格も定められている。したがって、これ以上の説明は省略する。
内部のウエハWがアクセス可能な状態にセットした後、ウエハカセット10内のすべてのウエハWの処理が終了して処理済みのウエハWがウエハカセット10内に戻されるまでの間、ウエハカセット10のドア13を開いたままに保持すると、処理装置内部の雰囲気がウエハカセット10内にウエハWに影響したり、処理装置の動作に伴う振動によりウエハカセット10内のウエハWがウエハカセット10外にせり出してくるという問題が生じる。特に、1枚のウエハWの処理時間が長くなると、この影響が大きくなる。
そこで、ウエハカセット10から処理装置にウエハWを取り出した後、一旦ドア13を閉じ、処理装置におけるウエハWの処理が終了すると、ドア13を開き、処理済みのウエハWをウエハカセット10に戻し、次に処理するウエハWをウエハカセット10からウエハWを取り出した後、再びドア13を閉じるという動作が行われる。
ドア13および封止板22は、上記のドア13の開閉が行われる度に、全開と全閉を繰り返す。
多数枚のウエハを収容するウエハカセット10は、ウエハカセット10の高さが高くなるため、全開動作および全閉動作に要する時間が長くなる。この長くなった時間は、処理装置のスループットを低下させる。
本発明は、ウエハカセット10の開閉に要する時間を短縮して、スループットを向上することを目的とする。
上記目的を実現するため、本発明のウエハローディング・アンローディング方法および装置では、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて、ドアの開き位置を変化させる。具体的には、ウエハカセットの上部に位置するウエハを搬出する場合およびウエハをウエハカセットの上部に搬入する場合には、ドアの開け量を小さくしてドアの開閉に要する時間を短縮する。ウエハカセットの最下部に位置するウエハを搬出する場合およびウエハをウエハカセットの最下部に搬入する場合には、ドアの開け量は従来と同様に全開とする。
ドアの移動機構は、ドアを全閉と全開の間の中間位置で停止できることが必要であり、中間位置での停止が容易に行えるモータ駆動であることが望ましい。
また、ドアを中間位置で正確に停止できるように、位置検出のためのセンサや、停止位置ごとにストッパを設けてもよい。
本発明によれば、ウエハカセットのドアは、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて必要最小限だけ移動するので、ドアの開閉に要する時間を短縮してスループットを向上できる。しかも、ドアの移動機構がステッピングモータを使用している場合には、ステッピングモータの駆動シーケンスを変更するだけで停止位置を任意に設定できるので、コストはほとんど増加しない。また、位置制御できないモータを使用する場合でも、位置センサや、ストッパを設けるだけで低コストで実現できる。
図3は、本発明の実施形態のウエハローディング・アンローディング装置の構成および動作を示す図であり、(A)はウエハカセットの最上部に位置するウエハを搬出・搬入する場合を、(B)はウエハカセットの下部に位置するウエハを搬出・搬入する場合を示す。なお、図1および図2と同じ要素には同じ参照符号を付しており、上記の説明を援用するものとする。
図3の(A)および(B)に示すように、処理装置20の内部には、封止板22を保持して水平および垂直方向に移動する移動部材24と、移動部材24を移動する駆動部25と、スケール27と、インジケータ28と、を有するドア移動機構が設けられている。ドア移動機構は、接続部23を介してドア13に設けられたキーを操作する機構も設けられている。スケール27およびインジケータ28を除く部分は、従来のウエハローディング・アンローディング装置と同じである。また、スケール27およびインジケータ28は、移動部材24の移動量を検出する機構であり、従来から広く使用されている技術で実現できる。
また、処理装置20の内部には、従来例と同様に、ウエハカセット10内のウエハWを搬出・搬入するための搬送アーム機構が設けられている。搬送アーム機構は、2段のアームA1およびA2と、アームA1およびA2をそれぞれ回転する回転軸31と、回転軸31を上下移動する以上軸32と、を有する。搬送アーム機構も従来例と同じであり、詳しい説明は省略する。
さらに、処理装置20には、ウエハカセット10を載置するカセット載置部26が設けられている。カセット載置部26は、載置されたウエハカセット10を保持して処理装置20の壁21に押し当てる。カセット載置部26も、従来技術で実現される。
図3の(A)に示すように、ウエハカセット10の最上部に位置するウエハを搬出・搬入する場合には、搬送アーム機構が、ドア13を保持した封止板22を、最上部に位置するウエハを搬出・搬入可能な最小限のスペース(隙間)を生じる位置まで移動し停止させる。この状態でウエハの搬出・搬入動作を行い、この動作が終了すると、搬送アーム機構が、ドア13を枠12に取り付けるように動作する。封止板22はドア13を枠12に取り付ける位置に保持される。
図3の(B)に示すように、ウエハカセット10の最下部に位置するウエハを搬出・搬入する場合には、搬送アーム機構が、ドア13を保持した封止板22を、最下部に位置するウエハを搬出・搬入可能な最小限のスペース(隙間)を生じる位置、すなわち従来例と同様の位置まで移動し停止させる。この状態でウエハの搬出・搬入動作を行い、この動作が終了すると、搬送アーム機構が、ドア13を枠12に取り付けるように動作する。封止板22はドア13を枠12に取り付ける位置に保持される。
図3の(B)に示すように、ウエハカセット10の最下部に位置するウエハを搬出・搬入する場合には、搬送アーム機構が、ドア13を保持した封止板22を、最下部に位置するウエハを搬出・搬入可能な最小限のスペース(隙間)を生じる位置、すなわち従来例と同様の位置まで移動し停止させる。この状態でウエハの搬出・搬入動作を行い、この動作が終了すると、搬送アーム機構が、ドア13を枠12に取り付けるように動作する。封止板22はドア13を枠12に取り付ける位置に保持される。
ウエハカセット10の最上部と最下部の中間に位置するウエハを搬出・搬入する場合には、搬送アーム機構が、ドア13を保持した封止板22を、中間に位置するウエハを搬出・搬入可能な最小限のスペース(隙間)を生じる位置まで移動し停止させる。この状態でウエハの搬出・搬入動作を行い、この動作が終了すると、搬送アーム機構が、ドア13を枠12に取り付けるように動作する。封止板22はドア13を枠12に取り付ける位置に保持される。
ここで、ドア移動機構の駆動部25がステッピングモータを駆動源とする場合には、ステッピングモータの制御信号により任意の位置に停止させることが可能であるので、駆動シーケンスを変更する。この場合には、スケール27およびインジケータ28は、設ける必要がない。また、駆動部25が可逆回転の通常のモータを駆動源とする場合には、スケール27およびインジケータ28の生成する位置信号に応じてモータの回転制御を行い、所定の位置に停止させる。
以上の動作により、ドア13を、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて必要最小限だけ移動するので、ドアの開閉に要する時間を短縮してスループットを向上できる。
また、処理済みのウエハをウエハカセット10に戻すと同時に、ウエハカセット10から次に処理するウエハを取り出す場合には、戻すウエハのウエハカセット10の位置と、取り出すウエハのウエハカセット10の位置とが異なる。この場合には、いずれか下に位置するウエハの位置に合わせて封止板22を移動する。このため、ウエハを上側の位置と下側の位置の一方に戻し、上側の位置と下側の位置の他方からウエハを取り出す場合には、本発明の効果が低減されるが、処理は通常ウエハカセット10に収容されたウエハWを、上からまたは下から順に取り出して処理を行い、その後戻す動作を行うので、上記と同様の効果が得られる。
本発明のウエハローディング・アンローディング方法および装置は、複数枚のウエハを収容するウエハカセットを使用して処理するウエハの供給および回収が行われ、ウエハを搬出・搬入した後一旦ウエハカセットのドアを閉めるシーケンスを行うのであれば、どのような半導体処理装置に使用する場合にも適用可能である。
10 ウエハカセット
11 ウエハカセット本体部
12 枠
13 ドア
22 封止板
23 接続部
26 カセット載置部
11 ウエハカセット本体部
12 枠
13 ドア
22 封止板
23 接続部
26 カセット載置部
Claims (4)
- 取り出し口に設けられた開閉されるドアを有するウエハカセットに収容された複数のウエハを搬出・搬入するウエハローディング・アンローディング方法であって、
通常時は前記ドアを閉め、前記ウエハを搬出・搬入する直前に前記ドアを開き、前記ウエハを搬出・搬入した後前記ドアを閉じ、
搬出・搬入するウエハの前記ウエハカセット内の収容位置に応じて、前記ドアの開き位置を変化させることを特徴とするウエハローディング・アンローディング方法。 - 前記ドアの移動機構は、モータ駆動である請求項1に記載のウエハローディング・アンローディング方法。
- 取り出し口に設けられた開閉されるドアを有し、複数のウエハを収容するウエハカセットを載置するウエハカセット載置部と、
前記ドアを移動するドア移動機構と、
前記ウエハカセットとの間で前記ウエハを搬出・搬入するウエハ搬送アームと、を備え、
通常時は前記ドアを閉め、前記ウエハを搬出・搬入する直前に前記ドアを開き、前記ウエハを搬出・搬入した後前記ドアを閉じるウエハローディング・アンローディング装置であって、
前記ドア移動機構は、搬出・搬入するウエハの前記ウエハカセット内の収容位置に応じて、前記ドアの開き位置を変化させることを特徴とするウエハローディング・アンローディング装置。 - 前記ドア移動機構は、モータ駆動である請求項3に記載のウエハローディング・アンローディング装置。
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JP2009096354A JP2010251380A (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | ウエハローディング・アンローディング方法および装置 |
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JP2009096354A Pending JP2010251380A (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | ウエハローディング・アンローディング方法および装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014067940A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム |
KR20210080523A (ko) * | 2018-11-05 | 2021-06-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 기판 수용 용기의 덮개를 개폐하는 방법 |
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2009
- 2009-04-10 JP JP2009096354A patent/JP2010251380A/ja active Pending
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