JP2010250917A - 圧電アクチュエータ処理装置および圧電アクチュエータ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ処理装置60は、第1の導電部41と第2の導電部46とに接続される回路61を備えている。交流電源70はキャパシタンス測定用の交流電圧V1にバイアス電圧VBを加えた交流波形電圧V2を発生する。この交流波形電圧V2は、測定用接触子62,63を介して第1の導電部41と第2の導電部46との間に印加される。スイッチ71を閉じて回路61に交流波形電圧V2を印加した瞬間に、バイアス電圧VBの電位差に応じて回路61に流れる突入電流によって、導電性樹脂40に絶縁破壊が生じる。突入電流発生後で導電性樹脂40の導通が確保された状態において、交流波形電圧V2により圧電体30のキャパシタンスが測定され、圧電体30が正常であるか否かが判定される。
【選択図】 図2
Description
図4は、圧電アクチュエータ15を検査する際の処理の流れの一例を示している。図4に示す接続工程ST1において、測定用接触子62,63(図2に示す)が第1の導電部41と第2の導電部46に接触させられる。これにより、回路61が第1の導電部41と第2の導電部46とに電気的に導通した状態となる。このときスイッチ71はオフ状態のままである。導電性樹脂40は、樹脂40aが完全には硬化していない状態である。
15…圧電アクチュエータ
30…圧電体
31…第1の電極
32…第2の電極
40…導電性樹脂
41…第1の導電部
46…第2の導電部
60…圧電アクチュエータ処理装置
61…回路
62,63…測定用接触子
70…交流電源
71…スイッチ
75…制御演算部(判定手段)
76…表示器(表示手段)
Claims (2)
- ディスク装置用サスペンションの圧電アクチュエータを検査する圧電アクチュエータ処理装置であって、
前記圧電アクチュエータは、
第1の電極と第2の電極との間に設けられた圧電体と、
樹脂中に金属フィラーが添加され前記第1の電極に付着させた導電性樹脂と、
前記導電性樹脂を介して前記第1の電極と導通する第1の導電部と、
前記第1の導電部に対し電気的に絶縁されかつ前記第2の電極と導通する第2の導電部とを有し、
前記圧電アクチュエータ処理装置が、
前記第1の導電部および前記第2の導電部に測定用接触子を介して接続される回路と、
キャパシタンス測定用の交流電圧にバイアス電圧を加えた交流波形電圧を、前記測定用接触子を介して前記第1の導電部と前記第2の導電部との間に印加する交流電源と、
前記交流波形電圧を印加した瞬間に前記バイアス電圧の電位差に応じて前記回路に生じる突入電流により前記導電性樹脂に絶縁破壊を生じさせて導通を確保する突入電流発生手段と、
前記突入電流発生後で前記導電性樹脂の導通が確保された状態において前記交流波形電圧により前記圧電体のキャパシタンスを測定し、測定されたキャパシタンスに基いて前記圧電体が正常であるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を表示する表示手段と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンションの圧電アクチュエータ処理装置。 - ディスク装置用サスペンションの圧電アクチュエータを検査する圧電アクチュエータ処理方法であって、
前記圧電アクチュエータは、
第1の電極と第2の電極との間に設けられた圧電体と、
樹脂中に金属フィラーが添加され前記第1の電極に付着させた導電性樹脂と、
前記導電性樹脂を介して前記第1の電極と導通する第1の導電部と、
前記第1の導電部に対し電気的に絶縁されかつ前記第2の電極と導通する第2の導電部とを有し、
前記圧電アクチュエータ処理方法が、
キャパシタンス測定用の交流電圧にバイアス電圧を加えた交流波形電圧を前記回路に印加し、該交流波形電圧を印加した瞬間に前記バイアス電圧の電位差に応じて前記回路に生じる突入電流により前記導電性樹脂に絶縁破壊を生じさせて導通を確保する工程と、
前記突入電流発生後で前記導電性樹脂の導通が確保された状態において前記交流波形電圧により前記圧電体のキャパシタンスを測定し、測定されたキャパシタンスに基いて前記圧電体が正常であるか否かを判定する工程と、
前記判定の結果を表示する工程と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンションの圧電アクチュエータ処理方法。
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