JP2010247035A - エアフィルタ用ろ材並びにエアフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ファイバーとビーズが一体化された数珠状繊維からなるナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として、ろ材通過風速5.3cm/sの場合、捕集対象粒子径0.3μmの性能指標が0.070(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.1μmの性能指標が0.050(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.05μmの性能指標が0.080(1/Pa)以上のナノファイバーろ材から構成されるエアフィルタ用ろ材を用いる。
【選択図】 図2
Description
また、半導体の配線間隔をナノサイズまで小さくすると、半導体製造工場や半導体取扱工場等において清浄化される粒子もナノサイズとなり、こうしたナノ粒子をエアフィルタにより捕集するには、ろ材にナノファイバーを使用することがより有効である。
ナノファイバーの製造方法としては、静電紡糸法(エレクトロスピニング法)と呼ばれるものがある。詳細には、ポリマー溶液にプラスの高電圧を印加し、これをマイナスに帯電したターゲットに吹き付けることによってナノファイバーをつくるものが知られており、そのナノファイバーを利用して高性能エアフィルタ用のろ材を作製することも研究されている(非特許文献1参照)。この静電紡糸法でナノファイバーを作成する場合、電圧を制御することにより、繊維径をコントロールしている。
尚、多数のナノファイバーと多数の骨格粒子とを所定の比率で水等の溶媒に分散させ、その混合物分散溶液から溶媒を除き作製した多孔性圧縮層をろ材として利用する場合には、つぎの問題がある。すなわち、ナノファイバーと骨格粒子とが別部材として混合するため、混合方法として乾式法(溶媒を介さず空気中で混合する方法)によれば、混合時の不均一が原因で集綿後の乾式不織布層において繊維同士で、又は、繊維と粒子とで形成される空隙の分布にばらつきが生じる。また、混合方法として通常の抄造によれば、粒子の沈降により粒子が集面ネット側の表面に偏り、全体に均一に分散しないため、抄造後の湿式不織布層において繊維と粒子とで形成される空隙の分布にばらつきが生じる。
よって、エアフィルタの性能として、ナノファイバー製のろ材を使用しながら例えば処理風量50m3/min時の初期圧損をコンスタントに220Pa以下に抑えることは難しく、そのような高風量時の初期圧損の大きさが、省エネなどの観点から実用上十分なメリットを得るのに妨げとなり、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタの製品化を困難としていた。
本発明のエアフィルタ用ろ材は、前記知見に基づきなされたもので、請求項1記載の通り、ファイバーとビーズが一体化された数珠状繊維からなるナノファイバーろ材から構成されるエアフィルタ用ろ材であって、前記ナノファイバーろ材は、ろ材通過風速5.3cm/sの場合、捕集対象粒子径0.3μmの性能指標が0.070(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.1μmの性能指標が0.050(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.05μmの性能指標が0.080(1/Pa)以上のナノファイバーろ材から構成されることを特徴とする。
また、請求項2記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項1記載のエアフィルタ用ろ材において、前記数珠上繊維の平均繊維径を、ガス分子の平均自由行程(20℃空気、1大気圧では65nm)の2倍以下にしたことを特徴とする。
また、請求項3記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項2記載のエアフィルタ用ろ材において、前記数珠状繊維の平均繊維径が0.001〜0.13μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の2〜10倍であることを特徴とする。
また、請求項4記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項3記載のエアフィルタ用ろ材において、前記数珠状繊維の平均繊維径が0.01〜0.1μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の4〜7倍であることを特徴とする。
また、請求項5記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項1乃至4何れかに記載のエアフィルタ用ろ材において、前記数珠状繊維の繊維径の分散を、0.3以下にすることを特徴とする。
また、請求項6記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項1乃至5何れかに記載のエアフィルタ用ろ材において、前記数珠状繊維が、ポリアクリロニトリル(PAN)で製作されたものであることを特徴とする。
また、本発明の数珠状繊維の製造方法は、請求項7記載の通り、請求項1記載のエアフィルタ用ろ材に用いる数珠状繊維の製造方法であって、静電紡糸法により電流値が一定となるようにコントロールして、前記数珠状繊維を製造することを特徴とする。
また、請求項8記載の製造方法は、請求項7記載の製造方法において、前記数珠状繊維の平均繊維径が0.001〜0.13μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の2〜10倍であることを特徴とするであることを特徴とする。
また、請求項9記載の製造方法は、請求項8記載の製造方法において、前記数珠状繊維の平均繊維径が0.01〜0.1μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の4〜7倍であることを特徴とする製造方法であることを特徴とする。
また、本発明のエアフィルタは、請求項10記載の通り、ナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として請求項1乃至6の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材が用いられることを特徴とする。
また、請求項11記載のエアフィルタは、請求項10の記載のエアフィルタにおいて、処理風量50m3/min時の初期圧損が165Pa以下で、0.3μm粒子の捕集効率が99.97%以上であることを特徴とする。
また、前記数珠状繊維の平均繊維径を、ガス分子の平均自由行程(20℃空気、1大気圧では65nm)の2倍以下とした場合、繊維に衝突するガス分子の数が減るため、ガス分子は繊維に妨害されることが少なくなり、ろ材を通過することができるため、低圧力損失とすることができる。特に、前記数珠状繊維の平均繊維径を0.001〜0.13μm、好ましくは0.01〜0.1μm、前記数珠状繊維のビーズ径をその平均繊維径の2〜10倍、好ましくは、4〜7倍とした場合、平均繊維径が小さく且つ繊維同士、或いは、繊維とビーズ間に形成されるろ材空隙を高風量低圧損型の高性能なエアフィルタ用のろ材として理想的なものとすることができる。
また、前記数珠状繊維の繊維径の分散を、0.3以下とした場合、繊維径が揃うので、高捕集効率及び低圧力損失とすることができる。
また、数珠状繊維をポリアクリロニトリル(PAN)とした場合、PANは非吸着性、耐薬品性、耐油性にすぐれているので、耐薬品性などを備えたエアフィルタを得ることができる。
また、本発明のエアフィルタ用ろ材に用いる数珠状繊維の製造方法によれば、静電紡糸法により電流値が一定となるようにコントロールして、数珠状繊維を製造するようにしたため、ファイバーとビーズが一体に形成される際、ビーズの形成がファイバーを細く伸ばす働きをして繊維径を細くでき、しかも繊維径が分散することなく数珠状の所定形状に製造することができる。
また、本発明のナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタによれば、前記ナノファイバーろ材として本願発明のエアフィルタ用ろ材を用いるようにしたため、処理風量50m3/min時の初期圧損が165Pa以下で、0.3μm粒子の捕集効率が99.97%以上であるような高風量低圧損型の高性能なエアフィルタを提供することができる。
図1に示すように、本形態に係るエアフィルタ1は、ろ材2がジグザグ状に折り畳まれ、この折り畳まれたろ材2の各部分が他の部分と接して重なり合わないようにセパレータ3が介装されてフィルタパック4が構成され、このフィルタパック4が、シール材5を介してフィルタ枠6に取り付けられて構成されている。
一方、溶媒としては、例えばN,N−ジメチルホルムアミド(DMF)を用いることができる。ポリマー溶液の濃度は、2wt%未満であると繊維化することができず、10wt%超であるとシリンジからスプレーすることができないので、2〜10wt%であることが好ましい。特に、5〜8wt%であることが最も好ましい。
数珠状繊維の繊維径の分散(分散σは繊維径の分布が1つの対数正規分布に従うと見なし、繊維径の分散σを次式より求められる。σ=exp(ln2σg)−1 ここで、dfg、σgはそれぞれ幾何平均径、幾何標準偏差である)は、その値が小さければ繊維径が揃っていることを示すことから、高性能(高捕集効率・低圧力損失)に対して有効に働く。したがって、静電紡糸法における電流を制御することにより、0.3以下とすることが好ましい。
このように、本発明では数珠状繊維からなるナノファイバーの生産性を高めるため、静電紡糸法により電流値を一定に制御することにより、ファイバーとビーズを同時かつ一体化された数珠状繊維を製造するものである。さらに、ビーズ径に応じた微細な繊維径を持つファイバー及びファイバーとビーズ間の距離を保つように製造することができる。
まず、ファイバーとビーズが一体化された数珠状繊維からなるナノファイバーろ材について説明する。シリンジ側とアルミニウム板との間に電圧8〜12kVを印加し、DMFにPANを溶解させた温度7wt%のポリマー溶液をシリンジから流量4〜6μl/minで噴霧させ、図3と図4のように、電流制御で繊維径をコントロールすることにより、平均繊維径が130nm、ビーズ径が650nm、繊維径の分散が0.4である数珠状繊維をアルミニウム板に推積させ、ろ材を作成した後、ろ材がジグザグ状に折り畳まれ、この折り畳まれたろ材の各部分が他の部分と接して重なり合わないようにセパレータが介装されてフィルタパックが構成されている。
そして、ポリウレタン製のシール材でフィルタパックと金属又は木製のフィルタ枠の上下面とを面シールし、フィルタパックとフィルタ枠の側面とを線状にポリウレタン等のシール剤によりシールして、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2となる610×610×290mmのエアフィルタを作製した。
ろ材をPANからなる平均繊維径が130nm、ビーズ径が650nm、繊維径の分散が0.3、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維からなるナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
[実施例3]
ろ材をPVPからなる平均繊維径が130nm、ビーズ径が650nm、繊維径の分散の分散が0.3、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維からなるナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
[実施例4]
ろ材をPANからなる平均繊維径が100nm、ビーズ径が500nm、繊維径の分散が0.2、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維からなるナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
[比較例1]
ろ材をPANからなる平均繊維径が130nm、ビーズ径が650nm、繊維径の分散が0.3、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維ではないナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
[比較例2]
ろ材をPANからなる平均繊維径が140nm、ビーズ径が700nm、繊維径の分散が0.3、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維からなるナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
[比較例3]
ろ材をPANからなる平均繊維径が140nm、ビーズ径が700nm、繊維径の分散が0.4、保護層など込みで厚さが0.38mm、目付が91g/m2の数珠状繊維からなるナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
静電防止法において電圧制御で繊維径をコントロールすることにより、ろ材をPANからなる平均繊維径300nm、ビーズ径が1500nm、繊維の分散が0.5、厚さが0.38mm、目付が70g/m2のナノファイバー製としたほかは、実施例1と同様にしてエアフィルタを作製した。
これらの実施例1乃至4及び比較例1乃至3及び従来例1で得られた各エアフィルタの特性につき、捕集効率、圧力損失をJIS B 9908(換気用エアフィルタ、電気集じん機の性能試験方法)の形式1(計数法)を適用して試験した。その結果を表1に示す。
2 ろ材
3 セパレータ
4 フィルタパック
5 シール材
6 フィルタ枠
7 超極細繊維
8 ビーズ
9 数珠状繊維
10 空隙
11 ポリマー溶液
12 シリンジポンプ
13 シリンジ
14 アルミニウム板
15 電流計
16 パソコン
17 高電圧電源
Claims (11)
- ファイバーとビーズが一体化された数珠状繊維からなるナノファイバーろ材から構成されるエアフィルタ用ろ材であって、前記ナノファイバーろ材は、ろ材通過風速5.3cm/sの場合、捕集対象粒子径0.3μmの性能指標が0.070(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.1μmの性能指標が0.050(1/Pa)以上、捕集対象粒子径0.05μmの性能指標が0.080(1/Pa)以上であることを特徴とするエアフィルタ用ろ材。
- 前記数珠状繊維の平均繊維径を、ガス分子の平均自由行程(20℃空気、1大気圧では65nm)の2倍以下としたことを特徴とする請求項1記載のエアフィルタ用ろ材。
- 前記数珠状繊維の平均繊維径が0.001〜0.13μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の2〜10倍であることを特徴とする請求項2記載のエアフィルタ用ろ材。
- 前記数珠状繊維の平均繊維径が0.01〜0.1μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の4〜7倍であることを特徴とする請求項3記載のエアフィルタ用ろ材。
- 前記数珠状繊維の繊維径の分散を、0.3以下としたことを特徴とする請求項1乃至4記載のエアフィルタ用ろ材。
- 前記数珠状繊維はポリアクリロニトリル(PAN)であることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材。
- 請求項1記載のエアフィルタ用ろ材に用いる数珠状繊維の製造方法であって、静電紡糸法により電流値が一定となるようにコントロールして、前記数珠状繊維を製造することを特徴とする数珠状繊維の製造方法。
- 前記数珠状繊維の平均繊維径が0.001〜0.13μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の2〜10倍であることを特徴とする請求項7記載の製造方法。
- 前記数珠状繊維の平均繊維径が0.01〜0.1μmで、前記数珠状繊維のビーズ径がその平均繊維径の4〜7倍であることを特徴とする請求項8記載の製造方法。
- ナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として請求項1乃至6の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材が用いられることを特徴とするエアフィルタ。
- 処理風量50m3/min時の初期圧損が165Pa以下で、0.3μm粒子の捕集効率が99.97%以上であることを特徴とする請求項10記載のエアフィルタ。
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