JP2010245224A - 照明装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】照明効率の低下を抑制できる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、光源から発した照明光によって物体を照明する。照明装置は、光源の周囲の一部に配置された凹曲面状の反射面を有し、反射面によって照明光を反射する第1反射部材と、第1反射部材が反射した照明光を物体に導く導光光学系と、導光光学系に設けられ、照明光の一部を通過させて、物体に対する照明光の照射範囲及び開口数の少なくとも一方を制限する制限部材と、導光光学系に設けられ、第1反射部材が反射した照明光のうち、制限部材を通過可能な第1部分光以外の第2部分光の少なくとも一部を反射し、照明光の光路を逆進させて第1反射部材に入射させる第2反射部材とを備えている。
【選択図】図1
Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る照明装置ISを備えた露光装置EXの一例を示す概略構成図、図2は、斜視図である。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。第2実施形態は、第1実施形態の変形例であり、第2反射部材が配置される位置が、第1実施形態と異なる。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (13)
- 光源から発した照明光によって物体を照明する照明装置であって、
前記光源の周囲の一部に配置された凹曲面状の反射面を有し、前記反射面によって前記照明光を反射する第1反射部材と、
前記第1反射部材が反射した前記照明光を前記物体に導く導光光学系と、
前記導光光学系に設けられ、前記照明光の一部を通過させて、前記物体に対する前記照明光の照射範囲及び開口数の少なくとも一方を制限する制限部材と、
前記導光光学系に設けられ、前記第1反射部材が反射した前記照明光のうち、前記制限部材を通過可能な第1部分光以外の第2部分光の少なくとも一部を反射し、前記照明光の光路を逆進させて前記第1反射部材に入射させる第2反射部材と、
を備える照明装置。 - 前記第1反射部材は、前記照明光を反射して前記光源の第1光源像を形成し、
前記導光光学系は、前記第1光源像を光学的にリレーして第2光源像を形成するリレー光学系を含み、
前記第2反射部材は、前記第1光源像及び前記第2光源像の少なくとも一方の像面近傍に配置される請求項1記載の照明装置。 - 前記第1反射部材は、前記照明光を反射して前記光源の第1光源像を形成し、
前記第2反射部材は、前記第1光源像の像面近傍に配置される請求項1記載の照明装置。 - 前記第1反射部材は、前記照明光を反射して前記光源の第1光源像を形成し、
前記導光光学系は、前記第1光源像から発した前記照明光を光学的にリレーするリレー光学系を含み、
前記第2反射部材は、前記リレー光学系内に配置される請求項1記載の照明装置。 - 前記第2反射部材は、前記リレー光学系のうち当該第2反射部材より前記第1光源像側に配置された光学系の後側焦点面近傍に配置される請求項4記載の照明装置。
- 前記第1反射部材は、前記照明光を反射して前記光源の第1光源像を形成し、
前記導光光学系は、前記第1光源像を光学的にリレーして第2光源像を形成するリレー光学系と、前記第2光源像の像面近傍に配置された入射口から入射する前記照明光を伝送する光伝送素子とを含み、
前記第2反射部材は、前記入射口の周囲の少なくとも一部に設けられる請求項1記載の照明装置。 - 前記第1反射部材は、前記照明光を反射して前記光源の第1光源像を形成し、
前記導光光学系は、前記第1光源像の像面近傍に配置された入射口から入射する前記照明光を伝送する光伝送素子を含み、
前記第2反射部材は、前記入射口の周囲の少なくとも一部に設けられる請求項1記載の照明装置。 - 前記光源が複数設けられ、前記入射部が前記光源に応じて複数設けられ、
前記導光光学系は、前記複数の入射口に入射した前記照明光を合成して、前記物体に導く請求項6又は7記載の照明装置。 - 前記第1反射部材と協働して前記第1光源像を形成する補助光学系を備える請求項2〜8のいずれか一項記載の照明装置。
- 前記凹曲面状の反射面は、2つの焦点を有し、
前記第1反射部材は、前記2つの焦点のうち前記反射面に近い焦点を前記光源に一致させて配置される請求項1〜9のいずれか一項記載の照明装置。 - パターンが形成されたパターン保持部材を支持する第1支持機構と、
感光基板を支持する第2支持機構と、
前記パターン保持部材を照明し、前記パターンを介して前記感光基板を露光する請求項1〜10のいずれか一項記載の照明装置と、を備える露光装置。 - 前記第1支持機構が支持する前記パターン保持部材のパターンの像を、前記第2支持機構が支持する前記感光基板に投影する投影光学系を備え、
前記照明装置は、前記投影光学系を介して前記感光基板を露光する請求項11記載の露光装置。 - 請求項11又は12記載の露光装置を用いて、前記パターンを前記感光基板に転写する転写工程と、
前記パターンが転写された前記感光基板を現像し、前記パターンに対応する形状の転写パターン層を前記感光基板に形成する現像工程と、
前記転写パターン層を介して前記感光基板を加工する加工工程と、を含むデバイス製造方法。
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